CN215335804U - 一种光电芯片企业特气供应系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及特种气体供应技术领域，尤其涉及一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个特气瓶安装在特气房内，多个机台安装在厂房内，监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，用来解决在特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故发生的问题。

Description

一种光电芯片企业特气供应系统

技术领域

本实用新型涉及特种气体供应技术领域，尤其涉及一种光电芯片企业特气供应系统。

背景技术

半导体、平板显示器以及其他电子产品生产时用的气体称为电子特种特气，简称为特气。在光电芯片制造过程中，特气也广泛的参与每一个步骤。但是由于许多特种气体大都具有剧毒，易燃易爆等特性。所以整个芯片企业对特气系统要求安全稳定。所以对于芯片企业建立一条完善的特气系统对于整个公司的安全生产尤为重要。

现在的特气供应中，一般有对特气的源头和使用端进行监测，保证特气的安全使用，但特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，一般是特气泄漏到一定程度后，才发现特气的泄漏，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且特气一般是从源头供应到使用端前再进行分流，分流后的特气直接供应到使用端使用，但在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故的发生。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种光电芯片企业特气供应系统，用来解决在特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故发生的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个所述特气瓶均匀分布的安装在特气房内，多个所述机台均匀分布的安装在厂房内，所述监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，所述监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，所述第一监控电脑和第二监控电脑均和厂务控制端电连接，所述第一监控电脑同时监控连接多个特气瓶，所述第二监控电脑同时监控连接多个机台，所述特气瓶与机台之间设置有特气分流柜，所述特气分流柜与第二监控电脑监控连接。

进一步，所述第一监控电脑安装在特气房内，所述特气房内设置有第一隔间，所述第一监控电脑安装在第一隔间内，每个所述特气瓶上均设置有特气柜，所述特气柜上设置有排风口，所述特气柜于排风口的位置设置有第一毒气检测报警装置，所述第一毒气检测报警装置和第一监控电脑导线连接，多个所述特气瓶上均连接有第一气管，所述第一气管于特气柜内安装有第一气动阀，所述第一气动阀与第一监控电脑电连接。

进一步，所述第二监控电脑安装在厂房内，所述厂房内设置第二隔间，所述第二监控电脑安装在第二隔间内，所述第一气管于厂房内连接有总管，所述总管上设置有多个支管，每个所述支管对用连接一个机台，所述支管的输出端均设置有第二气动阀，所述第二气动阀与第二监控电脑电连接，所述机台上还设置有第二毒气检测报警装置，所述第二毒气检测报警装置与第二监控电脑导线连接。

进一步，所述特气分流柜安装在总管和支管的连接端，每个所述支管的输入端均设置有第三气动阀，所述第三气动阀均位于特气分流柜内，所述特气分流柜上设置有抽风口，所述抽风口上设置有第三毒气检测报警装置，所述第三毒气检测报警装置和第二监控电脑导线连接。

进一步，所述厂务控制端设置在远离特气房和厂房的地方，所述厂务控制端远程控制第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀。

进一步，所述特气房上设置有第一排风机，所述特气分流柜上设置有第二排风机，所述机台上设置有抽风机，所述第一排风机与第一监控电脑电连接，所述第二排风机与第二监控电脑电连接，所述抽风机与第二监控电脑电连接，所述第一排风机上连接有第二气管，所述第二排风机上连接有第三气管，所述抽风机上连接有第四气管，所述第二气管、第三气管和第四气管均连接有净化室内。

本实用新型的一种光电芯片企业特气供应系统，具有以下优点：

1.通过把特气瓶和使用端分开放置在不同区域，可以有效地防止特气瓶大量泄露时，对人员造成重大伤亡；

2.通过使用特气柜和特气分流柜能够将可能的泄漏点尽可能集中，降低排查检修难度；

3.通过气房内和使用车间内的自动连锁功能，能够及时的发现特气微小泄露，能将事故控制在萌芽状态，降低安全事故发生的概率及影响；

4.通过厂务端最终人为控制，可以保证在自动连锁不能解决的情况下，可以人为控制整个特气系统，防止毒气泄露失控，事态升级严重。

附图说明

图1是本实用新型一种光电芯片企业特气供应系统的关系结构示意图；

其中，特气房1、特气柜11、特气瓶12、第一气动阀14、第一毒气检测报警装置15、第一气管16、第一监控电脑2、第一隔间20、特气分流柜3、总管31、支管32、第三气动阀33、第二气动阀34、机台4、第二毒气检测报警装置41、第二监控电脑5、第二隔间50、第三毒气检测报警装置51、厂务控制端6。

具体实施方式

以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：

如图1所示，本实用新型的一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶12、多个机台4，多个特气瓶12均匀分布的安装在特气房1内，多个机台4均匀分布的安装在厂房内，监控系统监控多个特气瓶12以及多个机台4，使监控系统能够监控特气房1内多个特气瓶12情况和厂房内特气使用情况。

