JPH05172542A - 印刷パターン検査装置 - Google Patents
印刷パターン検査装置Info
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- JPH05172542A JPH05172542A JP3340919A JP34091991A JPH05172542A JP H05172542 A JPH05172542 A JP H05172542A JP 3340919 A JP3340919 A JP 3340919A JP 34091991 A JP34091991 A JP 34091991A JP H05172542 A JPH05172542 A JP H05172542A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 製品に印刷されたパターンの欠陥を画像認識
により判定する。 【構成】 予め、完全品の濃淡画像を取込み（Ｓ３）、
また、この濃淡画像に基づく微分処理画像と２値化処理
画像とを作成しておく（Ｓ４，Ｓ５）。検査に際して
は、被検査品の濃淡画像を取込む（Ｓ８）。そして、被
検査品の濃淡画像を２値化処理し（Ｓ９）、完全品の２
値化処理画像と比較してズレ画素数Ｂを算出し（Ｓ1
1）、被検査品の濃淡画像をシフトする（Ｓ12）。そし
て、完全品の濃淡画像と被検査品のシフトした濃淡画像
との差の絶対値による第１の差画像を作成し（Ｓ13）、
次に第１の差画像から完成品の微分処理画像を引算して
第２の差画像を作成し（Ｓ14）、次に第２の差画像を２
値化処理して欠陥抽出画像を作成する（Ｓ15）。
により判定する。 【構成】 予め、完全品の濃淡画像を取込み（Ｓ３）、
また、この濃淡画像に基づく微分処理画像と２値化処理
画像とを作成しておく（Ｓ４，Ｓ５）。検査に際して
は、被検査品の濃淡画像を取込む（Ｓ８）。そして、被
検査品の濃淡画像を２値化処理し（Ｓ９）、完全品の２
値化処理画像と比較してズレ画素数Ｂを算出し（Ｓ1
1）、被検査品の濃淡画像をシフトする（Ｓ12）。そし
て、完全品の濃淡画像と被検査品のシフトした濃淡画像
との差の絶対値による第１の差画像を作成し（Ｓ13）、
次に第１の差画像から完成品の微分処理画像を引算して
第２の差画像を作成し（Ｓ14）、次に第２の差画像を２
値化処理して欠陥抽出画像を作成する（Ｓ15）。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、製品に印刷されたパタ
ーンの欠陥を判定する印刷パターン検査装置に関する。
ーンの欠陥を判定する印刷パターン検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、 3.5インチ・フレキシブ
ルディスクカートリッジの製造工程において、そのシャ
ッターやシェルに所定の文字・図形・記号等をスクリー
ン印刷しているが、印刷パターンに、図９に分類して示
すような、（イ）抜け、（ロ）欠け、（ハ）飛び、
（ニ）はみ出し、（ホ）かすれ等の欠陥を生じることが
あり、かかる欠陥を生じた製品は不良品として廃棄等す
る必要がある。
ルディスクカートリッジの製造工程において、そのシャ
ッターやシェルに所定の文字・図形・記号等をスクリー
ン印刷しているが、印刷パターンに、図９に分類して示
すような、（イ）抜け、（ロ）欠け、（ハ）飛び、
（ニ）はみ出し、（ホ）かすれ等の欠陥を生じることが
あり、かかる欠陥を生じた製品は不良品として廃棄等す
る必要がある。
【０００３】このため、従来は、目視により、印刷パタ
ーンの欠陥を判定している。
ーンの欠陥を判定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、目視に
よる印刷パターンの欠陥判定では、人による判断基準の
ばらつきや、見落としにより、必ずしも正確に欠陥判定
がなされるとは言い難い。本発明は、このような実情に
鑑み、製品に印刷されたパターンの欠陥を画像認識によ
って精度よく判定することのできる印刷パターン検査装
置を提供することを目的とする。
よる印刷パターンの欠陥判定では、人による判断基準の
ばらつきや、見落としにより、必ずしも正確に欠陥判定
がなされるとは言い難い。本発明は、このような実情に
鑑み、製品に印刷されたパターンの欠陥を画像認識によ
って精度よく判定することのできる印刷パターン検査装
置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、図
１に示すように、 ａ）完全品の濃淡画像を取込む手段と、 ｃ）完全品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手段
と、 ｄ）被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 ｅ）被検査品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手
段と、 ｆ）完全品の２値化処理画像と被検査品の２値化処理画
像とに基づいてズレ画素数を算出する手段と、 ｇ）被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−
