JP2936869B2 - 磁気ヘッド実装装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドチップをヘ
ッドベース上の所定位置に貼付けする磁気ヘッドチップ
貼付け装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、デジタルＶＴＲなどで多量の信号
を同時に記録再生するために、複数の磁気ヘッドを用い
たマルチチャンネル磁気ヘッドが実用化されている。

【０００３】複数の磁気ヘッドチップを用いたマルチチ
ャンネル磁気ヘッドでは、複数の磁気ヘッドチップ相互
のトラック高さ（幅方向）の調整，磁気ギャップの間隔
の調整，磁気ヘッドチップの突き出し量（磁気テープに
対して垂直方向の移動量）の調整，アジマス角度の調整
および磁気ヘッドチップ干渉縞位置（磁気ギャップ中心
とドラム回転中心を結ぶ線上に磁気ヘッドチップの磁気
テープ摺動面に生じる干渉縞の中心を合わせる）の調整
を精度良く行なう必要がある。

【０００４】従来の磁気ヘッドチップ貼付け装置を図１
３で説明する（特開平１−２５１３０５号公報）。

【０００５】第１磁気ヘッドチップが貼付けられている
磁気ヘッドベースを載物台３０上にクランプ機構３１で
挟持して固定し、載物台３０をＸＹＺステージ３２で微
動させて、第１磁気ヘッドチップの磁気ギャップを第１
顕微鏡３３によるモニタの第１磁気ギャップ位置合わせ
線に合わせるとともに、第１磁気ヘッドチップの磁気テ
ープ摺動面を第２顕微鏡３４によるモニタの端面位置合
わせ線に合わせる。次にゲージング台３５でゲージング
された第２磁気ヘッドチップを第２磁気ヘッドチップ移
載装置３５により載物台３０上のクランプ機構３１に固
定された磁気ヘッドベース上へ吸着移載し、第２磁気ヘ
ッドチップ移載装置３６搭載のＸＹステージ３７で微動
させて、第２磁気ヘッドチップの磁気ギャップを第１顕
微鏡３３によるモニタの第２磁気ギャップ位置合わせ線
に合わせるとともに、第２磁気ヘッドチップの磁気テー
プ摺動面を第２顕微鏡３４によるモニタの端面位置合わ
せ線に合わせ接着剤で貼付けるものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の装置では、図１４に示すように磁気ギャップ間隔Ｌの
調整，磁気ヘッドチップ３７の突き出し量Ｔの調整はで
きるが、トラック高さの調整，アジマス角度調整および
磁気ヘッドチップ干渉縞位置の調整を行なうことは不可
能であった。

【０００７】しかも、磁気ヘッドベース上に複数の磁気
ヘッドチップを貼付けたのち、回転ドラムに磁気ヘッド
ベースを取り付ける時に取付けネジの締付けによって磁
気ヘッドベースの歪，磁気ヘッドベースの傾き，磁気ヘ
ッドベースの振りなどにより、回転ドラム上で各磁気ヘ
ッドチップ間の相対位置を高精度で固定することは困難
であった。

【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、回転ドラムに取り付けられた磁気ヘッドベース上で
複数の磁気ヘッドチップのトラック高さ，磁気ギャップ
間隔，突き出し量，アジマス角度および干渉縞位置の調
整を可能にし、回転ドラム上で各磁気ヘッドチップ間の
相対位置を高精度で固定できる磁気ヘッドチップ貼付け
装置の提供を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の磁気ヘッドチップ貼付け装置は、回転台上
に磁気ヘッドチップ規制板を設け、前記回転台の側方近
くに、第１の磁気ヘッドチップ吸着具固定部に磁気ヘッ
ドチップ吸着具を備えた磁気ヘッドチップ吸着具移動台
と第１の顕微鏡とを設けた加工部Ａと、回転割り出し台
上に芯出し台を設け、その芯出し台上に磁気ヘッドベー
スを固定した回転ドラムを設け、その回転ドラム上に取
り付け板を設け、前記回転割り出し台に連結して移動台
を設け、上記磁気ヘッドベースの側方近くに第２の顕微
鏡，第３の顕微鏡，第２の磁気ヘッドチップ吸着具固定
部とアジマス角度調整台を備えた調整部とを設けた加工
部Ｂとからなる。

