JPH05155055A - サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
サーマルヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH05155055A JPH05155055A JP32484591A JP32484591A JPH05155055A JP H05155055 A JPH05155055 A JP H05155055A JP 32484591 A JP32484591 A JP 32484591A JP 32484591 A JP32484591 A JP 32484591A JP H05155055 A JPH05155055 A JP H05155055A
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- Japan
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- convex portion
- glaze
- substrate
- thermal head
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 曲率半径が小さい凸部を簡単に形成する。
【構成】 耐熱絶縁基板１０の全面にグレーズ１９を塗
布してから、この上に断面が略半円形をしたグラスファ
イバー２０を載せる。グレーズ１９が硬化してグラスフ
ァイバー２０が耐熱絶縁基板１０に固定される。グレー
ズ１９及びグラスファイバー２０の表面に、ＳｉＯ2 の
薄膜絶縁層２１をスパッター方式により形成する。この
ようにして形成された凸部２２の上には、発熱素子と電
極とが順次形成される。
布してから、この上に断面が略半円形をしたグラスファ
イバー２０を載せる。グレーズ１９が硬化してグラスフ
ァイバー２０が耐熱絶縁基板１０に固定される。グレー
ズ１９及びグラスファイバー２０の表面に、ＳｉＯ2 の
薄膜絶縁層２１をスパッター方式により形成する。この
ようにして形成された凸部２２の上には、発熱素子と電
極とが順次形成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感熱記録や熱転写記録
を行うためのサーマルヘッドの製造方法に関するもので
ある。
を行うためのサーマルヘッドの製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】サーマルヘッドは、例えばアルミナで形
成された基板の上に、記録紙やインクリボン等の被加熱
シートとの接触を良好にするために円柱状の凸部が形成
されており、この凸部の上に複数個の発熱素子が主走査
方向に直線状に配列され、各発熱素子には通電用の電極
が設けられている。
成された基板の上に、記録紙やインクリボン等の被加熱
シートとの接触を良好にするために円柱状の凸部が形成
されており、この凸部の上に複数個の発熱素子が主走査
方向に直線状に配列され、各発熱素子には通電用の電極
が設けられている。
【０００３】前記円柱状の凸部は、部分グレーズと呼ば
れている。この部分グレーズを形成するには、例えば基
板の上にガラスインクを細線状にスクリーン印刷し、高
温で加熱処理する。これによって、ガラスインク中のバ
インダが気化し、ガラスが溶融して表面張力で盛り上が
り、その断面が半円形よりやや平たい略半円形になって
部分グレーズが形成される。
れている。この部分グレーズを形成するには、例えば基
板の上にガラスインクを細線状にスクリーン印刷し、高
温で加熱処理する。これによって、ガラスインク中のバ
インダが気化し、ガラスが溶融して表面張力で盛り上が
り、その断面が半円形よりやや平たい略半円形になって
部分グレーズが形成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したようにガラス
インクの直線状パターンは、スクリーン印刷法により形
成しているが、スクリーン印刷法ではガラスインクの直
線状パターンを細く、しかも厚く印刷することが困難で
ある。その結果、部分グレーズの曲率半径は約２mm程度
が限界である。この程度の曲率半径では、被加熱シート
と発熱素子との接触面積が大きくなり、単位面積当たり
のヘッド押しつけ圧が小さくなる。したがって、ヘッド
と被加熱シートとの接触圧を強くしないと、良好な接触
が得られないことになる。もし、接触が不良であると、