１から前記ズレ画素数＋１の範囲でシフトする手段と、 ｈ）完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込ん
でシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算し
て差画像を作成する手段と、 ｊ）前記差画像を２値化処理して欠陥抽出画像を作成す
る手段と、 ｋ）前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する
手段と、 を設けることにより、印刷パターン検査装置を構成す
る。
１に示すように、 ａ）完全品の濃淡画像を取込む手段と、 ｃ）完全品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手段
と、 ｄ）被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 ｅ）被検査品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手
段と、 ｆ）完全品の２値化処理画像と被検査品の２値化処理画
像とに基づいてズレ画素数を算出する手段と、 ｇ）被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−
１から前記ズレ画素数＋１の範囲でシフトする手段と、 ｈ）完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込ん
でシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算し
て差画像を作成する手段と、 ｊ）前記差画像を２値化処理して欠陥抽出画像を作成す
る手段と、 ｋ）前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する
手段と、 を設けることにより、印刷パターン検査装置を構成す
る。
【０００６】又は、図２に示すように、ｂ，ｉの手段を
追加して、 ａ）完全品の濃淡画像を取込む手段と、 ｂ）完全品から取込んだ濃淡画像を特定方向に微分処理
する手段と、 ｃ）完全品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手段
と、 ｄ）被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 ｅ）被検査品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手
段と、 ｆ）完全品の２値化処理画像と被検査品の２値化処理画
像とに基づいてズレ画素数を算出する手段と、 ｇ）被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−
１から前記ズレ画素数＋１の範囲でシフトする手段と、 ｈ）完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込ん
でシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算し
て第１の差画像を作成する手段と、 ｉ）前記第１の差画像と完全品の微分処理画像との差を
画素毎に演算して第２の差画像を作成する手段と、 ｊ）前記第２の差画像を２値化処理して欠陥抽出画像を
作成する手段と、 ｋ）前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する
手段と、 を設けることにより、印刷パターン検査装置を構成す
る。
追加して、 ａ）完全品の濃淡画像を取込む手段と、 ｂ）完全品から取込んだ濃淡画像を特定方向に微分処理
する手段と、 ｃ）完全品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手段
と、 ｄ）被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 ｅ）被検査品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手
段と、 ｆ）完全品の２値化処理画像と被検査品の２値化処理画
像とに基づいてズレ画素数を算出する手段と、 ｇ）被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−
１から前記ズレ画素数＋１の範囲でシフトする手段と、 ｈ）完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込ん
でシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算し
て第１の差画像を作成する手段と、 ｉ）前記第１の差画像と完全品の微分処理画像との差を
画素毎に演算して第２の差画像を作成する手段と、 ｊ）前記第２の差画像を２値化処理して欠陥抽出画像を
作成する手段と、 ｋ）前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する
手段と、 を設けることにより、印刷パターン検査装置を構成す
る。
【０００７】
【作用】上記の構成においては、予め、完全品につい
て、濃淡画像取込み手段ａにより、完全品の濃淡画像を
取込む。エッジ処理を行う場合は、エッジ検出のため、
