JPH05121171A - 光プリンタヘツド - Google Patents

光プリンタヘツド

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JPH05121171A
JPH05121171A JP3279791A JP27979191A JPH05121171A JP H05121171 A JPH05121171 A JP H05121171A JP 3279791 A JP3279791 A JP 3279791A JP 27979191 A JP27979191 A JP 27979191A JP H05121171 A JPH05121171 A JP H05121171A
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JP
Japan
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layer
electrode
thickness
printer head
face
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Withdrawn
Application number
JP3279791A
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English (en)
Inventor
Hitoshi Chiyoma
仁 千代間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH05121171A publication Critical patent/JPH05121171A/ja
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  • Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 常に適切な印字(静電潜像の形成)が可能な
信頼性の高い光プリンタヘッドの提供を目的とする。 【構成】 基板1と、この基板1の所定面上に配設され
た第1の電極2a群と、前記第1の電極2a群をそれぞれ被
覆する第1の誘電体層3aと、前記第1の誘電体3a層上に
配設された蛍光体層4と、前記蛍光体層4を被覆する第
2の誘電体層3bと、前記第2の誘電体層3b上に第1の電
極2a群に対向して配設された第2の電極2b群とを具備し
て成る一端面発光形光プリンタヘッドにおいて、前記第
1の電極2aおよび第2の電極2bの少なくともいずれか一
方の電極上面並びに側面が表面酸化2a′,2b′されてい
ることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、一端面発光形EL素子
アレイを用いた光プリンタヘッドに係り、さらに詳しく
は分解能の高い印字が可能な信頼性の高い光プリンタヘ
ッドに関する。
【0002】
【従来の技術】電気的に処理された情報を、印刷の形で
伝えるプリンターとして、たとえば電子写真方式ページ
プリンターが知られている。すなわち、感光部材を帯電
した後、この帯電した感光部材に印字情報に従って光書
き込みを行い、感光部材表面に静電潜像を形成し、この
静電潜像をトナーで可視像化するプリンターが開発され
ている。
【0003】そして、前記帯電した感光部材に印字情報
を光書き込みする方式として、一端面発光形EL素子アレ
イを用いた光プリンタヘッドが注目されている(特開平
2-158361 号公報)。すなわち、絶縁層を介して一対の
電極層でEL発光(蛍光体)層を挟持した構成とし、前記
一対の電極に所要の電圧を印加したときのEL発光層の発
光を、前記絶縁層との界面で全反射させてEL発光層内に
閉じ込めた形で、一端面側に導光し放射する構成のEL素
子を、複数個アレイ状に配列するとともに、前記各EL素
子の一対の電極(マトリックス状に形成されている主走
査電極とデータ電極)に、それぞれ選択的に所要の電圧
をマトリックスに印加して、一端面側から光エネルギー
を放出させる構成とした光プリンタヘッドは、構成が比
較的簡単で、印字ムラの発生なども低減するばかりでな
く、コスト面など経済性もよいので、実用面から多くの
