JPH05140491A - 金属板の水性耐蝕刻性塗料の組成物 - Google Patents
金属板の水性耐蝕刻性塗料の組成物Info
- Publication number
- JPH05140491A JPH05140491A JP3334029A JP33402991A JPH05140491A JP H05140491 A JPH05140491 A JP H05140491A JP 3334029 A JP3334029 A JP 3334029A JP 33402991 A JP33402991 A JP 33402991A JP H05140491 A JPH05140491 A JP H05140491A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- water
- coating
- aqueous coating
- compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Paints Or Removers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】金属板エッチング時に使用される塗布用水性型
耐蝕刻性塗料の組成物に関し、スプレー塗装等による塗
工時の濡れ不良や泡の発生による塗工不良を防止した水
性型耐蝕刻性塗料を得ること。 【構成】金属板の水性型耐蝕刻性塗料に、界面活性剤及
びアセチレンアルコール系化合物および／またはアセチ
レングリコール系化合物を添加してなることを特徴とす
る金属板の水性耐蝕刻性塗料の組成物。
耐蝕刻性塗料の組成物に関し、スプレー塗装等による塗
工時の濡れ不良や泡の発生による塗工不良を防止した水
性型耐蝕刻性塗料を得ること。 【構成】金属板の水性型耐蝕刻性塗料に、界面活性剤及
びアセチレンアルコール系化合物および／またはアセチ
レングリコール系化合物を添加してなることを特徴とす
る金属板の水性耐蝕刻性塗料の組成物。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属板（金属箔を含
む）エッチング時に使用される塗布用水性型耐蝕刻性塗
料の組成物に関する。さらに詳しくは、スプレー塗装等
による塗工時の濡れ不良や泡の発生による塗工不良を防
止した水性型耐蝕刻性塗料の組成物に関するものであ
る。
む）エッチング時に使用される塗布用水性型耐蝕刻性塗
料の組成物に関する。さらに詳しくは、スプレー塗装等
による塗工時の濡れ不良や泡の発生による塗工不良を防
止した水性型耐蝕刻性塗料の組成物に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】金属板に所定のパターンを蝕刻する方法
としては、金属板上に水性の感光性塗料をスプレー、ロ
ールコータ、スクイズコータ等により塗布し、その後紫
外線等を照射、現像、エッチングを行う光露光法を用い
た方法がある。この方法を用いて、多数の微細な開孔部
をエッチングにより形成するものとして、表裏に口径の
異なる孔を有するカラー受像管用のシャドーマスクがあ
る。
としては、金属板上に水性の感光性塗料をスプレー、ロ
ールコータ、スクイズコータ等により塗布し、その後紫
外線等を照射、現像、エッチングを行う光露光法を用い
た方法がある。この方法を用いて、多数の微細な開孔部
をエッチングにより形成するものとして、表裏に口径の
異なる孔を有するカラー受像管用のシャドーマスクがあ
る。
【０００３】シャドーマスクは、多数の微細な電子の透
過孔を有しているが、その各々の孔の開口部の大きさ
は、一方の面では大きくその反対の面では小さくなって
いる。これらの大孔及び小孔を形成する工程は、感光膜
を形成し、大孔を形成する面には大孔用の、その面と反
対の小孔を形成する面には小孔用の、夫々のネガパター
ンを有するネガ原版を密着させた後、露光、現像を行い
未露光部を除去し、エッチング液をスプレー方法により
吹き付け、目的とする深さまでエッチングを行う一次エ
ッチングの工程と、一次エッチング後の基材の小孔部側
の感光膜上及び小孔部内にエッチング液の抵抗層を形成
した後、大孔部が小孔部のエッチング液抵抗層に達し、
かつ大孔部の開口部径が所定の大きさになるまで再度エ
ッチングを行う二次エッチングの工程に大きく分けられ
る。
過孔を有しているが、その各々の孔の開口部の大きさ
は、一方の面では大きくその反対の面では小さくなって
いる。これらの大孔及び小孔を形成する工程は、感光膜
を形成し、大孔を形成する面には大孔用の、その面と反
対の小孔を形成する面には小孔用の、夫々のネガパター
ンを有するネガ原版を密着させた後、露光、現像を行い
未露光部を除去し、エッチング液をスプレー方法により
吹き付け、目的とする深さまでエッチングを行う一次エ
ッチングの工程と、一次エッチング後の基材の小孔部側
の感光膜上及び小孔部内にエッチング液の抵抗層を形成
した後、大孔部が小孔部のエッチング液抵抗層に達し、
かつ大孔部の開口部径が所定の大きさになるまで再度エ
ッチングを行う二次エッチングの工程に大きく分けられ
る。
【０００４】この二次エッチングの工程で使用されるエ
ッチング液の抵抗層は、エッチング液の抵抗物質を含有
する塗料をスプレー等の塗工方法により塗装し、これを
乾燥することにより形成されるが、このとき塗膜が小孔
開口部にひさし状に突出しているため、塗料の基材に対
する濡れが不十分であると、小孔部を抵抗層で完全に充
填することができなくなり不良発生の原因となる。また
消泡性が悪い場合には、塗膜中に泡が残ることによる塗
