JPH05121519A - 保管移動方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 対象物の汚染を大巾に少なくする保管移動方
法及びその装置を提供すること。 【構成】 対象物を収納した移動用収納容器２を真空引
きステーション８内部の気密性開閉機構１で仕切られた
区画７の内部に収容し、同時に移動用収納容器２の開閉
蓋４の気体出入口１３，１４と、真空引きステーション
側の気密性開閉機構１７の気体出入口を互いに締結し
て、両者の機械的及び流体的結合を行ってから、真空引
きステーション８の仕切られた区画内部を気密性を有す
る開閉機構１によって外界と遮断し、区画７の内表面及
び移動用収納容器２の外表面をエアシャワー５で清浄に
し、区画７の内部を減圧状態にした後、一体化した収納
容器の開閉蓋と区画の気密性開閉機構を、駆動機構を操
作することによって変位し、収納容器内部を真空引きス
テーション内部に曝露し、且つ、収納容器を真空引きス
テーション外に取り出す時は、上記と逆の手順による。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体ウエハの
ように微粒子や異物による汚染を嫌う対象物の保管移動
方法及びその装置に関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来この種の汚染を嫌う対象物を保管し、
且つ移動する場合は、単に密閉できる容器に対象物を収
納し、該容器内を減圧状態にするか、又は窒素ガス若し
くは不活性ガスを充填するなどの方法によっていた。

【０００３】しかしながら、上記の従来方法による場
合、対象物を容器に収容し、又は該容器から対象物を取
り出す際は、容器内の減圧状態を解除して通常の大気圧
の状態で対象物を外気に曝することになる。従って、対
象物が大気と接触することになり、大気中に通常浮遊し
ている大量の微粒子や分子による汚染及び酸化による表
面の劣化が必然的に発生し、対象物の品質保持上大きな
支障となるという問題があった。

【０００４】例えば半導体ウエハは、多数の異なる製造
工程の間を遂次移動させ、各工程特有の操作を施すこと
によって段階的に製品化されるものであるが、異なる工
程への載架毎に、保管容器内を大気に開放しているの
で、その都度対象物及び容器内部が汚染する不都合があ
る。即ち、汚染が生じたままで次工程を実施すると、結
果的に製品の品質が低下したり、余計な除染の工程が必
要となり、時間と費用がかさむことになる。

【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、上記問題点を解消し、対象物の汚染を大巾に少なく
する保管移動方法及びその装置を提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明の保管移動方法は、対象物を収納した移動用収納
容器を真空引きステーション内部の気密性開閉機構で仕
切られた区画の内部に収容し、同時に移動用収納容器開
閉蓋の気体出入口と、真空引きステーション側の気密性
開閉機構の気体出入口を互いに締結して、両者の機械的
及び流体的結合を行ってから、真空引きステーションの
仕切られた区画内部を気密性を有する開閉機構によって
外界と遮断し、区画内表面及び移動用収納容器外表面を
エアシャワーで清浄にし、区画内部を減圧状態にした
後、一体化した収納容器の開閉蓋と区画の気密性開閉機
構を、駆動機構を操作することによって変位させ、収納
容器内部を真空引きステーション内部に曝露し、且つ、
収納容器を真空引きステーション外に取り出す時は、上
記と逆の手順によることを特徴とする。

【０００７】また、本発明の保管移動装置は、対象物を
収納し開閉蓋を備えた移動用収納容器を真空引きステー
ション内部の気密性開閉機構で仕切られた区画の内部に
収容し、移動用収納容器と真空引きステーション内部の
気密的に仕切られた区画側の気密性開閉機構とを互いに
締結して、両者の機械的及び流体的結合分離を行うこと
ができ、収納容器外表面及び真空ステーション内部の仕
切られた区画の内表面を清浄にするエアシャワー機構と
収納容器の開閉蓋を開閉できる機構を設けたことを特徴
とする。

【０００８】

【作用】本発明の保管移動方法及びその装置によれば、
対象物を例えば真空引きステーションに移送するに際
し、先ず真空引きステーション外側の気密性開閉蓋を開
けて、収納容器を該真空引きステーション内の気密性開
閉機構で仕切られた区画内に収容すると同時に、該収納
容器の開閉蓋に設けられた気体出入口を、真空引きステ
ーションの区画に設けた気体出入口と互いに締結し、両
者を機械的及び流体的に連結する。次いで外側の開閉蓋
を閉じて、収納容器を収容した空間内をエアシャワーに
よって吹き流し、該収納容器外表面と真空引きステーシ
ョン区画内の内表面及び空間内を清浄化する。

