CN220488922U - 特殊气体输送分配箱 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种特殊气体输送分配箱。该特殊气体输送分配箱包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘设置在所述柜体内；所述阀组面盘包括供气回路、吹扫回路和抽真空回路；所述供气回路包括多个支路，每一支路连接至一个用气设备的供气回路；每一支路上依次连接支路气动阀、支路阀、支路调压阀、压力表和支路出口阀；所述吹扫回路由吹扫氮气管路连接至每一支路，所达抽真空回路的真空发生器的真空端通过多个低压排气阀连接到所述供气回路中，每一低压排气阀接入一个支路的支路调压阀与支路出口阀之间。供气回路将外部气体供给设备使用；通过吹扫回路和抽真空回路可以将供气回路的有毒有害气体除去，且能保证在设备用气时供应特殊气体。
Description
技术领域
本申请涉及气体输送装置技术领域，具体涉及一种特殊气体输送分配箱。
背景技术
在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏（如受腐蚀或人为操作失误等因素）造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必特别重视且不可忽视的。其中特殊气体输送分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体输送分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。国内半导体厂都采用各种管理及危害分析方法来达到风险的适当控制，来降低风险性。
虽然目前的特殊气体输送分配箱可以实现对设备供具有危险的特殊气体，但其无法有效控制供气回路内的残余气体，虽然设备入气口被关闭，但供气回路可能导致在停机状态的气体泄露。因此如何有效去除管路中的特殊气体，且能保证在设备用气时供应特殊气体的双重需求成为亟待解决的技术问题。
发明内容
本申请实施例提供一种特殊气体输送分配箱，可以有效去除管路中的特殊气体，且能保证在设备用气时供应特殊气体。
本申请实施例提供一种特殊气体输送分配箱，包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘设置在所述柜体内；
其中，所述阀组面盘包括供气回路、吹扫回路和抽真空回路；
所述供气回路包括多个支路，每一支路连接至一个用气设备的供气回路；每一支路上依次连接支路气动阀、支路阀、支路调压阀、压力表和支路出口阀；
所述吹扫回路由吹扫氮气管路连接至每一支路，所述吹扫回路上依次连接吹扫入口阀、单向阀、压力表及多个吹扫隔离阀，每一吹扫隔离阀接入一个支路的支路阀与支路调压阀之间；
所达抽真空回路设有氮气输入口和排气口；在所达抽真空回路上，由氮气输入口至排气口依次连接单向阀、微漏阀、真空发生器，所述真空发生器的真空端通过多个低压排气阀连接到所述供气回路中，每一低压排气阀接入一个支路的支路调压阀与支路出口阀之间。
进一步的，所述供气回路设有供气回路入口；在所述供气回路上，由所述供气回路入口至每一支路依次连接截止阀、气动隔膜阀及压力传感器。
进一步的，所述支路阀为手动隔膜阀；所述支路调压阀为减压阀，所减压阀的进口和出口位置分别设有压力检测装备。
进一步的，所述供气回路包括六个支路，所述吹扫回路上设有六个吹扫隔离阀，所述真空发生器的真空端的管路上设置六个低压排气阀。
进一步的，所述特殊气体输送分配箱还包括设于所述柜体上方的电控箱，所述电控箱设有显示操作单元；所述显示操作单元包括微处理器、触摸屏和操作按键，所述触摸屏和所述操作按键设置在所述电控箱的门上，所述操作按键连接至所述微处理器，所述微处理器连接至所述触摸屏，所述触摸屏显示控制所述阀组面盘上的供气回路、吹扫回路和抽真空回路的通断状态。
进一步的，所述电控箱内设有电源，所述电源电性连接至所述微处理器、所述触摸屏；所述操作按键包括本地急停按钮。