膜欠陥を生じ、濡れ性が不十分な場合と同様不良発生原
因となる。
ッチング液の抵抗層は、エッチング液の抵抗物質を含有
する塗料をスプレー等の塗工方法により塗装し、これを
乾燥することにより形成されるが、このとき塗膜が小孔
開口部にひさし状に突出しているため、塗料の基材に対
する濡れが不十分であると、小孔部を抵抗層で完全に充
填することができなくなり不良発生の原因となる。また
消泡性が悪い場合には、塗膜中に泡が残ることによる塗
膜欠陥を生じ、濡れ性が不十分な場合と同様不良発生原
因となる。
【０００５】エッチング液の抵抗物質を含有する水性型
塗料をスプレー方法等により塗工しエッチング抵抗層を
形成しようとすると、微細孔内に完全に抵抗層を充填す
ることや泡の発生を防ぐことが困難となり、このために
欠陥が生じやすくなるいう問題点があった。したがっ
て、溶剤型塗料よりも濡れ性が著しく劣り泡の発生し易
い水性型塗料をこのような目的に使用することは困難で
あった。
塗料をスプレー方法等により塗工しエッチング抵抗層を
形成しようとすると、微細孔内に完全に抵抗層を充填す
ることや泡の発生を防ぐことが困難となり、このために
欠陥が生じやすくなるいう問題点があった。したがっ
て、溶剤型塗料よりも濡れ性が著しく劣り泡の発生し易
い水性型塗料をこのような目的に使用することは困難で
あった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術では、二次
エッチングの工程で使用される金属板に対する水性型塗
料の濡れ性を向上させるために界面活性剤の添加、泡を
防ぐためには消泡剤をそれぞれ添加することにより問題
の解決を試みてきた。通常、水性塗料の濡れ性を上げる
場合、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタ
レンスルホン酸塩、ジアルキルスルホコハク酸塩、ポリ
オキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレン
アルキルアリルエーテル、ポリオキシエチレン誘導体等
の界面活性剤が用いられる。また、発泡防止のために
は、鉱油系、油脂系、脂肪酸系、脂肪酸エステル系、ア
ルコール系、シリコーン系、ポリアルキレングリコール
系、フッ素系等の消泡剤が使用される。また、少量のア
ルコールやエチレン系及びプロピレン系グリコール等の
溶剤を添加することで、これらの界面活性剤や消泡剤の
効果を向上させられることもある。しかしながら、これ
らの一方ないしは双方を用いて、濡れ性、消泡性の問題
を同時に解決することは容易ではない。本発明は、以上
の問題点を解決するもので、水性塗料でありながら基材
に対する濡れ性を有しかつ、抑泡性および消泡性の良好
な二次エッチングの工程で使用される金属板に対する水
性型耐蝕刻性塗料を提供するものである。
エッチングの工程で使用される金属板に対する水性型塗
料の濡れ性を向上させるために界面活性剤の添加、泡を
防ぐためには消泡剤をそれぞれ添加することにより問題
の解決を試みてきた。通常、水性塗料の濡れ性を上げる
場合、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタ
レンスルホン酸塩、ジアルキルスルホコハク酸塩、ポリ
オキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレン
アルキルアリルエーテル、ポリオキシエチレン誘導体等
の界面活性剤が用いられる。また、発泡防止のために
は、鉱油系、油脂系、脂肪酸系、脂肪酸エステル系、ア
ルコール系、シリコーン系、ポリアルキレングリコール
系、フッ素系等の消泡剤が使用される。また、少量のア
ルコールやエチレン系及びプロピレン系グリコール等の
溶剤を添加することで、これらの界面活性剤や消泡剤の
効果を向上させられることもある。しかしながら、これ
らの一方ないしは双方を用いて、濡れ性、消泡性の問題
を同時に解決することは容易ではない。本発明は、以上
の問題点を解決するもので、水性塗料でありながら基材
に対する濡れ性を有しかつ、抑泡性および消泡性の良好
な二次エッチングの工程で使用される金属板に対する水
性型耐蝕刻性塗料を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、金属板の水性
型耐蝕刻性塗料に、界面活性剤並びにアセチレンアルコ
ール系化合物および／またはアセチレングリコール系化
合物を添加してなることを特徴とする金属板の水性耐蝕
刻性塗料の組成物である。
型耐蝕刻性塗料に、界面活性剤並びにアセチレンアルコ
ール系化合物および／またはアセチレングリコール系化
合物を添加してなることを特徴とする金属板の水性耐蝕
刻性塗料の組成物である。
【０００８】すなわち、本発明は、エッチング液の抵抗
物質として水溶解型ないしはエマルジョン型、例えばス
チレン−アクリル系樹脂を、また濡れ促進剤及び消泡剤
として界面活性剤及びアルコール類、エチレン系及びプ
ロピレン系グリコールを含有する水溶液に、これらをよ
り効果的に作用させるためにアセチレンアルコール系化
合物及びアセチレングリコール系化合物を添加すること
を特徴とする。
物質として水溶解型ないしはエマルジョン型、例えばス
チレン−アクリル系樹脂を、また濡れ促進剤及び消泡剤
として界面活性剤及びアルコール類、エチレン系及びプ
ロピレン系グリコールを含有する水溶液に、これらをよ
り効果的に作用させるためにアセチレンアルコール系化
合物及びアセチレングリコール系化合物を添加すること