【００１０】

【作用】上記構成によれば、加工部Ａで磁気ヘッドチッ
プ干渉縞位置が調整され、加工部Ｂで磁気ギャップ間
隔，磁気ヘッドチップの突き出し量，トラック高さおよ
びアジマス角度が調整される。

【００１１】

【実施例】

（実施例１）以下本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。

【００１２】本実施例の磁気ヘッドチップ貼付け装置は
図１に示すように加工部Ａと加工部Ｂとからなる。加工
部Ａは図１および図２に示すように、回転台１上に磁気
ヘッドチップ規制板２を設け、回転台１の側方近くに、
第１の磁気ヘッドチップ吸着具固定部３に磁気ヘッドチ
ップ吸着具４を備えた磁気ヘッドチップ吸着具移動台
５、第１の顕微鏡６を備えた第１のＸＹＺステージ７を
設けた構成である。加工部Ｂは図１および図３に示すよ
うに、回転割り出し台８上に芯出し台９を設け、芯出し
台９の上に磁気ヘッドベース１０を固定した回転ドラム
１１を設け、回転ドラム１１の上に取り付け板１２を設
け、回転割り出し台８に連結して移動台１３を設けてあ
る。さらに磁気ヘッドベース１０の側方近くに第２の顕
微鏡１６、第２の磁気ヘッドチップ吸着固定部１７とア
ジマス角度調整台１８を備えた調整部１９、第３の顕微
鏡２０を設けてある。

【００１３】加工部Ａおよび加工部Ｂをさらに詳細に説
明する。加工部Ａの回転台１は図２に示すように、回転
ハンドル１ａにより正転，逆転ができ、ヘッドチップ吸
着具４の磁気ヘッドチップ吸着穴４ａの中心と同軸に位
置する回転台１の中心に、磁気ヘッドチップ吸着穴１ｂ
を設け、磁気ヘッドチップ吸着穴１ｂとつながる排気口
１ｃからの排気により磁気ヘッドチップ２１を吸着す
る。

【００１４】加工部Ｂの詳細は図３に示すように、回転
割り出し台８は回転割り出し台の移動台１３に設けた移
動ステージ１３ａと連結され、マイクロメータヘッド１
３ｂにより回転軸方向に移動できる。回転ドラム１１に
は磁気ヘッドベース１０が取付けビス１０ａにより固定
されている。回転ドラム１１は回転ドラム取付け板１２
に取付けビス１２ａにより固定され、さらに回転ドラム
取付け板１２を介して取付けビス１２ｂにより回転割り
出し台８に具備された芯出し台９に位置決め固定されて
いる。

【００１５】芯出し台９の面９ａおよび面９ｂは回転割
り出し台８の回転に対し面振れ，芯振れが出ないように
同時加工され、さらに面９ｂの外径は回転ドラム１１の
内径と僅かな隙間で嵌合できるように仕上げられてい
る。また回転ドラム取付け板１２の芯出し台面９ａに接
する面１２ｃは、平滑に仕上げられている。

