JPH0516327A - スクリーン印刷装置 - Google Patents
スクリーン印刷装置Info
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- JPH0516327A JPH0516327A JP17657891A JP17657891A JPH0516327A JP H0516327 A JPH0516327 A JP H0516327A JP 17657891 A JP17657891 A JP 17657891A JP 17657891 A JP17657891 A JP 17657891A JP H0516327 A JPH0516327 A JP H0516327A
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- JP
- Japan
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- viscosity
- squeegee
- pattern
- mask
- pressure
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、狭ピッチＩＣの基板におけるスクリ
ーン印刷を精度高くするために、パターン誤差及び粘度
誤差を受けてファジィ演算を実行してスキージの移動速
度及びマスクへの圧力を求める。 【構成】撮像装置により撮像された印刷体上の印刷パタ
ーンと基準パターンとを比較し、又測定粘度と基準粘度
とを比較し、これら比較結果を受けて、スキージの移動
速度及びマスクへの圧力の各メンバーシップ関数を有す
る演算手段によりファジィ演算を実行してスキージの移
動速度及びマスクへの圧力を求める。
ーン印刷を精度高くするために、パターン誤差及び粘度
誤差を受けてファジィ演算を実行してスキージの移動速
度及びマスクへの圧力を求める。 【構成】撮像装置により撮像された印刷体上の印刷パタ
ーンと基準パターンとを比較し、又測定粘度と基準粘度
とを比較し、これら比較結果を受けて、スキージの移動
速度及びマスクへの圧力の各メンバーシップ関数を有す
る演算手段によりファジィ演算を実行してスキージの移
動速度及びマスクへの圧力を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばクリーム半田を
マスクを通して基板にスクリーン印刷するスクリーン印
刷装置に関する。
マスクを通して基板にスクリーン印刷するスクリーン印
刷装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】軽薄短小化のニーズに伴いマウントする
ＩＣ（集積回路）の機能集約化が進むとともにＩＣの多
リード化、狭ピッチ化が進んでいる。現在、ＩＣリード
ピッチは0.65mm又は0.5mm ピッチのものが実用化され、
今後0.4 〜 0.2mmピッチのＩＣが実用化されようとして
いる。
ＩＣ（集積回路）の機能集約化が進むとともにＩＣの多
リード化、狭ピッチ化が進んでいる。現在、ＩＣリード
ピッチは0.65mm又は0.5mm ピッチのものが実用化され、
今後0.4 〜 0.2mmピッチのＩＣが実用化されようとして
いる。
【０００３】ところで、かかるＩＣの基板はスクリーン
印刷技術により作成される。このスクリーン印刷技術
は、基板上にマスクを配置し、このマスク上にクリーム
半田をスキージ（はけ）の移動により塗ってマスクに形
成されたパターンを基板上に印刷するものである。
印刷技術により作成される。このスクリーン印刷技術
は、基板上にマスクを配置し、このマスク上にクリーム
半田をスキージ（はけ）の移動により塗ってマスクに形
成されたパターンを基板上に印刷するものである。
【０００４】ところが、ＩＣのリードピッチが0.5mm ピ
ッチ以下の狭ピッチＩＣに対して上記印刷技術を適用す
ると、この技術では印刷精度が低くそのまま適用できな
い。印刷精度には印刷パターンの位置精度と形状精度と
があるが、このうち位置精度は基板のシンボルマークを
視覚測定しかつ補正処理することにより±50μｍ以内の
精度を確保することは容易である。しかしながら、形状
精度についてはその因果関係を数式化しにくいところか
ら精度を高めることが困難となっている。
ッチ以下の狭ピッチＩＣに対して上記印刷技術を適用す
ると、この技術では印刷精度が低くそのまま適用できな