を特徴とする。
【０００９】通常エッチング液は、塩酸酸性の塩化第二
鉄溶液や塩化第二銅溶液等が用いられる。したがって、
エッチング液に対する抵抗物質となる樹脂はこれらの酸
性溶液に耐性を示すものであれば、何ら制限はない。し
かし、最終的には、抵抗物質である樹脂は、除去される
ため、望ましくはアルカリにより可溶となるカルボキシ
ル基を有する樹脂である。
鉄溶液や塩化第二銅溶液等が用いられる。したがって、
エッチング液に対する抵抗物質となる樹脂はこれらの酸
性溶液に耐性を示すものであれば、何ら制限はない。し
かし、最終的には、抵抗物質である樹脂は、除去される
ため、望ましくはアルカリにより可溶となるカルボキシ
ル基を有する樹脂である。
【００１０】濡れ性を向上させる界面活性剤としては、
アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンス
ルホン酸塩、ジアルキルスルホコハク酸塩、ポリオキシ
エチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキ
ルアリルエーテル、ポリオキシエチレン誘導体、高分子
界面活性剤等の、一般に湿潤浸透剤として知られている
ものが優れている。発泡防止を考慮に入れるならば、こ
れらのうち消泡性の高いもの、あるいは低起泡性のもの
を用いることが望ましい。
アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンス
ルホン酸塩、ジアルキルスルホコハク酸塩、ポリオキシ
エチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキ
ルアリルエーテル、ポリオキシエチレン誘導体、高分子
界面活性剤等の、一般に湿潤浸透剤として知られている
ものが優れている。発泡防止を考慮に入れるならば、こ
れらのうち消泡性の高いもの、あるいは低起泡性のもの
を用いることが望ましい。
【００１１】これらの界面活性剤は、要求される塗料の
性能に応じて任意に選ぶことが可能であるが、これらの
うちで本発明に最も適するものとしてはジアルキルスル
ホコハク酸塩、ポリオキシエチレンアルキルアリルエー
テル、特殊反応性界面活性剤、高分子界面活性剤等があ
る。
性能に応じて任意に選ぶことが可能であるが、これらの
うちで本発明に最も適するものとしてはジアルキルスル
ホコハク酸塩、ポリオキシエチレンアルキルアリルエー
テル、特殊反応性界面活性剤、高分子界面活性剤等があ
る。
【００１２】また、これら界面活性剤の添加量は、水溶
解型ないしはエマルジョン型の系樹脂に対し０．０１〜
５重量％、より好ましくは０．１〜１．０重量％であ
る。界面活性剤の添加量が０．０１重量％未満の場合に
はその効果を期待することが困難であり、また５重量％
を越える場合には塗料の発泡を防止することが困難とな
る上に、塗料がエッチング液の抵抗層を形成した際の塗
膜のエッチング液に対する抵抗性を著しく減少させる原
因ともなる。
解型ないしはエマルジョン型の系樹脂に対し０．０１〜
５重量％、より好ましくは０．１〜１．０重量％であ
る。界面活性剤の添加量が０．０１重量％未満の場合に
はその効果を期待することが困難であり、また５重量％
を越える場合には塗料の発泡を防止することが困難とな
る上に、塗料がエッチング液の抵抗層を形成した際の塗
膜のエッチング液に対する抵抗性を著しく減少させる原
因ともなる。
【００１３】次に、これらの界面活性剤と併用される本
発明の添加剤であるアセチレンアルコール系化合物及び
アセチレングリコール系化合物としては、２，４，７，
９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール、
３，６−ジメチル−４−オクチン−３，６−ジオール、
及びこれらのエチレングリコールや２−エチルヘキシル
アルコール、ｎ−オクチルアルコール溶液、２，４，
７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール
の酸化エチレン付加体（酸化エチレン付加モル数＝３〜
３０）、３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−オール
等の単独系及びこれらの混合系を用いることができる。
発明の添加剤であるアセチレンアルコール系化合物及び
アセチレングリコール系化合物としては、２，４，７，
９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール、
３，６−ジメチル−４−オクチン−３，６−ジオール、
及びこれらのエチレングリコールや２−エチルヘキシル
アルコール、ｎ−オクチルアルコール溶液、２，４，
７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール
の酸化エチレン付加体（酸化エチレン付加モル数＝３〜
３０）、３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−オール
等の単独系及びこれらの混合系を用いることができる。
【００１４】これらアセチレンアルコール系化合物及び
アセチレングリコール系化合物の添加量も界面活性剤と
同じく、水溶解型ないしはエマルジョン型の樹脂に対し
０．０１〜５重量％、より好ましくは０．１〜１．０重
量％である。アセチレンアルコール系化合物及びアセチ
レングリコール系化合物の添加量が０．０１重量％未満
の場合は界面活性剤の場合同様その効果を期待すること