进一步的，所述供气回路的供气回路入口连接至供气装置；所述阀组面盘上的每一回路的阀门均设有用来控制阀门动作的控制器，所述电控箱内设有传感器，所述传感器采集供气装置的状态信号并发送至所述控制器。
进一步的，所述柜体内还包括用于检测气体泄漏的气体侦测装置，所述气体侦测装置与所述控制器的信号输入端连接。
进一步的，所述特殊气体输送分配箱还包括设于所述柜体下方的支架以及设于所述柜体上方的差压表，所述差压表与所述电控箱相邻设置。
进一步的，所述特殊气体输送分配箱还包括报警单元和本地急停按钮，所述报警单元具有差压开关和声光报警器；所述的差压开关设置在电控箱体内部，所述声光报警器安装在柜体的门上，所述本地急停按钮设置在柜体的门上，所述报警单元和所述本地急停按钮均电性连接至所述微处理器。
本申请实施例 提供的特殊气体输送分配箱，供气回路将外部气体供给设备使用；通过吹扫回路和抽真空回路可以将供气回路的有毒有害气体除去，且能保证在设备用气时供应特殊气体。
附图说明
下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为本申请实施例提供的特殊气体输送分配箱的结构示意图。
图2为图1提供的特殊气体输送分配箱的内部结构示意图。
图3为申请实施例提供的电控箱内部结构电性连接结构示意图。
图4为本申请实施例提供的阀组盘面的原理图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
如图1、图3所示，提供一种全自动的特殊气体输送分配箱，所述特殊气体输送分配箱具有箱体31。箱体31的上部分为柜体33，用于安装各种部件。箱体31的下部分为支架32，用于支撑上部分柜体33。柜体33为密闭的，设置有密闭的门34。
所述特殊气体输送分配箱还包括设于所述柜体33上方的电控箱35，所述电控箱35设有显示操作单元。
如图3所示，所述显示操作单元包括微处理器3、触摸屏2和操作按键，所述触摸屏2和所述操作按键设置在所述电控箱35的门上，所述操作按键连接至所述微处理器3，所述微处理器3连接至所述触摸屏2，微处理器3控制触摸屏2。
如图3所示，所述电控箱35内设有电源1，所述电源1电性连接至所述微处理器3、所述触摸屏2；所述操作按键包括本地急停按钮10。
如图2、图4所示，特殊气体输送分配箱的柜体33内部设有阀组盘面，阀组盘面包括供气回路41、吹扫回路42和抽真空回路43。
微处理器3是整个设备的核心部分，储存工作程序，能够控制供气回路41、吹扫回路42和抽真空回路43的开闭状态。所述触摸屏2显示控制所述阀组面盘上的供气回路41、吹扫回路42和抽真空回路43的通断状态。
如图3所示，所述特殊气体输送分配箱还包括报警单元和本地急停按钮10，所述报警单元具有差压开关5、火焰检测器6和声光报警器8；所述的差压开关5、火焰检测器6设置在电控箱35体内部，所述声光报警器8安装在柜体33的门34上，所述本地急停按钮10设置在柜体33的门34上，所述报警单元和所述本地急停按钮10均电性连接至所述微处理器3。
所述微处理器3还连接至电压互感器9、烟雾探测器11和支路通断状态显示模块12。
特殊气体分配箱还具有差压表36;所述的差压表36设置在柜体33上方的左上角。所述差压表与所述电控箱35相邻设置。
所述供气回路41的供气回路入口连接至供气装置；所述阀组面盘上的每一回路的阀门均设有用来控制阀门动作的控制器4，所述电控箱35内设有传感器，所述传感器采集供气装置的状态信号并发送至所述控制器4。
如图3所示，所述柜体33内还包括用于检测气体泄漏的气体侦测装置7，所述气体侦测装置7与所述控制器4的信号输入端连接。
所述供气回路41包括多个支路，每一支路连接至一个用气设备的供气回路41；每一支路上依次连接支路气动阀、支路阀、支路调压阀、压力表和支路出口阀；所述吹扫回路42由吹扫氮气管路连接至每一支路，所述吹扫回路42上依次连接吹扫入口阀、单向阀、压力表及多个吹扫隔离阀，每一吹扫隔离阀接入一个支路的支路阀与支路调压阀之间；所达抽真空回路43设有氮气输入口和排气口；在所达抽真空回路43上，由氮气输入口至排气口依次连接单向阀、微漏阀、真空发生器，所述真空发生器的真空端通过多个低压排气阀连接到所述供气回路41中，每一低压排气阀接入一个支路的支路调压阀与支路出口阀之间。