い。印刷精度には印刷パターンの位置精度と形状精度と
があるが、このうち位置精度は基板のシンボルマークを
視覚測定しかつ補正処理することにより±50μｍ以内の
精度を確保することは容易である。しかしながら、形状
精度についてはその因果関係を数式化しにくいところか
ら精度を高めることが困難となっている。
【０００５】狭リードピッチのＩＣに対するスクリーン
印刷での形状精度は位置精度と同様に直接クリーム半田
の不良に結びつく。形状精度はマスクに形成されている
パターンと基板に印刷されたパターンとの誤差で表さ
れ、この形状精度が低いと、マスクのパターンから基板
に転写されるクリーム半田の量にばらつきが生じる。こ
のクリーム半田の量が多すぎればリフロー時にブリッジ
不良となり、少なすぎれば強度不足となる。
印刷での形状精度は位置精度と同様に直接クリーム半田
の不良に結びつく。形状精度はマスクに形成されている
パターンと基板に印刷されたパターンとの誤差で表さ
れ、この形状精度が低いと、マスクのパターンから基板
に転写されるクリーム半田の量にばらつきが生じる。こ
のクリーム半田の量が多すぎればリフロー時にブリッジ
不良となり、少なすぎれば強度不足となる。
【０００６】そこで、適量のクリーム半田を基板に転写
するためにクリーム半田の材質を代えたり、又転写され
たクリーム半田の形状の乱れを目視して経験的にスキー
ジ速度やスキージ圧を調整する作業が繰り返されてい
る。しかしながら、クリーム半田は温度や時間経過とと
もにその粘性が変化するので、このため常時印刷形状の
精度を監視してきめ細かく印刷制御することは困難とな
っている。
するためにクリーム半田の材質を代えたり、又転写され
たクリーム半田の形状の乱れを目視して経験的にスキー
ジ速度やスキージ圧を調整する作業が繰り返されてい
る。しかしながら、クリーム半田は温度や時間経過とと
もにその粘性が変化するので、このため常時印刷形状の
精度を監視してきめ細かく印刷制御することは困難とな
っている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上のようにクリーム
半田は温度や時間経過とともにクリーム半田の粘性が変
化するので、狭ピッチのＩＣにおいて常時印刷形状の精
度を監視してきめ細かい印刷制御は困難である。そこで
本発明は、狭ピッチＩＣの基板におけるスクリーン印刷
を精度高くできるスクリーン印刷装置を提供することを
目的とする。
半田は温度や時間経過とともにクリーム半田の粘性が変
化するので、狭ピッチのＩＣにおいて常時印刷形状の精
度を監視してきめ細かい印刷制御は困難である。そこで
本発明は、狭ピッチＩＣの基板におけるスクリーン印刷
を精度高くできるスクリーン印刷装置を提供することを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、被印刷体上に
マスクを配置しこのマスク上でスキージを移動させるこ
とによりスラリーをマスク上に塗って被印刷体への印刷
を行うスクリーン印刷装置において、印刷が行われた印
刷体を撮像する撮像装置と、この撮像装置により撮像さ
れた印刷体上の印刷パターンと予め設定された基準パタ
ーンとを比較するパターン比較手段と、スラリーの粘度
を測定する粘度測定手段と、この粘度測定手段の測定粘
度と予め設定された基準粘度とを比較する粘度比較手段
と、スキージの移動速度及びスキージのマスクへの加圧
力の各メンバーシップ関数を有し、パターン比較手段及
び粘度比較手段の各比較結果と関数を基にスキージの移
動速度及び圧力を求める演算手段とを備えて上記目的を
達成しようとするスクリーン印刷装置である。
マスクを配置しこのマスク上でスキージを移動させるこ
とによりスラリーをマスク上に塗って被印刷体への印刷
を行うスクリーン印刷装置において、印刷が行われた印
刷体を撮像する撮像装置と、この撮像装置により撮像さ
れた印刷体上の印刷パターンと予め設定された基準パタ
ーンとを比較するパターン比較手段と、スラリーの粘度
を測定する粘度測定手段と、この粘度測定手段の測定粘
度と予め設定された基準粘度とを比較する粘度比較手段
と、スキージの移動速度及びスキージのマスクへの加圧
力の各メンバーシップ関数を有し、パターン比較手段及
び粘度比較手段の各比較結果と関数を基にスキージの移
動速度及び圧力を求める演算手段とを備えて上記目的を
達成しようとするスクリーン印刷装置である。
【０００９】
【作用】このような手段を備えたことにより、撮像装置