【０００９】次いで、真空ポンプを作動して収納容器の
介在する空間を減圧状態にすることによって、浮遊、又
は空間内面上に付着、吸着する微粒子及び分子を取り除
く。そして、介在空間内が移動用収納容器及び真空引き
ステーションと同じ減圧状態になったら、真空引きステ
ーション側に設けた移送用駆動機構を作動して、一体化
した該収納容器の開閉蓋と該真空ステーション側の開閉
機構を変位させ、開放すると同時に、該開閉蓋に結合し
た棚板を動かし、該棚板上の対象物を真空引きステーシ
ョン内に曝露移動する。この際、介在空間と収納容器及
び真空引きステーションとの間には、圧力差がないの
で、残留粒子が舞い上がるのが防止される。従って、移
送に伴って対象物が周囲の環境から汚染されるという心
配は無いので清浄状態を保った移送が実現できる。

【００１０】上記手順を逆にたどることによって、対象
物を収納した収納容器を真空引きステーション外に取り
外すことができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の保管移動装置の構造を示す図であ
る。図１において、２は移動収納容器であり、図では該
移動収納容器２は真空引きステーション８内の気密区画
７に収容された状態を示している。真空引きステーショ
ン８の内外を遮断する気密性開閉機構１はＯリング等の
シール材１２と、施錠のための永久磁石１１を設けてい
る。なお、この永久磁石１１に替え電磁石を使用しても
よい。

【００１２】前記移動収納容器２には、Ｏリング１９を
有する気密性開閉蓋４と、それに結合した対象物１０を
載架する棚板３が設けられている。前記移動収納容器２
側の開閉蓋側気体出入口１３とＯリング１５を有する真
空引きステーション８の気密性開閉機構１７の側の開閉
機構側気体出入口１４は締結状態となっている。前記気
密区画７にはエアシャワー用ノズル機構５及び真空排気
及びリーク用ノズル機構６がある。これらノズル機構は
必要に応じて可撓性ある長尺の管路を有しているので、
部材の相対移動を許容することができる。

【００１３】ここで、気密区画７は当然のことながら一
定時間大気に曝されているので、内表面には微粒子及び
分子が大量に付着、吸着していて、非常に汚染度が高
い。そこでエアシャワー用ノズル機構５を作動して、清
浄な空気又は清浄な不活性ガスを吹き付け、同時に真空
排気及びリーク用ノズル６から吸引することにより、こ
の汚染粒子、吸着分子の大部分を除去する。更に、その
後にエアシャワー用ノズル機構５を閉じて、真空排気及
びリーク用ノズル６を作動して該気密区画７内を減圧状
態にし、浮遊する微粒子及び分子を取り除く。

【００１４】そして、気密区画７内が所定の減圧状態
（これは移動収納容器２及び真空引きステーション８内
の状態と同じ）になったら、一体化した気密性開閉蓋４
及び真空引きステーション側開閉機構１７を順次、図の
右方へ移動して開く。圧力計１８は前記気密区画７の圧
力を検出し、該気密区画７内の移動収納容器２内圧力と
真空引きステーション８内圧力との差が小さくなるま
で、開扉を行わないようになっている。従って、気密空
間７と移動収納容器２又は真空引きステーション８との
間の圧力差があるときに生じる残留粒子の舞い上がりが
防止される。

【００１５】移動用駆動機構９を作動し、対象物１０を
棚板３に載せたまま移動収納容器２から真空引きステー
ション８へ移動する。ここで、移動用駆動機構９を作動
しているときは、摺動部１６からの発塵による対象物１
０の汚染を防止するためにエアシャワー用ノズル５から
真空引きステーション側開閉機構１７の移動用駆動機構
９側に清浄気体を吐出し、且つ真空排気及びリーク用ノ
ズル６で吸引することによって、気体カーテンを形成す
る。以上の手順によって移送に伴う対象物１０の汚染が
防止できる。

【００１６】対象物１０を収納した移動収納容器２を真
空引きステーション８の外へ取り出すときは、上記と全
く逆の手順を実施すれば良く、この場合も上記と同じ理
由によって対象物１０の周囲環境からの汚染を防止でき
る。

