JPH05143945A - 磁気ヘツドのチツプ位置調整方法及び装置 - Google Patents
磁気ヘツドのチツプ位置調整方法及び装置Info
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- JPH05143945A JPH05143945A JP33263091A JP33263091A JPH05143945A JP H05143945 A JPH05143945 A JP H05143945A JP 33263091 A JP33263091 A JP 33263091A JP 33263091 A JP33263091 A JP 33263091A JP H05143945 A JPH05143945 A JP H05143945A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】チップのカケやキズ或いはゴミの発生などが生
じない磁気ヘッドのチップ位置調整方法を提供する。 【構成】磁気ヘッドのベースとチップとを接着などによ
り一体化する際に該ベースとチップの相対的な位置を調
整する方法において、該磁気ヘッドのベースとチップを
非接触に近接させ、この状態で前記ベースとチップの相
対的な位置の位置決めを行う。これによりベースとチッ
プは互いに擦れ合うことがなく、カケやキズ或いはゴミ
の発生などがない。
じない磁気ヘッドのチップ位置調整方法を提供する。 【構成】磁気ヘッドのベースとチップとを接着などによ
り一体化する際に該ベースとチップの相対的な位置を調
整する方法において、該磁気ヘッドのベースとチップを
非接触に近接させ、この状態で前記ベースとチップの相
対的な位置の位置決めを行う。これによりベースとチッ
プは互いに擦れ合うことがなく、カケやキズ或いはゴミ
の発生などがない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は磁気ヘッドのチップ位
置調整方法及び装置に関する。
置調整方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気ヘッドはビデオテープレコーダ等の
磁気記録装置に広く使用され、普及している。この磁気
ヘッドはベースとこのベースの先端部に装着されたチッ
プとから構成され、該チップにワイヤを巻線して磁気ヘ
ッドとして完成するようになっている。図4は磁気ヘッ
ドの概略斜視図であり、ベースBの先端部に厚さ方向に
重ねてチップCが一体化されている。チップCは通常接
着剤等によりベースBに固定されるようになっている。
チップCをベースBに一体化するに際して重要なのは、
チップCの位置を高精度に調整することである。特にチ
ップCの厚さ方向の位置を高精度に調整する事が重要で
あり、図5及び図6に示すようにチップC先端部のギャ
ップGのベースB側の端部のハイトポイントTとベース
Bの底面(比較ポイントP)との厚さ方向の距離H(ハ
イト)の精度を保つことが極めて重要である。ハイトポ
イントTの位置がチップCの厚さ方向に対して常に一定
であれば、チップCをベースBの底面に密着させること
によりハイトポイントTの位置は一義的に決定され、上
記ハイトの調整は自動的に行われるが、ハイトポイント
Tの位置はチップ毎にばらつきがあるため、チップCの
位置調整が必要になってくる。従来の位置調整方法を図
7と図8により説明する。まず、図7に示すように吸引
などによる保持装置50にチップCを載せ、チップCの
先端と後端をクランパ51等により保持した上で、ベー
スBにチップCを密着させて、矢印方向からの目視等に
より保持装置50をXYZ方向に移動させ、チップCの
位置合わせを実行する。厚さ方向の距離H’の調整は図
8に示すように保持装置50を傾けてハイトポイントT
の位置を比較ポイントPに近接或いは遠ざけて調整して
いる。
磁気記録装置に広く使用され、普及している。この磁気
ヘッドはベースとこのベースの先端部に装着されたチッ
プとから構成され、該チップにワイヤを巻線して磁気ヘ
ッドとして完成するようになっている。図4は磁気ヘッ
ドの概略斜視図であり、ベースBの先端部に厚さ方向に
重ねてチップCが一体化されている。チップCは通常接
着剤等によりベースBに固定されるようになっている。
チップCをベースBに一体化するに際して重要なのは、
チップCの位置を高精度に調整することである。特にチ
ップCの厚さ方向の位置を高精度に調整する事が重要で
あり、図5及び図6に示すようにチップC先端部のギャ
