JPH05154908A - 薄膜の製造法 - Google Patents

薄膜の製造法

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JPH05154908A
JPH05154908A JP4140913A JP14091392A JPH05154908A JP H05154908 A JPH05154908 A JP H05154908A JP 4140913 A JP4140913 A JP 4140913A JP 14091392 A JP14091392 A JP 14091392A JP H05154908 A JPH05154908 A JP H05154908A
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film
heat treatment
thickness
film webs
less
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JP4140913A
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Guenter Cras
グエンテル、クラス
Siegfried Janocha
ジークフリート、ヨノハ
Gisbert Bammert
ギスベルト、バーメルト
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
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    • B32B7/04Interconnection of layers
    • B32B7/06Interconnection of layers permitting easy separation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C55/00Shaping by stretching, e.g. drawing through a die; Apparatus therefor
    • B29C55/02Shaping by stretching, e.g. drawing through a die; Apparatus therefor of plates or sheets
    • B29C55/10Shaping by stretching, e.g. drawing through a die; Apparatus therefor of plates or sheets multiaxial
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    • B29DPRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
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    • B29D7/01Films or sheets
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    • B29C35/00Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/02Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould

Abstract

(57)【要約】 【構成】 少なくとも2つのフィルムウェブを重ね、縦
方向と横方向との両方に一緒に延伸することからなる熱
可塑性物質製の二軸延伸超薄膜の製造法に関する発明で
ある。フィルムウェブは第一延伸工程前に熱処理され、
延伸後、フィルムウェブは互いに再度分離される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも2枚のフィ
ルムを重ね、縦方向および横方向に一緒に延伸すること
からなる厚さ2μm未満を有する熱可塑性物質製の二軸
延伸フィルムの製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】厚さ3μm未満、特に1μm未満の超薄
膜は、マイクロエレクトロニクスにおけるコンデンサの
製造のために大規模に必要とされている。これらのフィ
ルムの製造においては、実際には、著しい困難が存在し
ている。文献においては、主として先ず薄膜をベースフ
ィルムと一緒にまたはベースフィルム上に製造し、ベー
スフィルムを剥離し、次いで、薄膜を巻き取ることを目
的とする異なる方法が、記載されている。
【0003】独国特許出願公告DE−A第17 04
764号明細書(カナダ特許第887,168号明細
書)には、2つの単フィルムが圧力および/または熱に
よって互いに接着させる方法が記載されている。単フィ