【００１７】次に、保管移動装置の構造における具体例
及びこれに対する比較例を下記に説明する。

【００１８】〔具体例〕クリーン度クラス１０００のク
リーンルーム内において、通常の半導体基板のうち、５
インチウエハ１枚をウエハダストカウンタで観察した
後、速やかに移動収納容器２に収納し、該収納容器２を
真空引きステーション８に合体してから、 引きステーション８から分離した。このままの状態で、
４８時間放置した後、移動収納容器２を再び真空引きス
テーションへ移動して１時間後に徐々に真空引きステー
ション８内にクリーン度クラス１の清浄窒素ガスを導入
して大気圧に戻し真空引きステーション８からウエハを
取り出し、ウエハダストカウンタで汚染状態もを観察し
た。

【００１９】〔比較例１〕クリーン度クラス１０００の
クリーンルーム内で、通常の半導体５インチウエハ１枚
をウエハダストカウンタで観察した後、速やかに移動収
納容器２に収納し、上記例と同じ方法及び状態で４８時
間放置し、その後に移動収納容器２を単体でリークして
大気圧に戻し、気密性開閉蓋４を開いてウエハを取り出
し、同じく大気圧に戻した真空引きステーション８内に
速やかに収納し、真空引きステーション８の気密性開閉
機構１を閉状態で１時間保持した後、クリーン度クラス
の清浄窒素ガスを徐々に導入して大気圧に戻した。その
後、真空引きステーション８からウエハを取り出し、ウ
エハダストカウンタで汚染状態を観察した。

【００２０】〔比較例２〕比較例１の４８時間保持をク
リーン度クラス１の清浄な大気圧窒素ガス中で行い、そ
の他は比較例１と同じ状態で観察した。

【００２１】図２は上記具体例と比較例１，比較例２の
観察結果を示す図である。同図から明らかなように、本
発明による保管移動装置を用いたウエハの保管移動を行
った場合、従来のように移動の度毎に、大気中に取り出
す比較例の場合や、清浄窒素ガス中で長時間保管する比
較例２の場合と比べ、保管に伴う粒子汚染が、１／１１
ないし１／３１に減少している。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明の保管移動方
法及びその装置によれば、従来例に比べて対象物の汚染
を大巾に（実験によれば例えば１／１１ないし１／３１
に）少なくすることができ、汚染を嫌う対象物の製造工
程の保管移動において顕著に効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の保管移動装置の構造を示す図である。

【図２】本発明の保管移動装置を用いた具体例と比較例
１，比較例２の観察結果を示す図である。

【符号の説明】 １ 気密性開閉機構 ２ 移動収納容器 ３ 棚板 ４ 気密性開閉蓋 ５ エアシャワー用ノズル機構 ６ 真空排気及びリーク用ノズル ７ 気密区画 ８ 真空引きステーション ９ 移動用駆動機構 １０ 対象物 １１ 永久磁石又は電磁石 １２ Ｏリング １３ 開閉蓋側気体出入口 １４ 開閉機構側気体出入口 １５ Ｏリング １６ 摺動部 １７ 真空引きステーション側開閉機構 １８ 圧力計 １９ Ｏリング

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象物を収納した移動用収納容器を真空
   引きステーション内部の気密性開閉機構で仕切られた区
   画の内部に収容し、 同時に該移動用収納容器開閉蓋の気体出入口と、該真空
   引きステーション側の気密性開閉機構の気体出入口を互
   いに締結して、両者の機械的及び流体的結合を行ってか
   ら、該真空引きステーションの仕切られた区画内部を気
   密性を有する開閉機構によって外界と遮断し、 前記区画内表面及び前記移動用収納容器外表面をエアシ
   ャワーで清浄にし、該区画内部を減圧状態にした後、一
   体化した該収納容器の開閉蓋と該区画の気密性開閉機構
   を、駆動機構を操作することによって変位させ、該収納
   容器内部を前記真空引きステーション内部に曝露し、且
   つ、該収納容器を真空引きステーション外に取り出す時
   は、上記と逆の手順によることを特徴とする保管移動方
   法。
2. 【請求項２】 対象物を収納し開閉蓋を備えた移動用収
   納容器を真空引きステーション内部の気密性開閉機構で
   仕切られた区画の内部に収容し、該移動用収納容器と真
   空引きステーション内部の気密的に仕切られた区画側の
   気密性開閉機構とを互いに締結して、両者の機械的及び
   流体的結合分離を行うことができ、 前記収納容器外表面及び前記真空ステーション内部の仕
   切られた区画の内表面を清浄にするエアシャワー機構と
   該収納容器の開閉蓋を開閉できる機構を設けたことを特
   徴とする保管移動装置。