JPH05143610A - 製造制御システム - Google Patents
製造制御システムInfo
- Publication number
- JPH05143610A JPH05143610A JP30518191A JP30518191A JPH05143610A JP H05143610 A JPH05143610 A JP H05143610A JP 30518191 A JP30518191 A JP 30518191A JP 30518191 A JP30518191 A JP 30518191A JP H05143610 A JPH05143610 A JP H05143610A
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- Japan
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ジョブジョブ方式の生産ラインに於ける製造制
御システムのメンテナンス性を向上させ、迅速でリアル
タイムに制御を行う。 【構成】半導体装置などの各製造設備１1 〜１n から各
端末２1〜２n を介して入力された生産・品質関係の情
報をホストコンピュータ３により管理し、そのデータベ
ースとしてメンテナンス単位に分けられたメンテナンス
用データベース群Ａ〜Ｅと、それらから生成される制御
用データベースＦとによって管理・制御する。
御システムのメンテナンス性を向上させ、迅速でリアル
タイムに制御を行う。 【構成】半導体装置などの各製造設備１1 〜１n から各
端末２1〜２n を介して入力された生産・品質関係の情
報をホストコンピュータ３により管理し、そのデータベ
ースとしてメンテナンス単位に分けられたメンテナンス
用データベース群Ａ〜Ｅと、それらから生成される制御
用データベースＦとによって管理・制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置や液晶等の
ジョブジョブ方式の生産形態を有する製造制御システム
に関する。
ジョブジョブ方式の生産形態を有する製造制御システム
に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、半導体装置は、一つの半導体装置
においても、その品種が多数あり、またその一品種の半
導体装置の製造工程は、５０工程ないしは５００工程に
及んでいる。さらにその製造工程の一つにも種々の条件
が異なり、使用する設備も異なっている。
においても、その品種が多数あり、またその一品種の半
導体装置の製造工程は、５０工程ないしは５００工程に
及んでいる。さらにその製造工程の一つにも種々の条件
が異なり、使用する設備も異なっている。
【０００３】さらに使用する設備に関しても、全くの単
能機ではなく、多種の製造工程を担っている。例えば、
通常の設備でも工程毎に作業条件の異なる２工程ないし
１０工程の製造工程を含んでいる。従って、多品種の半
導体装置の製造に際しては、工程の管理及び作業条件の
管理が非常に重要な問題となる。
能機ではなく、多種の製造工程を担っている。例えば、
通常の設備でも工程毎に作業条件の異なる２工程ないし
１０工程の製造工程を含んでいる。従って、多品種の半
導体装置の製造に際しては、工程の管理及び作業条件の
管理が非常に重要な問題となる。
【０００４】従来これらの製造管理は、工程手順が記入
されて、工程毎に製造情報が記入できるようになってい
る荷札と、工程毎に作業条件（作業方法、作業図示、レ
シピー）が記入されている表と、異常時に注意を要する
時に荷札に添付する付属用紙とを用いて管理担当者が管
理制御を行っていた。
されて、工程毎に製造情報が記入できるようになってい
る荷札と、工程毎に作業条件（作業方法、作業図示、レ
シピー）が記入されている表と、異常時に注意を要する
時に荷札に添付する付属用紙とを用いて管理担当者が管
理制御を行っていた。
【０００５】また、この製造管理をＥＤＰにより行う場
合は、品名−工程手順−条件というツリー構造のデータ
ベースを主体として用いており、作業の開始時や終了時
には、このデータベースをもとに作業指示やチェックを
行っていた。その際の管理としてメンテナンス用、制御
用というような区分けも特に行っていなかった。
合は、品名−工程手順−条件というツリー構造のデータ
ベースを主体として用いており、作業の開始時や終了時
には、このデータベースをもとに作業指示やチェックを
行っていた。その際の管理としてメンテナンス用、制御
用というような区分けも特に行っていなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
装置における工程・条件管理においては、工程手順が変
更された時、作業条件が変更された時及びある工程の作
