JPH05166691A - 半導体素子の生産システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガス漏れ情報に基づいて製造装置が管理でき
ることを目的とする。 【構成】 ガスボンベ２０６を付属する半導体素子の製
造装置２０４と、ガスボンベ２０６及び製造装置２０４
に配設されたガスセンサ２１１，２１３と、ガスボンベ
２０６に設けられたガスバルブ遮断装置２１４と、ガス
センサ２１１，２１３及びガスバルブ遮断装置２１４に
接続されガス漏れを検知すると共に、ガスバルブ遮断装
置２１４を駆動するガス漏れ管理コンピュータ２０９
と、ガス漏れ管理コンピュータ２０９及び製造装置２０
４に接続されガス漏れ管理コンピュータ２０９からのガ
ス漏れ情報に基づいて製造装置２０４を管理する製造装
置管理コンピュータ２０１とを具備した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は安全性の向上に寄与する
半導体素子の生産システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の半導体素子の生産システ
ムについて図２を参照して述べる。

【０００３】即ち、この生産システムは、密閉されダス
トの発生や不純物の混入を抑制するため循環式の空調を
採用したクリーンルーム内に付属設備として真空ポンプ
１０５及びガスボンベ１０６などを備え有毒ガスや可燃
性ガスが使用される半導体素子の製造装置１０４と、こ
の製造装置１０４にＳＥＣＳ規格の通信により接続され
た装置コントローラ１０３とが配設され、この装置コン
トローラ１０３はＬＡＮ１０２を介して製造装置管理ホ
ストコンピュータ１０１に接続されている。そして、製
造装置１０４、真空ポンプ１０５及びガスボンベ１０６
には有毒ガスや可燃性ガスのガス漏れを検出するガスセ
ンサ１０８，１０９，１１０がガス種毎に装備され、こ
れらのガスセンサ１０８，１０９，１１０はガスボンベ
１０６に設けられたバルブ遮断装置１１１と共に、ガス
漏れ指示警報装置１０７に接続されている。

【０００４】かかる構成の生産システムでは、装置コン
トローラ１０３が処理されるウェーハの製品名、ロット
Ｎｏ及びウェーハＮｏ等を読み取り、そのデータをホス
トコンピュータ１０１に転送し、送られてきたデータを
キーにしてホストコンピュータ１０１により処理される
ウェーハに該当する処理レシピが検索される。その後、
検索された処理レシピは装置コントローラ１０３にダウ
ンロードされ、ダウンロードされた処理レシピを基に製
造装置１０４でウェーハの加工が行なわれる。

【０００５】ところで、ウェーハ加工中において、ガス
ボンベ１０６でガス漏れが発生すると、ガスセンサ１１
０によりガス漏れが検出され、指示警報装置１０７によ
りガス漏れの発生が表示される。そして、指示警報装置
１０７のロジックによりバルブ遮断装置１１１を駆動し
ガスの漏出を防ぐためガスボンベ１０６のガスバルブ
（図示略す）が閉じられる。また、この場合、指示警報
装置１０７に手動遮断スイッチ（図示略す）が設けら
れ、作業者の判断によりガスバルブの遮断も行なわれて
いた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の生産システムにおいては、ガス漏れ時におい
て、ガスバルブ遮断処理を行った場合、その処理が製造
装置管理ホストコンピュータ１０１に伝わらないため、
同ホストコンピュータ１０１は製造装置１０４の異常と
誤認してしまうという問題点があった。

【０００７】また、製造装置１０４にガス漏れの情報が
伝わらないため、製造装置１０４は供給ガスが停止して
も処理を続行したり、供給ガス不足による非常処理に移
り、処理中のウェーハに対する適切な処理が行われない
という問題点があった。

【０００８】さらに、ガス漏れ指示警報装置１０７はリ
レー等によりロジック（ガス検出とバルブ遮断の関係）
が構成されているため、製造装置１０４や付属装置の構
成変更によるロジック変更に多大な手間を要するという
問題点があった。