微分処理手段ｂにより、完全品から取込んだ濃淡画像を
特定方向に微分処理して、微分処理画像を作成してお
く。また、２値化処理手段ｃにより、完全品から取込ん
だ濃淡画像を２値化処理して、２値化処理画像を作成し
ておく。
て、濃淡画像取込み手段ａにより、完全品の濃淡画像を
取込む。エッジ処理を行う場合は、エッジ検出のため、
微分処理手段ｂにより、完全品から取込んだ濃淡画像を
特定方向に微分処理して、微分処理画像を作成してお
く。また、２値化処理手段ｃにより、完全品から取込ん
だ濃淡画像を２値化処理して、２値化処理画像を作成し
ておく。
【０００８】被検査品の印刷パターンの検査は次の手順
により行う。先ず濃淡画像取込み手段ｄにより、被検査
品の濃淡画像を取込む。次に２値化処理手段ｅにより、
被検査品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する。そし
て、ズレ画素数算出手段ｆにより、完全品の２値化処理
画像と被検査品の２値化処理画像とに基づいてズレ画素
数を算出する。そして、シフト手段ｇにより、被検査品
から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−１から前記ズ
レ画素数＋１の範囲でシフトする。
により行う。先ず濃淡画像取込み手段ｄにより、被検査
品の濃淡画像を取込む。次に２値化処理手段ｅにより、
被検査品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する。そし
て、ズレ画素数算出手段ｆにより、完全品の２値化処理
画像と被検査品の２値化処理画像とに基づいてズレ画素
数を算出する。そして、シフト手段ｇにより、被検査品
から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−１から前記ズ
レ画素数＋１の範囲でシフトする。
【０００９】次に差画像作成手段（第１の差画像作成手
段）ｈにより、完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品
から取込んでシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素
毎に演算して差画像（第１の差画像）を作成する。エッ
ジ処理を行う場合は、次に第２の差画像作成手段ｉによ
り、前記第１の差画像と完全品の微分処理画像との差を
画素毎に演算して第２の差画像を作成する。
段）ｈにより、完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品
から取込んでシフトした濃淡画像との差の絶対値を画素
毎に演算して差画像（第１の差画像）を作成する。エッ
ジ処理を行う場合は、次に第２の差画像作成手段ｉによ
り、前記第１の差画像と完全品の微分処理画像との差を
画素毎に演算して第２の差画像を作成する。
【００１０】次に欠陥抽出画像作成手段ｊにより、前記
第１の差画像又は前記第２の差画像を２値化処理して欠
陥抽出画像を作成する。次に欠陥判定手段ｋにより、前
記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する。
第１の差画像又は前記第２の差画像を２値化処理して欠
陥抽出画像を作成する。次に欠陥判定手段ｋにより、前
記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する。
【００１１】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。ここで
は、 3.5インチ・フレキシブルディスクカートリッジの
シャッター及びシェルに所定の文字・図形・記号等をス
クリーン印刷する場合を例にとって説明する。
は、 3.5インチ・フレキシブルディスクカートリッジの
シャッター及びシェルに所定の文字・図形・記号等をス
クリーン印刷する場合を例にとって説明する。
【００１２】図３を参照し、ロータリーインデックス装
置のインデックステーブル１は、その上面に 360／８＝
45度の間隔で８個の位置決め治具２が設けられていて、
45度ずつ回転するように設定されており、いずれの位置
決め治具２についても、丸付き数字で示す第１〜第８の
回転停止位置（ステーション）を有することになる。フ
レキシブルディスクカートリッジＦＤは、図示しないロ
ーダーから供給用コンベア３により搬送されて、第１の
回転停止位置にて図示しない受渡し装置によりインデッ
クステーブル１上の位置決め治具２にセットされる。
置のインデックステーブル１は、その上面に 360／８＝
45度の間隔で８個の位置決め治具２が設けられていて、
45度ずつ回転するように設定されており、いずれの位置
決め治具２についても、丸付き数字で示す第１〜第８の
回転停止位置（ステーション）を有することになる。フ
レキシブルディスクカートリッジＦＤは、図示しないロ
ーダーから供給用コンベア３により搬送されて、第１の
回転停止位置にて図示しない受渡し装置によりインデッ
クステーブル１上の位置決め治具２にセットされる。
【００１３】インデックステーブル１の回転により、フ
レキシブルディスクカートリッジＦＤが第２の回転停止
位置に至ると、図示しない第１の印刷ヘッドにより、シ
ャッターに対し所定パターンのスクリーン印刷がなされ