ップGのベースB側の端部のハイトポイントTとベース
Bの底面(比較ポイントP)との厚さ方向の距離H(ハ
イト)の精度を保つことが極めて重要である。ハイトポ
イントTの位置がチップCの厚さ方向に対して常に一定
であれば、チップCをベースBの底面に密着させること
によりハイトポイントTの位置は一義的に決定され、上
記ハイトの調整は自動的に行われるが、ハイトポイント
Tの位置はチップ毎にばらつきがあるため、チップCの
位置調整が必要になってくる。従来の位置調整方法を図
7と図8により説明する。まず、図7に示すように吸引
などによる保持装置50にチップCを載せ、チップCの
先端と後端をクランパ51等により保持した上で、ベー
スBにチップCを密着させて、矢印方向からの目視等に
より保持装置50をXYZ方向に移動させ、チップCの
位置合わせを実行する。厚さ方向の距離H’の調整は図
8に示すように保持装置50を傾けてハイトポイントT
の位置を比較ポイントPに近接或いは遠ざけて調整して
いる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
の調整方法ではチップCとベースBを密着させてチップ
Cを動かすため、チップCとベースBが擦れ合い、チッ
プCにカケやキズが生じたり或いはゴミが発生する等の
問題があった。また、厚さ方向の距離H’を調整する際
にチップCを回動させると図8に示すようにチップCに
回転モーメントが加わり、チップCが保持装置50から
浮き上がってハイト調整が困難になる問題があった。ま
たこの際にチップCの先端と後端を保持しているクラン
パ51との間で擦れが生じてカケやキズ及びゴミ等が発
生する問題があった。本発明はこれらの問題点を解決す
ることを目的とする。
の調整方法ではチップCとベースBを密着させてチップ
Cを動かすため、チップCとベースBが擦れ合い、チッ
プCにカケやキズが生じたり或いはゴミが発生する等の
問題があった。また、厚さ方向の距離H’を調整する際
にチップCを回動させると図8に示すようにチップCに
回転モーメントが加わり、チップCが保持装置50から
浮き上がってハイト調整が困難になる問題があった。ま
たこの際にチップCの先端と後端を保持しているクラン
パ51との間で擦れが生じてカケやキズ及びゴミ等が発
生する問題があった。本発明はこれらの問題点を解決す
ることを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、磁気ヘッドのベースとチップとを接着など
により一体化する際に該ベースとチップの相対的な位置
を調整する方法において、該磁気ヘッドのベースとチッ
プを非接触に近接させ、この状態で前記ベースとチップ
の相対的な位置の位置決めを行うことを特徴とする。
に本発明は、磁気ヘッドのベースとチップとを接着など
により一体化する際に該ベースとチップの相対的な位置
を調整する方法において、該磁気ヘッドのベースとチッ
プを非接触に近接させ、この状態で前記ベースとチップ
の相対的な位置の位置決めを行うことを特徴とする。
【0005】
【作用】位置調整の際にベースとチップは非接触である
から互いに擦れ合うことがなく、カケやキズ或いはゴミ
の発生などがない。
から互いに擦れ合うことがなく、カケやキズ或いはゴミ
の発生などがない。
【0006】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。まず図1により装置の構成を説明する。チップ保
持装置1はチップCを直接載置して吸引により保持する
チャック10を備えている。このチャック10はθステ
ージ11、Zステージ12、Yステージ13及びXステ
ージ14によりXYZ軸方向に移動可能であり、更にX
軸を中心軸としてθ方向に回動可能になっている。これ
らは制御装置5により制御されており、制御装置5から
の指令信号によりチャック10をXYZ軸方向及びθ方
向に回動させるように構成されている。チップCはチャ
ック10上にチップ摺動面Sを後記するチップ位置測定
装置3に向けて載置される。
する。まず図1により装置の構成を説明する。チップ保
持装置1はチップCを直接載置して吸引により保持する
チャック10を備えている。このチャック10はθステ
ージ11、Zステージ12、Yステージ13及びXステ
ージ14によりXYZ軸方向に移動可能であり、更にX
軸を中心軸としてθ方向に回動可能になっている。これ
らは制御装置5により制御されており、制御装置5から