【００１６】このことから回転ドラム１１は、回転割り
出し台８の回転に対し芯振れ，面振れが出ない状態に容
易に取り付けできる。

【００１７】本実施例の回転割り出し台８の軸受け部
は、エアースピンドルを使用して回転、割り出しの高精
度化を確保している。

【００１８】次に上記構成の磁気ヘッドチップ貼付け装
置の動作を説明する。まず図２に示すように磁気ヘッド
チップ２１は磁気ヘッドチップ規制板２により側面を三
方で規制され、磁気テープ摺動面が第１の顕微鏡６と対
向している。第１の顕微鏡６は磁気ヘッドチップ２１の
磁気テープ摺動面の磁気ギャップ中心と干渉縞中心の位
置合わせを行なう第１のＸＹＺステージ７上に搭載さ
れ、干渉対物レンズ６ａを装備し、さらにそのレンズ光
軸６ｂは磁気ヘッドチップ吸着具４の基準面４ｂと直角
になるよう配置している。磁気ヘッドチップ吸着具移動
台５は回転台１の回転軸方向に移動でき、搭載した磁気
ヘッドチップ吸着具４の吸着面と回転台１に規制吸着さ
れた磁気ヘッドチップ２１との距離が０．１mm以下程度
（本実施例による値）まで下降させ、排気を排気口１ｃ
から磁気ヘッドチップ吸着穴４ａにつながる排気口４ｃ
に切替えることで、磁気ヘッドチップ２１は回転台６か
ら磁気ヘッドチップ吸着具４に吸着切替えできる。この
ときの磁気ヘッドチップ２１は、磁気ヘッドチップ吸着
具４に吸着されてはいるが、吸着切替による移動距離が
０．１mm程度以下であるため側面三方はヘッド規制板２
に規制されたままである（磁気ヘッド規制板厚＜０．１
mm）。

【００１９】このことから回転台１を微動回転させるこ
とで、磁気ヘッドチップ吸着具４の基準面４ｂに対して
磁気ヘッドチップ２１の磁気テープ摺動面の磁気ギャッ
プ中心と干渉縞中心を一致させる調整ができる。

【００２０】図４は磁気ヘッドチップ２１の磁気テープ
摺道面の磁気ギャップ中心と干渉縞中心が一致した状態
を第１の顕微鏡６のＴＶモニタに表示したものである。
２１ａはヘッドトラック、２１ｂは磁気ギャップ、２１
ｃは干渉縞である。このように干渉縞位置の調整された
磁気ヘッドチップ２１は、一旦、磁気ヘッド吸着具４を
磁気ヘッド吸着具移動台５から取り外して、吸着面と反
対側の接着面にディスペンサで嫌気性樹脂の接着剤が塗
布される。その後、磁気ヘッドチップ２１を吸着した磁
気ヘッド吸着具４は、図５に示すように加工部Ｂの調整
部１９の第２の磁気ヘッドチップ吸着具固定部１７に固
定される。このとき、磁気ヘッド吸着具４は、磁気ヘッ
ド吸着具移動台５に固定されていた時とはねじれの位置
関係で固定される。ここで、ねじれの位置関係とは、平
行な２直線の一方の直線を、２直線を含む平面に直交し
かつこの一方の直線を含む平面内において回転させた場
合における、２直線の位置関係をいい、特別の場合とし
て、平行状態を含むものである。磁気ヘッドチップ吸着
具固定部１７においては、アジマス角調整台１８の基準
面１８ａは、回転割り出し台８の回転軸と直交する第２
の顕微鏡１６の光軸１６ｂに対して直角に位置してい
る。アジマス角調整台１８は、第２のＸＹＺステージ１
９のＺステージ１９ａに固定した回動用マイクロメータ
ヘッド保持具１９ｃに掛けられた引張りコイルバネ１８
ｃにより常に矢印１９ｄ方向に回転力が作用した状態
で、回動用マイクロメータヘッド保持具１９ｃに保持さ
れた回動用マイクロメータヘッド１８ｄのスピンドル先
端で支えられている。

【００２１】このことから、回動用マイクロメータヘッ
ド１８ｄを調整回転することで、アジマス角調整台１８
に搭載された磁気ヘッドチップ吸着具４に吸着された磁
気ヘッドチップ２１は、回転割り出し台８の回転平面に
対する角度を自在に変化できる。

【００２２】図６は磁気ヘッドチップ２１の磁気テープ
摺動面を第２の顕微鏡１６でＴＶモニタに拡大表示した
もので１６ｃは基準線、２１はヘッドトラック、２１ｂ
は磁気ギャップである。この表示した画像を画像処理装
置（図示せず）で画像処理し回転割り出し台８の回転平
面に対する磁気ギャップ２１ｂのアジマス角度を測定す
るものであり、正規角度との差に相当する量だけ図５で
示す回動用マイクロメータヘッド１８ｄを調整回転すれ
ば磁気ヘッドチップ２１のアジマス角度が調整できる。