が困難であり、また５重量％を越える場合にはエッチン
グ液の抵抗膜に悪影響を及ぼすこともあるが、その問題
に加えて溶液の安定性に悪影響を及ぼし分離を起こし易
くなるという問題が新たに生ずる。
アセチレングリコール系化合物の添加量も界面活性剤と
同じく、水溶解型ないしはエマルジョン型の樹脂に対し
０．０１〜５重量％、より好ましくは０．１〜１．０重
量％である。アセチレンアルコール系化合物及びアセチ
レングリコール系化合物の添加量が０．０１重量％未満
の場合は界面活性剤の場合同様その効果を期待すること
が困難であり、また５重量％を越える場合にはエッチン
グ液の抵抗膜に悪影響を及ぼすこともあるが、その問題
に加えて溶液の安定性に悪影響を及ぼし分離を起こし易
くなるという問題が新たに生ずる。
【００１５】更に、これら界面活性剤とアセチレンアル
コール系化合物及びアセチレングリコール系化合物との
混合系にアルコール系ないしはエチレン系及びプロピレ
ン系グリコール等の溶剤を添加することで、濡れ性及び
消泡性の良好な塗料を得ることができる。また、消泡性
が不十分な場合には一般的な消泡剤を併用しても良い。
コール系化合物及びアセチレングリコール系化合物との
混合系にアルコール系ないしはエチレン系及びプロピレ
ン系グリコール等の溶剤を添加することで、濡れ性及び
消泡性の良好な塗料を得ることができる。また、消泡性
が不十分な場合には一般的な消泡剤を併用しても良い。
【００１６】
【実施例】以下、実施例にて更に詳細に説明する。
【００１７】 樹脂水溶液（Ｉ） スチレン−アクリル酸共重合体（酸価２００） １５重量部 精製水 ８１．７重量部 ２８重量％アンモニア水 ３．３重量部 エチレングリコールモノエチルエーテル ５重量部
【００１８】実施例１〜４においては上記樹脂水溶液
（Ｉ）１００ｇに対し、表１に示す界面活性剤およびア
セチレンアルコール系化合物及びアセチレングリコール
系化合物を表１に記載した重量添加し混合した後、その
１０μｌをシャドーマスク用基材に滴下した時の接触角
を測定することにより濡れ性を評価した。また、消泡性
は、２０ｍｌのスクリュー管に各１０ｇの試料を秤取
り、その試料を振とう器にて１分間振とうして５分間静
置した後の起泡高さを測定することにより評価した。
（Ｉ）１００ｇに対し、表１に示す界面活性剤およびア
セチレンアルコール系化合物及びアセチレングリコール
系化合物を表１に記載した重量添加し混合した後、その
１０μｌをシャドーマスク用基材に滴下した時の接触角
を測定することにより濡れ性を評価した。また、消泡性
は、２０ｍｌのスクリュー管に各１０ｇの試料を秤取
り、その試料を振とう器にて１分間振とうして５分間静
置した後の起泡高さを測定することにより評価した。
【００１９】また比較例１〜４においては上記樹脂水溶
液（Ｉ）１００ｇに対しアルキルフェニルエーテル及び
アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、アセチレンア
ルコール系化合物、アセチレングリコール系化合物を各
々単独に表１に記載した量を添加し実施例と同様な方法
で評価を行った。結果を表１に示す。
液（Ｉ）１００ｇに対しアルキルフェニルエーテル及び
アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、アセチレンア
ルコール系化合物、アセチレングリコール系化合物を各
々単独に表１に記載した量を添加し実施例と同様な方法
で評価を行った。結果を表１に示す。
【００２０】また、実施例１〜４で得られた水性型耐蝕
刻性塗料を１次エッチング済みシャドーマスク用基材に
スプレー塗工し、１００℃で３０分間乾燥した塗膜の断
面形状を観察したところ、これらの塗膜に消泡不良や濡
れ不良による塗膜欠陥は観察されなかった。しかしなが
ら、比較例１〜４の水性型耐蝕刻性塗料では塗膜欠陥が
観察された。
刻性塗料を１次エッチング済みシャドーマスク用基材に
スプレー塗工し、１００℃で３０分間乾燥した塗膜の断
面形状を観察したところ、これらの塗膜に消泡不良や濡
れ不良による塗膜欠陥は観察されなかった。しかしなが
ら、比較例１〜４の水性型耐蝕刻性塗料では塗膜欠陥が
観察された。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【発明の効果】本発明においては、上述のように混合し
て得られる塗料をロールコーターやスプレーコーター等
の塗工装置により基材上に塗布し、これを乾燥すること
により泡入りや濡れ不良による塗膜欠陥の無い良好な塗
膜を得ることができる。本発明により、水性耐蝕刻塗料
に係わらず、濡れ、発泡性の極めて少ないものが得られ
た。
て得られる塗料をロールコーターやスプレーコーター等
の塗工装置により基材上に塗布し、これを乾燥すること
により泡入りや濡れ不良による塗膜欠陥の無い良好な塗
膜を得ることができる。本発明により、水性耐蝕刻塗料
に係わらず、濡れ、発泡性の極めて少ないものが得られ
た。
Claims (1)
- 【請求項１】 金属板の水性型耐蝕刻性塗料に、界面活
性剤並びにアセチレンアルコール系化合物および／また
はアセチレングリコール系化合物を添加してなることを