る（Ｐ１）。次の第３の回転停止位置に至ると、図示し
ない第１の紫外線硬化装置により印刷パターンＰ１の紫
外線硬化（乾燥）がなされる。
レキシブルディスクカートリッジＦＤが第２の回転停止
位置に至ると、図示しない第１の印刷ヘッドにより、シ
ャッターに対し所定パターンのスクリーン印刷がなされ
る（Ｐ１）。次の第３の回転停止位置に至ると、図示し
ない第１の紫外線硬化装置により印刷パターンＰ１の紫
外線硬化（乾燥）がなされる。
【００１４】次の第４の回転停止位置に至ると、図示し
ない第２の印刷ヘッドにより、シェルに対し所定パター
ンのスクリーン印刷がなされる（Ｐ２）。次の第５の回
転停止位置に至ると、図示しない第２の紫外線硬化装置
により印刷パターンＰ２の紫外線硬化（乾燥）がなされ
る。次の第６の回転停止位置に至ると、図示しない第１
のＣＣＤカメラにより、シャッターの印刷パターンＰ１
が撮像されて、その濃淡画像が取込まれる。これに基づ
いて後述するように印刷パターンの欠陥判定がなされ
る。
ない第２の印刷ヘッドにより、シェルに対し所定パター
ンのスクリーン印刷がなされる（Ｐ２）。次の第５の回
転停止位置に至ると、図示しない第２の紫外線硬化装置
により印刷パターンＰ２の紫外線硬化（乾燥）がなされ
る。次の第６の回転停止位置に至ると、図示しない第１
のＣＣＤカメラにより、シャッターの印刷パターンＰ１
が撮像されて、その濃淡画像が取込まれる。これに基づ
いて後述するように印刷パターンの欠陥判定がなされ
る。
【００１５】次の第７の回転停止位置に至ると、図示し
ない第２のＣＣＤカメラにより、シェルの印刷パターン
Ｐ２が撮像されて、その濃淡画像が取込まれる。これに
基づいて後述するように印刷パターンの欠陥判定がなさ
れる。最後の第８の回転停止位置に至ると、フレキシブ
ルディスクカートリッジＦＤは、図示しない受渡し装置
によりインデックステーブル１上の位置決め治具２から
取出され、排出用コンベア４により次工程へ搬送され
る。この搬送過程で印刷パターンの欠陥判定により不良
品と判定されたフレキシブルディスクカートリッジＦＤ
は次工程へ搬送されることなく廃棄処理される。
ない第２のＣＣＤカメラにより、シェルの印刷パターン
Ｐ２が撮像されて、その濃淡画像が取込まれる。これに
基づいて後述するように印刷パターンの欠陥判定がなさ
れる。最後の第８の回転停止位置に至ると、フレキシブ
ルディスクカートリッジＦＤは、図示しない受渡し装置
によりインデックステーブル１上の位置決め治具２から
取出され、排出用コンベア４により次工程へ搬送され
る。この搬送過程で印刷パターンの欠陥判定により不良
品と判定されたフレキシブルディスクカートリッジＦＤ
は次工程へ搬送されることなく廃棄処理される。
【００１６】尚、各ＣＣＤカメラに対し、インデックス
テーブル１上におけるフレキシブルディスクカートリッ
ジＦＤの径方向（Ｙ方向）の位置決め精度は極めて良好
であるが、インデックステーブル１の回転停止位置のズ
レにより回転方向（Ｘ方向）には± 150μｍのズレを生
じる。次に、印刷パターン検査装置のハードウェア構成
について、図４により説明する。
テーブル１上におけるフレキシブルディスクカートリッ
ジＦＤの径方向（Ｙ方向）の位置決め精度は極めて良好
であるが、インデックステーブル１の回転停止位置のズ
レにより回転方向（Ｘ方向）には± 150μｍのズレを生
じる。次に、印刷パターン検査装置のハードウェア構成
について、図４により説明する。
【００１７】インデックステーブル１の所定の回転停止
位置（前記第６及び第７の回転停止位置）の上方にそれ
ぞれ、ＣＣＤカメラ10がセットされる。このＣＣＤカメ
ラ10は、例えば 500× 500画素で、各画素について８ビ
ット（０〜 255）の明るさの階調を有する濃淡画像（グ
レイスケールイメージ）を取込むことができる。尚、こ
のＣＣＤカメラ10はＸ−Ｙステージ上を移動可能な支持
装置11に上下方向に移動可能に支持されていて、位置調
整可能である。また、照明装置12が設けられている。
位置（前記第６及び第７の回転停止位置）の上方にそれ
ぞれ、ＣＣＤカメラ10がセットされる。このＣＣＤカメ
ラ10は、例えば 500× 500画素で、各画素について８ビ
ット（０〜 255）の明るさの階調を有する濃淡画像（グ
レイスケールイメージ）を取込むことができる。尚、こ
のＣＣＤカメラ10はＸ−Ｙステージ上を移動可能な支持
装置11に上下方向に移動可能に支持されていて、位置調
整可能である。また、照明装置12が設けられている。
【００１８】ＣＣＤカメラ10の出力は、画像処理ユニッ
ト13に送られるようになっており、この画像処理ユニッ
ト13はビデオモニター14を備えている。また、画像処理
ユニット13には各種の指示等のためパーソナルコンピュ
ータ15が接続されている。次に、印刷パターン検査装置
のソフトウェア構成（欠陥判定の処理手順）について、
図５のフローチャートにより説明する。
ト13に送られるようになっており、この画像処理ユニッ
ト13はビデオモニター14を備えている。また、画像処理
ユニット13には各種の指示等のためパーソナルコンピュ
ータ15が接続されている。次に、印刷パターン検査装置
のソフトウェア構成（欠陥判定の処理手順）について、
図５のフローチャートにより説明する。