の指令信号によりチャック10をXYZ軸方向及びθ方
向に回動させるように構成されている。チップCはチャ
ック10上にチップ摺動面Sを後記するチップ位置測定
装置3に向けて載置される。
【0007】このチップ保持装置1の上方にはベース保
持装置2が配設されており、ベースBが保持される。ベ
ース保持装置2はベースX基準面20、ベースY基準面
21及びベースZ基準面22を備えており、ベースBを
XYZ軸方向に位置決めして固定するように構成されて
いる。ベースBはその先端側がベース保持装置2から突
出して、先端部の底面がチップCに対向するように載置
される。
持装置2が配設されており、ベースBが保持される。ベ
ース保持装置2はベースX基準面20、ベースY基準面
21及びベースZ基準面22を備えており、ベースBを
XYZ軸方向に位置決めして固定するように構成されて
いる。ベースBはその先端側がベース保持装置2から突
出して、先端部の底面がチップCに対向するように載置
される。
【0008】チップ位置測定装置3は光学顕微鏡30と
画像処理装置31とから構成されており、該画像処理装
置31はその画像信号を制御装置5に送信するように構
成されている。光学顕微鏡30はチップCのチップ摺動
面Sに対向させて設置してあり、後述するようにハイト
ポイントTを写して比較ポイントPとの距離Hの情報を
制御装置5に送るように構成されている。
画像処理装置31とから構成されており、該画像処理装
置31はその画像信号を制御装置5に送信するように構
成されている。光学顕微鏡30はチップCのチップ摺動
面Sに対向させて設置してあり、後述するようにハイト
ポイントTを写して比較ポイントPとの距離Hの情報を
制御装置5に送るように構成されている。
【0009】チップリアライメント装置4はチップCを
チャック10に載置する前に、チップCの曲がり方向
(Z軸の回転方向)とアジマス方向(Y軸の回転方向)
の位置決めを行うためのもので、チップX基準面40、
チップY基準面41及びチップZ基準面42を備えてい
る。チップX基準面40とチップY基準面41により曲
がり方向の位置決めを行い、チップZ基準面42により
アジマス方向の位置決めを行うように構成されている。
そして、ここで位置決めされたチップCの姿勢をそのま
ま保ってチャック10に移送するための移送手段(図示
せず)が備えられている。更にこの実施例ではチップ厚
さ測定装置43が設けられており、チップZ基準面42
に設置されたチップCの厚みを測定し、その測定値を制
御装置5に送るように構成されている。このチップCの
厚み測定を行うことによりチップCの厚みのバラツキに
対処できるようになる。
チャック10に載置する前に、チップCの曲がり方向
(Z軸の回転方向)とアジマス方向(Y軸の回転方向)
の位置決めを行うためのもので、チップX基準面40、
チップY基準面41及びチップZ基準面42を備えてい
る。チップX基準面40とチップY基準面41により曲
がり方向の位置決めを行い、チップZ基準面42により
アジマス方向の位置決めを行うように構成されている。
そして、ここで位置決めされたチップCの姿勢をそのま
ま保ってチャック10に移送するための移送手段(図示
せず)が備えられている。更にこの実施例ではチップ厚
さ測定装置43が設けられており、チップZ基準面42
に設置されたチップCの厚みを測定し、その測定値を制
御装置5に送るように構成されている。このチップCの
厚み測定を行うことによりチップCの厚みのバラツキに
対処できるようになる。
【0010】次ぎに調整方法を説明する。まず、ベース
Bをベース保持装置2に載せ、ベースBをベースX基準
面20、ベースY基準面21及びベースZ基準面22に
押し当ててベースBを位置決めし、固定する。次ぎにチ
ップCをチップリアライメント装置4に載せ、チップX
基準面40とチップY基準面41に押し当てて曲がり方
向の位置決めを行う。同時にチップZ基準面42に押し
当ててアジマス方向の位置決めも行う。更にチップ厚さ
測定装置43によりチップCの厚みを測定し、この測定
値を制御装置5に送る。位置決めと厚み測定が終了した
ら、移送手段により、チップCの位置を崩さないように
そのまま平行移動させてチャック10に載置する。チャ
ック10は吸引力によりチップCを保持する。次ぎに制
御装置5によりチップ厚さ測定装置43からの厚さ測定
値に基づいて、Zステージ12を制御してチャック10
を上昇させ、ベースBにチップCを近接させ、所定の値
(通常数μm)を保って近接させる。次ぎにYステージ
