JPH05157555A - 原子間力顕微鏡用プローブ - Google Patents
原子間力顕微鏡用プローブInfo
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- JPH05157555A JPH05157555A JP3324710A JP32471091A JPH05157555A JP H05157555 A JPH05157555 A JP H05157555A JP 3324710 A JP3324710 A JP 3324710A JP 32471091 A JP32471091 A JP 32471091A JP H05157555 A JPH05157555 A JP H05157555A
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】長時間観察を中断させることなく、異なる曲げ
こわさのプローブで素速く測定を再開することのでき
る、測定の効率のよいプローブを提供する。 【構成】本体と、前記本体に一端を固定され、この一端
を支点とする可撓性のプレートと、前記プレートの他端
に立設された針状のチップとを有し、前記チップの受け
る原子間力を前記プレートの撓みのとして検出する原子
間力顕微鏡において、支点を変更する指示を受け付ける
指示受付部と、前記指示に応じて前記プレートの一端と
他端の間の少なくとも一箇所を前記本体に固定すること
により支点を変更する支点変更手段とを有する。
こわさのプローブで素速く測定を再開することのでき
る、測定の効率のよいプローブを提供する。 【構成】本体と、前記本体に一端を固定され、この一端
を支点とする可撓性のプレートと、前記プレートの他端
に立設された針状のチップとを有し、前記チップの受け
る原子間力を前記プレートの撓みのとして検出する原子
間力顕微鏡において、支点を変更する指示を受け付ける
指示受付部と、前記指示に応じて前記プレートの一端と
他端の間の少なくとも一箇所を前記本体に固定すること
により支点を変更する支点変更手段とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料表面の極めて微細
な構造を観察するための原子間力顕微鏡に用いられるプ
ローブ（測定端子）に関するものである。
な構造を観察するための原子間力顕微鏡に用いられるプ
ローブ（測定端子）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来の原子間力顕微鏡（ＡＦ
Ｍ）の概略構成図である。同顕微鏡用プローブは、針状
のチップ１とプレート部２と本体４からなる。図３は、
従来のプローブの先端部分の拡大図である。図２、図３
からわかるように、プレート２の一端は、本体４に固定
されており、プレート２の他端には三角錐状のチップ１
が立設されている。チップ１は円錐、四角錐などの形状
をとる場合もある。プローブは、ｚ−駆動装置（図示せ
ず）に取り付けられたプローブホルダ（図示せず）によ
り保持されｚ軸方向に駆動可能である。
Ｍ）の概略構成図である。同顕微鏡用プローブは、針状
のチップ１とプレート部２と本体４からなる。図３は、
従来のプローブの先端部分の拡大図である。図２、図３
からわかるように、プレート２の一端は、本体４に固定
されており、プレート２の他端には三角錐状のチップ１
が立設されている。チップ１は円錐、四角錐などの形状
をとる場合もある。プローブは、ｚ−駆動装置（図示せ
ず）に取り付けられたプローブホルダ（図示せず）によ
り保持されｚ軸方向に駆動可能である。
【０００３】観察用の試料５は、ｘｙｚ−走査系（ピエ
ゾ駆動型ｘｙｚステージ）７に装着されている。チップ
１先端をｚ−駆動装置により、試料５の表面のごく近距
離に接近させると、Ｐａｕｌｉの排他律による斥力が試
料５の表面とチップ１の先端との間に作用し、プレート
部２にたわみが生じる。
ゾ駆動型ｘｙｚステージ）７に装着されている。チップ
１先端をｚ−駆動装置により、試料５の表面のごく近距
離に接近させると、Ｐａｕｌｉの排他律による斥力が試
料５の表面とチップ１の先端との間に作用し、プレート
部２にたわみが生じる。
【０００４】このたわみの変位量を光学的手段を用いた
変位検出器で検出する。図２に示したのは、レーザ光１
２をプレート部２へ斜入射させて、その反射光の角度変
化をフォトディテクタ６で検出する方法の例である。こ
の検出した変位量が一定になるように、圧電素子等を利
用したｚ−駆動装置により、チップ１の先端の位置を制
御しながら、同時に、試料５をｘｙｚ−走査系によりｘ
ｙ方向に走査することにより、試料表面の凹凸構造を原
子的スケールの分解能で知ることができる。