【００１９】また、図６〜図８には処理の過程で得られ
る（１）〜（９）の画像を示しており、これも合わせて
参照することとする。尚、図６〜図８では、理解を容易
とするため、ＣＣＤの画素数を10×10、完成品のパター
ンを図６の左側上部に示すように画素数で４×６の矩形
とし、被検査品のパターンを図７の左側上部に示すよう
にＸ方向（左方向）に 1.5画素ずれていて且つ抜けの欠
陥があるものとして、（１）〜（９）の左側に画像（図
６の右側上部に示す４階調で表す）、右側にＡ−Ａ’ラ
イン上での明るさの階調を示している。
る（１）〜（９）の画像を示しており、これも合わせて
参照することとする。尚、図６〜図８では、理解を容易
とするため、ＣＣＤの画素数を10×10、完成品のパター
ンを図６の左側上部に示すように画素数で４×６の矩形
とし、被検査品のパターンを図７の左側上部に示すよう
にＸ方向（左方向）に 1.5画素ずれていて且つ抜けの欠
陥があるものとして、（１）〜（９）の左側に画像（図
６の右側上部に示す４階調で表す）、右側にＡ−Ａ’ラ
イン上での明るさの階調を示している。
【００２０】ステップ１（図にはＳ１と記してある。以
下同様）では、オンラインモードか否かを判定する。オ
ンラインモードとオフラインモードとの選択が可能で、
検査に先立って、完全品の濃淡画像の取込み等を行う場
合は、オフラインモードを選択し、インデックステーブ
ル上に完全品をセットしておく。
下同様）では、オンラインモードか否かを判定する。オ
ンラインモードとオフラインモードとの選択が可能で、
検査に先立って、完全品の濃淡画像の取込み等を行う場
合は、オフラインモードを選択し、インデックステーブ
ル上に完全品をセットしておく。
【００２１】オフラインモードの場合は、ステップ２へ
進んで、インデックステーブルの回転が停止したときに
発せられるトリガ信号を待ち、トリガ信号が得られた時
点（すなわちＣＣＤカメラ位置に完全品が来て停止した
時点）で、ステップ３へ進む。ステップ３では、ＣＣＤ
カメラの出力を読込むことにより、完全品の濃淡画像
（１）を取込む。
進んで、インデックステーブルの回転が停止したときに
発せられるトリガ信号を待ち、トリガ信号が得られた時
点（すなわちＣＣＤカメラ位置に完全品が来て停止した
時点）で、ステップ３へ進む。ステップ３では、ＣＣＤ
カメラの出力を読込むことにより、完全品の濃淡画像
（１）を取込む。
【００２２】ステップ４では、エッジ検出のため、ＣＣ
Ｄカメラより取込んだ濃淡画像（１）をＸ方向に微分処
理して、微分処理画像（２）を作成する。すなわち、Ｘ
方向に隣り合う画素間の階調差の絶対値を求めて、これ
を微分処理画像（２）とする。この場合、階調差の大き
なエッジ部分が白くなる。ステップ５では、ＣＣＤカメ
ラより取込んだ濃淡画像（１）を適当なスライスレベル
により２値化処理して、白黒の２値化処理画像（３）を
作成する。
Ｄカメラより取込んだ濃淡画像（１）をＸ方向に微分処
理して、微分処理画像（２）を作成する。すなわち、Ｘ
方向に隣り合う画素間の階調差の絶対値を求めて、これ
を微分処理画像（２）とする。この場合、階調差の大き
なエッジ部分が白くなる。ステップ５では、ＣＣＤカメ
ラより取込んだ濃淡画像（１）を適当なスライスレベル
により２値化処理して、白黒の２値化処理画像（３）を
作成する。
【００２３】ステップ６では、２値化処理画像（３）か
らＸ方向の基準距離Ｍin０を計測する。すなわち、左端
から最初に黒の画像が現れる画素までの距離（画素数）
を計測して、これを基準距離Ｍin０とする。図６の例で
はＭin０＝３である。以上により検査の準備が完了する
ので、この後は、オンラインモードに切換えて、検査を
行う。
らＸ方向の基準距離Ｍin０を計測する。すなわち、左端
から最初に黒の画像が現れる画素までの距離（画素数）
を計測して、これを基準距離Ｍin０とする。図６の例で
はＭin０＝３である。以上により検査の準備が完了する
ので、この後は、オンラインモードに切換えて、検査を
行う。
【００２４】オンラインモードの場合は、ステップ７へ
進んで、インデックステーブルの回転が停止したときに
発せられるトリガ信号を待ち、トリガ信号が得られた時
点（すなわちＣＣＤカメラ位置に被検査品が来て停止し
た時点）で、ステップ８へ進む。ステップ８では、ＣＣ
Ｄカメラの出力を読込むことにより、被検査品の濃淡画
像（４）を取込む。
進んで、インデックステーブルの回転が停止したときに
発せられるトリガ信号を待ち、トリガ信号が得られた時
点（すなわちＣＣＤカメラ位置に被検査品が来て停止し
た時点）で、ステップ８へ進む。ステップ８では、ＣＣ
Ｄカメラの出力を読込むことにより、被検査品の濃淡画
像（４）を取込む。
【００２５】ステップ９では、ＣＣＤカメラより取込ん
だ濃淡画像（４）を適当なスライスレベルにより２値化
処理して、白黒の２値化処理画像（５）を作成する。ス
テップ10では、２値化処理画像（５）からＸ方向の基準
距離Ｍin１を計測する。すなわち、左端から最初に黒の
画像が現れる画素までの距離（画素数）を計測して、こ
れを基準距離Ｍin１とする。図７の例ではＭin１＝１で
ある。
だ濃淡画像（４）を適当なスライスレベルにより２値化
処理して、白黒の２値化処理画像（５）を作成する。ス
テップ10では、２値化処理画像（５）からＸ方向の基準
距離Ｍin１を計測する。すなわち、左端から最初に黒の