【０００９】さらにまた、製造装置１０４でガス漏れが
発生した場合、ガス漏れが発生したガスボンベ１０６が
不明なため、該当する区域やクリーンルーム全体のガス
ボンベ１０６に対してバルブ遮断処理を行なうと共に、
軽微なガス漏れ時には関係無い区域のガスボンベ１０６
までバルブを遮断してしまうという問題点があった。本
発明の目的は、上述した問題点に鑑み、ガス漏れ情報に
基づいて製造装置が管理できる半導体素子の生産システ
ムを提供するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は上述した目的を
達成するため、ガスボンベを付属する半導体素子の製造
装置と、前記ガスボンベ及び前記製造装置に配設された
ガスセンサと、前記ガスボンベに設けられたガスバルブ
遮断装置と、前記ガスセンサ及び前記ガスバルブ遮断装
置に接続されガス漏れを検知すると共に、前記ガスバル
ブ遮断装置を駆動するガス漏れ管理コンピュータと、前
記ガス漏れ管理コンピュータ及び前記製造装置に接続さ
れ前記ガス漏れ管理コンピュータからのガス漏れ情報に
基づいて前記製造装置を管理する製造装置管理コンピュ
ータとを具備したものである。

【００１１】

【作用】本発明においては、ガスセンサ及びガスバルブ
遮断装置が接続されたガス漏れ管理コンピュータが製造
装置管理コンピュータに接続されたので、各ガスセンサ
のデータの全てをガス漏れ管理コンピュータに取り込
み、データとして保存されている各ガス系のロジック
（ガスボンベと製造装置の対応，ガス種等）を基にして
ガス漏れ発生元のガスボンベのガスバルブの遮断が迅速
且つ自動で行なえる。

【００１２】また、ガス漏れ管理コンピュータによりガ
ス漏れが発生した製造装置及び供給ガス停止により影響
を受ける製造装置の情報を製造装置管理コンピュータに
送信することにより製造装置管理コンピュータからの指
示による製造装置の安全且つ製造への影響を及ぼさない
停止が可能となる。

【００１３】さらに、製造装置とガスボンベとの対応等
のデータをガス漏れ管理コンピュータ上で管理できるの
で、製造装置や付属装置の構成変更によるロジック変更
が容易になる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の半導体素子の生産システムに
係わる一実施例を図１に基づいて説明する。

【００１５】即ち、この生産システムでは、密閉された
クリーンルーム内に付属設備として真空ポンプ２０５及
びガスボンベ２０６を有する半導体素子の製造装置２０
４と、この製造装置２０４にＳＥＣＳ規格の通信により
接続された装置コントローラ２０３とが設置されてい
る。そして、製造装置２０４、真空ポンプ２０５及びガ
スボンベ２０６にはガス漏れ検出用のガスセンサ２１
１，２１２が装着され、ガスボンベ２０６にはガスセン
サ２１３及びバルブ遮断装置２１４が装着されている。

【００１６】各ガスセンサ２１１，２１２，２１３及び
バルブ遮断装置２１４は部屋等の一定領域毎に設置され
た多重伝送装置２０７に接続されている。この多重伝送
装置２０７はガス監視用ＬＡＮ２０８を介してガス漏れ
管理ホストコンピュータ２０９に接続され、装置コント
ローラ２０３は製造管理用ＬＡＮ２０２を介して製造装
置管理ホストコンピュータ２０１に接続されている。さ
らに、製造装置管理ホストコンピュータ２０１とガス漏
れ管理ホストコンピュータ２０９とは通信回線２１０に
より接続されている。

【００１７】次に、かかる生産システムの動作について
述べる。

【００１８】先ず、装置コントローラ２０３が処理ウェ
ーハの製品名、ロットＮｏ及びウェーハＮｏなどを読み
取り、そのデータを製造管理用ＬＡＮ２０２を介して製
造装置管理ホストコンピュータ２０１に転送する。製造
装置管理ホストコンピュータ２０１は送られてきたデー
タをキーにしてそのウェーハに該当する処理レシピを検
索した後、検索した処理レシピを装置コントローラ２０
３にダウンロードする。そして、製造装置２０４はダウ
ンロードされた処理レシピを基にウェーハの加工を行な
う。このとき、製造装置管理ホストコンピュータ２０１
は製造装置２０４及び付属設備２０５，２０６を常時監
視し、異常発生時はオペレ−タへの報告及び製造装置２
０４の停止指示等の制御機能も有する。