変位検出器で検出する。図２に示したのは、レーザ光１
２をプレート部２へ斜入射させて、その反射光の角度変
化をフォトディテクタ６で検出する方法の例である。こ
の検出した変位量が一定になるように、圧電素子等を利
用したｚ−駆動装置により、チップ１の先端の位置を制
御しながら、同時に、試料５をｘｙｚ−走査系によりｘ
ｙ方向に走査することにより、試料表面の凹凸構造を原
子的スケールの分解能で知ることができる。
【０００５】同顕微鏡を用いて観察できる試料は、金
属、生物、高分子など様々な材料であり、またそれらの
形態もバルク、薄膜、粘性の高いゲルなど多岐にわたっ
ている。これらの試料は、それぞれ適した曲げこわさを
持つプローブで測定する必要がある。
属、生物、高分子など様々な材料であり、またそれらの
形態もバルク、薄膜、粘性の高いゲルなど多岐にわたっ
ている。これらの試料は、それぞれ適した曲げこわさを
持つプローブで測定する必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、原子間
力顕微鏡においては、試料によって曲げこわさ（ｆｌｅ
ｘｕｒａｌ ｒｉｇｉｄｉｔｙ）の異なるプローブを用
意することが必要である。しかし、新規の試料では、ど
の程度の曲げこわさを持つプローブが測定に適している
かを測定前に知ることは難しく、とりあえず観察者の判
断でプローブを選択して装着し、測定をおこなっては、
現在装着しているプローブとの相対的な比較で適当と思
われるプローブに交換していた。
力顕微鏡においては、試料によって曲げこわさ（ｆｌｅ
ｘｕｒａｌ ｒｉｇｉｄｉｔｙ）の異なるプローブを用
意することが必要である。しかし、新規の試料では、ど
の程度の曲げこわさを持つプローブが測定に適している
かを測定前に知ることは難しく、とりあえず観察者の判
断でプローブを選択して装着し、測定をおこなっては、
現在装着しているプローブとの相対的な比較で適当と思
われるプローブに交換していた。
【０００７】しかし、最適なプローブを１回のためし測
定で、見つけることは難しく、何度もプローブを交換す
ることも珍しくなかった。ところが、プローブを交換し
新たに試料をセットする作業は時間がかかり、特に真空
中や水中等の外気から遮断して観察を行っている場合に
は特に時間がかかるため、測定の効率が極端に低下して
しまうという問題があった。このように、長時間の中断
は、生体等ダメージを受けやすい試料に変質等の問題を
引き起こしやすく、また、プローブを交換することによ
り、試料表面の同一場所を観察することが難しくなるの
で、さらに観察効率を低化させてしまう。
定で、見つけることは難しく、何度もプローブを交換す
ることも珍しくなかった。ところが、プローブを交換し
新たに試料をセットする作業は時間がかかり、特に真空
中や水中等の外気から遮断して観察を行っている場合に
は特に時間がかかるため、測定の効率が極端に低下して
しまうという問題があった。このように、長時間の中断
は、生体等ダメージを受けやすい試料に変質等の問題を
引き起こしやすく、また、プローブを交換することによ
り、試料表面の同一場所を観察することが難しくなるの
で、さらに観察効率を低化させてしまう。
【０００８】本発明は、長時間観察を中断させることな
く、異なる曲げこわさのプローブで素速く測定を再開す
ることのできる、測定の効率のよいプローブを提供する
ことを目的とするものである。
く、異なる曲げこわさのプローブで素速く測定を再開す
ることのできる、測定の効率のよいプローブを提供する
ことを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、本体と、前記本体に一端を固定され、こ
の一端を支点とする可撓性のプレートと、前記プレート
の他端に立設された針状のチップとを有し、前記チップ
の受ける原子間力を前記プレートの撓みのとして検出す
る原子間力顕微鏡用プローブに、支点を変更する指示を
受け付ける指示受付部と、前記指示に応じて前記プレー
トの一端と他端の間の少なくとも一箇所を前記本体に固
定することにより支点を変更する支点変更手段とを備え
た。
成するために、本体と、前記本体に一端を固定され、こ
の一端を支点とする可撓性のプレートと、前記プレート
の他端に立設された針状のチップとを有し、前記チップ
の受ける原子間力を前記プレートの撓みのとして検出す
る原子間力顕微鏡用プローブに、支点を変更する指示を
受け付ける指示受付部と、前記指示に応じて前記プレー
トの一端と他端の間の少なくとも一箇所を前記本体に固
定することにより支点を変更する支点変更手段とを備え
た。
【００１０】
【作用】プローブのプレートの曲げこわさは、プレート