【００２３】次に第２の顕微鏡１６は図５に示すように
移動台１６ａにより光軸１６ｂ方向に移動でき、回転ド
ラム１１の外周面から外側に所定距離だけ離れた位置
（磁気ヘッドチップの突き出し位置）に焦点が合うよう
に配置されており、第２のＸＹＺステージ１９を微動す
ることで、図６に示すように基準線１６ｃ交点と磁気ヘ
ッドチップ２１の磁気ギャップ２１ｂ中心を焦点が合っ
た状態で一致させ、さらに回転割り出し台８をあらかじ
め設定している位置（磁気ヘッドベースと磁気ヘッドチ
ップ間距離数μｍ）まで移動させ、回転ドラム１１上に
固定された磁気ヘッドベース１０に磁気ヘッドチップを
接着する。これにより磁気ヘッドチップの突き出し量が
調整される。

【００２４】干渉縞位置，アジマス角度および突き出し
量が調整され、嫌気性樹脂の硬化後、磁気ヘッドチップ
吸着具４による磁気ヘッドチップ２１の吸着を解除する
と図７に示すように磁気ヘッドチップ２１が磁気ヘッド
ベース１０に固定される。磁気ヘッドチップ２１が固定
されると回転ドラム１１を磁気ギャップ間隔寸法に相当
する角度だけ回転割り出し台８で回転させ、第２のヘッ
ドチップ２２を同様に貼付ける。

【００２５】本実施例における磁気ヘッド高さはあらか
じめ磁気ヘッドベース１０に設けられた段差２３により
調整される。

【００２６】以上の構成と動作により、回転ドラム１１
上の磁気ヘッドベース１０上に複数の磁気ヘッドチップ
のトラック高さ，磁気ギャップ間隔，突き出し量，アジ
マス角度および干渉縞位置の調整が高精度でできる。

【００２７】（実施例２）次に本発明の第２の実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。

【００２８】本実施例の構成を図８に示す。図１に示し
た実施例１の構成と相異する点は、加工部Ｃの磁気ヘッ
ドベースの上方近くに磁気ヘッド高さ調整手段としてレ
ーザ照射部２４と樹脂硬化手段として紫外線照射部２５
を設けた点である。さらに図９に示すように磁気ヘッド
ベース２６は１個以上のスリット２７を有するものを用
いる。また磁気ヘッドチップは図１０に示すように磁気
チップ２８をガラスの中間ベース２９にあらかじめ固定
したものを用いる。すなわち本実施例においては加工部
Ａで干渉縞位置調整、加工部Ｃでトラック高さ、磁気ギ
ャップ間隔，突き出し量およびアジマス角度が調整され
る。磁気ギャップ間隔，突き出し量およびアジマス角度
の調整は実施例１と同じであるが、本実施例におけるト
ラック高さは図１１に示すよう、レーザ照射部２４から
レーザ光を照射すると磁気ヘッドベース２６の所定位置
表面３０が溶解され、その熱変形による曲がりによって
調整する。曲がり量は第３の顕微鏡２０で拡大監察しな
がらレーザ出力を調節して調整する。

【００２９】本実施例の磁気ヘッドチップの磁気ヘッド
ベースへの固定は図１２に示すように紫外線照射部２５
から磁気ヘッドチップ吸着具４に設けたガラス窓４ｄを
透過し、磁気ヘッドチップ吸着穴を通過し、ガラスの中
間ベース２９を透過し、中間ベース２９の裏面に塗布さ
れた紫外線硬化型樹脂を硬化させて磁気ヘッドベース２
６に貼付ける。

【００３０】以上の構成と動作により、回転ドラム１０
上の磁気ヘッドベース２６上に複数の磁気ヘッドチップ
のトラック高さ，磁気ギャップ間隔，突き出し量，アジ
マス角度および干渉縞位置の調整が高精度でできる。

【００３１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の磁気ヘッドチップ貼付け装置によれば、回転ドラムに
取り付けられた磁気ヘッドベース上で複数の磁気ヘッド
チップのトラック高さ，磁気ギャップ間隔，突き出し
量，アジマス角度および干渉縞位置の調整ができ、回転
ドラム上で各磁気ヘッドチップ間の相対位置を高精度で
固定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の磁気ヘッドチップ貼付
け装置の斜視図