発熱素子と被加熱シートとの間の接触面積や圧力が変化
するため、記録画像に白抜けやザラツキが発生し、画質
低下の原因になる。また、接触不良の場合には、被加熱
シートへの熱伝導が変化するため、発熱素子に加える駆
動エネルギーを大きくしなければならないという問題が
生じる。
インクの直線状パターンは、スクリーン印刷法により形
成しているが、スクリーン印刷法ではガラスインクの直
線状パターンを細く、しかも厚く印刷することが困難で
ある。その結果、部分グレーズの曲率半径は約２mm程度
が限界である。この程度の曲率半径では、被加熱シート
と発熱素子との接触面積が大きくなり、単位面積当たり
のヘッド押しつけ圧が小さくなる。したがって、ヘッド
と被加熱シートとの接触圧を強くしないと、良好な接触
が得られないことになる。もし、接触が不良であると、
発熱素子と被加熱シートとの間の接触面積や圧力が変化
するため、記録画像に白抜けやザラツキが発生し、画質
低下の原因になる。また、接触不良の場合には、被加熱
シートへの熱伝導が変化するため、発熱素子に加える駆
動エネルギーを大きくしなければならないという問題が
生じる。
【０００５】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、発熱素子が配置される小さい曲率半径の凸
部を精度良く簡単に形成して被加熱シートとの接触を良
好にするサーマルヘッドの製造方法を提供することを目
的とする。
れたもので、発熱素子が配置される小さい曲率半径の凸
部を精度良く簡単に形成して被加熱シートとの接触を良
好にするサーマルヘッドの製造方法を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、請求項１に記載したサーマルヘッドの製造方法は、
基板の上にグレーズ層を塗布し、この上に円柱面を有す
るグラスファイバー製の曲面体を載せ、グレーズ層に曲
面体を固着することにより凸部を形成するものである。
請求項２に記載したサーマルヘッドの製造方法は、基板
を削ることにより凸部を形成するものである。請求項３
に記載したサーマルヘッドの製造方法は、基板の上にマ
スクを配置し、このマスクを介して絶縁性物質を蒸着す
ることにより凸部を形成するものである。
に、請求項１に記載したサーマルヘッドの製造方法は、
基板の上にグレーズ層を塗布し、この上に円柱面を有す
るグラスファイバー製の曲面体を載せ、グレーズ層に曲
面体を固着することにより凸部を形成するものである。
請求項２に記載したサーマルヘッドの製造方法は、基板
を削ることにより凸部を形成するものである。請求項３
に記載したサーマルヘッドの製造方法は、基板の上にマ
スクを配置し、このマスクを介して絶縁性物質を蒸着す
ることにより凸部を形成するものである。
【０００７】
【実施例】図２は本発明の方法によって製造したサーマ
ヘッドを副走査方向に切断した断面図である。アルミナ
の如き耐熱絶縁基板１０の上にグレーズ層１３と発熱素
子１４が設けられている。この発熱素子１４は、抵抗材
料を蒸着，スパッタ，ＣＶＤ，焼結等によって形成され
る。なお、符号１６は電極であり、１７は耐磨耗性の保
護層である。
ヘッドを副走査方向に切断した断面図である。アルミナ
の如き耐熱絶縁基板１０の上にグレーズ層１３と発熱素
子１４が設けられている。この発熱素子１４は、抵抗材
料を蒸着，スパッタ，ＣＶＤ，焼結等によって形成され
る。なお、符号１６は電極であり、１７は耐磨耗性の保
護層である。
【０００８】前記グレーズ層１３は、図１（Ａ）に示す
ように、耐熱絶縁基板１０の全面にＳｉＯ2 のグレーズ
１９を薄膜状に、例えばシリコンアルコキシロ塗布液を
塗布することにより設けてから、断面が略半円形のグラ
スファイバー２０をグレーズ１９の上に載せる。所定時
間が経過すると、グレーズ１９は自然乾燥して硬化し、
同図（Ｂ）に示すように、グラスファイバー２０がグレ
ーズ１９を介して耐熱絶縁基板１０の上に固定される。
なお、加熱することによりグレーズ１９を早く硬化させ
るようにしてもよい。更に、高温で加熱して溶着しても
よい。そして、同図（Ｃ）に示すように、グレーズ１９
及びグラスファイバー２０の上に、例えばスパッター方
式によりＳｉＯ2 の薄膜絶縁層２１を形成して表面を滑
らかにし、凸部２２を形成したものである。こうして形
成されたグレーズ層１３の上に、発熱素子１４や電極１
６を設け、さらにその上を保護層１７で被覆すれば、図
２に示したサーマルヘッドが作製される。なお、グレー