の材質および形状によって決まる。本発明では、一端が
本体に固定され、この点を支点とするプレートを、測定
者の指示に応じて、プレートの一端と他端の間の別の箇
所で、本体にさらに固定する支点変更手段を備え、これ
により新たな支点を作る。このような支点変更手段を備
えることで、１つのプローブでありながら、プレートの
一端を支点とする状態と、プレートの途中を支点とする
状態とを測定者の指示で選択することが可能となる。し
たがって、プローブの先端に設けられた針状チップから
支点までの長さは、それぞれの状態によって異なる長さ
となり、異なる複数のプレートの曲げこわさを１つのプ
ローブで実現可能となる。
の材質および形状によって決まる。本発明では、一端が
本体に固定され、この点を支点とするプレートを、測定
者の指示に応じて、プレートの一端と他端の間の別の箇
所で、本体にさらに固定する支点変更手段を備え、これ
により新たな支点を作る。このような支点変更手段を備
えることで、１つのプローブでありながら、プレートの
一端を支点とする状態と、プレートの途中を支点とする
状態とを測定者の指示で選択することが可能となる。し
たがって、プローブの先端に設けられた針状チップから
支点までの長さは、それぞれの状態によって異なる長さ
となり、異なる複数のプレートの曲げこわさを１つのプ
ローブで実現可能となる。
【００１１】支点変更手段は、プレートの一端と他端の
間の少なくとも一箇所を前記本体に固定する。支点変更
手段が固定する点が１ヶ所である場合には、プレートの
端部と途中の１箇所とで、２つの支点を有し、プレート
は２つの曲げこわさを実現可能である。また、支点変更
手段が、複数点を固定可能である場合には、プレートの
端部と、途中の複数箇所の複数の支点を有し、プレート
は２つの曲げこわさを実現可能である。
間の少なくとも一箇所を前記本体に固定する。支点変更
手段が固定する点が１ヶ所である場合には、プレートの
端部と途中の１箇所とで、２つの支点を有し、プレート
は２つの曲げこわさを実現可能である。また、支点変更
手段が、複数点を固定可能である場合には、プレートの
端部と、途中の複数箇所の複数の支点を有し、プレート
は２つの曲げこわさを実現可能である。
【００１２】このように支点を変更する指示を受け付け
る指示受付部と、支点変更手段を備えたことで、プロー
ブを交換することなく、曲げこわさを変えることができ
る。
る指示受付部と、支点変更手段を備えたことで、プロー
ブを交換することなく、曲げこわさを変えることができ
る。
【００１３】
【実施例】本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
【００１４】図１（ａ）は本発明の一実施例のプローブ
の断面図、図１（ｂ）は上面図である。本実施例のプロ
ーブは、酸化硅素あるいは窒化硅素の薄膜からなるプレ
ート２と、このプレート２の先端部に立設された針状の
チップ１を備えている。プレート２の一端２ａは、シリ
コン単結晶の本体４に固定され、プレート２は固定部の
端部を支点１４としている。プレートの針状チップが立
設されている面には、金属からなる電極３が設けられて
いる。また、本体４は、プレート２のチップ１が立設さ
れていない面側に、突出部４ａを張り出している。前記
プレートの電極が形成されていない面は、支点１４から
突出部４ａの端部１３にわたり、本体４との間に予め定
められた間隙１５を形成している。電極の端部３ａは、
突出部の端部１３に対応するプレート上に位置するよう
に設けられている。実際の測定時には、針状チップ１の
先端が、試料側一般的には下方を向くように使用する。
金属の電極３は、薄くまた一部に配されているだけなの
で、プレート２の曲げこわさに影響を与えない。
の断面図、図１（ｂ）は上面図である。本実施例のプロ
ーブは、酸化硅素あるいは窒化硅素の薄膜からなるプレ
ート２と、このプレート２の先端部に立設された針状の
チップ１を備えている。プレート２の一端２ａは、シリ
コン単結晶の本体４に固定され、プレート２は固定部の
端部を支点１４としている。プレートの針状チップが立
設されている面には、金属からなる電極３が設けられて
いる。また、本体４は、プレート２のチップ１が立設さ
れていない面側に、突出部４ａを張り出している。前記
プレートの電極が形成されていない面は、支点１４から
突出部４ａの端部１３にわたり、本体４との間に予め定
められた間隙１５を形成している。電極の端部３ａは、
突出部の端部１３に対応するプレート上に位置するよう
に設けられている。実際の測定時には、針状チップ１の
先端が、試料側一般的には下方を向くように使用する。
金属の電極３は、薄くまた一部に配されているだけなの