13を駆動させ、チップCをY方向に前後させて光学顕
微鏡30によりチップ摺動面Sの焦合わせを行う。光学
顕微鏡30により焦点が合った位置がチップCの所定の
Y方向位置としておき、該焦点合わせによりY方向位置
の調整を行う。そして、図2及び図3に示すようにハイ
トポイントTの位置を光学顕微鏡30により測定し、そ
の値を制御装置5に送る。制御装置5により所定の位置
からのX方向のずれ量とZ方向のずれ量を計算させ、X
ステージ14及びZステージ12とQステージ11を制
御して、チャック10をX方向及びZ方向或いはθ方向
に移動させ、該ずれ量を解消させる。
Bをベース保持装置2に載せ、ベースBをベースX基準
面20、ベースY基準面21及びベースZ基準面22に
押し当ててベースBを位置決めし、固定する。次ぎにチ
ップCをチップリアライメント装置4に載せ、チップX
基準面40とチップY基準面41に押し当てて曲がり方
向の位置決めを行う。同時にチップZ基準面42に押し
当ててアジマス方向の位置決めも行う。更にチップ厚さ
測定装置43によりチップCの厚みを測定し、この測定
値を制御装置5に送る。位置決めと厚み測定が終了した
ら、移送手段により、チップCの位置を崩さないように
そのまま平行移動させてチャック10に載置する。チャ
ック10は吸引力によりチップCを保持する。次ぎに制
御装置5によりチップ厚さ測定装置43からの厚さ測定
値に基づいて、Zステージ12を制御してチャック10
を上昇させ、ベースBにチップCを近接させ、所定の値
(通常数μm)を保って近接させる。次ぎにYステージ
13を駆動させ、チップCをY方向に前後させて光学顕
微鏡30によりチップ摺動面Sの焦合わせを行う。光学
顕微鏡30により焦点が合った位置がチップCの所定の
Y方向位置としておき、該焦点合わせによりY方向位置
の調整を行う。そして、図2及び図3に示すようにハイ
トポイントTの位置を光学顕微鏡30により測定し、そ
の値を制御装置5に送る。制御装置5により所定の位置
からのX方向のずれ量とZ方向のずれ量を計算させ、X
ステージ14及びZステージ12とQステージ11を制
御して、チャック10をX方向及びZ方向或いはθ方向
に移動させ、該ずれ量を解消させる。
【0011】Z方向の調整は図2及び図3に示す方法で
実行する。まず、距離Hが所定値よりも長く、ハイトポ
イントTをベースBに近付ける場合には、θステージ1
1を駆動してθ方向にチップCを回転させる。この際、
図2に示すように該回転軸RをベースBのベース先端辺
Fの直下の近傍に設定する。そして、この中心軸Rを軸
としてチップCを上方向に回転させてハイトポイントT
を比較ポイントPに近付け、この間の距離Hを所定の値
にする。このように、中心軸Rをベース先端辺Fの近傍
に設定してチップCを上方向に回転させれば、チップC
がベースBに接触することがなく、チップCのチャック
10からの浮き等が生ずることがない。一方距離Hが所
定値よりも短く、ハイトポイントTをベースBから遠ざ
ける場合には、Zステージ12を駆動してチップCを平
行移動させて下降させ、ハイトポイントTと比較ポイン
トPの距離Hを所定値に設定する。この場合もチップC
がベースBに接触する危険が全くない。
実行する。まず、距離Hが所定値よりも長く、ハイトポ
イントTをベースBに近付ける場合には、θステージ1
1を駆動してθ方向にチップCを回転させる。この際、
図2に示すように該回転軸RをベースBのベース先端辺
Fの直下の近傍に設定する。そして、この中心軸Rを軸
としてチップCを上方向に回転させてハイトポイントT
を比較ポイントPに近付け、この間の距離Hを所定の値
にする。このように、中心軸Rをベース先端辺Fの近傍
に設定してチップCを上方向に回転させれば、チップC
がベースBに接触することがなく、チップCのチャック
10からの浮き等が生ずることがない。一方距離Hが所
定値よりも短く、ハイトポイントTをベースBから遠ざ
ける場合には、Zステージ12を駆動してチップCを平
行移動させて下降させ、ハイトポイントTと比較ポイン
トPの距離Hを所定値に設定する。この場合もチップC
がベースBに接触する危険が全くない。
【0012】以上の調整作業が終了したら、ベースBと
チップCを非接触のまま、接着などの周知の方法により
固定し、ベースBとチップCを一体化する。
チップCを非接触のまま、接着などの周知の方法により
固定し、ベースBとチップCを一体化する。
【0013】以上説明した調整方法によれば、チップC
とベースBは非接触であるため互いに擦れ合うことがな