特徴とする金属板の水性耐蝕刻性塗料の組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3334029A JPH05140491A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 金属板の水性耐蝕刻性塗料の組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3334029A JPH05140491A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 金属板の水性耐蝕刻性塗料の組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05140491A true JPH05140491A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=18272709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3334029A Pending JPH05140491A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 金属板の水性耐蝕刻性塗料の組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05140491A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0618243A3 (de) * | 1993-04-01 | 1995-02-22 | Bayer Ag | Verdickungsmittel-Zubereitung auf Polyurethanbasis und ihre Verwendung zur Verdickung wässriger Systeme. |
| WO2005086551A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Ibiden Co., Ltd. | エッチング液、エッチング方法およびプリント配線板 |
| EP1897924A1 (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-12 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Protective coating containing acetylene compound |
| EP1897922A2 (en) | 2006-09-08 | 2008-03-12 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Coating composition for a metal, and metal material having a coating of such coating composition |
| US7872064B2 (en) | 2006-09-08 | 2011-01-18 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Protective coating containing acetylene compound |
| US7955714B2 (en) | 2006-09-08 | 2011-06-07 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Coating composition for a metal, and metal material having a coating of such coating composition |
| US8632881B2 (en) | 2006-09-08 | 2014-01-21 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Glass fiber product |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP3334029A patent/JPH05140491A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0618243A3 (de) * | 1993-04-01 | 1995-02-22 | Bayer Ag | Verdickungsmittel-Zubereitung auf Polyurethanbasis und ihre Verwendung zur Verdickung wässriger Systeme. |
| WO2005086551A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Ibiden Co., Ltd. | エッチング液、エッチング方法およびプリント配線板 |
| US7357879B2 (en) | 2004-03-03 | 2008-04-15 | Ibiden Co., Ltd. | Etching solution, method of etching and printed wiring board |
| EP1897924A1 (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-12 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Protective coating containing acetylene compound |