で、プレート２の曲げこわさに影響を与えない。
【００１５】図５において、プレート２の動作を説明す
る。図５のように、プローブ使用時には、本体４の一部
に電極４ｂを設け、この電極４ｂと電極３の端部３ｂと
の間に電源１７を接続する。この場合電極３ｂと電極４
ｂは、顕微鏡の操作者の指示を受け付ける指示受付部と
して機能する。スイッチ１６がオフすなわち電圧を印加
していないときには、図５（ａ）のように、プレート２
は、チップ１が受けた試料からの原子間力によって、１
４を支点としてたわむ。
る。図５のように、プローブ使用時には、本体４の一部
に電極４ｂを設け、この電極４ｂと電極３の端部３ｂと
の間に電源１７を接続する。この場合電極３ｂと電極４
ｂは、顕微鏡の操作者の指示を受け付ける指示受付部と
して機能する。スイッチ１６がオフすなわち電圧を印加
していないときには、図５（ａ）のように、プレート２
は、チップ１が受けた試料からの原子間力によって、１
４を支点としてたわむ。
【００１６】操作者が、スイッチ１６がオンすなわち電
源を印加すると、プレート２と本体４のそれぞれ間隙１
５を挟んで向き合う面には、反対の極性に静電荷が存在
するので、引き付け合い、プレート２は本体の突出部４
の端部１３に接触する。したがって、プレートの支点は
１３となり、プレートは１３を支点として撓む。このよ
うに、電極３および本体４の突出部４ａおよび電極４ｂ
は、電圧を印加するか否かによって支点の位置を変更す
る支点変更手段を構成している。電極３ｂ，４ｂに、電
圧をかけるのをやめれば、再び元の支点１４になる。
源を印加すると、プレート２と本体４のそれぞれ間隙１
５を挟んで向き合う面には、反対の極性に静電荷が存在
するので、引き付け合い、プレート２は本体の突出部４
の端部１３に接触する。したがって、プレートの支点は
１３となり、プレートは１３を支点として撓む。このよ
うに、電極３および本体４の突出部４ａおよび電極４ｂ
は、電圧を印加するか否かによって支点の位置を変更す
る支点変更手段を構成している。電極３ｂ，４ｂに、電
圧をかけるのをやめれば、再び元の支点１４になる。
【００１７】このように支点の位置が変更されることに
より、プレートの支点からチップ１までの長さは変わ
り、プレートの曲げこわさも変更される。従って、プロ
ーブを交換することなく異なる曲げこわさのプローブに
よって、測定を行うことができる。
より、プレートの支点からチップ１までの長さは変わ
り、プレートの曲げこわさも変更される。従って、プロ
ーブを交換することなく異なる曲げこわさのプローブに
よって、測定を行うことができる。
【００１８】つぎに、図４を用いてプローブの製作プロ
セスを示す。まず、シリコン基板４にＰＳＧ（リンけい
酸ガラス）８を堆積させる（図４（ａ））。表側にレジ
スト９をコートし（ｂ）、フォトリソによりパターンを
形成し（ｃ）、このレジスト９のパターンをマスクとし
てエッチングし（ｄ）、レジスト９を剥離し図１の間隙
部分となるＰＳＧ層８を形成する（ｅ）。次に窒化硅素
膜、あるいは酸化硅素膜１０を基板４の両面に堆積し
（ｆ）、さらにアルミ等の金属１１を表側に堆積させる
（ｇ）。レジスト９をコートし（ｈ）、フォトリソによ
りチップ１と電極３のパターンを形成し（ｉ）、このレ
ジストパターンをマスクとしてエッチングする（ｊ）。
レジストを剥離した後、もう一度レジスト９をコートし
（ｋ）、フォトリソによりレバーのパターンを形成する
（ｌ）。このパターンをマスクとしてプレート２となる
部分をＣＦ４等のドライエッチングによって形成し、レ
ジストを剥離する（ｍ）。さらに基板４の面にレジスト
９をコートし、バックエッチング用のパターンを形成す
る（ｎ）。このパターンをマスクとしてエッチングを行
ないバックエッチングのマスクとする（ｏ）。ＫＯＨあ
るいはＥＤＰ（エチレンジアミンとピロカテコールとの
水溶液）等の強アルカリ溶液を用いてシリコンウェハを
エッチングする（ｐ）。最後にＰＳＧ８をエッチングし
て除去し、プレート２となる窒化珪素膜１０を浮かせ、
さらに個々のプローブに分割する（ｑ）。
セスを示す。まず、シリコン基板４にＰＳＧ（リンけい
酸ガラス）８を堆積させる（図４（ａ））。表側にレジ
スト９をコートし（ｂ）、フォトリソによりパターンを
形成し（ｃ）、このレジスト９のパターンをマスクとし
てエッチングし（ｄ）、レジスト９を剥離し図１の間隙
部分となるＰＳＧ層８を形成する（ｅ）。次に窒化硅素
膜、あるいは酸化硅素膜１０を基板４の両面に堆積し
（ｆ）、さらにアルミ等の金属１１を表側に堆積させる
（ｇ）。レジスト９をコートし（ｈ）、フォトリソによ
りチップ１と電極３のパターンを形成し（ｉ）、このレ