により撮像された印刷体上の印刷パターンと基準パター
ンとをパターン比較手段により比較し、又粘度測定手段
の測定粘度と基準粘度とを粘度比較手段により比較し、
これらパターン比較手段及び粘度比較手段の各比較結果
を受けて、スキージの移動速度及びマスクへの圧力の各
メンバーシップ関数を有する演算手段により演算を実行
してスキージの移動速度及び圧力を求める。
により撮像された印刷体上の印刷パターンと基準パター
ンとをパターン比較手段により比較し、又粘度測定手段
の測定粘度と基準粘度とを粘度比較手段により比較し、
これらパターン比較手段及び粘度比較手段の各比較結果
を受けて、スキージの移動速度及びマスクへの圧力の各
メンバーシップ関数を有する演算手段により演算を実行
してスキージの移動速度及び圧力を求める。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。図１はスクリーン印刷装置の構成図であ
り、図２は同装置の外観図である。架台１上には基板２
が配置されるとともに、この基板２上にマスク３が配置
されている。このマスク３にはＩＣチップの各リード線
に対応する各孔、例えば図３に示すＩＣチップであれば
図４に示すＩＣチップの各リード線に対応する各孔３ａ
が形成されている。基板２は基板台４上に配置されるも
のであり、マスク３はマスクホルダ５により保持されて
いる。又、架台１上における基板台４の上方にはボール
スクリュー機構６が設けられている。このボールスクリ
ュー機構６はスクリュー体７及びサーボモータ８から構
成され、印刷ヘッド部９をスクリュー体７に沿って移動
させるものとなっている。この印刷ヘッド部９はスキー
ジ１０をマスク３に対して所定のスキージ圧を加えなが
らｘ軸方向に移動させるものである。この印刷ヘッド部
９の構成はスクリュー体７と嵌合するナット１１にシリ
ンダ１２を設け、このシリンダ１２にスキージ１０を取
り付けたものとなっている。
して説明する。図１はスクリーン印刷装置の構成図であ
り、図２は同装置の外観図である。架台１上には基板２
が配置されるとともに、この基板２上にマスク３が配置
されている。このマスク３にはＩＣチップの各リード線
に対応する各孔、例えば図３に示すＩＣチップであれば
図４に示すＩＣチップの各リード線に対応する各孔３ａ
が形成されている。基板２は基板台４上に配置されるも
のであり、マスク３はマスクホルダ５により保持されて
いる。又、架台１上における基板台４の上方にはボール
スクリュー機構６が設けられている。このボールスクリ
ュー機構６はスクリュー体７及びサーボモータ８から構
成され、印刷ヘッド部９をスクリュー体７に沿って移動
させるものとなっている。この印刷ヘッド部９はスキー
ジ１０をマスク３に対して所定のスキージ圧を加えなが
らｘ軸方向に移動させるものである。この印刷ヘッド部
９の構成はスクリュー体７と嵌合するナット１１にシリ
ンダ１２を設け、このシリンダ１２にスキージ１０を取
り付けたものとなっている。
【００１１】一方、テレビジョンカメラ（以下、ＴＶカ
メラと称する）２０が設けられ、このＴＶカメラ２０か
ら出力される映像信号が画像処理部２１に送られてい
る。この画像処理部２１はＴＶカメラ２０からの映像信
号をディジタル変換して画像データとして記憶し、かつ
この画像データをパターン比較部２２に送る機能を有し
ている。このパターン比較部２２は図５及び図６に示す
ように印刷されるＩＣチップの各リード線形状の基準パ
ターンＡ、Ｂが予め設定されており、これら基準パター
ンＡ、Ｂと画像データから抽出した印刷パターンとを比
較してｘ軸及びｙ軸方向の各形状誤差Δｘ、Δｙを求め
る機能を有している。なお、基準パターンＡ、Ｂはマス
ク３に形成されたパターンが用いられており、図５に示
す基準パターンＡは長手方向がｘ軸方向に形成された孔
３ａであり、図６に示す基準パターンＢは長手方向がｙ
軸方向に形成された孔３ａである。
メラと称する）２０が設けられ、このＴＶカメラ２０か
ら出力される映像信号が画像処理部２１に送られてい
る。この画像処理部２１はＴＶカメラ２０からの映像信
号をディジタル変換して画像データとして記憶し、かつ
この画像データをパターン比較部２２に送る機能を有し
ている。このパターン比較部２２は図５及び図６に示す
ように印刷されるＩＣチップの各リード線形状の基準パ
ターンＡ、Ｂが予め設定されており、これら基準パター
ンＡ、Ｂと画像データから抽出した印刷パターンとを比