業結果をもとに、他の工程の作業条件、工程手順を変更
する時、前述の荷札や工程毎の条件の一覧及びＥＤＰ処
理のマスターファイルのメンテナンスが、非常に大変で
時間がかかっていた。
装置における工程・条件管理においては、工程手順が変
更された時、作業条件が変更された時及びある工程の作
業結果をもとに、他の工程の作業条件、工程手順を変更
する時、前述の荷札や工程毎の条件の一覧及びＥＤＰ処
理のマスターファイルのメンテナンスが、非常に大変で
時間がかかっていた。
【０００７】本発明の目的は、このような欠点を解決す
るように、様々の製造上の変更に対しても、迅速でリア
ルタイムに管理制御を行うことができる製造制御システ
ムを提供することにある。
るように、様々の製造上の変更に対しても、迅速でリア
ルタイムに管理制御を行うことができる製造制御システ
ムを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の構成は、半導体
装置等を製造する複数の作業工程を同一製造設備群で処
理するため、これら各設備からの情報をホストコンピュ
ータにそれぞれ転送する複数の端末機と、前記ホストコ
ンピュータの各種情報のメンテナンスとその出力表示と
を行うホスト用端末機とを備えた製造制御システムにお
いて、前記各設備の作業開始、作業中及び作業終了時に
作業条件、作業数、作業結果、作業日時及び作業工程に
関わる情報を前記端末機と前記ホストコンピュータとで
交換する第１のステップと；製造履歴を管理する第１の
データベース、作業品目名とそれを製造する工程手順を
管理する第２のデータベース、前記作業品目名をグルー
ピングした作業品目名群とその作業品目名群で使用され
る工程及びその工程の作業条件及び作業に係わる情報を
管理する第３のデータベース、前記作業条件とその詳細
及びその条件に係わる情報を管理する第４のデータベー
ス、前記作業品目名とその工程、条件のチェックに係わ
る情報を管理する第５のデータベース、作業結果及び作
業状況によって工程手順・条件等の作業に係わる情報を
更新制御する第６のデータベースおよびこれら第１から
第６のデータベース群より生成される管理制御用データ
ベースによって前記端末に転送された情報をチェック
し、制御する第２のステップと；前記チェック結果及び
制御結果により前記工程手順、作業条件及び作業工程に
係わる各情報のデータベース群を前記ホストコンピュー
タが更新する第３のステップとをもつことを特徴とす
る。
装置等を製造する複数の作業工程を同一製造設備群で処
理するため、これら各設備からの情報をホストコンピュ
ータにそれぞれ転送する複数の端末機と、前記ホストコ
ンピュータの各種情報のメンテナンスとその出力表示と
を行うホスト用端末機とを備えた製造制御システムにお
いて、前記各設備の作業開始、作業中及び作業終了時に
作業条件、作業数、作業結果、作業日時及び作業工程に
関わる情報を前記端末機と前記ホストコンピュータとで
交換する第１のステップと；製造履歴を管理する第１の
データベース、作業品目名とそれを製造する工程手順を
管理する第２のデータベース、前記作業品目名をグルー
ピングした作業品目名群とその作業品目名群で使用され
る工程及びその工程の作業条件及び作業に係わる情報を
管理する第３のデータベース、前記作業条件とその詳細
及びその条件に係わる情報を管理する第４のデータベー
ス、前記作業品目名とその工程、条件のチェックに係わ
る情報を管理する第５のデータベース、作業結果及び作
業状況によって工程手順・条件等の作業に係わる情報を
更新制御する第６のデータベースおよびこれら第１から
第６のデータベース群より生成される管理制御用データ
ベースによって前記端末に転送された情報をチェック
し、制御する第２のステップと；前記チェック結果及び
制御結果により前記工程手順、作業条件及び作業工程に
係わる各情報のデータベース群を前記ホストコンピュー
タが更新する第３のステップとをもつことを特徴とす
る。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の一実施例を説明するフロー
図、図２は本実施例の制御システムを説明するブロック
図である。
図、図２は本実施例の制御システムを説明するブロック
図である。
【００１０】本実施例の製造ラインは、図２に示すよう
に半導体装置の各製造設備１1 〜１n と、これら設備、
作業及び品質に関する情報を入力する端末機２1 〜２n
と、これら端末機２1 〜２n からの情報を収集管理し、
データ処理するホストコンピュータ３と、ホストコンピ
ュータ３内のデータを表示出力し、メンテナンスするホ
スト用表示・メンテ端末機４とで構成される。
に半導体装置の各製造設備１1 〜１n と、これら設備、
作業及び品質に関する情報を入力する端末機２1 〜２n