ジストパターンをマスクとしてエッチングする（ｊ）。
レジストを剥離した後、もう一度レジスト９をコートし
（ｋ）、フォトリソによりレバーのパターンを形成する
（ｌ）。このパターンをマスクとしてプレート２となる
部分をＣＦ４等のドライエッチングによって形成し、レ
ジストを剥離する（ｍ）。さらに基板４の面にレジスト
９をコートし、バックエッチング用のパターンを形成す
る（ｎ）。このパターンをマスクとしてエッチングを行
ないバックエッチングのマスクとする（ｏ）。ＫＯＨあ
るいはＥＤＰ（エチレンジアミンとピロカテコールとの
水溶液）等の強アルカリ溶液を用いてシリコンウェハを
エッチングする（ｐ）。最後にＰＳＧ８をエッチングし
て除去し、プレート２となる窒化珪素膜１０を浮かせ、
さらに個々のプローブに分割する（ｑ）。
【００１９】つぎに本発明の別の実施例を図６を用いて
説明する。本実施例では、本体４に３つの突出部３４、
３５、３６を設け、それぞれの位置に対応するプレート
２上に３つの電極３１、３２、３３を設けた。上述の実
施例と同じように、電圧を印加しない場合の図５（ａ）
のように支点３７であるが、それぞれの電極３１、３
２、３３に電圧を印加することにより、図５（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）の様に支点は、突出部３４、３５、３６
に変更される。このように、複数の変更可能な支点を設
けることにより、１つのプローブで、支点の数と同じ数
の曲げこわさを有するプレートとなる。
説明する。本実施例では、本体４に３つの突出部３４、
３５、３６を設け、それぞれの位置に対応するプレート
２上に３つの電極３１、３２、３３を設けた。上述の実
施例と同じように、電圧を印加しない場合の図５（ａ）
のように支点３７であるが、それぞれの電極３１、３
２、３３に電圧を印加することにより、図５（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）の様に支点は、突出部３４、３５、３６
に変更される。このように、複数の変更可能な支点を設
けることにより、１つのプローブで、支点の数と同じ数
の曲げこわさを有するプレートとなる。
【００２０】このように、本発明のプローブを用いるこ
とにより、プローブを交換することなく、支点の変更を
指示するのみで異なる曲げこわさのプレートで測定する
ことができる。支点の変更は静電荷の引き合う力で、素
速く行われるので、測定の効率を低下させることはな
い。また、特に真空中やガス中等の外気から遮断して観
察を行っている場合にも、外気に戻すことなくプローブ
の曲げこわさを変更できるので、従来と比較し、測定の
効率を上げることができる。したがって、試料に変質等
の問題を引き起こすことなく、また、チップの先端の位
置は、変わらないので、試料表面の同一場所を続けて観
察することができる。
とにより、プローブを交換することなく、支点の変更を
指示するのみで異なる曲げこわさのプレートで測定する
ことができる。支点の変更は静電荷の引き合う力で、素
速く行われるので、測定の効率を低下させることはな
い。また、特に真空中やガス中等の外気から遮断して観
察を行っている場合にも、外気に戻すことなくプローブ
の曲げこわさを変更できるので、従来と比較し、測定の
効率を上げることができる。したがって、試料に変質等
の問題を引き起こすことなく、また、チップの先端の位
置は、変わらないので、試料表面の同一場所を続けて観
察することができる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、操作者
の指示に応じて、プレート支点を変更することにより、
長時間観察を中断させることなく、異なる曲げこわさの
プローブで素速く測定を再開することのできる、測定の
効率のよいプローブを提供される。
の指示に応じて、プレート支点を変更することにより、
長時間観察を中断させることなく、異なる曲げこわさの
プローブで素速く測定を再開することのできる、測定の
効率のよいプローブを提供される。
【図１】（ａ）本発明による原子間力顕微鏡用プローブ
の一例の断面図、（ｂ）上面図。
の一例の断面図、（ｂ）上面図。
【図２】従来の原子間力顕微鏡の構成概略図。
【図３】図２のプレート２の拡大斜視図。
【図４】本発明のプローブの一例を製作するプロセスを
示す断面図。
示す断面図。
【図５】図１に示したプローブの動作を示す断面図。
【図６】（ａ）〜（ｄ）本発明の別の実施例を示す断面
図、（ｅ）上面図。
図、（ｅ）上面図。
１…針状チップ、２…プレート、３…電極、４…シリコ
ン本体、５…試料、６…フォトディテクタ、７…ｘｙｚ
ステージ、８…ＰＳＧ（リンけい酸ガラス）、９…レジ