較してｘ軸及びｙ軸方向の各形状誤差Δｘ、Δｙを求め
る機能を有している。なお、基準パターンＡ、Ｂはマス
ク３に形成されたパターンが用いられており、図５に示
す基準パターンＡは長手方向がｘ軸方向に形成された孔
３ａであり、図６に示す基準パターンＢは長手方向がｙ
軸方向に形成された孔３ａである。
【００１２】又、粘度測定装置２３が設けられ、この粘
度測定装置２３により測定されたクリーム半田の粘度を
粘度比較部２４に送っている。この粘度比較部２４はク
リーム半田の基準粘度Ｓが予め設定されており、この基
準粘度Ｓと粘度測定装置２３の測定粘度とを比較してそ
の粘度誤差を求める機能を有している。
度測定装置２３により測定されたクリーム半田の粘度を
粘度比較部２４に送っている。この粘度比較部２４はク
リーム半田の基準粘度Ｓが予め設定されており、この基
準粘度Ｓと粘度測定装置２３の測定粘度とを比較してそ
の粘度誤差を求める機能を有している。
【００１３】ファジィ演算部２５はスキージ１０の移動
速度及びスキージ１０のマスク３への圧力の各メンバー
シップ関数を有し、パターン比較部２２及び粘度比較部
２４の各比較結果を受けてファジィ演算を実行してスキ
ージ１０の移動速度及びマスク３へのスキージ圧を求め
る機能を有している。このファジィ演算部２５に設定さ
れるスクリーン印刷での経験則により得られる代表的制
御規則は次の通りとなっている。（イ）形状誤差Δｘが
＋側に大きく（印刷パターンが基準パターンよりも幅が
広い）、かつ形状誤差Δｙがほぼゼロの場合、スキージ
速度をやや速くするとともにスキージ圧はそのままとす
る。（ロ）粘度がほぼ中位でかつ形状誤差Δｙが＋側に
大きい場合、スキージ速度はそのままとするとともにス
キージ圧を大きくする。（ハ）粘度がやや高くかつ形状
誤差Δｘが−側にやや小さく、Δｙがやや小さい場合、
スキージ速度をやや遅くするとともにスキージ圧をやや
小さくする。（ニ）粘度が低くかつ形状誤差Δｘがやや
大きく、Δｙがやや大きい場合、スキージ速度をやや速
くするとともにスキージ圧をやや大きくする。又、ファ
ジィ演算部２５におけるメンバーシップ関数はスキージ
速度及びスキージ圧に対する各メンバーシップ関数が有
り、各メンバーシップ関数ともに図７に示すように三角
形状関数となっている。従って、各メンバーシップ関数
は(1) 大きい（スキージ速度が速い、スキージ圧が高
い）、(2) やや大きい（スキージ速度がやや速い、スキ
ージ圧がやや高い）、(3) 中位（スキージ速度がほぼゼ
ロ、スキージ圧が適当）、(4) やや小さい（スキージ速
度がやや遅い、スキージ圧がやや低い）、(5) 小さい
（スキージ速度が遅い、スキージ圧が低い）の以上５段
階となっている。しかして、ファジィ演算部２５はパタ
ーン比較部２２からの各形状誤差Δｘ、Δｙ及び粘度比
較部２４の粘度誤差を受けて上記制御規則に基づいてフ
ァジィ演算を実行しスキージ速度及びスキージ圧の変更
程度をそれぞれ求める機能を有している。
速度及びスキージ１０のマスク３への圧力の各メンバー
シップ関数を有し、パターン比較部２２及び粘度比較部
２４の各比較結果を受けてファジィ演算を実行してスキ
ージ１０の移動速度及びマスク３へのスキージ圧を求め
る機能を有している。このファジィ演算部２５に設定さ
れるスクリーン印刷での経験則により得られる代表的制
御規則は次の通りとなっている。（イ）形状誤差Δｘが
＋側に大きく（印刷パターンが基準パターンよりも幅が
広い）、かつ形状誤差Δｙがほぼゼロの場合、スキージ
速度をやや速くするとともにスキージ圧はそのままとす
る。（ロ）粘度がほぼ中位でかつ形状誤差Δｙが＋側に
大きい場合、スキージ速度はそのままとするとともにス
キージ圧を大きくする。（ハ）粘度がやや高くかつ形状
誤差Δｘが−側にやや小さく、Δｙがやや小さい場合、
スキージ速度をやや遅くするとともにスキージ圧をやや
小さくする。（ニ）粘度が低くかつ形状誤差Δｘがやや
大きく、Δｙがやや大きい場合、スキージ速度をやや速
くするとともにスキージ圧をやや大きくする。又、ファ
ジィ演算部２５におけるメンバーシップ関数はスキージ
速度及びスキージ圧に対する各メンバーシップ関数が有
り、各メンバーシップ関数ともに図７に示すように三角
形状関数となっている。従って、各メンバーシップ関数
は(1) 大きい（スキージ速度が速い、スキージ圧が高
い）、(2) やや大きい（スキージ速度がやや速い、スキ