と、これら端末機２1 〜２n からの情報を収集管理し、
データ処理するホストコンピュータ３と、ホストコンピ
ュータ３内のデータを表示出力し、メンテナンスするホ
スト用表示・メンテ端末機４とで構成される。
【００１１】本実施例の動作は、各設備１1 〜１n の作
業開始、作業中及び作業終了時に作業条件、作業数、作
業結果、作業日次及び作業工程に係わる情報を端末機２
1 〜２n とホストコンピュータ３とで交換する第１のス
テップＳ１と、作業品目名とそれを製造する工程手順を
管理する第２のデータベースと、作業品目名をグルーピ
ングした作業品目名群とその作業品目名群で使用される
工程及びその工程の作業条件及び作業に係わる情報を管
理する第３のデータベースと、作業条件とその詳細及び
その条件に係わる情報を管理する第４のデータベース
と、作業品目名とその工程、条件のチェックに係わる情
報を管理する第５のデータベースと、作業結果及び作業
状況によって工程手順、条件等の作業に係わる情報を更
新制御するための第１のデータベースと、これら第１〜
第６のデータベース群より生成される管理・制御用デー
タベースによってホストコンピュータ３が端末機４から
転送された情報をチェックし、制御する第２のステップ
Ｓ２と、そのチェック結果及び制御結果により、工程手
順作業条件及び作業工程に係わる情報をホストコンピュ
ータ３が前記データベース群を更新する第３のステップ
Ｓ３とから構成される。
業開始、作業中及び作業終了時に作業条件、作業数、作
業結果、作業日次及び作業工程に係わる情報を端末機２
1 〜２n とホストコンピュータ３とで交換する第１のス
テップＳ１と、作業品目名とそれを製造する工程手順を
管理する第２のデータベースと、作業品目名をグルーピ
ングした作業品目名群とその作業品目名群で使用される
工程及びその工程の作業条件及び作業に係わる情報を管
理する第３のデータベースと、作業条件とその詳細及び
その条件に係わる情報を管理する第４のデータベース
と、作業品目名とその工程、条件のチェックに係わる情
報を管理する第５のデータベースと、作業結果及び作業
状況によって工程手順、条件等の作業に係わる情報を更
新制御するための第１のデータベースと、これら第１〜
第６のデータベース群より生成される管理・制御用デー
タベースによってホストコンピュータ３が端末機４から
転送された情報をチェックし、制御する第２のステップ
Ｓ２と、そのチェック結果及び制御結果により、工程手
順作業条件及び作業工程に係わる情報をホストコンピュ
ータ３が前記データベース群を更新する第３のステップ
Ｓ３とから構成される。
【００１２】図３〜図５は、ホストコンピュータ３に於
ける主要データベースの概略構成を示す模式図である。
図３（ａ）は、作業や品質情報に関する製造履歴を管理
するデータベース、図３（ｂ）〜図４は、ライン運用上
必要なマスターデータを管理するメンテナンス等用のデ
ータベース、図５はラインを制御・管理する為の専用の
データベースを示す。ここでは、全てツリー構造のデー
タベースを使用しているが、多次元のリレーショナルデ
ータベースや、一般のファイル等でも実現可能である。
ける主要データベースの概略構成を示す模式図である。
図３（ａ）は、作業や品質情報に関する製造履歴を管理
するデータベース、図３（ｂ）〜図４は、ライン運用上
必要なマスターデータを管理するメンテナンス等用のデ
ータベース、図５はラインを制御・管理する為の専用の
データベースを示す。ここでは、全てツリー構造のデー
タベースを使用しているが、多次元のリレーショナルデ
ータベースや、一般のファイル等でも実現可能である。
【００１３】次に、図３（ａ）に示すデータベースＡ
は、端末機２1 〜２n によって収集されたデータを統合
管理するためのものである。これは、ロットＮｏ．５を
親として、品名・品名群名６及び工程名、作業開始日
時、作業終了日時、作業者名、作業数、品質データ等を
有する履歴詳細７から構成され、これらデータは、端末
機２からデータが収集されるごとに追加更新される。
は、端末機２1 〜２n によって収集されたデータを統合
管理するためのものである。これは、ロットＮｏ．５を
親として、品名・品名群名６及び工程名、作業開始日
時、作業終了日時、作業者名、作業数、品質データ等を
有する履歴詳細７から構成され、これらデータは、端末
機２からデータが収集されるごとに追加更新される。
【００１４】また、図３（ｂ）に示すデータベースＢ
は、工程手順を管理するデータベースである。これは、
品名８を親としてその工程９が手順に従って並んでお
り、このデータベースＢにより品名と工程手順を管理し
ている。
は、工程手順を管理するデータベースである。これは、
品名８を親としてその工程９が手順に従って並んでお
り、このデータベースＢにより品名と工程手順を管理し
ている。