【００１９】ここで、ガスボンベ２０６からガス漏れが
発生した場合、ガスセンサ２１１，２１２，２１３の信
号（ガス濃度）は多重伝送装置２０７によりデジタル信
号に変換された後、多重化されガス監視用ＬＡＮ２０８
を介してガス漏れ管理ホストコンピュータ２０９に送信
される。ガス漏れ管理ホストコンピュータ２０９は送ら
れてきたデータをガス濃度に換算し、このガス濃度が予
め設定されたアラームレベル以上のとき、ガス漏れと判
断する。ガス漏れが判断されると、ガス漏れ管理ホスト
コンピュータ２０９はガス漏れが発生したガスボンベ２
０６のバルブ遮断装置２１４に多重伝送装置２０７を介
して遮断信号を送信し、ガスボンベ２０６のバルブ（図
示略す）を閉め、ガスの漏出を止める。

【００２０】さらに、ガス漏れ管理ホストコンピュータ
２０９は製造装置２０４及びガスボンベ２０６に設けら
れた以下に示すガスセンサの対応表を参照して、

【表１】 遮断したガスボンベ２０６からガスの供給を受けている
製造装置２０４を選び出し、その装置名（装置ＩＤ）及
び供給停止ガス名（ガスＩＤ）を通信回線２１０を使用
して製造装置管理ホストコンピュータ２０１に送信す
る。その後、製造装置管理ホストコンピュータ２０１は
ガス遮断の影響を受ける製造装置２０４について現在の
状況をチェックする。即ち、枚葉処理装置（図示略す）
で現在処理中であれば次に処理予定のウェーハの処理開
始を止めて製造装置２０４を停止させ、処理待ちの製造
装置２０４の場合は次処理割付を外し、処理中であるが
現在の処理レシピが供給停止ガスを使用していない場合
はそのまま処理続行する等の安全と製品への被害を最小
にする最適な方法を製造装置２０４に指示する。

【００２１】また、製造装置２０４でガス漏れが発生し
た場合も同様にガス漏れ管理ホストコンピュータ２０９
が上表を参照して、自動的に供給元ガスボンベ２０６の
バルブ遮断装置２１４を駆動し漏洩ガスの供給を止め
る。同時に、ガス漏れ管理ホストコンピュータ２０９は
ガス漏れが発生した装置名（装置ＩＤ）、漏洩ガス名
（ガスＩＤ）、供給停止ガス名（ガスＩＤ）及びガス停
止により影響を受ける装置名（装置ＩＤ）を製造装置管
理ホストコンピュータ２０１に送信する。製造装置管理
ホストコンピュータ２０１はガス洩れが発生した製造装
置２０４を緊急停止させ、他の供給ガス停止の影響を受
ける製造装置２０４に対してはガスボンベ２０６からの
ガス漏れの場合と同様に処理する。なお、ガス漏れ管理
ホストコンピュータ２０９は異常表示灯点灯や緊急避難
放送等の機能も有する。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ガ
ス漏れ発生元のガスボンベのみを迅速且つ自動でバルブ
遮断できると共に、ガス漏れが発生した製造装置及び供
給ガス停止により影響を受ける製造装置が安全且つ製造
への影響を及ぼさないように停止でき、ガス漏れ時の人
的及び物的被害が低減できる。

【００２３】また、製造装置や付属装置の構成変更によ
るロジックの変更が容易にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産システムのブロック図である。

【図２】従来の生産システムのブロック図である。

【符号の説明】

２０１ 製造装置管理ホストコンピュータ ２０２ 製造管理用ＬＡＮ ２０３ 装置コントローラ ２０４ 製造装置 ２０５ 真空ポンプ ２０６ ガスボンベ ２０７ 多重伝送装置 ２０８ ガス監視用ＬＡＮ ２０９ ガス漏れ管理ホストコンピュータ ２１０ 通信回線 ２１１，２１２，２１３ ガスセンサ ２１４ バルブ遮断装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松澤 浩 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式会 社東芝多摩川工場内 (72)発明者 千葉 恵里子 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地１ 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガスボンベを付属する半導体素子の製造
   装置と、前記ガスボンベ及び前記製造装置に配設された
   ガスセンサと、前記ガスボンベに設けられたガスバルブ
   遮断装置と、前記ガスセンサ及び前記ガスバルブ遮断装
   置に接続されガス漏れを検知すると共に、前記ガスバル
   ブ遮断装置を駆動するガス漏れ管理コンピュータと、前
   記ガス漏れ管理コンピュータ及び前記製造装置に接続さ
   れ前記ガス漏れ管理コンピュータからのガス漏れ情報に
   基づいて前記製造装置を管理する製造装置管理コンピュ
   ータとを具備したことを特徴とする半導体素子の生産シ
   ステム。