画像が現れる画素までの距離（画素数）を計測して、こ
れを基準距離Ｍin１とする。図７の例ではＭin１＝１で
ある。
【００２６】ステップ11では、基準距離Ｍin１から基準
距離Ｍin０を減算して、Ｘ方向のズレ画素数Ｂ＝Ｍin１
−Ｍin０（例えば１−３＝−２）を算出する。ステップ
12では、被検査品から取込んだ濃淡画像（４）を前記ズ
レ画素数Ｂ分左へシフトして、シフト画像（６）を作成
する。この例ではＢ＝−２であるので、２画素分右へシ
フトした。
距離Ｍin０を減算して、Ｘ方向のズレ画素数Ｂ＝Ｍin１
−Ｍin０（例えば１−３＝−２）を算出する。ステップ
12では、被検査品から取込んだ濃淡画像（４）を前記ズ
レ画素数Ｂ分左へシフトして、シフト画像（６）を作成
する。この例ではＢ＝−２であるので、２画素分右へシ
フトした。
【００２７】ステップ13では、完全品から取込んだ濃淡
画像（１）と被検査品から取込んでシフトした濃淡画像
（６）との差の絶対値を画素毎に演算して、第１の差画
像（７）＝｜（１）−（６）｜を作成する。差異を抽出
するためであり、差異のある部分が白くなる。ステップ
14では、前記第１の差画像（７）から完全品の微分処理
画像（２）を画素毎に引算して、第２の差画像（８）＝
（７）−（２）を作成する。エッジ処理のためである。
画像（１）と被検査品から取込んでシフトした濃淡画像
（６）との差の絶対値を画素毎に演算して、第１の差画
像（７）＝｜（１）−（６）｜を作成する。差異を抽出
するためであり、差異のある部分が白くなる。ステップ
14では、前記第１の差画像（７）から完全品の微分処理
画像（２）を画素毎に引算して、第２の差画像（８）＝
（７）−（２）を作成する。エッジ処理のためである。
【００２８】ステップ15では、前記第２の差画像（８）
を適当なスライスレベルにより２値化処理して、白黒の
欠陥抽出画像（９）を作成する。この場合、欠陥部分が
白くなる。ステップ16以降では、前記欠陥抽出画像
（９）に基づいて欠陥の程度を判定する。すなわち、ス
テップ16で前記欠陥抽出画像（９）から欠陥面積（画素
数）を求め、ステップ17で所定値と比較して、所定値以
上の場合にステップ18へ進んで欠陥有り（ＮＧ）と判定
する。
を適当なスライスレベルにより２値化処理して、白黒の
欠陥抽出画像（９）を作成する。この場合、欠陥部分が
白くなる。ステップ16以降では、前記欠陥抽出画像
（９）に基づいて欠陥の程度を判定する。すなわち、ス
テップ16で前記欠陥抽出画像（９）から欠陥面積（画素
数）を求め、ステップ17で所定値と比較して、所定値以
上の場合にステップ18へ進んで欠陥有り（ＮＧ）と判定
する。
【００２９】ここで、ステップ３が完全品の濃淡画像取
込み手段に相当し、ステップ４が微分処理手段に相当
し、ステップ４が２値化処理手段に相当する。また、ス
テップ８が被検査品の濃淡画像取込み手段に相当し、ス
テップ９が２値化手段に相当し、ステップ６，10，11が
ズレ画素数算出手段に相当し、ステップ12がシフト手段
に相当する。さらに、ステップ13が第１の差画像作成手
段に相当し、ステップ14が第２の差画像作成手段に相当
し、ステップ15が欠陥抽出画像作成手段に相当し、ステ
ップ16〜18が欠陥判定手段に相当する。
込み手段に相当し、ステップ４が微分処理手段に相当
し、ステップ４が２値化処理手段に相当する。また、ス
テップ８が被検査品の濃淡画像取込み手段に相当し、ス
テップ９が２値化手段に相当し、ステップ６，10，11が
ズレ画素数算出手段に相当し、ステップ12がシフト手段
に相当する。さらに、ステップ13が第１の差画像作成手
段に相当し、ステップ14が第２の差画像作成手段に相当
し、ステップ15が欠陥抽出画像作成手段に相当し、ステ
ップ16〜18が欠陥判定手段に相当する。
【００３０】尚、前記第１の差画像（７）から第２の差
画像（８）を得ることなく、前記第１の差画像（７）を
直接適当なスライスレベルＳＬ１（図８参照）により２
値化処理して、白黒の欠陥抽出画像（９）を得ることも
可能である。しかし、スライスレベルの設定によっては
（例えばＳＬ２）、欠陥抽出画像にエッジ部分が残るの
で、前記第１の差画像（７）から前記微分処理画像
（２）を引算することにより、エッジ部分を除去してか
ら、適当なスライスレベルにより２値化処理して、欠陥
抽出画像（９）を得ることがより好ましい。
画像（８）を得ることなく、前記第１の差画像（７）を
直接適当なスライスレベルＳＬ１（図８参照）により２
値化処理して、白黒の欠陥抽出画像（９）を得ることも
可能である。しかし、スライスレベルの設定によっては
（例えばＳＬ２）、欠陥抽出画像にエッジ部分が残るの
で、前記第１の差画像（７）から前記微分処理画像
（２）を引算することにより、エッジ部分を除去してか
ら、適当なスライスレベルにより２値化処理して、欠陥
抽出画像（９）を得ることがより好ましい。
【００３１】また、ステップ12においてシフト画像を得
る際、前記ズレ画素数をＢとすると、被検査品から取込
んだ濃淡画像（４）を、Ｂ−１、Ｂ、Ｂ＋１分シフトし
た３種類のシフト画像を得、各シフト画像についてステ
ップ13〜ステップ15の処理を行って、欠陥抽出画像を
得、欠陥面積が最小のものを基準にして、欠陥判定を行
うと、より精度のよい欠陥判定が可能となる。