ージ圧がやや高い）、(3) 中位（スキージ速度がほぼゼ
ロ、スキージ圧が適当）、(4) やや小さい（スキージ速
度がやや遅い、スキージ圧がやや低い）、(5) 小さい
（スキージ速度が遅い、スキージ圧が低い）の以上５段
階となっている。しかして、ファジィ演算部２５はパタ
ーン比較部２２からの各形状誤差Δｘ、Δｙ及び粘度比
較部２４の粘度誤差を受けて上記制御規則に基づいてフ
ァジィ演算を実行しスキージ速度及びスキージ圧の変更
程度をそれぞれ求める機能を有している。
【００１４】このファジィ演算部２５により求められた
スキージ速度はスキージ駆動モータ用ドライバ２６に送
られ、又スキージ圧はスキージ圧シリンダ用エアーレギ
ュレータ２７に送られる。次に上記の如く構成された装
置の作用について説明する。
スキージ速度はスキージ駆動モータ用ドライバ２６に送
られ、又スキージ圧はスキージ圧シリンダ用エアーレギ
ュレータ２７に送られる。次に上記の如く構成された装
置の作用について説明する。
【００１５】基板台４上に基板２が載置されるととも
に、この基板２上にマスク３が配置される。又、マスク
３上の端部にはクリーム半田が置かれる。この状態にサ
ーボモータ８はドライバ２６により駆動され、この駆動
によりスクリュー体７は回転して印刷ヘッド部９をｘ軸
方向に移動させる。これとともにスキージ圧シリンダ１
２はエアーシリンダ２７により動作してスキージ１０を
所定のスキージ圧によりマスク３に圧接する。従って、
スキージ１０は所定のスキージ圧によりマスク３に接し
ながらｘ軸方向に移動し、この移動によりクリーム半田
はマスク３上に塗られる。このようにクリーム半田がマ
スク３上に塗られると、このクリーム半田によりマスク
３のパターンが基板２に転写される。しかるに、マスク
パターンが基板２に印刷される。
に、この基板２上にマスク３が配置される。又、マスク
３上の端部にはクリーム半田が置かれる。この状態にサ
ーボモータ８はドライバ２６により駆動され、この駆動
によりスクリュー体７は回転して印刷ヘッド部９をｘ軸
方向に移動させる。これとともにスキージ圧シリンダ１
２はエアーシリンダ２７により動作してスキージ１０を
所定のスキージ圧によりマスク３に圧接する。従って、
スキージ１０は所定のスキージ圧によりマスク３に接し
ながらｘ軸方向に移動し、この移動によりクリーム半田
はマスク３上に塗られる。このようにクリーム半田がマ
スク３上に塗られると、このクリーム半田によりマスク
３のパターンが基板２に転写される。しかるに、マスク
パターンが基板２に印刷される。
【００１６】この印刷作業が終了すると、基板２は図示
しないローダ装置によりＴＶカメラ２０の下方に配置さ
れる。このＴＶカメラ２０は基板２を撮像してその映像
信号を出力する。この映像信号は画像処理装置２１に送
られてディジタル変換されて画像データとして記憶され
る。そして、パターン比較部２２は、画像処理装置２１
から画像データを受けて、この画像データから図８〜図
１１に示すような各印刷パターンを抽出する。そして、
パターン比較部２２は基準パターンＡ、Ｂと画像データ
から抽出した各印刷パターンとを比較してｘ軸及びｙ軸
方向の各形状誤差Δｘ、Δｙ、つまり Δｘ＝ｘ−ｘ0 Δｙ＝ｙ−ｙ0 を求める。
しないローダ装置によりＴＶカメラ２０の下方に配置さ
れる。このＴＶカメラ２０は基板２を撮像してその映像
信号を出力する。この映像信号は画像処理装置２１に送
られてディジタル変換されて画像データとして記憶され
る。そして、パターン比較部２２は、画像処理装置２１
から画像データを受けて、この画像データから図８〜図
１１に示すような各印刷パターンを抽出する。そして、
パターン比較部２２は基準パターンＡ、Ｂと画像データ
から抽出した各印刷パターンとを比較してｘ軸及びｙ軸
方向の各形状誤差Δｘ、Δｙ、つまり Δｘ＝ｘ−ｘ0 Δｙ＝ｙ−ｙ0 を求める。
【００１７】又、粘度測定装置２３はクリーム半田の粘
度を測定してその測定結果を粘度比較部２４に送出す
る。この粘度比較部２３は粘度測定装置２３により測定
されたクリーム半田の粘度を粘度比較部２４に送ってい
る。この粘度比較部２４はクリーム半田の基準粘度Ｓが
予め設定されており、この基準粘度Ｓと粘度測定装置２
３の測定粘度とを比較してその粘度誤差を求める。以上
の形状誤差Δｘ、Δｙ及び粘度誤差は数枚から数十枚の
基板２に対して求め、かつその平均値を求める。
度を測定してその測定結果を粘度比較部２４に送出す
