JPH05174783A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPH05174783A JPH05174783A JP3357907A JP35790791A JPH05174783A JP H05174783 A JPH05174783 A JP H05174783A JP 3357907 A JP3357907 A JP 3357907A JP 35790791 A JP35790791 A JP 35790791A JP H05174783 A JPH05174783 A JP H05174783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- slit
- pulse
- ion beam
- mass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/40—Time-of-flight spectrometers
- H01J49/401—Time-of-flight spectrometers characterised by orthogonal acceleration, e.g. focusing or selecting the ions, pusher electrode
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 質量分析で多種質量イオン混合ビームから質
量走査をしないで一度に質量スペクトルを測定する。 【構成】 一定電圧で加速したイオンビームをパルス状
に変調して放出して放出点から離れた位置に配置された
偏向電極７の間を通過させ、この電極に上記したイオン
ビームのパルス変調と同期して鋸歯状の電圧を印加し、
この鋸歯状に変化する電場へのイオンの到達時刻の差
で、重いイオン程強い電場の作用を受けることで分散さ
れたイオンビームを位置分解能を有するイオン検出器８
で検出する。
量走査をしないで一度に質量スペクトルを測定する。 【構成】 一定電圧で加速したイオンビームをパルス状
に変調して放出して放出点から離れた位置に配置された
偏向電極７の間を通過させ、この電極に上記したイオン
ビームのパルス変調と同期して鋸歯状の電圧を印加し、
この鋸歯状に変化する電場へのイオンの到達時刻の差
で、重いイオン程強い電場の作用を受けることで分散さ
れたイオンビームを位置分解能を有するイオン検出器８
で検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は質量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】質量分析には従来３種類の方法が用いら
れていた。その一つは磁場を用いるもので、イオンビー
ムを磁場で偏向させスリットを用いて特定質量を取出し
検出するもので、磁場強度或はイオン加速電圧を変える
ことにより質量走査を行って質量スペクトルのデータを
得る。他の一つは四重極電極を用いるもので、四重極に
印加する直流および高周波の各電圧を変えることで質量
走査を行って質量スペクトルのデータを得る。更に他の
一つは飛行時間型と云われるもので、イオンをパルス状
に放出し、このイオン放出と同期して計時動作を開始
し、イオンが検出器で検出された時点で計時動作を停止
させ、そのときの時間値を記憶させる。この動作を多数
回のパルス状イオン放出について行うと、イオンが放出
さてれから検出される迄の時間は一定加速電圧のもとで
は質量が大きい程おそいから、多数回の測定で時間にた
いするイオン検出頻度のヒストグラムが得られて、これ
が質量スペクトルとなる。
れていた。その一つは磁場を用いるもので、イオンビー
ムを磁場で偏向させスリットを用いて特定質量を取出し
検出するもので、磁場強度或はイオン加速電圧を変える
ことにより質量走査を行って質量スペクトルのデータを
得る。他の一つは四重極電極を用いるもので、四重極に
印加する直流および高周波の各電圧を変えることで質量
走査を行って質量スペクトルのデータを得る。更に他の
一つは飛行時間型と云われるもので、イオンをパルス状
に放出し、このイオン放出と同期して計時動作を開始
し、イオンが検出器で検出された時点で計時動作を停止
させ、そのときの時間値を記憶させる。この動作を多数
回のパルス状イオン放出について行うと、イオンが放出
さてれから検出される迄の時間は一定加速電圧のもとで
は質量が大きい程おそいから、多数回の測定で時間にた
いするイオン検出頻度のヒストグラムが得られて、これ
が質量スペクトルとなる。
【０００３】上述した３種の方法のうち磁場を用いるも