【００１５】図４（ａ）に示すデータベースＣは、互い
に共通性のある品名をグルーピングした品名群名１０
と、それらの品名で使用されている工程１１及び条件１
２を管理しているデータベースであり、品名群名１０及
び工程１１で条件１２が決まるように構成されている。
に共通性のある品名をグルーピングした品名群名１０
と、それらの品名で使用されている工程１１及び条件１
２を管理しているデータベースであり、品名群名１０及
び工程１１で条件１２が決まるように構成されている。
【００１６】図４（ｂ）に示すデータベースＤは、条件
１３とその作業の詳細（作業方法、レシピー等）１４を
管理しているデータベースであり、条件１３を親とし、
その詳細条件詳細１４から構成されている。
１３とその作業の詳細（作業方法、レシピー等）１４を
管理しているデータベースであり、条件１３を親とし、
その詳細条件詳細１４から構成されている。
【００１７】図４（ｃ）に示すデータベースＥは、条件
詳細１５とその特に注意または制御を行う為のチェック
内容１６を管理しているデータベースであり、条件詳細
１５を親とし、そのチェック内容１６から構成されてい
る。
詳細１５とその特に注意または制御を行う為のチェック
内容１６を管理しているデータベースであり、条件詳細
１５を親とし、そのチェック内容１６から構成されてい
る。
【００１８】さらに、図５に示すデータベースＦは、実
際のライン制御、管理用のデータベースで、端末機２よ
りデータが報告された時は、このデータベースをもとに
して各種チェック、指示がなされる。各データベースＢ
〜Ｅの内容がメンテナンスされ、その変更点が確認され
た後に、そのメンテナンス内容が各データベースからこ
のデータベースＦに転送され、実際のライン運用に反映
される。
際のライン制御、管理用のデータベースで、端末機２よ
りデータが報告された時は、このデータベースをもとに
して各種チェック、指示がなされる。各データベースＢ
〜Ｅの内容がメンテナンスされ、その変更点が確認され
た後に、そのメンテナンス内容が各データベースからこ
のデータベースＦに転送され、実際のライン運用に反映
される。
【００１９】例えば、データベースＢの品名８、工程９
がデータベース下の品名１８、工程１９に転送される。
このように各マスターをそれぞれ分けている為、それぞ
れ独立してメンテナンスできるようになる。例えば、工
程フローを変更するには、データベースＣで登録されて
いる工程１１を使用するかぎりデータベースＢの工程の
並び等を変更すればよいことになる。また工程９で使用
したい工程がない時は、工程１１に先に登録して変更す
る。この時条件等他の要因を考慮する必要はない。
がデータベース下の品名１８、工程１９に転送される。
このように各マスターをそれぞれ分けている為、それぞ
れ独立してメンテナンスできるようになる。例えば、工
程フローを変更するには、データベースＣで登録されて
いる工程１１を使用するかぎりデータベースＢの工程の
並び等を変更すればよいことになる。また工程９で使用
したい工程がない時は、工程１１に先に登録して変更す
る。この時条件等他の要因を考慮する必要はない。
【００２０】ここでは、ライン制御用のデータベース構
造をデータベースＦのように定めたが、この構造である
必要は特になく、例えば、メンテナンス用のデータベー
スと同じ構造にしてもよいし、またメンテナンス用デー
タベースのレコードの中にメンテナンス用のレコードと
制御用レコードを持つようにしても実現可能である。
造をデータベースＦのように定めたが、この構造である
必要は特になく、例えば、メンテナンス用のデータベー
スと同じ構造にしてもよいし、またメンテナンス用デー
タベースのレコードの中にメンテナンス用のレコードと
制御用レコードを持つようにしても実現可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、メンテナ
ンス単位毎にデータベースを分け、しかもほぼ同一内容
のことをメンテナンス用と制御用に分けているので、マ
スターのメンテナンスが非常に行いやすくなり、製造上
の各種変更に対して、迅速でリアルタイムに管理制御を
行うことができるという効果を有する。
ンス単位毎にデータベースを分け、しかもほぼ同一内容
のことをメンテナンス用と制御用に分けているので、マ
スターのメンテナンスが非常に行いやすくなり、製造上
の各種変更に対して、迅速でリアルタイムに管理制御を
行うことができるという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を説明するフロー図。
【図２】本実施例の半導体装置製造ラインに於ける設備
群の配置を示すブロック図。
群の配置を示すブロック図。
【図３】（ａ），（ｂ）は本実施例における製造履歴を