ズ１９は、ガラスインクペーストを塗布後、ベークして
設けてもよい。
ように、耐熱絶縁基板１０の全面にＳｉＯ2 のグレーズ
１９を薄膜状に、例えばシリコンアルコキシロ塗布液を
塗布することにより設けてから、断面が略半円形のグラ
スファイバー２０をグレーズ１９の上に載せる。所定時
間が経過すると、グレーズ１９は自然乾燥して硬化し、
同図（Ｂ）に示すように、グラスファイバー２０がグレ
ーズ１９を介して耐熱絶縁基板１０の上に固定される。
なお、加熱することによりグレーズ１９を早く硬化させ
るようにしてもよい。更に、高温で加熱して溶着しても
よい。そして、同図（Ｃ）に示すように、グレーズ１９
及びグラスファイバー２０の上に、例えばスパッター方
式によりＳｉＯ2 の薄膜絶縁層２１を形成して表面を滑
らかにし、凸部２２を形成したものである。こうして形
成されたグレーズ層１３の上に、発熱素子１４や電極１
６を設け、さらにその上を保護層１７で被覆すれば、図
２に示したサーマルヘッドが作製される。なお、グレー
ズ１９は、ガラスインクペーストを塗布後、ベークして
設けてもよい。
【０００９】なお、グラスファイバー２０は、例えばＳ
ｉＯ2 から形成されており、凸部２２と記録紙やインク
リボン等の被加熱シートとの接触が良好になるように、
その曲率半径が設定されている。また、グラスファイバ
ー２０の断面形状は、半円形よりやや厚みの薄いものを
使用している。また、グレーズ１９及びグラスファイバ
ー２０の上にＳｉＯ2 の薄膜絶縁層２１を形成する方法
として、上記実施例ではスパッター方式を採用したが、
本発明はこれに限定されることなく、例えば蒸着やＣＶ
Ｄ（chemical vapordeposition ）等によっても形成す
ることができる。
ｉＯ2 から形成されており、凸部２２と記録紙やインク
リボン等の被加熱シートとの接触が良好になるように、
その曲率半径が設定されている。また、グラスファイバ
ー２０の断面形状は、半円形よりやや厚みの薄いものを
使用している。また、グレーズ１９及びグラスファイバ
ー２０の上にＳｉＯ2 の薄膜絶縁層２１を形成する方法
として、上記実施例ではスパッター方式を採用したが、
本発明はこれに限定されることなく、例えば蒸着やＣＶ
Ｄ（chemical vapordeposition ）等によっても形成す
ることができる。
【００１０】次に、発熱素子１４が設けられる凸部の他
の形成方法を図３〜図６を参照して説明する。図３に示
した方法は、同図（Ａ）に示すように、耐熱絶縁基板２
５の主走査方向に直線状の溝２６をエッチング等により
形成しておき、この溝２６を含む耐熱絶縁基板２５の全
面にグレーズ１９を塗布してから、同図（Ｂ）に示すよ
うに、溝２６に断面が円形のグラスファイバー２７を入
れてグレーズ１９を硬化させたものである。このように
して得られた凸部２９の上に、前記実施例と同様に発熱
素子や電極を設け、耐磨耗性の保護層で被覆すれば、サ
ーマルヘッドが完成される。なお、凸部２９の高さは、
グラスファイバー２７の径と溝２６の深さを調節するこ
とにより任意に設定できる。
の形成方法を図３〜図６を参照して説明する。図３に示
した方法は、同図（Ａ）に示すように、耐熱絶縁基板２
５の主走査方向に直線状の溝２６をエッチング等により
形成しておき、この溝２６を含む耐熱絶縁基板２５の全
面にグレーズ１９を塗布してから、同図（Ｂ）に示すよ
うに、溝２６に断面が円形のグラスファイバー２７を入
れてグレーズ１９を硬化させたものである。このように
して得られた凸部２９の上に、前記実施例と同様に発熱
素子や電極を設け、耐磨耗性の保護層で被覆すれば、サ
ーマルヘッドが完成される。なお、凸部２９の高さは、
グラスファイバー２７の径と溝２６の深さを調節するこ
とにより任意に設定できる。
【００１１】また、図４に示した凸部の形成方法は、図
３に示した実施例において、断面が円形のグラスファイ
バー２７の代わりに、パイプ状のグラスファイバー３０
を使用して凸部３１を形成したものである。このグラス
ファイバー３０の中空部には空気層があるため、発熱素
子から発生された熱はこの空気層で遮断され、耐熱絶縁
基板２５側にほとんど逃げなくなる。したがって、少な
いエネルギーで効率の良い熱記録を行うことができる。
３に示した実施例において、断面が円形のグラスファイ
バー２７の代わりに、パイプ状のグラスファイバー３０
を使用して凸部３１を形成したものである。このグラス
ファイバー３０の中空部には空気層があるため、発熱素