のと四重極電極を用いるものは質量走査を行ってスペク
トルデータを得るので、或る質量のイオンを検出してい
る間は他の質量のイオンは分析上利用されず無駄になっ
ていて、従って感度が低く、所望のＳ／Ｎ比で測定結果
を得るには時間がかゝると云う問題があった。３番目の
飛行時間型はイオンの一回のパルス状放出において、検
出器に入射するイオンが一個以下であるようにパルス
幅，イオン強度を設定しておく必要があり、計時動作は
ｎｓのオーダの刻みで行う必要があって高度の技術を要
し装置が高価である。
のと四重極電極を用いるものは質量走査を行ってスペク
トルデータを得るので、或る質量のイオンを検出してい
る間は他の質量のイオンは分析上利用されず無駄になっ
ていて、従って感度が低く、所望のＳ／Ｎ比で測定結果
を得るには時間がかゝると云う問題があった。３番目の
飛行時間型はイオンの一回のパルス状放出において、検
出器に入射するイオンが一個以下であるようにパルス
幅，イオン強度を設定しておく必要があり、計時動作は
ｎｓのオーダの刻みで行う必要があって高度の技術を要
し装置が高価である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は質量走査を行
わないで一度に質量スペクトル全体のデータを得ること
ができ、また従来の飛行時間型のような高度の技術を必
要としない質量分析装置を提供しようとするものであ
る。
わないで一度に質量スペクトル全体のデータを得ること
ができ、また従来の飛行時間型のような高度の技術を必
要としない質量分析装置を提供しようとするものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】一定加速電圧で加速され
たイオンビームをパルス変調して放出させる手段と、こ
のパルス変調されたイオンビームをはさんで対向させた
偏向電極と、この電極間を通過したイオンを検出する位
置分解能を有するイオン検出器と、上記イオンビームの
パルス変調と同期させて上記偏向電極間に鋸歯状電圧を
印加する手段とによって質量分析装置を構成した。
たイオンビームをパルス変調して放出させる手段と、こ
のパルス変調されたイオンビームをはさんで対向させた
偏向電極と、この電極間を通過したイオンを検出する位
置分解能を有するイオン検出器と、上記イオンビームの
パルス変調と同期させて上記偏向電極間に鋸歯状電圧を
印加する手段とによって質量分析装置を構成した。
【０００６】
【作用】一定電圧で加速されたイオンの速度はイオン質
量によって異なり、質量の大なるイオン程遅い。従って
パルス変調されたイオンがイオンビームをはさむ電極間
に到達する時刻は重いイオン程おそくなり、また電極間
を通過するのに要する時間も長い。他方電極間電圧はイ
オンビームのパルス変調と同期させて鋸歯状に変化して
いるので、重いイオン程強い電場の中を長時間かけて横
切ることになり、軽いイオンより偏向角が大きくなる。
従って位置分解能を有するイオン検出器表面にはイオン
ビームが質量分散されて入射し、イオン検出器出力はそ
のまゝが質量スペクトルのデータとなる。
量によって異なり、質量の大なるイオン程遅い。従って
パルス変調されたイオンがイオンビームをはさむ電極間
に到達する時刻は重いイオン程おそくなり、また電極間
を通過するのに要する時間も長い。他方電極間電圧はイ
オンビームのパルス変調と同期させて鋸歯状に変化して
いるので、重いイオン程強い電場の中を長時間かけて横
切ることになり、軽いイオンより偏向角が大きくなる。
従って位置分解能を有するイオン検出器表面にはイオン
ビームが質量分散されて入射し、イオン検出器出力はそ
のまゝが質量スペクトルのデータとなる。
【０００７】
【実施例】図１に本発明の一実施例装置を示す。図で１
はイオン源、２はイオン引出し電極、３はイオン加速電
極である。イオン加速電極３には図２Ａに示すようにパ
ルス状に加速電圧が印加される。４はチョッピング電極
で直流バイアス電圧が印加してある。通常はイオンビー
ムＩを図点線のように偏向させており、パルス発生器Ｇ
より出力される図２Ａのパルスの立上りにより遅延回路
Ｄ１を介してワンショット回路Ｐ１がトリガはされチョ
ッピング電極４には図２Ｂに示すように図２Ａのパルス
の存在期間中に同パルスより幅のせまい負パルスが印加
され、一時的にチョッピング電極間電圧が０になって、
この期間イオンビームが直進してスリット５の小孔を通
過するは。即ちチョッピング電極４とスリット５とでイ
オンビームのパルス変調手段が構成されている。イオン
ビームがスリット５を通過している期間の前後ではイオ
ンビームはスリット５に入射しており、これは全イオン
検出信号として制御およびデータ処理装置６に取り込ま