関心が寄せられている。
【0004】図3は前記光プリンタヘッドの要部構成、
換言するとEL素子部の構成を断面的に示したもので、各
EL素子部は、たとえばガラス基板1面上に、第1の電極
2a、この第1の電極2aをそれぞれ被覆する第1の誘電体
層3a、この第1の誘電体層3a上に少なくとも第1の電極
2aに対応して配設された蛍光体層4、この蛍光体層4を
被覆する第2の誘電体層3b、および第2の誘電体層3b上
に第1の電極2aと対向して設けられた第2の電極2bを具
備した構成を成している。そして、この構成において
は、両誘電体層3a,3b および蛍光体層4が薄く、合せた
厚さも 1〜2 μm程度となっている。したがって、両電
極2a,2b の対向間隔は 1〜2 μm となる。また、各電極
2a,2b のピッチも記録する画像の解像度により決まる
が、一般的な解像度 8本/mm〜16本/mmでは、 125μm
〜62.5μm のピッチとなり高密度の状態を呈して、一端
面発光形EL素子アレイを構成することになる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の光プリンタヘッドの場合は、信頼性などの点で実用
上不都合なことがしばしば認められる。すなわち、帯電
した感光部材(たとえば感光ドラム)面に所要の印字情
報に従って光書き込みを行うとき、EL素子の電極2a,2b
間には、200V〜300V程度の交流電圧が印加されるため、
前記電極2a,2b 間および互いに隣接するEL素子の電極2
a,2a 間や電極2b,2b間にそれぞれ高い電界が負荷される
ことになり、EL素子の絶縁破壊もしくは電極2a,2b 、2
a,2b などの間でのショートなどが発生し易く、信頼性
の上で問題がある。
【0006】このような信頼性の問題を解消する手段と
して、一端面発光形EL素子アレイを成す各EL素子群を絶
縁油で覆い、いわゆるオイル封止する手段も提案されて
いる。しかし、このオイル封止手段の場合は、所用の絶
縁性を保持するため異物の混入や気泡の発生・残存を避
ける必要があり、封止構造の複雑化ないし封止操作の煩
雑化を招来するという問題がある。
【0007】本発明は上記事情に対処してなされたもの
で、常に適切な印字(静電潜像の形成)が可能な信頼性
の高い光プリンタヘッドの提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光プリンタ
ヘッドは、基板と、この基板の所定面上に配設された第
1の電極群と、前記第1の電極群をそれぞれ被覆する第
1の誘電体層と、前記第1の誘電体層上に配設された蛍
光体層と、前記蛍光体層を被覆する第2の誘電体層と、
前記第2の誘電体層上に第1の電極群に対向して配設さ
れた第2の電極群とを具備して成る一端面発光形光プリ
ンタヘッドにおいて、前記第1の電極および第2の電極
の少なくともいずれか一方の電極上面並びに側面が表面
酸化されていることを特徴とする。
【0009】本発明に係る光プリンタヘッドにおいて、
前記一端面発光形EL素子アレイを成す各EL素子の各電極
(電極群)は、製造工程においてエッチング処理などで
パターンニングされた後、たとえば陽極酸化によって露
出する表面に酸化絶縁膜を形成することにより、容易に
製造し得る。
【0010】
【作用】本発明の光プリンタヘッドは、一端面発光形E
L素子アレイを成す各EL素子を構成する電極層の少なく
ともいずれか一方の上面および側面に、表面酸化絶縁層
を形成具備した構成を成している。つまり、互いに対向
ないし隣接する各電極層は、さらに緻密な形で電気的に
絶縁補強されている。したがって、EL素子を高密度に配
設した構成において、各EL素子に200V〜300V程度の交流
電圧を印加し、比較的高い電界を負荷しても、対向する
電極間および互いに隣接するEL素子の電極間など、各EL
素子の絶縁破壊もしくは電極間でのショートなどの発生
が全面的に解消もしくは低減され、信頼性の向上が図ら
れる。
【0011】
【実施例】以下、図1および図2を参照して本発明の実
施例を説明する。
【0012】実施例1 図1は本発明に係る光プリンタヘッドの一構成例につい
て、その要部構成を断面的に示したもので、1は絶縁性
基板、たとえば厚さ1.1 mm程度、幅0.5 cm程度、長さ30