监控系统包括第一监控电脑2、第二监控电脑5和厂务控制端6，第一监控电脑2和第二监控电脑5均和厂务控制端6电连接，通过厂务控制端6能够监控第一监控电脑2和第二监控电脑5，并能够切断特气瓶12供气和使用端用气。第一监控电脑2同时监控连接多个特气瓶12，第二监控电脑5同时监控连接多个机台4。特气瓶12和机台4之间设置有特气分流柜3，特气分流柜3和第二监控电脑5监控连接，通过第一监控电脑2、第二监控电脑5和厂务控制端6的相互配合，能够实现总-分-总的监控方式，实现对特气的全部过程监控。

第一监控电脑2安装在特气房1内，特气房1内设置有第一隔间20，第一监控电脑2安装在第一隔间20内，通过第一隔间20的设置，将第一监控电脑2与特气瓶12分开，避免特气泄漏时，污染第一隔间20。每个特气瓶12上均设置有特气柜11，特气柜11上设置有排风口，特气柜11于排风口的位置设置有第一毒气检测报警装置15，第一毒气检测报警装置15和第一监控电脑2导线连接，每个特气瓶12上均连接有第一气管16，第一气管16于特气柜11内安装有第一气动阀14，第一气动阀14与第一监控电脑2电连接，当特气瓶12内的特气泄漏时，第一毒气检测报警装置15检测到特气，将信号传输给第一监控电脑2，第一监控电脑2接收到第一毒气检测报警装置15的特气泄漏信号，做出连锁反应，将发生泄漏的特气瓶12上的第一气动阀14关闭，避免毒气继续泄漏，第一监控电脑2将信号传输给第一毒气检测报警装置15，第一毒气检测报警装置15发出报警声。同时，第一监控电脑2将相应特气瓶12特气泄漏的信号反馈到厂务控制端6，提醒厂务控制端6派人进行维护、检修。毒气报警声提醒特气房1周围的疏散，并禁止靠近。

第二监控电脑5安装在厂房内，厂房内设置第二隔间50，第二监控电脑5安装在第二隔间50内，通过第二隔间50的设置，避免他人随意进出，同时，避免特气泄漏影响第二隔间50。第一气管16于厂房内连接有总管31，总管31上设置有多个支管32，每根支管32对应连接一个机台4，支管32的输出端均设置有第二气动阀34，第二气动阀34与第二监控电脑5电连接，机台4上还设置有第二毒气检测报警装置41，第二毒气检测报警装置41与第二监控电脑5导线连接，当机台4上发生特气泄漏时，第二毒气检测报警装置41检测到特气，将信号传输给第二监控电脑5，第二监控电脑5接收到第二毒气检测报警装置41的特气泄漏信号，做出连锁反应，将发生泄漏的机台4上的第二气动阀34关闭，第二监控电脑5将信号传输给第二毒气检测报警装置41，第二毒气检测报警装置41发出报警声，同时，第二监控电脑5将对应机台4特气泄漏信号反馈到厂务控制端6，提醒厂务控制端6派人进行维护、检修。当第二毒气检测报警装置41发出报警声时，提醒工作人员立即进行疏散，远离厂房。

特气分流柜3安装在总管31和支管32的连接端，每个支管32的输入端均设置有第三气动阀33，第三气动阀33均位于特气分流柜3内，特气分流柜3上设置有抽风口，抽风口上设置有第三毒气检测报警装置51，第三毒气检测报警装置51和第二监控电脑5导线连接，当支管32上发生特气泄漏时，第三毒气检测报警装置51检测到特气，将信号传输给第二监控电脑5，第二监控电脑5接收到第三毒气检测报警装置51的特气泄漏信号，做出连锁反应，将发生泄漏的支管32上的第三气动阀33关闭，并将对应机台4的支管32上的第二气动阀34关闭，第二监控电脑5将信号传输给第三毒气检测报警装置51，第三毒气检测报警装置51发出报警声，同时，第二监控电脑5将对应机台4特气泄漏信号反馈到厂务控制端6，提醒厂务控制端6派人进行维护、检修。当第三毒气检测报警装置51发出报警声时，提醒工作人员立即进行疏散，远离厂房。

厂务控制端6设置在远离特气房1和厂房的地方，并能远程控制第一气动阀14、第二气动阀34和第三气动阀33。当第一监控电脑2不能切断第一气动阀14时，第一监控电脑2将不能切断第一气动阀14的信号反馈到厂务控制端6，厂务控制端6接收到第一监控电脑2反馈的信号后，通过远程控制切断相应特气瓶12上的第一气动阀14。当第二监控电脑5不能切断第二气动阀34时，第二监控电脑5将不能切断第二气动阀34的信号反馈到厂务控制端6，厂务控制端6接收到第二监控电脑5反馈的信号后，通过远程控制切断对应机台4上的第二气动阀34，避免第一气动阀14和第一监控电脑2的连接处出现故障或第二气动阀34和第二监控电脑5的连接处出现故障，导致特气持续泄漏。