スト、１０…窒化硅素膜、１１…アルミ、１２…レーザ
ー光、１３、１４…支点、１５…間隙、１６…スイッ
チ、１７…電源、３１、３２、３３…電極、３４、３
５、３６…突出部および支点、３７…支点。
ン本体、５…試料、６…フォトディテクタ、７…ｘｙｚ
ステージ、８…ＰＳＧ（リンけい酸ガラス）、９…レジ
スト、１０…窒化硅素膜、１１…アルミ、１２…レーザ
ー光、１３、１４…支点、１５…間隙、１６…スイッ
チ、１７…電源、３１、３２、３３…電極、３４、３
５、３６…突出部および支点、３７…支点。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩崎 純 東京都品川区西大井１丁目６番３号 株式 会社ニコン大井製作所内
Claims (3)
- 【請求項１】本体と、前記本体に一端を固定され、この
一端を支点とする可撓性のプレートと、前記プレートの
他端に立設された針状のチップとを有し、前記チップの
受ける原子間力を前記プレートの撓みとして検出する原
子間力顕微鏡用プローブにおいて、 支点を変更する指示を受け付ける指示受付部と、前記指
示に応じて前記プレートの一端と他端の間の少なくとも
一箇所を前記本体に固定することにより支点を変更する
支点変更手段とを有することを特徴とする原子間力顕微
鏡用プローブ。 - 【請求項２】請求項１において、前記支点変更手段は、
極性の異なる静電荷の引き合う力により前記プレートを
前記本体に固定することを特徴とする原子間力顕微鏡用
プローブ。 - 【請求項３】請求項２において、前記プレートは絶縁体
で構成し、少なくとも前記一箇所に対応するプレートの
上面に第１の電極を設け、前記プレートの下面は前記固
定された一端から前記本体の前記一箇所にわたり前記本
体との間に予め定められた間隙を形成し、 前記本体は半導体で構成され、該半導体に第２電極を設
け、前記第１および第２の電極間に電圧を印加すること
により、前記間隙をはさむプレートと本体の対向部を接
触させることを特徴とする原子間力顕微鏡用プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3324710A JPH05157555A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 原子間力顕微鏡用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3324710A JPH05157555A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 原子間力顕微鏡用プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157555A true JPH05157555A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=18168847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3324710A Pending JPH05157555A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 原子間力顕微鏡用プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05157555A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018029151A1 (en) * | 2016-08-08 | 2018-02-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Scanning probe microscope and method for examining a sample surface |
-
1991
- 1991-12-09 JP JP3324710A patent/JPH05157555A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018029151A1 (en) * | 2016-08-08 | 2018-02-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Scanning probe microscope and method for examining a sample surface |
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