れる。この構成ではイオンは図２Ａのパルスの存在期間
中のみイオン源から引き出され、引き出されたイオンの
うち図２Ｂのパルスの存在期間中のみイオンビームがス
リット５の右側の空間に送出される。実際に測定に有効
なのは図２Ｂのパルス期間中のイオンであるが、このパ
ルスとパルスとの間の期間はイオンはイオン源１内およ
びイオン引出し電極２周辺に空間電荷として保持されて
おり、これが図２Ａのパルス期間中に引き出され測定に
対して有効利用されるのである。従って生成イオンの利
用効率を重視しなければ、加速電極３には常時加速電圧
を印加しておいてもよいのである。
はイオン源、２はイオン引出し電極、３はイオン加速電
極である。イオン加速電極３には図２Ａに示すようにパ
ルス状に加速電圧が印加される。４はチョッピング電極
で直流バイアス電圧が印加してある。通常はイオンビー
ムＩを図点線のように偏向させており、パルス発生器Ｇ
より出力される図２Ａのパルスの立上りにより遅延回路
Ｄ１を介してワンショット回路Ｐ１がトリガはされチョ
ッピング電極４には図２Ｂに示すように図２Ａのパルス
の存在期間中に同パルスより幅のせまい負パルスが印加
され、一時的にチョッピング電極間電圧が０になって、
この期間イオンビームが直進してスリット５の小孔を通
過するは。即ちチョッピング電極４とスリット５とでイ
オンビームのパルス変調手段が構成されている。イオン
ビームがスリット５を通過している期間の前後ではイオ
ンビームはスリット５に入射しており、これは全イオン
検出信号として制御およびデータ処理装置６に取り込ま
れる。この構成ではイオンは図２Ａのパルスの存在期間
中のみイオン源から引き出され、引き出されたイオンの
うち図２Ｂのパルスの存在期間中のみイオンビームがス
リット５の右側の空間に送出される。実際に測定に有効
なのは図２Ｂのパルス期間中のイオンであるが、このパ
ルスとパルスとの間の期間はイオンはイオン源１内およ
びイオン引出し電極２周辺に空間電荷として保持されて
おり、これが図２Ａのパルス期間中に引き出され測定に
対して有効利用されるのである。従って生成イオンの利
用効率を重視しなければ、加速電極３には常時加速電圧
を印加しておいてもよいのである。
【０００８】図２Ｂのパルス期間中にスリット５の右側
の空間に放出されたイオンビームは直進して偏向電極７
の間を通り、イオン検出器８に入射することになるが、
こゝで対向している電極７間には図２Ｄに示す鋸歯状電
圧が印加される。この電圧は図２Ａの立ち下がりが遅延
回路Ｄ２を介して鋸歯状波発振器９にトリガをかけるこ
とによって発生され、図２Ｂのパルスの立下りより時間
ｄだけ遅れてスタートするものである。この時間遅れｄ
は例えば一番軽いイオン例えば陽子がスリット５を通っ
てから電極７の前縁（左端）に到達する迄の時間よりわ
ずか短く設定してある。このためこれより重いイオンは
遅れ時間ｄより更に遅れて電極７間に入射し、重い粒子
程電極７間電場が強くなっている所を通過することにな
る。一定加速電圧のイオンは電極７間の電圧が一定のと
きは、質量の大小に関せず同じ軌道を画いて同じ角度だ
け偏向されて質量分析はできないが、電極間電圧が経時
的に変化しているので、重い粒子程強い電場の中を遅い
速度まつり長時間電界の影響を受けて通過するので、軽
いイオンより偏向角が大きくなる。
の空間に放出されたイオンビームは直進して偏向電極７
の間を通り、イオン検出器８に入射することになるが、
こゝで対向している電極７間には図２Ｄに示す鋸歯状電
圧が印加される。この電圧は図２Ａの立ち下がりが遅延
回路Ｄ２を介して鋸歯状波発振器９にトリガをかけるこ
とによって発生され、図２Ｂのパルスの立下りより時間
ｄだけ遅れてスタートするものである。この時間遅れｄ
は例えば一番軽いイオン例えば陽子がスリット５を通っ
てから電極７の前縁（左端）に到達する迄の時間よりわ
ずか短く設定してある。このためこれより重いイオンは
遅れ時間ｄより更に遅れて電極７間に入射し、重い粒子
程電極７間電場が強くなっている所を通過することにな
る。一定加速電圧のイオンは電極７間の電圧が一定のと
きは、質量の大小に関せず同じ軌道を画いて同じ角度だ
け偏向されて質量分析はできないが、電極間電圧が経時
的に変化しているので、重い粒子程強い電場の中を遅い
速度まつり長時間電界の影響を受けて通過するので、軽
いイオンより偏向角が大きくなる。
【０００９】イオン検出器８は多数の単位検出素子をア
レー状に並べて位置分解能およびデータ蓄積作用を有す
るので、図２の鋸歯状電圧が存在しない間に同検出器の
単位素子の出力を制御データ処理装置６に取込みメモリ
１０の上記各単位素子対応アドレスに加算して書込み、
この動作を繰り返すと、メモリ１０では図２の鋸歯状電
