JPH05158083A - 分光型光スイッチ - Google Patents

分光型光スイッチ

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JPH05158083A
JPH05158083A JP34832091A JP34832091A JPH05158083A JP H05158083 A JPH05158083 A JP H05158083A JP 34832091 A JP34832091 A JP 34832091A JP 34832091 A JP34832091 A JP 34832091A JP H05158083 A JPH05158083 A JP H05158083A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】複数の光を分光し、分光した複数の光を相互に
光交換する機能を持った分光型光スイッチを提供する。 【構成】基板の表面上にスラブ導波路が形成されるとと
もにその基板の裏面と前記スラブ導波路の上面とに対を
なす電極が設けられ、そのスラブ導波路の一端面には垂
直回折格子が円弧状をなすように設けられ、そのスラブ
導波路の他端面には一つの入力導波路と複数個の集光導
波路が設けられ、基板の表面上には、複数個の出力導波
路が形成されるとともに前記複数個の集光導波路からの
各出力光をそれらの複数の出力導波路に選択的に供給す
るための光導波路網が形成され、この光導波路網は前記
一つの入力導波路に入力された波長の異なる複数の入力
光が前記対をなす電極間に印加された逆バイアス電圧の
値により複数の出力導波路に選択的に光交換されるよう
に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、周波数分割多重光伝送
方式において、周波数多重で伝送されている光信号を分
波し、しかも光信号のまま光交換するという機能を持っ
た小型な分光型光スイッチに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、垂直回折格子と光導波路が一体に
形成された光部品として、1.48〜1.56μmの光
を分光するものがあった(Appl.Phys.Lett.58(19
91)pp.1949−1951)。図9は従来の小型分光器を表
す平面図であって、1はスラブ導波路部、2はリッジ導
波路、3は垂直回折格子、4は入力光(λ1 ,λ2 ,…
λn )、5は出力光である。周波数多重された入力光4
は、リッジ導波路2に入り、スラブ導波路部1で拡が
り、垂直回折格子3で分光され、それぞれ異なったリッ
ジ導波路2に集光する。垂直回折格子3は、ローランド
円上にあり、リッジ導波路1の入力部は、1/2ローラ
ンド円上にあるから、焦点ずれなしに、それぞれの波長
の光は、異なったリッジ導波路2に集光する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来例で
は、光交換の機能を全く持っていないという欠点があっ
た。また、スラブ導波路部の屈折率が固定であるので、
分波角度の調節ができないという欠点、即ち、各々のリ
ッジ導波路に適合する光波長を調節できないという欠点
があった。
【0004】本発明の目的は、従来技術のこのような欠
点を解消して、複数の光を分光し、電気光学効果による
屈折率の制御により光の分波角度を調節し、かつリッジ
導波路の光回路網を工夫することにより、分光した複数
の光を相互に光交換する機能を持った分光型光スイッチ
を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明による分光型光スイッチは、基板の表面上に
スラブ導波路が形成されるとともに該基板の裏面と前記
スラブ導波路の上面とに対をなす電極が設けられ、該ス
ラブ導波路の一端面には垂直回折格子が円弧状をなしか
つ該垂直回折格子の溝の方向が前記基板の表面に垂直で
ありしかも該円弧状の垂直回折効果がローランド円上に
あるように設けられ、該スラブ導波路の他端面には一つ
の入力導波路と複数個の集光導波路がその入射部が1/
2ローランド円上にあるように設けられ、前記基板の表
面上には、複数個の出力導波路が形成されるとともに前
記複数個の集光導波路からの各出力光を該複数の出力導
波路に選択的に供給するための光導波路網が形成され、
該光導波路網は前記一つの入力導波路に入力された波長
の異なる複数の入力光が前記対をなす電極間に印加され
た逆バイアス電圧の値により複数の出力導波路に選択的
に光交換されるように形成されている。
【0006】また、前記回折格子の形状を鋸状にして、
入射光と回折光とが、該回折格子の溝の面に対して、略
正反射の関係になるように形成し、かつ前記回折格子の