进一步的，所述供气回路41设有供气回路入口；在所述供气回路41上，由所述供气回路入口至每一支路依次连接截止阀、气动隔膜阀及压力传感器。
进一步的，所述支路阀为手动隔膜阀；所述支路调压阀为减压阀，所减压阀的进口和出口位置分别设有压力检测装备。
具体的，如图2、图4所示，所述供气回路41包括六个支路，六个支路分别为第一支路411、第二支路412、第三支路413、第四支路414、第五支路415、第六支路416。相应的，所述吹扫回路42上设有六个吹扫隔离阀，所述真空发生器的真空端的管路上设置六个低压排气阀。
所述供气回路41由外部接口通过管路依次连接入口阀SGI-1、主阀SIV-1、支路气动阀HPI-1/HPI-2/HPI-3/HPI-4/HPI-5/HPI-6、支路阀MHPI-1/MHPI-2/MHPI-3/MHPI-4/MHPI-5/MHPI-6、支路调压阀REG1、压力表PG-1/PG-2/PG-3/PG-4/PG-5/PG-6、支路出口阀LPI-1/LPI-2/LPI-3/LPI-4/ LPI-5/LPI-6；主阀SIV-1输出端设有压力传感器PT1，用于显示主管路前端的压力值，支路调压阀REG1/REG2/REG3/REG4/REG5/REG6输出端接有压力表PG-1，用于显示排放管路到吹扫回路42之间的压力值。
所述备用管路2由供气回路41通过管路依次连接备用阀EXP、备用出口阀EXE；备用阀输出端设有压力表PG0，用于显示备用管路的压力值。所述备用管路2能够实现与下一个特殊气体输送分配箱的供气回路41串联连接。
所述吹扫回路42由外部吹扫回路42通过管路依次连接吹扫气入口阀PGC、单向阀C1、测试口阀TPV、支路吹扫阀PGI-1/PGI-2/PGI-3/PGI-4/PGI-5/PGI-6接入所述供气回路41的支路调压阀REG1与支路阀MHPI-1与压力表PG-1之间;单向阀的输出端设有压力表PPG，用于显示吹扫回路42的吹扫压力值。
所述抽真空回路43由外部输入口通过管路依次连接单向阀C2、微漏阀MV6、真空发生器VG至排气口，真空发生器VG的真空端通过管路由支路排放阀LPV-1/LPV-2/LPV-3/LPV-4/LPV-5/LPV-6连接到所述供气回路41中的支路出口阀LPI-1与压力表PG-1之间。
正常状态下，气体由外部通过供气回路41，由供气口向制造设备供气；当需要更换外部气体输送装置时，由于这些气体是有毒有害的，必须先由抽真空回路43进行抽真空，再由吹扫回路42对供气回路41进行吹扫；如此反复，将供气回路41中的外部连接的管路中的有毒有害的气体完全除去，才能更换外部输送装置。
本实用新型的特殊气体输送分配箱还包括用于检测气体泄漏的气体侦测装置7，以具备紧急切断功能，即在发生于类似气体泄漏时，能通过控制器4自动关断所述供气回路41出口的气动阀，确保气体输送的安全。特殊气体输送分配箱用触控屏2作为人机界面，操作人员不需要直接操作阀门，通过触控屏2可控制阀门动作。
在本实用新型的特殊气体输送分配箱中，使用了压力传感器来代替压力表，增加了气动阀，通过控制器4来实现自动吹扫、自动切换控制；同时还可加装其他安全装备的传感器，如紫外线传感器、高温传感器、烟雾传感器等，与所述的控制器4连接，控制各个气动阀，使特殊气体输送分配箱在储存、供气时，处在安全、可靠、稳定的状态。
本申请实施例 提供的特殊气体输送分配箱，供气回路将外部气体供给设备使用；通过吹扫回路和抽真空回路可以将供气回路的有毒有害气体除去，且能保证在设备用气时供应特殊气体。
全自动的特殊气体输送分配箱按气体类型不同选装相应的气体泄漏探测器、烟雾探测器、火焰探测器等安全保障设施，当设备有不可预见的泄漏、火灾发生时可通过微处理器联动关闭气动阀、切断气源，从而减少危害。
在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