圧の一周期毎のスペクトルデータが積算されて行く。従
って所望のＳ／Ｎ比になる迄メモリ１０でのデータの蓄
積を行って、一回の測定動作を終わる。
レー状に並べて位置分解能およびデータ蓄積作用を有す
るので、図２の鋸歯状電圧が存在しない間に同検出器の
単位素子の出力を制御データ処理装置６に取込みメモリ
１０の上記各単位素子対応アドレスに加算して書込み、
この動作を繰り返すと、メモリ１０では図２の鋸歯状電
圧の一周期毎のスペクトルデータが積算されて行く。従
って所望のＳ／Ｎ比になる迄メモリ１０でのデータの蓄
積を行って、一回の測定動作を終わる。
【００１０】上述実施例ではスリット５から電極７の中
央までの距離Ｌを６５ｍｍ、電極７の幅および対向距離
を共に１０ｍｍ、電極７の中央から検出器８表面までの
距離Ｋを２５ｍｍとした。また鋸歯状波のピーク電圧は
５０Ｖ、イオン加速電圧を１ＫＶとし、検出しようとす
る最大質量数を１００ａｍｕとすると、図２Ｂのパルス
の立下りから鋸歯状波の終端（最大値５０Ｖの点）まで
の時間は２．０４９μｓとなる。このとき１００ａｍｕ
のイオンの検出器８上の中心からの偏位量ｄｓは０．１
３５９ｍｍとなり、質量と検出器８上の偏位量との関係
は図３に示すような直線となる。図２の波形の周期は
０．４８８１ＭＨｚ以下であればよい。
央までの距離Ｌを６５ｍｍ、電極７の幅および対向距離
を共に１０ｍｍ、電極７の中央から検出器８表面までの
距離Ｋを２５ｍｍとした。また鋸歯状波のピーク電圧は
５０Ｖ、イオン加速電圧を１ＫＶとし、検出しようとす
る最大質量数を１００ａｍｕとすると、図２Ｂのパルス
の立下りから鋸歯状波の終端（最大値５０Ｖの点）まで
の時間は２．０４９μｓとなる。このとき１００ａｍｕ
のイオンの検出器８上の中心からの偏位量ｄｓは０．１
３５９ｍｍとなり、質量と検出器８上の偏位量との関係
は図３に示すような直線となる。図２の波形の周期は
０．４８８１ＭＨｚ以下であればよい。
【００１１】図４は位置分解能を有するイオン検出器の
一例で、単位素子の幅１μｍの半導体放射線検出器のア
レーであり、８１が検出部、８２が増幅部、８３は波形
整形用（検出部８１の出力パルスをレベル選別してノイ
ズパルスを除くため）のコンパレータ部、８４はパルス
カウンタで、これらの各部がＬＳＩ化されてイオン検出
器８となっている。しかし位置分解能を有するイオン検
出器としてはこの型に限られない。
一例で、単位素子の幅１μｍの半導体放射線検出器のア
レーであり、８１が検出部、８２が増幅部、８３は波形
整形用（検出部８１の出力パルスをレベル選別してノイ
ズパルスを除くため）のコンパレータ部、８４はパルス
カウンタで、これらの各部がＬＳＩ化されてイオン検出
器８となっている。しかし位置分解能を有するイオン検
出器としてはこの型に限られない。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、質量走査をしないで質
量スペクトル全体のデータが得られるので、イオンの利
用効率が良く、従って感度良好で短時間でスペクトルデ
ータが得られるので、高速で変化している試料の経時的
な分析が容易となり、従来の飛行時間型に比しイオンビ
ームの一変調パルス毎に多数のイオンの同時検出が可能
なので、Ｓ／Ｎが良く、しもか装置構成に格別の高度技
術を必要とせず、安価で磁場型より軽量である等多大の
特長を有する。
量スペクトル全体のデータが得られるので、イオンの利
用効率が良く、従って感度良好で短時間でスペクトルデ
ータが得られるので、高速で変化している試料の経時的
な分析が容易となり、従来の飛行時間型に比しイオンビ
ームの一変調パルス毎に多数のイオンの同時検出が可能
なので、Ｓ／Ｎが良く、しもか装置構成に格別の高度技
術を必要とせず、安価で磁場型より軽量である等多大の
特長を有する。
【図１】本発明の一実施例装置の側面図
【図２】同実施例で用いられる各種電圧の波形図
【図３】同実施例装置の特性グラフ
【図４】同実施例におけるイオン検出器の構造図
１ イオン源 ３ イオン加速電極 ４ チョッピング電極 ５ スリット ６ 制御データ処理装置 ７ 偏向電極 ８ イオン検出器 ９ 鋸歯波発振器 １０ メモリ
Claims (1)
- 【請求項１】 一定加速電圧で加速されたイオンビーム
をパルス変調して放出させる手段と、このパルス変調さ
れたイオンビームをはさんで対向させた偏向電極と、こ
の電極間を通過したイオンを検出する位置分解能を有す
るイオン検出器と、上記イオンビームのパルス変調と同
期させて上記偏向電極間に鋸歯状電圧を印加する手段と