端面に絶縁膜と金属膜からなる高反射膜を形成すること
ができる。
【0007】周波数多重で光伝送されて来る光を分光
し、かつ、電気光学効果による屈折率の制御により、光
の分波角度を調節し、かつリッジ導波路の光回路網を工
夫することにより、分光した複数の光を相互に光交換す
る機能を実現することが従来の技術と異なる。
【0008】
【実施例】図1は、本発明の第1の実施例を説明する斜
視図であって、11はn−InP基板、12は垂直回折
格子、13はスラブ導波路、14は入力導波路、15は
集光導波路I、16は集光導波路II、17は集光導波路
III 、18は出力導波路I、19は出力導波路II、20
は全反射鏡、21は導波路合波部、22は導波路交差
部、23はp−電極、24はn−電極、25は入力光、
26は出力光I、27は出力光II、28はリード線であ
る。導波路の層構造は図面の簡単化のため省略してあ
る。
【0009】図2は、第1の実施例の機能を説明する図
である。図2を参考にしながら第1の実施例の機能を説
明する。まず、逆バイアス電圧V=V1 の場合、入力導
波路14に入射した入力光λ1 ,λ2 の入力光25はス
ラブ導波路部13で拡がり、λ1 の回折光は集光導波路
(I)15に集光し、λ2 の回折光は集光導波路(II)
16に集光する。λ1 の光は直進し出力導波路(I)1
8より出射し、出力光(I)26となり、λ2 の光は同
じく直進し、出力導波路(II)19より出射し、出力光
(II)27となる。また、逆バイアス電圧V=V2 の場
合、λ1 の光は回折角が変化し、集光導波路(II)16
に集光し、同じくλ2 の光は集光導波路(III)17に集
光する。λ1 の光は直進し、導波路交差部22を経て、
出力導波路(II)19から射出し、出力光(II)27と
なる。一方λ2 の光は集光導波路(III)17から全反射
鏡20により光路を曲げられ、導波路交差部22を経
て、再び全反射鏡20により光路を曲げ、導波路合波部
21により、出力導波路(I)18に合流し、出力導波
路(I)18より出射し、出力光(I)26となる。す
なわち、λ1 ,λ2 の光は分光され、逆バイアス電圧の
大小により光交換される。
【0010】次に、スラブ導波路13に逆バイアス電圧
を印加することにより、分波角が変化するメカニズムに
ついて説明する。電気光学効果による屈折率変化は、次
式で与えられる。
【数1】 Δn=(1/2)n341E …………… ここで、Δnは屈折率変化、nは屈折率、Eは印加され
る電界、r41は電気光学係数でほぼ1.6×10-12 (m
/V)程度である。アンドープ層のトータル厚さを0.
5μm=5×10-7(m)とすると、100V印加した
時、E=2×108 (V/m)となる。n≒3.3とす
るとΔn≒5.8×10-8となり、1.55μm帯で
は、光波長のシフトはΔλ≒27Å程度となる。
【0011】スラブ導波路のコア層にInGaAs/I
nAlAsのあるいはInGaAs/InPの多重量子
井戸層を使用すれば、電気光学係数を大きくすることが
でき、低電圧で、波長シフトを大きくすることが可能で
ある。
【0012】また回折格子の分解能は、
【数2】 Δλ=λ/(mNneff ) …………… ここでΔλは分解能、λは波長、mは回折の次数、Nは
回折格子の本数、neff はスラブ導波路の実効屈折率で
ある。スラブ導波路部を充分長くとると、回折格子の本
数Nは大きくなり、充分周波数分割多重方式に使用する
ことができる。また回折格子の形状を鋸状にすれば特性
の次数の回折光を強くすることができ、高反射膜を付加
することにより、回折効率を85〜95%程度にするこ
とができる。
【0013】図3は、第2の実施例を説明する平面図で
あって、31はスラブ導波路部、32は垂直回折格子、
33は入力導波路、34は集光導波路(I)、35は集
光導波路(II)、36は集光導波路(III)、37は集光
導波路(IV)、38は出力導波路(I)、39は出力導
波路(II)、40は全反射鏡、41は導波路合波部、4
2は導波路交差部、43は入力光、44は出力光
(I)、45は出力光(II)である。
【0014】図4は第2の実施例の機能を説明する図で
ある。逆バイアス電圧V=V1 の場合、入力光λ1 ,λ
2 は入力導波路33に入り、スラブ導波部31で拡が
り、垂直回折格子32で回折され、λ1 の光は集光導波
路(I)34に集光し、λ2 の光は集光導波路(II)3
5に集光する。すなわちλ1 の光は出力導波路(I)3
8より出射し、出力光(I)44となり、λ2 の光は導
波路合波部41と導波路交差部42を経て出力導波路
(II)39より出射し、出力光(II)45となる。逆バ
イアス電圧V=V2 の時、回折角が変化し、λ1 の光は
集光導波路(III)36に入り、導波路合波部41と導波