| EP1897922A2 (en) | 2006-09-08 | 2008-03-12 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Coating composition for a metal, and metal material having a coating of such coating composition |
| EP1897922A3 (en) * | 2006-09-08 | 2008-10-29 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Coating composition for a metal, and metal material having a coating of such coating composition |
| US7872064B2 (en) | 2006-09-08 | 2011-01-18 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Protective coating containing acetylene compound |
| US7955714B2 (en) | 2006-09-08 | 2011-06-07 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Coating composition for a metal, and metal material having a coating of such coating composition |
| US7985486B2 (en) | 2006-09-08 | 2011-07-26 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Coating composition for a metal, and metal material having a coating of such coating composition |
| US8632881B2 (en) | 2006-09-08 | 2014-01-21 | Nissin Chemical Industry Co., Ltd. | Glass fiber product |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4439516A (en) | High temperature positive diazo photoresist processing using polyvinyl phenol | |
| US4592787A (en) | Composition useful for stripping photoresist polymers and method | |
| US3796602A (en) | Process for stripping polymer masks from circuit boards | |
| KR100899320B1 (ko) | 현상액 조성물 및 그 제조 방법, 그리고 레지스트 패턴의형성 방법 | |
| CN110023841B (zh) | 光刻组合物、形成抗蚀图案的方法和制造半导体器件的方法 | |
| KR101738376B1 (ko) | 미세 레지스트 패턴 형성용 조성물 및 이를 사용한 패턴 형성 방법 | |
| JPH05140491A (ja) | 金属板の水性耐蝕刻性塗料の組成物 | |
| TW201840641A (zh) | 光阻親水化處理劑 | |
| KR100404951B1 (ko) | 레지스트표면의반사-방지코팅용조성물 | |
| KR20090027251A (ko) | 미세화된 레지스트 패턴의 형성방법 | |
| TWI813626B (zh) | 基板親水化處理劑之用途及半導體元件之製造方法 | |
| JP2008502935A (ja) | 水性エッジビード除去液 | |
| US10859916B2 (en) | Composition for forming fine pattern and method for forming fine pattern using the same | |
| EP2233978B1 (en) | Composition for formation of anti-reflective film, and pattern formation method using the composition | |
| KR102629621B1 (ko) | 포토레지스트 노즐 세정액 조성물 | |
| JP3233379B2 (ja) | レジスト用剥離液組成物 | |
| KR100674013B1 (ko) | 감방사선성 조성물용 현상액 | |
| JP4342655B2 (ja) | 感光性樹脂組成物用アルカリ現像液 | |
| KR960003909B1 (ko) | 양성 감광성 내식막 현상액 및 그 제조방법 | |
| KR101286817B1 (ko) | 리소그래피용 세정제 또는 린스제 | |
| JP3154474B2 (ja) | カラーレジスト用現像液 | |
| KR100740929B1 (ko) | 얼룩 개선용 포토레지스트 조성물 | |
| JPH0714505A (ja) | シャドーマスクの製造方法 | |
| CN107870524A (zh) | 光致抗蚀剂显影液组合物及光致抗蚀剂图案形成方法 | |
| JP2006259537A (ja) | 感光性樹脂組成物用アルカリ現像液及びその濃縮液 |