よりなる質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357907A JPH05174783A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357907A JPH05174783A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05174783A true JPH05174783A (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=18456554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3357907A Pending JPH05174783A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05174783A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6596991B1 (en) * | 1999-02-18 | 2003-07-22 | Hitachi, Ltd. | Isotopomer mass spectrometer |
| WO2003081632A1 (fr) * | 2002-03-25 | 2003-10-02 | Riken | Procede spectroscopique a diffusion ionique tridimensionnelle et dispositif spectroscopique |
| WO2012010894A1 (en) * | 2010-07-20 | 2012-01-26 | Isis Innovation Limited | Charged particle spectrum analysis apparatus |
| WO2014050836A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | Sano Yoshinori | 質量分析装置および質量分離装置 |
| JP2014197555A (ja) * | 2014-07-10 | 2014-10-16 | 株式会社島津製作所 | 多重周回飛行時間型質量分析装置 |
| CN104465296A (zh) * | 2013-09-13 | 2015-03-25 | 岛津分析技术研发（上海）有限公司 | 离子传输装置以及离子传输方法 |
| US9812309B2 (en) | 2013-12-05 | 2017-11-07 | Micromass Uk Limited | Microwave cavity resonator detector |
-
1991
- 1991-12-25 JP JP3357907A patent/JPH05174783A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6596991B1 (en) * | 1999-02-18 | 2003-07-22 | Hitachi, Ltd. | Isotopomer mass spectrometer |
| WO2003081632A1 (fr) * | 2002-03-25 | 2003-10-02 | Riken | Procede spectroscopique a diffusion ionique tridimensionnelle et dispositif spectroscopique |
| US8829427B2 (en) * | 2010-07-20 | 2014-09-09 | Isis Innovation Limited | Charged particle spectrum analysis apparatus |
| WO2012010894A1 (en) * | 2010-07-20 | 2012-01-26 | Isis Innovation Limited | Charged particle spectrum analysis apparatus |
| US20130187041A1 (en) * | 2010-07-20 | 2013-07-25 | Isis Innovation Limited | Charged particle spectrum analysis apparatus |
| EP2924711A4 (en) * | 2012-09-25 | 2016-06-29 | Yoshinori Sano | MASS ANALYSIS DEVICE AND MASS DETECTION DEVICE |