子から発生された熱はこの空気層で遮断され、耐熱絶縁
基板２５側にほとんど逃げなくなる。したがって、少な
いエネルギーで効率の良い熱記録を行うことができる。
【００１２】図５に示す方法では、凸部は、同図（Ａ）
に示すように、耐熱絶縁基板３５の上にフォトレジスト
３６を塗布してパターン状に光硬化又は光可溶化した
後、現像して得られる。これを加熱すると、同図（Ｂ）
に示すように、フォトレジスト３６は溶融し、表面張力
で角が丸くなる。そして、耐熱絶縁基板３５の表面をイ
オンエッチング又はスパッタエッチングを行うと、全体
に表面から均等な厚み分だけ削られ、同図（Ｂ）に示し
た輪郭と略相似な形状（同図（Ｃ）参照）になり、凸部
３５ａが形成される。さらに、同図（Ｄ）に示すよう
に、表面全体にＳｉＯ2 の薄膜絶縁層３７を形成し、更
にこの上に発熱素子，電極，保護層を順次設ける。な
お、基板を絶縁性物質で形成しておけば、薄膜絶縁層３
７による被覆を省略することもできる。また、耐熱絶縁
基板３５はアルミナの代わりにエッチングしやすい材料
を用いてもよい。
に示すように、耐熱絶縁基板３５の上にフォトレジスト
３６を塗布してパターン状に光硬化又は光可溶化した
後、現像して得られる。これを加熱すると、同図（Ｂ）
に示すように、フォトレジスト３６は溶融し、表面張力
で角が丸くなる。そして、耐熱絶縁基板３５の表面をイ
オンエッチング又はスパッタエッチングを行うと、全体
に表面から均等な厚み分だけ削られ、同図（Ｂ）に示し
た輪郭と略相似な形状（同図（Ｃ）参照）になり、凸部
３５ａが形成される。さらに、同図（Ｄ）に示すよう
に、表面全体にＳｉＯ2 の薄膜絶縁層３７を形成し、更
にこの上に発熱素子，電極，保護層を順次設ける。な
お、基板を絶縁性物質で形成しておけば、薄膜絶縁層３
７による被覆を省略することもできる。また、耐熱絶縁
基板３５はアルミナの代わりにエッチングしやすい材料
を用いてもよい。
【００１３】図６に示した凸部の形成方法は、同図
（Ａ）に示すように、矩形状の開口４０ａが形成された
マスク４０を介して絶縁性物質，例えばＳｉＯ2を耐熱
絶縁基板４１の上に蒸着する。この蒸着中には、マスク
４０及び耐熱絶縁基板４１を一緒に、その相対的な位置
関係を一定に保ちながら、例えば開口４０ａの中間部に
中心軸を設定してローリングさせる。これによって、開
口４０ａの中央の方が端側よりもＳｉＯ2 の通過量が多
くなるので、同図（Ｂ）に示すように、ＳｉＯ2 は中央
部が盛り上がった円柱面状に蒸着され、凸部４２が形成
される。この凸部４２の上には、薄膜絶縁層，発熱素
子，電極，保護層を順次形成する。
（Ａ）に示すように、矩形状の開口４０ａが形成された
マスク４０を介して絶縁性物質，例えばＳｉＯ2を耐熱
絶縁基板４１の上に蒸着する。この蒸着中には、マスク
４０及び耐熱絶縁基板４１を一緒に、その相対的な位置
関係を一定に保ちながら、例えば開口４０ａの中間部に
中心軸を設定してローリングさせる。これによって、開
口４０ａの中央の方が端側よりもＳｉＯ2 の通過量が多
くなるので、同図（Ｂ）に示すように、ＳｉＯ2 は中央
部が盛り上がった円柱面状に蒸着され、凸部４２が形成
される。この凸部４２の上には、薄膜絶縁層，発熱素
子，電極，保護層を順次形成する。
【００１４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明のサ
ーマルヘッドの製造方法によれば、円柱面を有する曲面
体をグレーズ層を介して基板に固定することによって凸
部を形成するから、曲率半径及び高さの精度が良好で、
しかも小さな曲率半径の凸部を簡単に作製することがで
きる。この結果、凸部の曲率半径を例えば０．１mm〜
０．５mmとすることが容易にでき、通常のヘッド押し付
け圧でも記録紙との接触が良好に行われるようになり、
表面に凹凸がある普通紙への溶融熱転写も可能になる。
また、凸部を形成するにあたり、基板そのものを削るよ
うにしたので、凸部の曲率半径を小さくすることが容易
にできるとともに部品点数の削減を図ることができ、さ
らに基板を絶縁性物質で形成しておけば、絶縁層の被覆
が不要になって製造工程が簡略になる。また、マスクを
介して絶縁性物質を蒸着するようにしたので、表面が滑
らかな曲率半径の小さい凸部を形成することができる。
ーマルヘッドの製造方法によれば、円柱面を有する曲面
体をグレーズ層を介して基板に固定することによって凸
部を形成するから、曲率半径及び高さの精度が良好で、
しかも小さな曲率半径の凸部を簡単に作製することがで