く、カケやキズ或いはゴミの発生などがない。また、ハ
イト調整の際には、図2及び図3に示すように、ハイト
ポイントTを比較ポイントPに遠ざける場合にはZ方向
に平行移動させ、近付ける場合には中心軸Rをベース先
端辺Fの近傍に設定して上方向に回動させることによ
り、チップCがベースBに接触する危険が全くない。そ
のため、余計なモーメントがチップCに掛かることがな
く、チップCのチャック10からの浮きなどが生じるこ
とがないため、安定した調整作業が行える等の利点があ
る。そのため更にチップCのクランプ等が省略でき、装
置が簡単化する上、クランプとモーメントによるカケや
キズ或いはゴミの発生などが生ずることがない。
とベースBは非接触であるため互いに擦れ合うことがな
く、カケやキズ或いはゴミの発生などがない。また、ハ
イト調整の際には、図2及び図3に示すように、ハイト
ポイントTを比較ポイントPに遠ざける場合にはZ方向
に平行移動させ、近付ける場合には中心軸Rをベース先
端辺Fの近傍に設定して上方向に回動させることによ
り、チップCがベースBに接触する危険が全くない。そ
のため、余計なモーメントがチップCに掛かることがな
く、チップCのチャック10からの浮きなどが生じるこ
とがないため、安定した調整作業が行える等の利点があ
る。そのため更にチップCのクランプ等が省略でき、装
置が簡単化する上、クランプとモーメントによるカケや
キズ或いはゴミの発生などが生ずることがない。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、磁気ヘッ
ドのベースとチップとを接着などにより一体化する際に
該ベースとチップの相対的な位置を調整する方法におい
て、該磁気ヘッドのベースとチップを非接触に近接さ
せ、この状態で前記ベースとチップの相対的な位置の位
置決めを行うため、ベースとチップとが互いに擦れ合う
ことがなく、カケやキズ或いはゴミの発生などがない等
の効果がある。
ドのベースとチップとを接着などにより一体化する際に
該ベースとチップの相対的な位置を調整する方法におい
て、該磁気ヘッドのベースとチップを非接触に近接さ
せ、この状態で前記ベースとチップの相対的な位置の位
置決めを行うため、ベースとチップとが互いに擦れ合う
ことがなく、カケやキズ或いはゴミの発生などがない等
の効果がある。
【図1】本発明の装置の一実施例を示す概略斜視図。
【図2】本発明の調整方法の一実施例を示す説明図。
【図3】本発明の調整方法の一実施例を示す説明図。
【図4】ベースBとチップCの構造を説明する斜視図。
【図5】ベースBとチップCの構造を説明する正面図。
【図6】ベースBとチップCの位置調整の説明図。
【図7】従来の位置調整方法の説明図。
【図8】従来の位置調整方法の説明図。
1:チップ保持装置、2:ベース保持装置、3:チップ
位置測定装置、4:チップリアライメント装置、5:制
御装置、10:チャック、11:θステージ、12:Z
ステージ、13:Yステージ、14:Xステージ、2
0:ベースX基準面、21:ベースY基準面、22:ベ
ースZ基準面、30:光学顕微鏡、31:画像処理装
置、40:チップX基準面、41:チップY基準面、4
2:チップZ基準面、43:チップ厚さ測定装置、5
0:保持装置、51:クランパ。
位置測定装置、4:チップリアライメント装置、5:制
御装置、10:チャック、11:θステージ、12:Z
ステージ、13:Yステージ、14:Xステージ、2
0:ベースX基準面、21:ベースY基準面、22:ベ
ースZ基準面、30:光学顕微鏡、31:画像処理装
置、40:チップX基準面、41:チップY基準面、4
2:チップZ基準面、43:チップ厚さ測定装置、5
0:保持装置、51:クランパ。
Claims (7)
- 【請求項1】 磁気ヘッドのベースとチップとを接着な
どにより一体化する際に該ベースとチップの相対的な位
置を調整する方法において、 該磁気ヘッドのベースとチップを非接触に近接させ、こ
の状態で前記ベースとチップの相対的な位置の位置決め
を行うことを特徴とする磁気ヘッドのチップ位置調整方
法。 - 【請求項2】 磁気ヘッドのベースとチップとを接着な
どにより一体化する際に該ベースとチップの相対的な位
置を調整する方法において、 該磁気ヘッドのベースとチップとを所定のギャップを設
けて近接させ、 チップの先端とベースの先端との厚さ方向距離を近付け
る方向に調整する際に、該ベース先端の近傍に中心軸を
設定し、チップの先端をベース先端に近付けるようにチ