| US9330896B2 (en) | 2012-09-25 | 2016-05-03 | Yoshinori Sano | Mass analysis device and mass separation device |
| WO2014050836A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | Sano Yoshinori | 質量分析装置および質量分離装置 |
| JPWO2014050836A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2016-08-22 | 芳徳 佐野 | 質量分析装置および質量分離装置 |
| CN104465296A (zh) * | 2013-09-13 | 2015-03-25 | 岛津分析技术研发（上海）有限公司 | 离子传输装置以及离子传输方法 |
| CN104465296B (zh) * | 2013-09-13 | 2017-10-31 | 岛津分析技术研发（上海）有限公司 | 离子传输装置以及离子传输方法 |
| US9812309B2 (en) | 2013-12-05 | 2017-11-07 | Micromass Uk Limited | Microwave cavity resonator detector |
| JP2014197555A (ja) * | 2014-07-10 | 2014-10-16 | 株式会社島津製作所 | 多重周回飛行時間型質量分析装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2448990C (en) | A time-of-flight mass spectrometer for monitoring of fast processes | |
| EP0970504B1 (en) | Time of flight mass spectrometer and dual gain detector therefor | |
| US5202561A (en) | Device and method for analyzing ions of high mass | |
| JP3801866B2 (ja) | 飛行時間型質量分析計 | |
| US5591969A (en) | Inductive detector for time-of-flight mass spectrometers | |
| JP5976645B2 (ja) | 質量スペクトルデータを得る方法及び装置 | |
| US3953732A (en) | Dynamic mass spectrometer | |
| JP2567736B2 (ja) | イオン散乱分析装置 | |
| US4912327A (en) | Pulsed microfocused ion beams | |
| US5105082A (en) | Laser ionization sputtered neutral mass spectrometer | |
| JPH05174783A (ja) | 質量分析装置 | |
| JP3695111B2 (ja) | 飛行時間型質量分析装置 | |
| US5182453A (en) | Ion scattering spectrometer | |
| JP5545922B2 (ja) | 試料分析方法及び装置 | |
| US2798162A (en) | Mass spectrometer | |
| US7060973B2 (en) | Multi-anode detector with increased dynamic range for time-of-flight mass spectrometers with counting data acquisition | |
| JP3384063B2 (ja) | 質量分析方法および質量分析装置 | |
| JPS58172854A (ja) | 飛行時間型イオン質量分析装置 | |
| JP3188925B2 (ja) | レーザイオン化中性粒子質量分析装置 | |
| JPH039259A (ja) | 高繰り返しレーザ励起質量分折装置 | |
| JPS6245423Y2 (ja) | ||
| SU439303A1 (ru) | Масс-спектрометр с электростатической разверткой масс-спектра | |
| JPS6245424Y2 (ja) | ||
| JPH0610609Y2 (ja) | 飛行時間型質量分析器のイオン・パルス発生装置 | |
| JPH0458447A (ja) | レーザイオン化中性粒子質量分析装置 |