る際、前記ズレ画素数をＢとすると、被検査品から取込
んだ濃淡画像（４）を、Ｂ−１、Ｂ、Ｂ＋１分シフトし
た３種類のシフト画像を得、各シフト画像についてステ
ップ13〜ステップ15の処理を行って、欠陥抽出画像を
得、欠陥面積が最小のものを基準にして、欠陥判定を行
うと、より精度のよい欠陥判定が可能となる。
【００３２】また、本実施例では、Ｘ方向への１次元合
わせのみ行ったが、２次元合わせが必要な場合は、Ｙ方
向にも同様の処理を行うことにより、２次元合わせも可
能である。
わせのみ行ったが、２次元合わせが必要な場合は、Ｙ方
向にも同様の処理を行うことにより、２次元合わせも可
能である。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、製
品に印刷されたパターンの欠陥を画像認識によって精度
よく判定することができるという効果が得られる。
品に印刷されたパターンの欠陥を画像認識によって精度
よく判定することができるという効果が得られる。
【図１】 本発明の第１の構成を示す機能ブロック図
【図２】 本発明の第２の構成を示す機能ブロック図
【図３】 本発明の一実施例を示す印刷装置の構成図
【図４】 検査装置のハードウェア構成図
【図５】 欠陥判定の処理手順を示すフローチャート
【図６】 完全品から取込んだ濃淡画像等を示す図
【図７】 被検査品から取込んだ濃淡画像等を示す図
【図８】 差画像等の作成の様子を示す図
【図９】 印刷パターンの欠陥の例を示す図
１ インデックステーブル 10 ＣＣＤカメラ 13 画像処理ユニット ＦＤ フレキシブルディスクカートリッジ Ｐ１，Ｐ２ 印刷パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｑ 6921−4Ｅ
Claims (2)
- 【請求項１】製品に印刷されたパターンの欠陥を判定す
る印刷パターン検査装置であって、 完全品の濃淡画像を取込む手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手段と、 被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 被検査品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手段
と、 完全品の２値化処理画像と被検査品の２値化処理画像と
に基づいてズレ画素数を算出する手段と、 被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−１か
ら前記ズレ画素数＋１の範囲でシフトする手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込んでシ
フトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算して差
画像を作成する手段と、 前記差画像を２値化処理して欠陥抽出画像を作成する手
段と、 前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する手段
と、 を含んで構成される印刷パターン検査装置。 - 【請求項２】製品に印刷されたパターンの欠陥を判定す
る印刷パターン検査装置であって、 完全品の濃淡画像を取込む手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像を特定方向に微分処理する
手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手段と、 被検査品の濃淡画像を取込む手段と、 被検査品から取込んだ濃淡画像を２値化処理する手段
と、 完全品の２値化処理画像と被検査品の２値化処理画像と
に基づいてズレ画素数を算出する手段と、 被検査品から取込んだ濃淡画像を前記ズレ画素数−１か
ら前記ズレ画素数＋１の範囲でシフトする手段と、 完全品から取込んだ濃淡画像と被検査品から取込んでシ
フトした濃淡画像との差の絶対値を画素毎に演算して第
１の差画像を作成する手段と、 前記第１の差画像と完全品の微分処理画像との差を画素
毎に演算して第２の差画像を作成する手段と、 前記第２の差画像を２値化処理して欠陥抽出画像を作成
する手段と、 前記欠陥抽出画像に基づいて欠陥の程度を判定する手段
と、を含んで構成される印刷パターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3340919A JP2561193B2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 印刷パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3340919A JP2561193B2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 印刷パターン検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172542A true JPH05172542A (ja) | 1993-07-09 |