管理するデータベースおよび工程手順を管理するデータ
ベースの構造図。
管理するデータベースおよび工程手順を管理するデータ
ベースの構造図。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は本実施例における品名群名・
工程・条件を管理するデータベース、条件・条件詳細を
管理するデータベースおよび条件詳細・チェック内容を
管理するデータベースの各構造図。
工程・条件を管理するデータベース、条件・条件詳細を
管理するデータベースおよび条件詳細・チェック内容を
管理するデータベースの各構造図。
【図５】本実施例の制御データベースの構造図。
【符号の説明】 １1 〜１n 設備 ２ 端末機 ３ ホストコンピュータ ４ ホスト用表示端末機 ５〜２２ データベースの構成要素 Ｓ１〜Ｓ３ 処理ステップ
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体装置等を製造する複数の作業工程
を同一製造設備群で処理するため、これら各設備からの
情報をホストコンピュータにそれぞれ転送する複数の端
末機と、前記ホストコンピュータの各種情報のメンテナ
ンスとその出力表示とを行うホスト用端末機とを備えた
製造制御システムにおいて、前記各設備の作業開始、作
業中及び作業終了時に作業条件、作業数、作業結果、作
業日時及び作業工程に関わる情報を前記端末機と前記ホ
ストコンピュータとで交換する第１のステップと；製造
履歴を管理する第１のデータベース、作業品目名とそれ
を製造する工程手順を管理する第２のデータベース、前
記作業品目名をグルーピングした作業品目名群とその作
業品目名群で使用される工程及びその工程の作業条件及
び作業に係わる情報を管理する第３のデータベース、前
記作業条件とその詳細及びその条件に係わる情報を管理
する第４のデータベース、前記作業品目名とその工程、
条件のチェックに係わる情報を管理する第５のデータベ
ース、作業結果及び作業状況によって工程手順・条件等
の作業に係わる情報を更新制御する第６のデータベース
およびこれら第１から第６のデータベース群より生成さ
れる管理制御用データベースによって前記端末に転送さ
れた情報をチェックし、制御する第２のステップと；前
記チェック結果及び制御結果により前記工程手順、作業
条件及び作業工程に係わる各情報のデータベース群を前
記ホストコンピュータが更新する第３のステップとをも
つことを特徴とする製造制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30518191A JPH05143610A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 製造制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30518191A JPH05143610A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 製造制御システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05143610A true JPH05143610A (ja) | 1993-06-11 |
Family
ID=17942036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30518191A Pending JPH05143610A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 製造制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05143610A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102774661A (zh) * | 2012-07-10 | 2012-11-14 | 北京航空航天大学 | 一种用于搬运机器人的垛型生成方法 |
-
1991
- 1991-11-21 JP JP30518191A patent/JPH05143610A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102774661A (zh) * | 2012-07-10 | 2012-11-14 | 北京航空航天大学 | 一种用于搬运机器人的垛型生成方法 |
| CN102774661B (zh) * | 2012-07-10 | 2014-07-16 | 北京航空航天大学 | 一种用于搬运机器人的垛型生成方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000118 |