特气房1上设置有第一排风机，特气分流柜3上设置有第二排风机，机台4上设置有抽风机，第一排风机与第一监控电脑2电连接，第二排风机与第二监控电脑5电连接，抽风机与第二监控电脑5电连接，第一排风机上连接有第二气管，第二排风机上连接有第三气管，抽风机上连接有第四气管，第二气管、第三气管和第四气管均连接有净化室，当特气房1内发生特气泄漏时，第一排风机与第一毒气检测报警装置15同时启动，将泄漏的特气抽离至净化室进行处理，当特气分流柜3处发生特气泄漏时，第二排风机与第三毒气检测报警装置51同时启动，将泄漏的特气抽离至净化室进行处理，当机台4处发生泄漏时，对应的抽风机与第二毒气检测报警装置41同时启动，将泄漏的特气抽离至净化室进行处理，避免这些泄漏的特气直接排放，污染大气。

本实用新型的使用方法如下：当本系统运行时，当特气房1中某一个特气瓶12发生特气泄漏时，第一毒气检测报警装置15监测到特气泄漏，将泄漏信号反馈到第一监控电脑2，并第一监控电脑2启动连锁反应，将对应特气瓶12上的第一气动阀14关闭，并使第一毒气检测报警装置15发出报警声，同时启动第一排风机，将泄漏的特气通过第二气管抽离到净化室进行处理，并将泄漏信号反馈到厂务控制端6；当特气分流柜3内的某一个支管32发生泄漏时，第三毒气检测报警装置51监测到特气泄漏，将泄漏信号反馈到第二监控电脑5，第二监控电脑5启动连锁反应，将对应支管32上的第三气动阀33关闭，并使第三毒气检测报警装置51发出报警声，同时启动第二排风机，将泄漏的特气通过第三气管抽离到净化室进行处理，并将泄漏信号反馈到厂务控制端6；当机台4处发生泄漏时，第二毒气检测报警装置41监测到特气泄漏，将泄漏信号反馈到第二监控电脑5，第二监控电脑5启动连锁反应，将对应支管32输出端上的第二气动阀34关闭，并使第二毒气检测报警装置41发出报警声，同时启动抽风机，将泄漏的特气通过第四气管抽离到净化室进行处理，并将泄漏信号反馈到厂务控制端6，保证每个泄漏处均能及时被处理，将事故控制在萌芽阶段，降低安全事故发生的概率及影响，且第一监控电脑2和第二监控电脑5不能处理时，厂务控制端6能够远程控制处理，避免泄漏进一步扩大。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (6)

1.一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个所述特气瓶均匀分布的安装在特气房内，多个所述机台均匀分布的安装在厂房内，其特征在于：所述监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，所述监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，所述第一监控电脑和第二监控电脑均和厂务控制端电连接，所述第一监控电脑同时监控连接多个特气瓶，所述第二监控电脑同时监控连接多个机台，所述特气瓶与机台之间设置有特气分流柜，所述特气分流柜与第二监控电脑监控连接。

2.根据权利要求1所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述第一监控电脑安装在特气房内，所述特气房内设置有第一隔间，所述第一监控电脑安装在第一隔间内，每个所述特气瓶上均设置有特气柜，所述特气柜上设置有排风口，所述特气柜于排风口的位置设置有第一毒气检测报警装置，所述第一毒气检测报警装置和第一监控电脑导线连接，每个所述特气瓶上均连接有第一气管，所述第一气管于特气柜内安装有第一气动阀，所述第一气动阀与第一监控电脑电连接。

3.根据权利要求2所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述第二监控电脑安装在厂房内，所述厂房内设置第二隔间，所述第二监控电脑安装在第二隔间内，所述第一气管于厂房内连接有总管，所述总管上设置有多个支管，每个所述支管对用连接一个机台，所述支管的输出端均设置有第二气动阀，所述第二气动阀与第二监控电脑电连接，所述机台上还设置有第二毒气检测报警装置，所述第二毒气检测报警装置与第二监控电脑导线连接。

4.根据权利要求3所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述特气分流柜安装在总管和支管的连接端，每个所述支管的输入端均设置有第三气动阀，所述第三气动阀均位于特气分流柜内，所述特气分流柜上设置有抽风口，所述抽风口上设置有第三毒气检测报警装置，所述第三毒气检测报警装置和第二监控电脑导线连接。

5.根据权利要求4所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述厂务控制端设置在远离特气房和厂房的地方，所述厂务控制端远程控制第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀。

6.根据权利要求5所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述特气房上设置有第一排风机，所述特气分流柜上设置有第二排风机，所述机台上设置有抽风机，所述第一排风机与第一监控电脑电连接，所述第二排风机与第二监控电脑电连接，所述抽风机与第二监控电脑电连接，所述第一排风机上连接有第二气管，所述第二排风机上连接有第三气管，所述抽风机上连接有第四气管，所述第二气管、第三气管和第四气管均连接有净化室内。

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