路交差部42を経て出力導波路(II)39より出射し、
出力光(II)45となる。λ2 の光は集光導波路(IV)
37に入り、全反射鏡40,導波路交差部42,全反射
鏡40,導波路合波部41を経て出力導波路(I)38
より出射し、出力光(I)44となる。即ちλ1 ,λ2
の光は分光され、逆バイアス電圧の大小により、光交換
される。
【0015】図5は、第3の実施例を説明する平面図で
あって、51はスラブ導波路部、52は垂直回折格子、
53は入力導波路、54は集光導波路(I)、55は集
光導波路(II)、56は集光導波路(III)、57は集光
導波路(IV)、58は集光導波路(V)、59は出力導
波路(I)、60は出力導波路(II)、61は出力導波
路(III)、62は入力光、63は出力光(I)、64は
出力光(II)、65は出力光(III)、66は全反射鏡、
67は導波路合波部、68は導波路交差部である。
【0016】図6は、第3の実施例の機能を説明する図
である。まず逆バイアス電圧V=V1 の場合、入力光λ
1 ,λ2 ,λ3 が入力導波路53に入り、スラブ導波路
部51で拡がり、垂直回折格子52で回折され、λ1
光は集光導波路(I)54に集光し、導波路合波部67
を経て出力導波路(I)59より出射し、出力光(I)
63となる。λ2 の光は集光導波路(II)55に集光
し、導波路交差部68と導波路合波部67を経て出力導
波路(II)60より出射し、出力光(II)64となる。
λ3 の光は集光導波路(III)56に集光し、導波路交差
部68を経て出力導波路(III)61より出射し、出力光
(III)65となる。逆バイアス電圧V=V2 の場合に
は、回折角が変化しλ1 の光は集光導波路(II)55に
集光し、導波路交差部68と導波路合波部67を経て出
力導波路(II)60より出射し、出力光(II)64とな
る。λ2 の光は集光導波路(III)56に集光し、導波路
交差部68を経て出力導波路(III)64より出射し、出
力光(III)65となる。λ3 の光は、集光導波路(IV)
57に集光し、全反射鏡66,導波路交差部68,全反
射鏡66及び導波路合波部67を経て出力導波路(I)
59より出射し、出力光(I)63となる。
【0017】逆バイアス電圧V=V3 の場合、λ1 の光
は集光導波路(III)56に集光し、導波路交差部68を
経て出力導波路(III)61より出射し、出力光(III)6
5となる。λ2 の光は集光導波路(IV)57に集光し、
全反射鏡66,導波路交差部68,全反射鏡66及び導
波路合波部67を経て出力導波路(I)59より出射
し、出力光(I)63となる。λ3 の光は集光導波路
(V)58に集光し、全反射鏡66及び導波路合波部6
7を経て、出力導波路(II)60より出射し、出力光
(II)64となる。即ち、逆バイアス電圧の変化によ
り、3波のλ1 ,λ2 ,λ3 を光交換することができ
る。
【0018】図7は第4の実施例の分光型光スイッチの
光回路網の部分略図である。図面の簡単化のため光回路
網だけの線図にしている。71は入力導波路、72は出
力導波路(I)、73は出力導波路(II)、74は出力
導波路(III)、75は全反射鏡、76は導波路交差部、
77は導波路合波部である。図7からわかるように、λ
1 ,λ2 ,λ3 の3波の光を分光して、光交換すること
ができる。
【0019】図8は、第5の実施例の分光型光スイッチ
の光回路網の部分略図である。図面の簡単化のため光回
路網だけの線図にしている。81は入力導波路、82は
出力導波路(I)、83は出力導波路(II)、84は出
力導波路(III)、85は出力導波路(IV)、86は全反
射鏡である。図9からわかるようにλ1 ,λ2 ,λ3
λ4 の4波の光を分光して、光交換することができる。
【0020】なお実施例は、InGaAsP/InP系
結晶を用いた例をあげたが、GaAs/AlGaAs系
結晶で製作しても良い。
【0021】これらの結果から明らかなように、従来の
技術に比べ、電気光学効果による屈折率の制御により、
光の分波角度を調節し、光回路網を工夫することによ
り、分光した複数の光を相互に光交換できる点の改善が
あった。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、周波数
多重で高伝送されている複数の光を分光し、かつ電気光
学効果による屈折率の制御により、各々の光の分波角度
を調節し、かつリッジ導波路の光回路網を工夫すること
により、分光した複数の光を相互に光交換する機能を実
現できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例の分光型光スイッチの斜視図であ
る。
【図2】第1の実施例の機能を説明する図である。
【図3】第2の実施例の分光型光スイッチの平面図であ
る。