る。この粘度比較部２３は粘度測定装置２３により測定
されたクリーム半田の粘度を粘度比較部２４に送ってい
る。この粘度比較部２４はクリーム半田の基準粘度Ｓが
予め設定されており、この基準粘度Ｓと粘度測定装置２
３の測定粘度とを比較してその粘度誤差を求める。以上
の形状誤差Δｘ、Δｙ及び粘度誤差は数枚から数十枚の
基板２に対して求め、かつその平均値を求める。
【００１８】これら形状誤差Δｘ、Δｙ及び粘度誤差の
各平均値はファジィ演算部２５に送られる。このファジ
ィ演算部２５はパターン比較部２２からの形状誤差Δ
ｘ、Δｙ及び粘度比較部２４の粘度誤差を受けて上記制
御規則に基づいてファジィ演算を実行しスキージ速度及
びスキージ圧の変更程度をそれぞれ求める。これらスキ
ージ速度及びスキージ圧のうちスキージ速度はスキージ
駆動モータ用ドライバ２６に送られ、又スキージ圧はス
キージ圧シリンダ用エアーレギュレータ２７に送られ
る。この結果、スキージ速度及びスキージ圧はクリーム
半田の粘度に応じた最適な値に制御される。
各平均値はファジィ演算部２５に送られる。このファジ
ィ演算部２５はパターン比較部２２からの形状誤差Δ
ｘ、Δｙ及び粘度比較部２４の粘度誤差を受けて上記制
御規則に基づいてファジィ演算を実行しスキージ速度及
びスキージ圧の変更程度をそれぞれ求める。これらスキ
ージ速度及びスキージ圧のうちスキージ速度はスキージ
駆動モータ用ドライバ２６に送られ、又スキージ圧はス
キージ圧シリンダ用エアーレギュレータ２７に送られ
る。この結果、スキージ速度及びスキージ圧はクリーム
半田の粘度に応じた最適な値に制御される。
【００１９】このように上記一実施例においては、印刷
パターンと基準パターンとの形状誤差Δｘ、Δｙ及び測
定粘度と基準粘度との粘度誤差からスキージ速度及びス
キージ圧をファジィ演算して求めるようにしたので、ス
クリーン印刷の経験則を用いたスキージ速度及びスキー
ジ圧の制御ができて決め細かい制御、例えば温度変化に
よりクリーム半田の粘度が変化してもこの粘度に応じた
スキージ速度及びスキージ圧に制御でき、かつ狭ピッチ
ＩＣに対するスクリーン印刷における形状誤差を精度高
くできる。これにより、例えばマニアル調整と比較して
30% 以上の不良率の向上が可能である。
パターンと基準パターンとの形状誤差Δｘ、Δｙ及び測
定粘度と基準粘度との粘度誤差からスキージ速度及びス
キージ圧をファジィ演算して求めるようにしたので、ス
クリーン印刷の経験則を用いたスキージ速度及びスキー
ジ圧の制御ができて決め細かい制御、例えば温度変化に
よりクリーム半田の粘度が変化してもこの粘度に応じた
スキージ速度及びスキージ圧に制御でき、かつ狭ピッチ
ＩＣに対するスクリーン印刷における形状誤差を精度高
くできる。これにより、例えばマニアル調整と比較して
30% 以上の不良率の向上が可能である。
【００２０】又、数枚から数十枚の基板からスキージ速
度やスキージ圧の印刷条件を得るのでなく、この印刷条
件と形状誤差との関係を長期的に収集して統計的に最適
な形状を得るための印刷条件を得て、印刷の精度を向上
することができる。すなわち、粘度や形状精度、スキー
ジ速度、スキージ圧に関する各メンバーシップ関数の修
正、さらにはあいまいな表現の制御規則を修正できる。
度やスキージ圧の印刷条件を得るのでなく、この印刷条
件と形状誤差との関係を長期的に収集して統計的に最適
な形状を得るための印刷条件を得て、印刷の精度を向上
することができる。すなわち、粘度や形状精度、スキー
ジ速度、スキージ圧に関する各メンバーシップ関数の修
正、さらにはあいまいな表現の制御規則を修正できる。
【００２１】尚、本発明は上記一実施例に限定されるも
のでなくその要旨を変更しない範囲で変形してもよい。
例えば、上記一実施例では粘度及び形状誤差をファジィ
演算部２５の入力としているが、粘度に代えて温度、形
状誤差に代えて面積比等としてもよい。又、ファジィ演
算はアナログ入出力の専用ファイジ計算機や汎用の小型
計算機によりソフト的にファジィ演算を行ってディジタ
ルの入出力としてもよい。メンバーシップ関数は三角形
状関数に限らずその他の関数に代えてもよい。さらにク
リーム半田に限らずスラリー状のものを使用して印刷す
るものであれば適用できる。
のでなくその要旨を変更しない範囲で変形してもよい。
例えば、上記一実施例では粘度及び形状誤差をファジィ
演算部２５の入力としているが、粘度に代えて温度、形
状誤差に代えて面積比等としてもよい。又、ファジィ演