【図２】同じく加工部Ａの斜視図

【図３】同じく加工部Ｂの断面図

【図４】同じく干渉縞と磁気ギャップの関係図

【図５】同じく加工部Ｂの斜視図

【図６】同じく基準線と磁気ギャップの関係図

【図７】同じく磁気ヘッドベースと磁気ヘッドチップの
斜視図

【図８】本発明の第２の実施例の磁気ヘッドチップ貼付
け装置の斜視図

【図９】同じく磁気ヘッドベースの斜視図

【図１０】同じく磁気ヘッドチップの斜視図

【図１１】同じく磁気ヘッド高さ調整時の斜視図

【図１２】同じく加工部Ｃの斜視図

【図１３】従来の磁気ヘッドチップ貼付け装置の斜視図

【図１４】同じく磁気ヘッドチップの斜視図

【符号の説明】

１ 回転台 ２ 磁気ヘッドチップ規制板 ３，１７ 磁気ヘッドチップ吸着具固定部 ４ 磁気ヘッドチップ吸着具 ５ 磁気ヘッドチップ吸着具移動台 ６，１６，２０ 顕微鏡 ８ 回転割り出し台 ９ 芯出し台 １０，２６ 磁気ヘッドベース １１ 回転ドラム １２ 取り付け板 １３ 移動台 １８ アジマス角度調整台 １９ 調整部 ２１，２２ 磁気ヘッドチップ ２４ レーザ照射部（ヘッド高さ調整手段） ２５ 紫外線照射部（樹脂硬化手段） ２７ スリット

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−251305（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−264626（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−260619（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−211315（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−158612（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−133519（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 5/53 104

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ヘッドを回転ドラムに実装するため
   の磁気ヘッド実装装置であって、 回転軸と、平板状の磁気ヘッドを、そのヘッドギャップ
   部を前記回転軸の略直径上に位置決めし、かつ前記回転
   軸の軸方向に着脱可能に保持する、前記回転軸端部に実
   質一体に形成された磁気ヘッド位置決め手段と、前記回
   転軸の軸心に直交する光軸を有し、かつ前記磁気ヘッド
   位置決め手段に保持された前記磁気ヘッドのヘッドギャ
   ップ部を視野内に納め得るように配設固定された干渉顕
   微鏡と、前記回転軸の回転を調整する回転調整手段と、
   前記磁気ヘッドを磁気ヘッドの平板平面部において保持
   する磁気ヘッド保持部材と、前記磁気ヘッド保持部材を
   着脱自在にかつ前記回転軸方向に移動可能に保持する、
   前記回転軸近傍に配設固定された第１の磁気ヘッド保持
   部材保持手段と、 前記磁気ヘッドが実装される回転ドラムが端部に装着さ
   れる回転割出し台と、前記回転割出し台の回転軸心に直
   交する光軸を有し前記回転割出し台の近傍に配設固定さ
   れた顕微鏡であって、その固定された焦点位置によって
   前記磁気ヘッドの突出位置を規定する顕微鏡と、前記磁
   気ヘッド保持部材を着脱可能に保持する、前記回転割出
   し台の近傍に配設固定された第２の磁気ヘッド保持部材
   保持手段であって、前記磁気ヘッド保持部材を、前記第
   １の磁気ヘッド保持部材保持手段に保持された状態とね
   じれの位置関係を保ちつつ、前記回転割出し台に保持さ
   れた前記回転ドラムに対してＸＹＺの直交３軸方向並び
   にアジマス角度方向に可動に保持する第２の磁気ヘッド
   保持手段を具備した磁気ヘッド実装装置。
2. 【請求項２】 磁気ヘッド保持部材は、磁気ヘッドを真
   空吸着により保持する磁気ヘッド保持部材であって、磁
   気ヘッドの平板平面部を吸着し真空部に連通する第１の
   開口部と、前記第１の開口部に対向し前記第１の開口部
   に連通する第２の開口部を有し、前記第２の開口部は、
   光に対して透過する透明な材料で封口されていることを
   特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド実装装置。