ルムの厚さの避けることができないわずかの変動のた
め、折り目が繰り返して形成され、それによって折り目
は積層プロセス時に更に根深くなり、このことはこのよ
うなフィルムが所期の目的には役に立たないことを意味
する。
【0004】独国特許出願公告DE−A第24 31
385号明細書(米国特許第4,017,227号明細
書および第4,076,785号明細書)には、2枚の
鋳造シートを互いに隣接に製造し、横方向に延伸する前
にこれらを接合する装置が記載されている。しかしなが
ら、この方法においては、ベース層の支持機能は、なく
なっておりまた薄膜の破壊がしばしば観察される。
【0005】欧州特許出願EP−A第0 153 08
1号明細書(米国特許第4,708,905号明細書お
よび第4,756,064号明細書)には、個々の層が
異なる重合体から作られている同時押出複合フィルムを
延伸し、延伸後にフィルム複合体を離層する方法に関す
る。しかし、この方法の場合には、異なるプラスチック
の流速は、正確には同等にすることができない。フィル
ム幅を横切って均一な厚さプロフィールを調整すること
も、大きな問題を生ずる。その理由は、全複合フィルム
およびトップ層の厚さ分布を配分することが困難であ
り、また更に個々の層の厚さプロフィールの調整が同時
押出加工で一定の変動を受けやすいからである。
【0006】また、溶融物を押出機から引く時に、溶融
プラスチックは、ダイ位置、ダイ幅、引抜速度、プラス
チックの化学組成、重合度などの技術的条件に依存する
或る測定可能な分子予備配向を既に有することが既知で
ある。分子予備配向の水準およびその均一性は、更なる
延伸および最終フィルムの物理的性質、例えば、耐引裂
性、寸法安定性などの機械的性質または厚さプロフィー
ルにかなりの重要性を有し、また極薄膜を製造する時に
は特に著しい重要性を有する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、厚さ
2μm以下を有する薄膜を分子予備配向の注意深く指示
された制御で、最適の信頼性および改善された厚さ均一
性で製造することを可能にする方法を提供することにあ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】最も広い意味で、本発明
は、2μm以下の超薄膜の製造法に関する。フィルム
は、別個に製作または製造し、次いで、一緒に重ねる
か、同時に押出し、熱処理プロセスに付す。その後、熱
処理された重ねられたフィルムは、二軸延伸し、それに
よって2μm以下の超薄膜を形成する。
【0009】厚さ2μm以下の薄膜の製造は、前記方法
と同様の方法によって達成された。ここで、縦方向また
は横方向の第一延伸工程に先立ち、重ねられたフィルム
は、第一引抜工程前に新規の熱処理が施される。本発明
の熱処理は、好ましくは、厚さ2μm以下を有するフィ
ルムに特徴づけられるプラスチックのガラス遷移温度よ
りも高い温度で行う。熱処理は、水浴、熱風、または放
熱器を用いて行うことができる。熱処理時間は、60秒
以下、好ましくは30秒未満である。
【0010】熱処理後、重ねられたフィルムは、縦方向
と横方向との二軸延伸に付し、それによって本発明にお
いては面積延伸比が少なくとも16、好ましくは20以
上であることが好ましい。特に、縦方向延伸は追加の中
間工程なしに熱処理直後に施され、それによって、例え
ば、ポリエステルフィルムに関しては、その縦方向延伸
比は、横方向延伸比よりも大きくなる。横方向延伸後に
ヒートセットが施され、次いでフィルムは互いに分離さ
れる。
【0011】ポリエステルに関しては、熱処理温度(好
ましくは水浴で行う)は、熱可塑性フィルムのガラス遷
移温度に応じて50℃〜90℃、特に好ましくは70℃
〜80℃の範囲内である。
【0012】本発明の範囲内で、好適な熱可塑性物質と
しては、特にポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミ
ド、ポリアリールエーテルスルホンなどのポリスルホ
ン、ポリアリールエーテルケトン、ポリフェニレンスル
フィド、ポリスチレンなどの合成重合体が挙げられる。
ポリオレフィンおよびポリエステルが、本発明に最も好
適である。
【0013】イソタクチックポリプロピレンまたはプロ
ピレン単位と他の炭素数2〜6のα−オレフィンとを有
する共重合体並びにこれらの混合物は、好適なポリオレ
フィンである。最も好適なポリオレフィンは、n−ヘプ
タン可溶性部分10%以下を有するイソタクチックポリ
プロピレン、例えば、エチレン部分2〜10重量%を有
するプロピレンとエチレンとから作られた共重合体、ま
たはプロピレン部分少なくとも60重量%を有するプロ
ピレンとブチレンまたは4−メチルペンテンとから作ら
れた共重合体である。
【0014】本発明の範囲内で、「ポリエステル」なる
用語は、単独重縮合物、共重縮合物、異なるポリエステ
ルのブレンド、並びにポリエステルと他の重合体とのブ
レンドを包含する。好適なポリエステルの例は、テレフ
タル酸、イソフタル酸または2,6−ナフタレンジカル
ボン酸を炭素数2〜10のグリコールと反応させること
によって作られた重縮合物(ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリブチレンテレフタレート、ポリ−1,4−シク
ロヘキシレンジメチレンテレフタレート、ポリエチレン
−2,6−ナフタレンジカルボキシレートまたはポリエ
チレン−p−ヒドロキシベンゾエートなどのポリエステ
ルを生成)である。
【0015】ポリエステルは、コモノマー単位30モル
%まで含有でき、ここにおいてグリコールおよび/また
は酸の成分の変動は可能である。コポリエステルは、ア
ジピン酸、グルタル酸、コハク酸、セバシン酸、フタル
酸、イソフタル酸、5−スルホイソフタル酸ナトリウ
ム;トリメリト酸などの多官能酸などの酸成分を含有で
きる。
【0016】ポリエステル混合物は、ポリエステル−単
独重合体、ポリエステル−共重合体またはポリエステル
−単独重合体/共重合体から調製できる。例は、ポリエ
チレンテレフタレート/ポリブチレンテレフタレート、
ポリエチレンテレフタレート/ポリエチレンイソフタレ
ートまたはポリエチレンイソフタレート/5−スルホイ
ソフタル酸ナトリウムのブレンドである。
【0017】ポリエステルに含有される重合体の例は、
ポリオレフィン単独重合体または共重合体、例えば、ポ
リエチレン、ポリプロピレン、ポリ−4−メチルペンテ
ン、ケン化できるエチレン−酢酸ビニル共重合体、イオ
ノマー、ポリアミド、ポリアセトン、ポリカーボネー
ト、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスルホンなどで
ある。
【0018】本発明方法の好ましい態様においては、ベ
ース層は、ポリオレフィンから作られ、また薄いトップ
層は、ポリエステルまたはポリフェニレンスルフィドか
ら作られる。
【0019】フィルムの接合は、通例の積層法によって
行うことができ、それによって別個に作られた単フィル
ムは圧力および/または熱によって多層フィルムに接合
される。本発明においては、フィルム間の接着剤の使用
は、破壊の危険が最終離層で低く保たれるように回避さ
れる。個々のプラスチックの溶融物を押出機のダイヘッ
ド前またはダイヘッドで合わせ、次いで、ダイヘッドで
一緒に押出す同時押出加工法も、採用される。本発明に
おいては、フィルムウェブ間、特に超薄ポリエステルコ
ーティング層とポリオレフィンベース層との間の接着力
は、フィルムウェブが互いに割れ目なしに分離できるよ
うに0.5N/15mm以下であることが好ましい。
【0020】
【実施例】本発明を下記の実施例によって更に説明す
る。ただし、これらの実施例は本発明を限定するもので
はない。比較例1 ポリエチレンテレフタレート(PET)製の30μm厚
のポリエステルフィルムをBruckner-Karo フレーム中で
95℃の延伸温度および1分の加熱時間において最大可
能面積延伸比λA =12.2(λL =3.5、λT
3.5)で熱前処理なしに同時に延伸した。実施例1 比較例1と同じPETフィルムを80℃の水浴中で60
秒の滞留時間熱前処理した。寸法安定性を維持するため
に(収縮を回避するために)、PETフィルムを張力下
に保った。熱処理後、フィルムを未処理フィルムと同じ
方法で同時に延伸した。
【0021】熱処理の結果、面積延伸比は、λA =15
に20%だけ増大でき、このことは膜厚のかなりの減少
をもたらした。比較例2 30μm厚のPETフィルムをBruckner-Karo フレーム
中で105℃の延伸温度および1分の加熱時間で縦方向
と横方向との両方に延伸した。これらの条件下では、最
大面積延伸比λA =21.6(λL =4.5、λT
4.8)が得られた。実施例2.1 比較例2で使用したのと同じPETフィルムを80℃の
温度および60秒の滞留時間で水浴中で前処理した(実
際の延伸前に)。PETフィルムの熱処理の結果、面積
延伸比はλA =30.8に40%だけ増大でき且つ膜厚
は対応して減少できた。
【0022】このことは、支持技術(同時押出および積
層)によってポリエステル超薄膜を作る時には分子予備
配向を回避して延伸性を改善する(増大する)という利
点を確認する。実施例2.2 30μm厚のPETフィルムを一対のロール上で0.2
3m/分の速度で70℃の水浴を通して向けた(滞留時
間60秒)。その後、フィルムをBruckner-Karoフレー
ム中で縦方向と横方向との両方においてオフライン式に
延伸した。この前処理の場合には、面積延伸比は、未処
理PETフィルムと比較してλA =25に15%だけ増
大できた。比較例3 Bruckner-Karo フレーム中で確立された試験パラメータ
ーは、連続的に作動する延伸単位に変換できることが知
られている。
【0023】厚さ約100μmを有するLLDPET
(線状低密度ポリエチレン)製のベースフィルムを縦方
向延伸前に厚さ約30μmを有するPETフィルムと積
層した。フィルムを一緒にさせた後、熱(縦方向延伸温
度110℃〜115℃)によって縦方向延伸ユニット中
でラミネート複合体に合わせ、その後に一緒に二軸延伸
した。
【0024】λA =16.8(λL =4.0、λT
4.2)の面積延伸比においては、ポリエステル薄膜
は、1.5μmの厚さ範囲内で作ることができた。この
ポリエステル薄膜は、ベースフィルムから容易に分離で
きる。積層強さ(離層強さ)は、0.3N/15mm未満
である。実施例3 比較例3と同じフィルムまたは少なくとも1つのポリエ
ステルフィルムを延伸工程前に一対のロール上で80℃
の水浴を通して案内する(滞留時間60秒)。前処理の
結果、面積延伸比は、フィルムの爾後延伸でλA =2
3.5に40%だけ増大でき且つポリエステル層の膜厚
は、同時に1.5μmから1.2μmに減少できる。フ
ィルムの信頼性および延伸性は、申し分がない。比較例4 ポリエステルトップ層(A層)を有するA/B/A多層
フィルムは、C3 4 −およびC2 3 4 構成単位か
ら作られたポリエステルブレンドである未変性TafmerX
R107LNがベース層(B層)として使用される同時
押出技術によって製造された。ベース層Bの厚さは15
0μmであり且つ各々の場合のポリエステルトップ層A
は厚さ約15μmであった。λA =17の面積延伸比の
場合には、薄いポリエステルトップ層は、0.6μmの
厚さ範囲内で製造できた。超薄ポリエステルトップ層
は、ベース層から容易に分離(離層)できた。複合強さ
(耐離層性)の測定では、0.32〜0.47N/15
mmの値を示した。これらのポリエステル層の物理的性質
の分析においては、支持技術によって作られたポリエス
テルフィルムが従来法によって作られたPETコンデン
サフィルムの性質に本質上対応する性質を明示すること
を示している。実施例4 比較例4のA/B/A多層フィルムは、フィルムを延伸
前に80℃の水浴に通すことによって前処理した(滞留
時間60秒)。前処理の結果、フィルムの面積延伸比
は、λA =20.5となり20%増大した。これによ
り、秀れた均一な0.4μm〜0.5μmの厚さを有す
る超薄ポリエステルトップ層が得られた。
【0025】以上、実施例および比較例の結果の比較を
下記の表に示す。これによれば本発明の方法の優越性は
明らかである。
【0026】 従 来 法 支持技術 本発明の方法 プロセスの信頼性 − + + 厚さ均一性 − +− + 面積延伸比の増大 − +− + 厚さ減少 − +− + 離層性 0/0 + + ※各々の場合に超薄膜に関連 +=良好 +−=満足 −=不良 0/0 =適用不能

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】A)複数枚の未延伸熱可塑性フィルムウェ
    ブを一緒に重ね、 B)前記フィルムウェブを熱処理し、 C)二軸延伸フィルムである前記フィルムウェブを約2
    μm以下の厚さに延伸する ことを特徴とする二軸延伸熱可塑性フィルムウェブの製
    造法。
  2. 【請求項2】前記熱処理を前記熱可塑性フィルムのガラ
    ス遷移温度よりも高い温度で行う、請求項1に記載の方
    法。
  3. 【請求項3】前記熱処理を水浴、熱風、または放熱器に
    よって60秒以下の時間にわたって行う、請求項1に記
    載の方法。
  4. 【請求項4】前記フィルムウェブの前記延伸が、面積延
    伸比を16以上とする縦方向と横方向との両方で行われ
    る、請求項1に記載の方法。
  5. 【請求項5】前記熱処理を50℃〜90℃の範囲内の温
    度で水浴によって行う、請求項1に記載の方法。
  6. 【請求項6】前記フィルムウェブが、ポリオレフィン、
    ポリエステル、ポリアミド、ポリアリールエーテルスル
    ホンなどのポリスルホン、ポリアリールエーテルケト
    ン、ポリフェニレンスルフィド、ポリスチレンなどの合
    成重合体である、請求項1に記載の方法。
  7. 【請求項7】前記重ねが、複数の単フィルムを加圧およ
    び/または加熱下で合わせて多層複合体を形成する積層
    によって達成される、請求項1に記載の方法。
  8. 【請求項8】前記重ねが、フィルムウェブをダイヘッド
    で一緒に押出す同時押出によって達成される、請求項1
    に記載の方法。
  9. 【請求項9】前記重ねは、前記フィルムウェブ間の接着
    力が0.5N/15mm以下であるような方式で行う、請
    求項1に記載の方法。
JP4140913A 1991-05-06 1992-05-06 薄膜の製造法 Pending JPH05154908A (ja)

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