算はアナログ入出力の専用ファイジ計算機や汎用の小型
計算機によりソフト的にファジィ演算を行ってディジタ
ルの入出力としてもよい。メンバーシップ関数は三角形
状関数に限らずその他の関数に代えてもよい。さらにク
リーム半田に限らずスラリー状のものを使用して印刷す
るものであれば適用できる。
【００２２】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、狭
ピッチＩＣの基板におけるスクリーン印刷を精度高くで
きるスクリーン印刷装置を提供できる。
ピッチＩＣの基板におけるスクリーン印刷を精度高くで
きるスクリーン印刷装置を提供できる。
【図１】本発明に係わるスクリーン印刷装置の一実施例
を示す構成図。
を示す構成図。
【図２】同装置の外観図。
【図３】同装置に用いるＩＣチップの形状を示す図。
【図４】同装置に用いるＩＣチップに対するマスクパタ
ーンを示す図。
ーンを示す図。
【図５】印刷パターンに対する長手方向がｘ軸方向の基
準パターンを示す図。
準パターンを示す図。
【図６】印刷パターンに対する長手方向がｙ軸方向の基
準パターンを示す図。
準パターンを示す図。
【図７】形状誤差，粘度誤差，スキージ速度及びスキー
ジ圧の各メンバーシップ関数を示す図。
ジ圧の各メンバーシップ関数を示す図。
【図８】長手方向がｘ軸方向の印刷パターンを示す図。
【図９】長手方向がｘ軸方向の印刷パターンを示す図。
【図１０】長手方向がｙ軸方向の印刷パターンを示す
図。
図。
【図１１】長手方向がｙ軸方向の印刷パターンを示す
図。
図。
２…基板、３…マスク、４…基板台、６…ボールスクリ
ュー機構、７…スクリュー体、８…サーボモータ、９…
印刷ヘッド部、１０…スキージ、１１…ナット、１２…
スキージ圧シリンダ、２０…ＴＶカメラ、２１…画像処
理部、２２…パターン比較部、２３…粘度測定装置、２
４…粘度比較部、２５…ファジィ演算部、２６…スキー
ジ駆動モータ用ドライバ、２７…スキージ圧シリンダ用
エアーレギュレータ。
ュー機構、７…スクリュー体、８…サーボモータ、９…
印刷ヘッド部、１０…スキージ、１１…ナット、１２…
スキージ圧シリンダ、２０…ＴＶカメラ、２１…画像処
理部、２２…パターン比較部、２３…粘度測定装置、２
４…粘度比較部、２５…ファジィ演算部、２６…スキー
ジ駆動モータ用ドライバ、２７…スキージ圧シリンダ用
エアーレギュレータ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 被印刷体上にマスクを配置しこのマスク
上でスキージを移動させることによりスラリーを前記マ
スク上に塗って前記被印刷体への印刷を行うスクリーン
印刷装置において、印刷が行われた印刷体を撮像する撮
像装置と、この撮像装置により撮像された前記印刷体上
の印刷パターンと予め設定された基準パターンとを比較
するパターン比較手段と、前記スラリーの粘度を測定す
る粘度測定手段と、この粘度測定手段の測定粘度と予め
設定された基準粘度とを比較する粘度比較手段と、前記
スキージの移動速度及び前記スキージの前記マスクへの
加圧力の各メンバーシップ関数を有し、前記パターン比
較手段及び前記粘度比較手段の各比較結果と前記関数を
基に前記スキージの移動速度及び圧力を求める演算手段
とを具備したことを特徴とするスクリーン印刷装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17657891A JPH0516327A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | スクリーン印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17657891A JPH0516327A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | スクリーン印刷装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0516327A true JPH0516327A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=16016016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17657891A Pending JPH0516327A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | スクリーン印刷装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0516327A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09323400A (ja) * | 1996-06-06 | 1997-12-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | クリーム半田のスクリーン印刷装置 |