ップを該中心軸を中心として回動させる、 ことを特徴とする磁気ヘッドのチップ位置調整方法。 - 【請求項3】 磁気ヘッドのベースとチップとを接着な
どにより一体化する際に該ベースとチップの相対的な位
置を調整する方法において、 該磁気ヘッドのベースとチップとを所定のギャップを設
けて近接させ、 チップの先端とベースの先端との厚さ方向距離を遠ざけ
る方向に調整する際に、チップを平行移動させる、 ことを特徴とする磁気ヘッドのチップ位置調整方法。 - 【請求項4】 チップの厚みを測定し、この測定値に基
づいて、前記磁気ヘッドのベースとチップとを所定のギ
ャップを設けて近接させる、 請求項2又は請求項3の磁気ヘッドのチップの位置調整
方法。 - 【請求項5】 磁気ヘッドのベースとチップとを接着な
どにより一体化する際に該ベースとチップの相対的な位
置を調整する方法において、 チップの厚みを測定し、この測定値に基づいて、前記磁
気ヘッドのベースとチップとを所定のギャップを設けて
近接させ、 チップの先端とベースの先端との厚さ方向距離を調整す
る際に、該ベース先端の近傍に中心軸を設定し、チップ
の先端をベース先端に近付ける場合にはチップを該中心
軸を中心として回動させ、チップの先端をベースの先端
から遠ざける場合には、チップを平行移動させる、 ことを特徴とする磁気ヘッドのチップ位置調整方法。 - 【請求項6】 磁気ヘッドのベースとチップとを接着な
どにより一体化する際に該ベースとチップの相対的な位
置を調整する装置において、 前記磁気ヘッドのベースを保持するベース保持手段と、 前記チップを前記ベースに対して非接触に保持し、該チ
ップを前記ベースに対して平行に厚さ方向に移動させ且
つ前記ベース先端の近傍に設定された中心軸を中心とし
てチップを回動させることが可能なチップ保持手段と、 前記チップの先端とベースの先端の厚さ方向距離を測定
する手段と、 該測定結果に基づいて前記チップ保持手段を制御して所
定距離に調整する制御手段と、 を有することを特徴とする磁気ヘッドのチップ位置調整
装置。 - 【請求項7】 磁気ヘッドのベースとチップとを接着な
どにより一体化する際に該ベースとチップの相対的な位
置を調整する装置において、 前記磁気ヘッドのベースを保持するベース保持手段と、 前記チップを前記ベースに対して非接触に保持し、該チ
ップを前記ベースに対して平行に厚さ方向に移動させ且
つ前記ベース先端の近傍に設定された中心軸を中心とし
てチップを回動させることが可能であり、更にチップを
前後左右方向に移動可能なチップ保持手段と、 前記チップの先端とベースの先端の厚さ方向距離を測定
する手段と、 該測定結果に基づいて前記チップ保持手段を制御して所
定距離に調整する制御手段と、 を有することを特徴とする磁気ヘッドのチップ位置調整
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33263091A JPH05143945A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 磁気ヘツドのチツプ位置調整方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33263091A JPH05143945A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 磁気ヘツドのチツプ位置調整方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05143945A true JPH05143945A (ja) | 1993-06-11 |
Family
ID=18257107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33263091A Pending JPH05143945A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 磁気ヘツドのチツプ位置調整方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05143945A (ja) |
-
1991
- 1991-11-21 JP JP33263091A patent/JPH05143945A/ja active Pending
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