| JP2561193B2 JP2561193B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=18341511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3340919A Expired - Lifetime JP2561193B2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 印刷パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2561193B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258551A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Ishizuka Glass Co Ltd | 液内異物検査装置 |
| WO2008013188A1 (fr) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Procédé d'inspection, système de traitement d'inspection, dispositif de traitement, dispositif d'inspection, dispositif de fabrication/inspection, et procédé de fabrication/inspection |
| JP2011121331A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Sharp Corp | 印刷装置、および検査方法 |
| JP2015065370A (ja) * | 2013-09-26 | 2015-04-09 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
| JP2023082341A (ja) * | 2021-12-02 | 2023-06-14 | 株式会社岩崎電機製作所 | 画像検査装置、画像検査方法、および、画像検査プログラム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61151709A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-10 | Hitachi Ltd | 図形パタ−ンの位置合せ方法及びその装置 |
| JPS62113436A (ja) * | 1985-11-13 | 1987-05-25 | Toshiba Corp | 半導体ペレツトの外観検査方法 |
| JPH0210138A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 印刷パターンの検査装置 |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP3340919A patent/JP2561193B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8358339B2 (en) | 2006-07-27 | 2013-01-22 | Dai Nippon Printing Co., Ltd | Testing method, testing and processing system, processing device, testing device, manufacturing/testing device, and manufacturing/testing method |
| KR101446636B1 (ko) * | 2006-07-27 | 2014-10-01 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 검사 방법, 검사 처리 시스템, 처리 장치, 검사 장치, 제조/검사 장치 및 제조/검사 방법 |
| KR101485471B1 (ko) * | 2006-07-27 | 2015-01-22 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 검사 방법, 검사 처리 시스템, 처리 장치, 검사 장치, 제조/검사 장치 및 제조/검사 방법 |
| JP2011121331A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Sharp Corp | 印刷装置、および検査方法 |
| JP2015065370A (ja) * | 2013-09-26 | 2015-04-09 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
| JP2023082341A (ja) * | 2021-12-02 | 2023-06-14 | 株式会社岩崎電機製作所 | 画像検査装置、画像検査方法、および、画像検査プログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2561193B2 (ja) | 1996-12-04 |
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