きる。この結果、凸部の曲率半径を例えば０．１mm〜
０．５mmとすることが容易にでき、通常のヘッド押し付
け圧でも記録紙との接触が良好に行われるようになり、
表面に凹凸がある普通紙への溶融熱転写も可能になる。
また、凸部を形成するにあたり、基板そのものを削るよ
うにしたので、凸部の曲率半径を小さくすることが容易
にできるとともに部品点数の削減を図ることができ、さ
らに基板を絶縁性物質で形成しておけば、絶縁層の被覆
が不要になって製造工程が簡略になる。また、マスクを
介して絶縁性物質を蒸着するようにしたので、表面が滑
らかな曲率半径の小さい凸部を形成することができる。
【図１】グレーズ層を介して半円柱形のグラスファイバ
ーを接合して凸部を形成する実施例を示す説明図であ
る。
ーを接合して凸部を形成する実施例を示す説明図であ
る。
【図２】図１の方法で作製した凸部を用いたサーマルヘ
ッドの一例を示す副走査方向の断面図である。
ッドの一例を示す副走査方向の断面図である。
【図３】基板の溝内に円柱状のグラスファイバーを接合
して凸部を形成する実施例を示す説明図である。
して凸部を形成する実施例を示す説明図である。
【図４】円柱状のグラスファイバーを用いた実施例の工
程を示す説明図である。
程を示す説明図である。
【図５】フォトレジストを用いて耐熱絶縁基板に凸部を
形成する実施例の工程を示す説明図である。
形成する実施例の工程を示す説明図である。
【図６】蒸着によって凸部を形成する実施例の工程を示
す説明図である。
す説明図である。
１０，２５，３５，４１ 耐熱絶縁基板 １３ グレーズ層 １４ 発熱素子 １９ グレーズ ２０，２７，３０ グラスファイバー ２１，３７ 薄膜絶縁層 ２２，２９，３１，３５ａ，４２ 凸部 ４０ マスク
Claims (3)
- 【請求項１】 基板の上に円柱面状の凸部を設け、この
凸部の上に発熱部が形成されたサーマルヘッドにおい
て、基板の上にグレーズ層を塗布し、この上に円柱面を
有するグラスファイバー製の曲面体を載せ、グレーズ層
に曲面体を固着することにより凸部を形成することを特
徴とするサーマルヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 基板の上に円柱面状のグラスファイバー
製の凸部を設け、この凸部の上に発熱部が形成されたサ
ーマルヘッドにおいて、基板を削ることにより凸部を形
成することを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 基板の上に円柱面状のグラスファイバー
製の凸部を設け、この凸部の上に発熱部が形成されたサ
ーマルヘッドにおいて、基板の上にマスクを配置し、こ
のマスクを介して絶縁性物質を蒸着することにより凸部
を形成することを特徴とするサーマルヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32484591A JPH05155055A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | サーマルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32484591A JPH05155055A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | サーマルヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05155055A true JPH05155055A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=18170315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32484591A Pending JPH05155055A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | サーマルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05155055A (ja) |
-
1991
- 1991-12-09 JP JP32484591A patent/JPH05155055A/ja active Pending
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