| US6237490B1 (en) | 1995-08-30 | 2001-05-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Screen printing method and screen printing apparatus |
| WO2002047450A1 (fr) * | 2000-12-04 | 2002-06-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede et dispositif de production d'une carte a circuits imprimes |
-
1991
- 1991-07-17 JP JP17657891A patent/JPH0516327A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6237490B1 (en) | 1995-08-30 | 2001-05-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Screen printing method and screen printing apparatus |
| US6659005B2 (en) | 1995-08-30 | 2003-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Screen printing method and screen printing apparatus |
| US6694875B2 (en) | 1995-08-30 | 2004-02-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Screen printing method and screen printing apparatus |
| EP1448032A2 (en) * | 1995-08-30 | 2004-08-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Screen printing method and screen printing apparatus |
| EP1448032A3 (en) * | 1995-08-30 | 2008-03-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Screen printing method and screen printing apparatus |
| JPH09323400A (ja) * | 1996-06-06 | 1997-12-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | クリーム半田のスクリーン印刷装置 |
| WO2002047450A1 (fr) * | 2000-12-04 | 2002-06-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede et dispositif de production d'une carte a circuits imprimes |
| US7018672B2 (en) | 2000-12-04 | 2006-03-28 | Matushita Electric Industrial Co., Ltd. | Circuit board producing method and circuit board producing device |
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