【図4】第2の実施例の機能を説明する図である。
【図5】第3の実施例の分光型光スイッチの平面図であ
る。
【図6】第3の実施例の機能を説明する図である。
【図7】第4の実施例の分光型光スイッチの光回路網の
略図である。
【図8】第5の実施例の分光型光スイッチの光回路網の
略図である。
【図9】従来の小型分光器の例を示す平面図である。
【符号の説明】
1 スラブ導波路部 2 リッジ導波路 3 垂直回折格子 4 入力光(λ1 ,λ2 …λn ) 5 出力光 11 n−InP基板 12 垂直回折格子 13 スラブ導波路部 14 入力導波路部 15 集光導波路(I) 16 集光導波路(II) 17 集光導波路(III) 18 出力導波路(I) 19 出力導波路(II) 20 全反射鏡 21 導波路合波部 22 導波路交差部 23 p−電極 24 n−電極 25 入力光 26 出力光(I) 27 出力光(II) 28 リード線 31 スラブ導波路 32 垂直回折格子 33 入力導波路 34 集光導波路(I) 35 集光導波路(II) 36 集光導波路(III) 37 集光導波路(IV) 38 出力導波路(I) 39 出力導波路(II) 40 全反射鏡 41 導波路合波部 42 導波路交差部 43 入力光 44 出力光(I) 45 出力光(II) 51 スラブ導波路部 52 垂直回折格子 53 入力導波路 54 集光導波路(I) 55 集光導波路(II) 56 集光導波路(III) 57 集光導波路(IV) 58 集光導波路(V) 59 出力導波路(I) 60 出力導波路(II) 61 出力導波路(III) 62 入力光 63 出力光(I) 64 出力光(II) 65 出力光(III) 66 全反射鏡 67 導波路合波部 68 導波路交差部 71 入力導波路 72 出力導波路(I) 73 出力導波路(II) 74 出力導波路(III) 75 全反射鏡 76 導波路交差部 77 導波路合波部 78 集光導波路 81 入力導波路 82 出力導波路(I) 83 出力導波路(II) 84 出力導波路(III) 85 出力導波路(IV) 86 全反射鏡 87 集光導波路

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板の表面上にスラブ導波路が形成され
    るとともに該基板の裏面と前記スラブ導波路の上面とに
    対をなす電極が設けられ、 該スラブ導波路の一端面には垂直回折格子が円弧状をな
    しかつ該垂直回折格子の溝の方向が前記基板の表面に垂
    直でありしかも該円弧状の垂直回折効果がローランド円
    上にあるように設けられ、 該スラブ導波路の他端面には一つの入力導波路と複数個
    の集光導波路がその入射部が1/2ローランド円上にあ
    るように設けられ、 前記基板の表面上には、複数個の出力導波路が形成され
    るとともに前記複数個の集光導波路からの各出力光を該
    複数の出力導波路に選択的に供給するための光導波路網
    が形成され、 該光導波路網は前記一つの入力導波路に入力された波長
    の異なる複数の入力光が前記対をなす電極間に印加され
    た逆バイアス電圧の値により複数の出力導波路に選択的
    に光交換されるように形成された分光型光スイッチ。
  2. 【請求項2】 前記垂直回折格子の形状を鋸状にして、
    その入射光と回折光とが、該回折格子の溝の面に対し
    て、略正反射の関係になるように形成されたことを特徴
    とする請求項1に記載の分光型光スイッチ。
  3. 【請求項3】 前記垂直回折格子の端面に、絶縁膜と金
    属膜からなる高反射膜が形成されていることを特徴とす
    る請求項1又は2に記載の分光型光スイッチ。
  4. 【請求項4】 前記スラブ導波路が、n型InP基板、
    n型InPクラッド層、アンドープのInGaAsPコ
    ア層、アンドープInP層、p型InPクラッド層,p
    型InGaAsPコンタクト層からなり、逆バイアス電
    圧が印加できるように構成されていることを特徴とする
    請求項1,2,3のいずれかに記載の分光型光スイッ
    チ。
  5. 【請求項5】 前記スラブ導波路が、n型InP基板,
    n型InPクラッド層,アンドープのInGaAs/I
    nAlAsのあるいはInGaAs/InPの多重量子
    井戸コア層,アンドープInP層,p型InPクラッド
    層,p型InGaAsPコンタクト層からなり、逆バイ
    アス電圧が印加できるように構成されていることを特徴
    とする請求項1,2,3のいずれかに記載の分光型光ス
    イッチ。
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