以上对本申请实施例所提供的一种特殊气体输送分配箱进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种特殊气体输送分配箱，其特征在于，包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘设置在所述柜体内；
其中，所述阀组面盘包括供气回路、吹扫回路和抽真空回路；
所述供气回路包括多个支路，每一支路连接至一个用气设备的供气回路；每一支路上依次连接支路气动阀、支路阀、支路调压阀、压力表和支路出口阀；
所述吹扫回路由吹扫氮气管路连接至每一支路，所述吹扫回路上依次连接吹扫入口阀、单向阀、压力表及多个吹扫隔离阀，每一吹扫隔离阀接入一个支路的支路阀与支路调压阀之间；
所达抽真空回路设有氮气输入口和排气口；在所达抽真空回路上，由氮气输入口至排气口依次连接单向阀、微漏阀、真空发生器，所述真空发生器的真空端通过多个低压排气阀连接到所述供气回路中，每一低压排气阀接入一个支路的支路调压阀与支路出口阀之间。
2.根据权利要求1所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述供气回路设有供气回路入口；在所述供气回路上，由所述供气回路入口至每一支路依次连接截止阀、气动隔膜阀及压力传感器。
3.根据权利要求1所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述支路阀为手动隔膜阀；所述支路调压阀为减压阀，所减压阀的进口和出口位置分别设有压力检测装备。
4.根据权利要求1所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述供气回路包括六个支路，所述吹扫回路上设有六个吹扫隔离阀，所述真空发生器的真空端的管路上设置六个低压排气阀。
5.根据权利要求1所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述特殊气体输送分配箱还包括设于所述柜体上方的电控箱，所述电控箱设有显示操作单元；所述显示操作单元包括微处理器、触摸屏和操作按键，所述触摸屏和所述操作按键设置在所述电控箱的门上，所述操作按键连接至所述微处理器，所述微处理器连接至所述触摸屏，所述触摸屏显示控制所述阀组面盘上的供气回路、吹扫回路和抽真空回路的通断状态。
6.根据权利要求5所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述电控箱内设有电源，所述电源电性连接至所述微处理器、所述触摸屏；所述操作按键连接至所述微处理器。
7.根据权利要求5所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述供气回路的供气回路入口连接至供气装置；所述阀组面盘上的每一回路的阀门均设有用来控制阀门动作的控制器，所述电控箱内设有传感器，所述传感器采集供气装置的状态信号并发送至所述控制器。
8.根据权利要求7所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述柜体内还包括用于检测气体泄漏的气体侦测装置，所述气体侦测装置与所述控制器的信号输入端连接。
9.根据权利要求5所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述特殊气体输送分配箱还包括设于所述柜体下方的支架以及设于所述柜体上方的差压表，所述差压表与所述电控箱相邻设置。
10.根据权利要求5所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述特殊气体输送分配箱还包括报警单元和本地急停按钮，所述报警单元具有差压开关和声光报警器；所述的差压开关设置在电控箱体内部，所述声光报警器安装在柜体的门上，所述本地急停按钮设置在柜体的门上，所述报警单元和所述本地急停按钮均电性连接至所述微处理器。
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Cited By (2)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |