JPH05147819A - Method and apparatus for separating mylar for dry film - Google Patents

Method and apparatus for separating mylar for dry film

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JPH05147819A
JPH05147819A JP31664491A JP31664491A JPH05147819A JP H05147819 A JPH05147819 A JP H05147819A JP 31664491 A JP31664491 A JP 31664491A JP 31664491 A JP31664491 A JP 31664491A JP H05147819 A JPH05147819 A JP H05147819A
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JP
Japan
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mylar
base material
metal foil
flexible base
dry film
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Application number
JP31664491A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takema Adachi
武馬 足立
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH05147819A publication Critical patent/JPH05147819A/en
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Abstract

PURPOSE:To separate Mylar without any damage such as bending or the like given to a flexible base material or metallic foil formed thereon. CONSTITUTION:A Mylar separating apparatus comprises a pair of reels 11, 12 for continuously transporting, while winding a long flexible base material 20, and also a metallic foil stuck to the surface side thereof and a dry film stuck to the back side thereof, a sucking device 13 disposed between the reels 11, 12 for sucking the metallic foil sides of sequentially transported electronic parts loading sub-strates, and a collecting device 14 disposed on the opposite side to the sucking device for continuously collecting Mylar 32 of the dry film.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、長尺なフレキシブル基
材を使用して電子部品搭載用基板を連続的に多数形成す
る場合に、このフレキシブル基材に貼付されるドライフ
ィルムのマイラーを連続的に剥離する方法及び装置に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is a continuous dry film Mylar applied to a flexible base material when a large number of electronic component mounting substrates are continuously formed using the flexible base material. The present invention relates to a method and an apparatus for peeling off selectively.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品搭載用基板を形成するためには
種々なタイプの材料が使用されてきているが、リールに
巻回しながら各種の処理を連続的に行う、所謂リール・
トゥ・リール方式に合致するために、長尺なガラスエポ
キシテープ等の長尺フレキシブル材料からなるフレキシ
ブル基材が採用されている。このフレキシブル基材は絶
縁性を有しているため、その表面に金属箔を連続的に貼
付した後に所定のパターンとすることにより、多数の電
子部品搭載用基板が連続的に形成されるのである。
2. Description of the Related Art Various types of materials have been used to form substrates for mounting electronic parts, and so-called reels, which perform various processes continuously while being wound on a reel.
In order to conform to the to reel system, a flexible base material made of a long flexible material such as a long glass epoxy tape is used. Since this flexible base material has an insulating property, a large number of electronic component mounting boards are continuously formed by continuously applying a metal foil on the surface thereof and forming a predetermined pattern. ..

【0003】このような長尺なフレキシブル基材を使用
して電子部品搭載用基板を製造するときに使用されるの
が、ドライフィルムとも呼ばれるエッチングレジストで
ある。つまり、フレキシブル基材上に連続的に貼付され
た金属箔は、これを所定の形状にエッチングして導体回
路であるパターン等として加工されるのであるが、この
場合のエッチングレジストとして使用されるのがドライ
フィルムなのである。このドライフィルムは、図5に示
すように、露光・現象することによってエッチングレジ
ストとなる感光層31と、この感光層31の両面を保護
するマイラー32及びカバーフィルム33とによって構
成したものが一般的なものである。
An etching resist, which is also called a dry film, is used when an electronic component mounting substrate is manufactured using such a long flexible base material. That is, the metal foil continuously attached to the flexible substrate is processed into a pattern which is a conductor circuit by etching the metal foil into a predetermined shape, and is used as an etching resist in this case. Is a dry film. As shown in FIG. 5, this dry film is generally composed of a photosensitive layer 31 which becomes an etching resist by exposure and phenomenon, and a Mylar 32 and a cover film 33 which protect both surfaces of the photosensitive layer 31. It is something.

【0004】以上のようなドライフィルム30は、まず
図6に示すように、フレキシブル基材20の表面上に貼
付した金属箔21の表面に、カバーフィルム33を剥離
しながら貼付されるものであり、このように貼付された
ドライフィルム30の感光層31に対して、図7に示す
ように、所定のパターンを形成したネガマスクを通して
露光した後に、図8に示すように、エッチングレジスト
とはならないマイラー32を剥離するものである。この
ようにしながら、フレキシブル基材20の表面側の金属
箔21をエッチングして所定のパターンを形成していく
のである。
First, as shown in FIG. 6, the dry film 30 as described above is adhered to the surface of the metal foil 21 adhered on the surface of the flexible substrate 20 while peeling off the cover film 33. As shown in FIG. 7, the photosensitive layer 31 of the dry film 30 thus attached is exposed through a negative mask having a predetermined pattern, and then, as shown in FIG. 32 is peeled off. While doing so, the metal foil 21 on the surface side of the flexible substrate 20 is etched to form a predetermined pattern.

【0005】ところで、フレキシブル基材を使用した電
子部品搭載用基板の中には、電子部品を収納・配置する
ための十分大きな穴、所謂デバイス穴等をフレキシブル
基材20に形成することが行われてきている。このデバ
イス穴は、フレキシブル基材20に金属箔21を貼付す
る前に形成されるものであり、このため金属箔21のエ
ッチング時に裏面側にてエッチャント中に金属箔21を
露出させてしまうものである。従って、このデバイス穴
から金属箔21をエッチングさせないために、また基材
のソリを防止するために、図4に示すように、フレキシ
ブル基材20面側にもドライフィルム30を貼付してお
かなければならない。そして、このフレキシブル基材2
0面側のドライフィルム30についても、マイラー32
の剥離作業が必要になってくるのである。
By the way, in a board for mounting electronic parts using a flexible base material, a sufficiently large hole for accommodating and arranging electronic parts, a so-called device hole or the like is formed in the flexible base material 20. Is coming. This device hole is formed before the metal foil 21 is attached to the flexible substrate 20, and therefore the metal foil 21 is exposed in the etchant on the back surface side when the metal foil 21 is etched. is there. Therefore, in order to prevent the metal foil 21 from being etched through the device hole and to prevent the warp of the base material, a dry film 30 should be attached also to the flexible base material 20 surface side as shown in FIG. I have to. And this flexible base material 2
For the dry film 30 on the 0 side, the mylar 32
Therefore, the peeling work of is required.

【0006】このフレキシブル基材20面側のエッチン
グレジスト用ドライフィルム30におけるマイラー32
の剥離作業は、図4に示すように、フレキシブル基材2
0の表面側に金属箔21からのパターン22を形成する
前に行われるものであり、例えば図8に示したような状
態で行われていたものである。ところが、この剥離すべ
きマイラー32は、感光層31に対して接着してあるも
のであり、しかも前述したリール・トゥ・リールによる
作業は一定の速度で連続して行われているため、特にフ
レキシブル基材20のデバイス穴近傍において図4中の
矢印で示したようなフレキシブル基材20を曲げようと
する力が加わることになるのである。この力によって、
フレキシブル基材20が曲がったままの状態になった
り、あるいはデバイス穴中にある金属箔21に曲がりが
生じてしまうことがあって,電子部品搭載用基板として
完成したときに完全な平面性を有したものとはならない
場合があるのである。これを回避するために、フレキシ
ブル基材20の搬送速度を低くすることも試みられては
いるが、それではリール・トゥ・リールの作業上のメリ
ットは半減してしまうものである。
[0006] Mylar 32 in the dry film 30 for etching resist on the surface side of the flexible substrate 20
As shown in FIG. 4, the peeling work of the flexible base material 2 is performed.
This is performed before forming the pattern 22 from the metal foil 21 on the front surface side of 0, and was performed in the state as shown in FIG. 8, for example. However, since the mylar 32 to be peeled off is adhered to the photosensitive layer 31, and the above-described reel-to-reel work is continuously performed at a constant speed, it is particularly flexible. In the vicinity of the device hole of the base material 20, a force for bending the flexible base material 20 as indicated by an arrow in FIG. 4 is applied. By this power,
The flexible base material 20 may remain bent, or the metal foil 21 in the device hole may be bent, so that it has perfect planarity when completed as an electronic component mounting substrate. It may not be what was done. In order to avoid this, it has been attempted to reduce the transport speed of the flexible base material 20, but this would reduce the workability of reel-to-reel by half.

【0007】また、電子部品搭載用基板の両面にドライ
フィルム30が貼付されている場合において、表裏のマ
イラー32を同時に剥離し表裏の応力が打ち消し合うよ
うにすることは極めて困難である。そこで例えば金属箔
21側のマイラー32が先に剥離された場合、図9のよ
うにフレキシブル基材20側のドライフィルム30の張
力によって金属箔21に曲がりが生じるのである。
Further, when the dry films 30 are attached to both surfaces of the electronic component mounting substrate, it is extremely difficult to simultaneously remove the mylars 32 on the front and back to cancel the stresses on the front and back. Therefore, for example, when the mylar 32 on the metal foil 21 side is peeled off first, the metal foil 21 is bent due to the tension of the dry film 30 on the flexible substrate 20 side as shown in FIG.

【0008】そこで、本発明者等は、リール・トゥ・リ
ールの作業上のメリットは十分生かしながら、完成した
電子部品搭載用基板における上述の難点をなくすにはど
うしたよいかについて種々検討を重ねてきた結果、本発
明を完成したのである。
Therefore, the inventors of the present invention have made various studies on how to eliminate the above-mentioned difficulties in the completed electronic component mounting substrate while making full use of the reel-to-reel work advantages. As a result, the present invention has been completed.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の実状
に鑑みてなされたもので、その解決しようとする課題
は、長尺なフレキシブル基材を使用して電子部品搭載用
基板をリール・トゥ・リール方式によって製造する場合
の、フレキシブル基材あるいはその表面に形成した金属
箔への、これを曲げてしまうようなマイラー剥離による
力の発生である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and the problem to be solved is to use a long flexible base material for reeling an electronic component mounting substrate. This is a force generated by Mylar peeling to bend the flexible base material or the metal foil formed on the surface of the flexible base material when manufacturing by the toe reel method.

【0010】そして、本発明の目的とするところは、マ
イラー剥離による力を打ち消すような力を積極的に生じ
させるようにして、結果的にフレキシブル基材あるいは
その表面に形成した金属箔に曲がりを生じさせないよう
にすることのできる、マイラーの剥離方法及び装置を簡
単な構成によって提供することにある。
The object of the present invention is to positively generate a force for canceling the force caused by peeling of Mylar so that the flexible base material or the metal foil formed on the surface thereof is not bent. It is an object of the present invention to provide a Mylar peeling method and apparatus that can be prevented from occurring by a simple configuration.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段及び作用】以上の課題を解
決するために、まず請求項1及び請求項2に係る各発明
の採った手段は、実施例において使用する符号を付して
説明すると、「電子部品を物理的あるいは電気的に接続
するための穴を有する長尺なフレキシブル基材20の表
面に金属箔21を貼付してなる電子部品搭載用基板の少
なくともフレキシブル基材20側に貼付されたドライフ
ィルム30のマイラー32を連続的に剥離する方法であ
って、金属箔21等のフレキシブル基材20を介した連
続搬送途中において、マイラー32が剥離される部分を
含んで金属箔21面を連続的に吸引する状態を維持する
ことにより、金属箔21等をフレキシブル基材20と共
に安定した状態で連続搬送しながら、吸引されている側
とは反対側の面のマイラー32を連続的に剥離する方
法」であり、また、「電子部品搭載用基板の両面に貼付
されたドライフィルム30のマイラー32を剥離する方
法であって、金属箔21側のマイラー32を剥離する前
にフレキシブル基材20側のマイラー32を剥離する請
求項1に記載のマイラー32を連続的に剥離する方法」
である。
In order to solve the above problems, first, the means adopted by each invention according to claim 1 and claim 2 will be described with the reference numerals used in the embodiments. , "Affixed to at least the flexible base material 20 side of an electronic component mounting board formed by sticking a metal foil 21 on the surface of a long flexible base material 20 having holes for physically or electrically connecting electronic parts. The method for continuously peeling off the mylar 32 of the dry film 30 thus prepared, the surface of the metal foil 21 including the portion where the mylar 32 is peeled off during continuous conveyance through the flexible base material 20 such as the metal foil 21. By continuously sucking the metal foil 21 and the like while continuously transporting the metal foil 21 and the like in a stable state, the surface of the side opposite to the suctioned side The method for continuously peeling off the iller 32 is also a method for peeling off the mylar 32 of the dry film 30 attached to both surfaces of the electronic component mounting substrate, and peeling off the mylar 32 on the metal foil 21 side. The method for continuously peeling off the mylar 32 according to claim 1, wherein the mylar 32 on the side of the flexible substrate 20 is peeled off before the treatment.
Is.

【0012】すなわち、これらの剥離方法は、フレキシ
ブル基材20の金属箔21側の一部に負圧を生じさせな
がらこのフレキシブル基材20を搬送し、この吸引され
ているフレキシブル基材20の部分の反対側にてドライ
フィルム30のマイラー32を剥離するようにしたのも
のである。
That is, in these peeling methods, the flexible base material 20 is conveyed while a negative pressure is generated in a part of the flexible base material 20 on the side of the metal foil 21, and the portion of the flexible base material 20 which is sucked. The mylar 32 of the dry film 30 is peeled off on the side opposite to the above.

【0013】この剥離方法によれば、フレキシブル基材
20の両側に対して、これを吸引する力とマイラー32
を剥離するときの力とが互いに反対側からかかることに
なり、これら両方からの力が釣り合って、フレキシブル
基材20あるいはその表面側に形成された金属箔21を
曲げてしまう力とはならないのである。しかも、このこ
とは、フレキシブル基材20が駆動リール11及び従動
リール12間において搬送されているときも同様である
から、従来のように金属箔21の曲がりをチェックしな
がらフレキシブル基材20の搬送を行う必要がなく、こ
のフレキシブル基材20の搬送のスピードアップが図れ
るのである。
According to this peeling method, the force for sucking the flexible base material 20 on both sides of the flexible base material 20 and the mylar 32 are used.
Since the force for peeling off is applied from the opposite sides, the forces from both sides are not balanced, and the force does not bend the flexible base material 20 or the metal foil 21 formed on the surface side thereof. is there. Moreover, this is the same when the flexible base material 20 is being conveyed between the drive reel 11 and the driven reel 12, so that the flexible base material 20 is conveyed while checking the bending of the metal foil 21 as in the conventional case. Therefore, it is possible to speed up the transportation of the flexible substrate 20 without performing the above.

【0014】そして、以上のような剥離方法を実施でき
るように具体化したのが、請求項3に係るマイラー剥離
装置10である。このマイラー剥離装置10の採った手
段は、実施例において使用する符号を付して説明する
と、「長尺なフレキシブル基材20とともに、その表面
側に貼付した金属箔21及びその裏面側に貼付したドラ
イフィルム30を巻回しながら連続的に搬送する一対の
リール11・12と、これらのリール11・12間に配
置されて順次搬送されてくる電子部品搭載用基板の金属
箔21側を吸引する吸引装置13と、この吸引装置13
とは反対側に配置されてドライフィルム30のマイラー
32を連続的に回収する回収装置14とを備えたことを
特徴とするドライフィルムのマイラー剥離装置10」で
ある。
The Mylar stripping apparatus 10 according to claim 3 embodies the stripping method as described above. The means adopted by the Mylar peeling apparatus 10 will be described with reference to the reference numerals used in the examples. "Along with the long flexible base material 20, the metal foil 21 attached to the front surface side and the back surface side thereof are attached. Suction for sucking the pair of reels 11 and 12 that continuously conveys the dry film 30 while winding and the metal foil 21 side of the electronic component mounting substrate that is arranged between the reels 11 and 12 and that is sequentially conveyed. Device 13 and this suction device 13
And a collecting device 14 for continuously collecting the mylar 32 of the dry film 30 which is disposed on the opposite side of the dry film mylar peeling device 10 ″.

【0015】このマイラー剥離装置10によれば、マイ
ラー32は次のように連続的に剥離されるのである。す
なわち、表面側に金属箔21を形成し裏面側にマイラー
32により保護されたドライフィルム30を形成したフ
レキシブル基材20は、図1に示すように、予め従動リ
ール12側に巻回されているものであり、このフレキシ
ブル基材20の金属箔21を吸引装置13側となるよう
にしてフレキシブル基材20の一端を駆動リール11に
巻回しておき、この駆動リール11の回転によってフレ
キシブル基材20は一定の速度で吸引装置13上を搬送
されるのである。また、フレキシブル基材20に貼付さ
れているドライフィルム30のマイラー32は、吸引装
置13とは反対側に配置した回収装置14に一端が巻回
されているのであり、この回収装置14が駆動リール1
1によるフレキシブル基材20の搬送速度と同じ速度で
剥離したマイラー32を巻き取っていくのである。
According to the mylar peeling device 10, the mylar 32 is continuously peeled as follows. That is, the flexible base material 20 having the metal foil 21 formed on the front surface side and the dry film 30 protected by the mylar 32 formed on the back surface side is previously wound around the driven reel 12 side as shown in FIG. One end of the flexible base material 20 is wound around the drive reel 11 so that the metal foil 21 of the flexible base material 20 is on the suction device 13 side, and the flexible base material 20 is rotated by the rotation of the drive reel 11. Is transported on the suction device 13 at a constant speed. Further, one end of the mylar 32 of the dry film 30 attached to the flexible base material 20 is wound around the collecting device 14 arranged on the side opposite to the suction device 13, and this collecting device 14 is a drive reel. 1
The mylar 32 that has been peeled off is wound up at the same speed as the conveyance speed of the flexible substrate 20 according to No. 1.

【0016】以上のようなセット後に、当該マイラー剥
離装置10を作動させると、フレキシブル基材20が吸
引装置13上に吸着固定されるとともに、この吸着固定
された部分のマイラー32が剥離されるのである。この
後吸引が解除されテンションローラー15によってフレ
キシブル基材20が一定長さ分搬送され、再び吸引装置
13上に吸着固定されマイラー32が剥離されるのであ
る。なお、このフレキシブル基材20の吸引装置13側
面には金属箔21が形成してあって、この金属箔21が
吸引装置13に直接接触すると損傷をきたすことになる
ので、吸引装置13が図2に示すような固定式のものの
場合には、搬送されてくるフレキシブル基材20は吸引
装置13に対して一定の距離Lを保つようにしてある。
また、図3に示すように、フレキシブル基材20の移動
速度と一致する吸引ローラ13aを使用することによっ
ても、金属箔21に損傷を与えないようになされる。
When the mylar peeling device 10 is operated after the above-mentioned setting, the flexible substrate 20 is sucked and fixed on the suction device 13, and the sucked and fixed part of the mylar 32 is peeled off. is there. After that, the suction is released, the flexible base material 20 is conveyed by the tension roller 15 for a predetermined length, is again adsorbed and fixed on the suction device 13, and the mylar 32 is peeled off. A metal foil 21 is formed on the side of the suction device 13 of the flexible base material 20. If the metal foil 21 comes into direct contact with the suction device 13, the metal foil 21 will be damaged. In the case of the fixed type as shown in (4), the conveyed flexible substrate 20 is kept at a constant distance L from the suction device 13.
Further, as shown in FIG. 3, the use of the suction roller 13a that matches the moving speed of the flexible base material 20 also prevents the metal foil 21 from being damaged.

【0017】このように、吸引装置13または吸引ロー
ラ13aにそって搬送されるフレキシブル基材20に
は、これら吸引装置13または吸引ローラ13aとは反
対側に位置する部分でマイラー32が剥離されていくの
であり、この剥離によって吸引装置13または吸引ロー
ラ13aとは反対側への引っ張り力が加わるが、この力
は吸引装置13または吸引ローラ13aの吸引力によっ
て打ち消されるのである。従って、搬送されているフレ
キシブル基材20の、マイラー32が剥離されていく部
分にあっては、フレキシブル基材20あるいはこれの表
面に貼付された金属箔21を曲げてしまうような力は加
わらないことになって、フレキシブル基材20あるいは
金属箔21は何等の変形を起こすことなく搬送されかつ
マイラー32が剥離されていくのである。
As described above, in the flexible substrate 20 conveyed along the suction device 13 or the suction roller 13a, the mylar 32 is peeled off at the portion located on the side opposite to the suction device 13 or the suction roller 13a. Due to this peeling, a pulling force is applied to the side opposite to the suction device 13 or the suction roller 13a, but this force is canceled by the suction force of the suction device 13 or the suction roller 13a. Therefore, in the portion of the flexible base material 20 being conveyed where the mylar 32 is being peeled off, no force is applied to bend the flexible base material 20 or the metal foil 21 attached to the surface of the flexible base material 20. As a result, the flexible substrate 20 or the metal foil 21 is transported without any deformation and the mylar 32 is peeled off.

【0018】[0018]

【実施例】次に、各請求項に係る発明を、図面に示した
実施例に従って詳細に説明するが、請求項1及び請求項
2の剥離方法は請求項3のマイラー剥離装置10に実質
的に含まれてしまうので、以下はマイラー剥離装置10
を中心にして説明する。
Next, the invention according to each claim will be described in detail according to the embodiments shown in the drawings. The stripping method of claims 1 and 2 is substantially the same as that of the mylar stripping device 10 of claim 3. Therefore, the following is the Mylar stripping device 10
I will explain mainly.

【0019】まず、本発明を実施するための対象となる
べきフレキシブル基材20について説明すると、このフ
レキシブル基材20はガラスエポキシテープ等によって
長尺に形成したものであり、後述の駆動リール11や従
動リール12に巻回されるものである。また、このフレ
キシブル基材20は、図4にも示すように、これを絶縁
基材として多数の電子部品搭載用基板を構成するために
使用されるものであり、必要なスプロケット穴や電子部
品を搭載するためのデバイス穴が形成されるものであ
る。そして、このフレキシブル基材20の表面には、電
子部品搭載用基板として必要なパターン22(導体回
路)となるべき金属箔21が貼付されるのであり、この
金属箔21は、図6〜図8に示すように、ドライフィル
ムを利用することによってパターン22とされるのであ
る。
First, the flexible base material 20 to be embodied by the present invention will be described. The flexible base material 20 is formed in a long length by a glass epoxy tape or the like. It is wound around the driven reel 12. Further, as shown in FIG. 4, the flexible base material 20 is used to configure a large number of electronic component mounting boards using this as an insulating base material, and is provided with necessary sprocket holes and electronic components. A device hole for mounting is formed. Then, on the surface of the flexible base material 20, a metal foil 21 which is to be a pattern 22 (conductor circuit) required as a substrate for mounting electronic components is attached. The pattern 22 is formed by using a dry film as shown in FIG.

【0020】このパターン22を形成するのは連続エッ
チングによるのであるが、このエッチングの際にフレキ
シブル基材20のデバイス穴からのエッチャントの流入
を防止するために、フレキシブル基材20の表側のドラ
イフィルムとは別のドライフィルム30がフレキシブル
基材20の裏面側に貼付されるのであり、このドライフ
ィルム30のマイラー32も不要となったときに剥離し
なければならないものである。このマイラー32の剥離
に際して用いられるのが本発明に係る剥離方法またはマ
イラー剥離装置10なのである。
The pattern 22 is formed by continuous etching. In order to prevent the etchant from flowing from the device hole of the flexible base material 20 during this etching, the dry film on the front side of the flexible base material 20 is formed. Another dry film 30 is attached to the back surface side of the flexible substrate 20, and the mylar 32 of this dry film 30 must be peeled off when it is no longer needed. The peeling method or the mylar peeling apparatus 10 according to the present invention is used for peeling the mylar 32.

【0021】図1には、本発明に係るマイラー剥離装置
10の概略側面図が示してあり、このマイラー剥離装置
10はフレキシブル基材20を巻回しておく従動リール
12と、この従動リール12に巻回しておいたフレキシ
ブル基材20を巻き取る駆動リール11とを備えてい
る。そして、これら駆動リール11及び従動リール12
との間に吸引装置13を配置するとともに、この吸引装
置13の反対側に剥離したマイラー32を巻き取るため
の回収装置14が配置してある。
FIG. 1 is a schematic side view of a mylar peeling device 10 according to the present invention. The mylar peeling device 10 has a driven reel 12 around which a flexible base material 20 is wound, and the driven reel 12. A drive reel 11 for winding the wound flexible base material 20 is provided. Then, the drive reel 11 and the driven reel 12
The suction device 13 is disposed between the suction device 13 and the suction device 13, and the recovery device 14 for winding the separated mylar 32 is disposed on the opposite side of the suction device 13.

【0022】図1あるいは図2に示した吸引装置13
は、言わば固定式なものであり、図示上側に配置したフ
レキシブル基材20の一定長さ部分を断続的に吸引する
ようにしたものである。この吸引装置13は固定式のも
のであるから、その上をフレキシブル基材20が通過す
る際に、そのままではフレキシブル基材20の図示下面
側に損傷を与えてしまうおそれがあるため、この吸引装
置13に対してフレキシブル基材20が寸法Lの高さで
位置で案内するようにしてある。すなわち、フレキシブ
ル基材20の一定長さが吸引装置13に吸着固定された
状態、つまりフレキシブル基材20の搬送が吸引装置1
3上において停止した状態でマイラー32が剥離され
る。この後吸引が解除されテンションローラー15の作
用によってフレキシブル基材20の一定長さが搬送さ
れ、再び吸引装置13に吸着固定されこの部分のマイラ
ー32が剥離されるのである。
The suction device 13 shown in FIG. 1 or FIG.
Is, so to speak, a fixed type, and is adapted to intermittently suck a fixed length portion of the flexible base material 20 arranged on the upper side in the drawing. Since this suction device 13 is of a fixed type, when the flexible base material 20 passes therethrough, it may damage the lower surface side of the flexible base material 20 as shown in the drawing. The flexible base material 20 is guided to the position 13 at a height of the dimension L. That is, when the fixed length of the flexible base material 20 is fixed to the suction device 13 by suction, that is, when the flexible base material 20 is transported, the suction device 1 is used.
The mylar 32 is peeled off in a state of being stopped on the above 3. After that, the suction is released, and the fixed length of the flexible base material 20 is conveyed by the action of the tension roller 15, and again sucked and fixed to the suction device 13, and the mylar 32 in this portion is peeled off.

【0023】図3には、吸引ローラ13aによってフレ
キシブル基材20の金属箔21側を吸引するようにした
例が示してある。すなわち、この吸引ローラ13aは、
フレキシブル基材20の移動と同じ速度で回転しなが
ら、その外周面に形成した穴から空気を吸引することに
よって、搬送途中にあるフレキシブル基材20を吸引す
るものである。
FIG. 3 shows an example in which the metal foil 21 side of the flexible substrate 20 is sucked by the suction roller 13a. That is, the suction roller 13a is
While rotating at the same speed as the movement of the flexible base material 20, air is sucked through the holes formed in the outer peripheral surface of the flexible base material 20 to suck the flexible base material 20 that is being conveyed.

【0024】以上のような吸引装置13または吸引ロー
ラ13aのフレキシブル基材20とは反対側に配置した
回収装置14は、図1にも示したように、剥離したマイ
ラー32を巻き取るものであり、その巻き取り速度はフ
レキシブル基材20の搬送速度と対応するようにしてあ
る。なお、本実施例に係るマイラー剥離装置10におい
ては、吸引装置13と駆動リール11間にテンションロ
ーラ15が配置してあり、このテンションローラ15に
よって搬送されるフレキシブル基材20に一定のテンシ
ョンをかけてフレキシブル基材20が吸引装置13に対
して安定した状態となるようにするとともに、回収装置
14と駆動リール11間に何等かの原因によって速度の
不一致が生じた場合の緩衝作用を発揮するようにしてあ
る。
The collecting device 14 arranged on the opposite side of the suction device 13 or the suction roller 13a from the flexible substrate 20 as described above winds up the separated mylar 32 as shown in FIG. The take-up speed corresponds to the carrying speed of the flexible substrate 20. In the mylar peeling device 10 according to the present embodiment, the tension roller 15 is arranged between the suction device 13 and the drive reel 11, and a certain tension is applied to the flexible base material 20 conveyed by the tension roller 15. So that the flexible base material 20 is in a stable state with respect to the suction device 13, and also exerts a buffering function in the case where the speed mismatch occurs between the recovery device 14 and the drive reel 11 for some reason. I am doing it.

【0025】また、本実施例に係るマイラー剥離装置1
0においては、マイラー剥離装置10と吸引装置13間
にマイラー32の存在の有無を検知するセンサ16が配
置してあって、このセンサ16によってマイラー32が
存在しないことが検知された場合に、当該マイラー剥離
装置10全体の作動を停止するようにしてある。
The Mylar peeling apparatus 1 according to the present embodiment
In No. 0, the sensor 16 for detecting the presence or absence of the mylar 32 is arranged between the mylar peeling device 10 and the suction device 13, and when the sensor 16 detects that the mylar 32 does not exist, The operation of the entire Mylar peeling device 10 is stopped.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明した通り、請求項1及び請求項
2に係る発明においては、上記実施例においても例示し
た如く、主として、「電子部品を物理的あるいは電気的
に接続するための穴を有する長尺なフレキシブル基材2
0の表面に金属箔21を貼付してなる電子部品搭載用基
板の少なくともフレキシブル基材20側に貼付されたド
ライフィルム30のマイラー32を連続的に剥離する方
法であって、金属箔21等のフレキシブル基材20を介
した連続搬送途中において、マイラー32が剥離される
部分を含んで金属箔21面を連続的に吸引する状態を維
持することにより、金属箔21等をフレキシブル基材2
0と共に安定した状態で連続搬送しながら、吸引されて
いる側とは反対側の面のマイラー32を連続的に剥離す
る」ことにその特徴があり、これにより、フレキシブル
基材20やパターン22に曲げや損傷を与えることな
く、不要となったマイラー32を確実に剥離することが
できるのである。特に、請求項2の方法によれば、金属
箔21がフレキシブル基材20に形成した開口内にマイ
ラー32を介して引張られることはない(図9に示した
ようにはならない)から、開口上に位置する金属箔21
に曲がりやうねりが生ずることはないのである。
As described above, in the inventions according to claim 1 and claim 2, as illustrated in the above-mentioned embodiment, mainly, "holes for physically or electrically connecting electronic parts are provided. Long flexible base material 2
A method for continuously peeling off the Mylar 32 of the dry film 30 attached to at least the flexible base material 20 side of the electronic component mounting substrate formed by attaching the metal foil 21 to the surface of the metal foil 21. During the continuous transportation through the flexible base material 20, the metal foil 21 and the like are kept in a state of continuously sucking the surface of the metal foil 21 including the part where the mylar 32 is peeled off, so that the flexible base material 2 is removed.
It is characterized in that the Mylar 32 on the side opposite to the suctioned side is continuously peeled off while being continuously conveyed in a stable state together with 0. The unnecessary mylar 32 can be reliably peeled off without being bent or damaged. In particular, according to the method of claim 2, since the metal foil 21 is not pulled through the Mylar 32 into the opening formed in the flexible base material 20 (this does not occur as shown in FIG. 9), the above-mentioned opening Metal foil 21 located at
There will be no bends or swells.

【0027】また、請求項2に係るマイラー剥離装置1
0によれば、上記請求項1の剥離方法を具体的に実施す
ることができることは勿論、吸引装置13または吸引ロ
ーラ13aを付設することによって従来の設備をそれ程
変更することなく簡単に構成することができるのであ
る。
A Mylar stripping apparatus 1 according to claim 2
0, the peeling method according to claim 1 can be concretely implemented, and the conventional equipment can be easily configured without changing the equipment by attaching the suction device 13 or the suction roller 13a. Can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るマイラー剥離装置の概略構成を示
す側面図である
FIG. 1 is a side view showing a schematic configuration of a Mylar peeling apparatus according to the present invention.

【図2】図1のマイラー剥離装置における吸引装置を中
心とした要部拡大断面図である。
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part centering on a suction device in the Mylar peeling device of FIG.

【図3】吸引ローラを示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing a suction roller.

【図4】本発明を実施する際の対象となるフレキシブル
基材及びドライフィルムの部分拡大側面図である。
FIG. 4 is a partially enlarged side view of a flexible base material and a dry film, which are objects when implementing the present invention.

【図5】ドライフィルムの一般的構成を示す斜視図であ
る。
FIG. 5 is a perspective view showing a general configuration of a dry film.

【図6】フレキシブル基材の金属箔上にドライフィルム
を貼付している状態を示す部分拡大側面図である。
FIG. 6 is a partially enlarged side view showing a state where a dry film is attached on a metal foil of a flexible base material.

【図7】ドライフィルムの感光層を露光している状態の
部分拡大断面図である。
FIG. 7 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which the photosensitive layer of the dry film is exposed.

【図8】不要となったマイラーを剥離している従来の方
法を示す部分拡大断面図である。
FIG. 8 is a partially enlarged cross-sectional view showing a conventional method for removing unnecessary mylar.

【図9】従来の技術を示す部分拡大断面図である。FIG. 9 is a partially enlarged sectional view showing a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 マイラー剥離装置 11 駆動リール 12 従動リール 13 吸引装置 13a 吸引ローラ 14 回収装置 15 テンションローラ 16 センサ 20 フレキシブル基材 21 金属箔 22 パターン 30 ドライフィルム 31 感光層 32 マイラー 33 カバーフィルム 10 Mylar Peeling Device 11 Drive Reel 12 Driven Reel 13 Suction Device 13a Suction Roller 14 Collection Device 15 Tension Roller 16 Sensor 20 Flexible Base Material 21 Metal Foil 22 Pattern 30 Dry Film 31 Photosensitive Layer 32 Mylar 33 Cover Film

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電子部品を物理的あるいは電気的に接続
するための穴を有する長尺なフレキシブル基材の表面に
金属箔を貼付してなる電子部品搭載用基板の少なくとも
前記フレキシブル基材側に貼付されたドライフィルムの
マイラーを連続的に剥離する方法であって、 前記金属箔等のフレキシブル基材を介した連続搬送途中
において、前記マイラーが剥離される部分を含んで金属
箔面を連続的に吸引する状態を維持することにより、前
記金属箔等を前記フレキシブル基材と共に安定した状態
で連続搬送しながら、前記吸引されている側とは反対側
の面の前記マイラーを連続的に剥離する方法。
1. An electronic component mounting substrate comprising a metal foil attached to the surface of a long flexible substrate having holes for physically or electrically connecting electronic components to at least the flexible substrate side. A method for continuously peeling off the mylar of the attached dry film, in the course of continuous transportation through the flexible base material such as the metal foil, the metal foil surface is continuously peeled including the portion where the mylar is peeled off. By maintaining the suction state, the metal foil or the like is continuously conveyed in a stable state together with the flexible base material while continuously peeling off the mylar on the side opposite to the suctioned side. Method.
【請求項2】 前記電子部品搭載用基板の両面に貼付さ
れたドライフィルムのマイラーを剥離する方法であっ
て、 前記金属箔側のマイラーを剥離する前に前記フレキシブ
ル基材側のマイラーを剥離する請求項1に記載のマイラ
ーを連続的に剥離する方法。
2. A method of peeling the mylar of a dry film attached to both surfaces of the electronic component mounting substrate, wherein the mylar of the flexible substrate is peeled before the mylar of the metal foil side is peeled. A method for continuously peeling the mylar according to claim 1.
【請求項3】 長尺なフレキシブル基材とともに、その
表面側に貼付した金属箔及びその裏面側に貼付したドラ
イフィルムを巻回しながら連続的に搬送する一対のリー
ルと、これらのリール間に配置されて順次搬送されてく
る前記電子部品搭載用基板の前記金属箔側を吸引する吸
引装置と、この吸引装置とは反対側に配置されて前記ド
ライフィルムのマイラーを連続的に回収する回収装置と
を備えたことを特徴とするドライフィルムのマイラー剥
離装置。
3. A pair of reels for continuously transporting while winding a metal foil attached to the front surface side and a dry film attached to the back surface side together with a long flexible base material, and arranged between these reels. A suction device that sucks the metal foil side of the electronic component mounting substrate that is sequentially conveyed, and a collection device that is disposed on the opposite side of the suction device and that continuously collects the Mylar of the dry film A dry film mylar peeling device comprising:
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