cm程度のガラス板、2aは前記ガラス板1の所定領域面
に、たとえば62.5μm ピッチで設けられたCr-Pd-Auから
成る第1の電極(層)であり、Crを50nm厚に,Pdを 100
nm厚に,Auを 200nm厚に電子ビーム蒸着法で順次積層し
て形成した後、エッチングによってパターンニングされ
たものである。ここで、この第1の電極(層)は、前記
蒸着を選択的に行うことによって形成してもよい。3aは
第1の誘電体層で、たとえばREスパッタ法によって形成
された厚さ 200nmのSiON膜、4は蛍光体層で、たとえば
電子ビーム蒸着法で形成された厚さ 1.5μm のMnを0.5w
t%ドープした ZnS系膜、3bは第2の誘電体層で、たとえ
ばREスパッタ法によって形成された厚さ 200nmのSiON
膜、2bは前記第1の電極(層)2aに対向して設けられた
第2の電極(層)で、たとえば厚さ 300nmのAlを母体と
し、その上面および側面(露出面)の表面に酸化処理に
よって厚さ数十nm程度のAl2 O 3 層2b′が形成された構
成を成しており、さらに5は前記第2の電極(層)2b間
に位置して第2の誘電体層3b上に設けられた遮光膜であ
る。なお、一般的に前記第1の電極2aは、データ電極と
しての機能をなし、一端面発光形EL素子アレイを構成
する一端面発光形の各EL素子ごとに各別(独立)に形成
されているが、主走査電極としての機能をなす第2の電
極2bは図示されていない一端側で、一端面発光形EL素子
アレイを構成する全ての一端面発光形のEL素子に共通す
る形で構成されている。
【0013】上記構成の光プリンタヘッドにおいて、EL
素子に 200〜300Vの高圧交流電圧を負荷して実装試験を
行ったところ、前記電極2b面に酸化絶縁物層2b′を具備
したことにより、第1の電極2aと第2の電極2bとの間の
層間リーク、および隣接する電極2b-2b間などにおける
沿面リークが認められなかった。
【0014】実施例2 図2は本発明に係る光プリンタヘッドの他の構成例の要
部を断面的に示したもので、1はたとえば厚さ1.1 mm程
度、幅0.5 cm程度、長さ30cm程度のガラス板、2aは前記
ガラス板1の所定領域面に、たとえば62.5μm ピッチで
設けられたCr-Al を母体とし上面および側面に酸化物層
2a′が設けられた第1の電極(層)であり、Crを50nm厚
に,Alを 300nm厚に電子ビーム蒸着法で順次積層して形
成した後、エッチングによってパターンニングしてか
ら、さらに露出面(上面および側面)に酸化処理を施し
て厚さ数十nm程度のAl2 O 3 層2a′を形成したたもので
ある。3aはREスパッタ法によって形成された厚さ 200nm
のSiON膜(第1の誘電体層)、4は電子ビーム蒸着法で
形成された厚さ 1.5μm のMnを0.5wt%ドープした ZnS系
の蛍光体層、3bはREスパッタ法によって形成された厚さ
200nmのSiON膜(第2の誘電体層)、2bは前記第1の電
極(層)2aに対向して設けられた厚さ 300nmのAlを母体
としパターンニングした後、その上面および側面(露出
面)の表面に酸化処理によって厚さ数十nm程度のAl2 O
3 層2b′が形成された第2の電極(層)である。なお、
この構成例の場合は、前記第2の電極(層)を形成した
後、第1の誘電体層3a,第2の誘電体層3bおよび蛍光体
層4の不要な領域を選択的にエッチング除去し、たとえ
ばスパッタリングによって SiO2 から成る保護膜6を形
成してある他は、前記実施例1の場合と同様の構成を成
している。
【0015】上記構成の光プリンタヘッドにおいて、EL
素子に 200〜300Vの高圧交流電圧を負荷して実装試験を
行ったところ、第1の電極2aと第2の電極2bとの間、お
よび隣接する電極2a-2a,2b-2b 間などにおける沿面リー
クも認められず、さらに信頼性など向上していることが
確認された。つまり、前記電極2a,2b 面に酸化絶縁物層
2a′,2b′を具備したことにより、誘電体層3a,3b の欠
陥や電極2a,2b との境界面の欠陥,異物などを介しての
電流リークが効果的に防止されている。
【0016】
【発明の効果】上記説明したように、本発明に係る光プ
リンタヘッドにおいては、端面発光形EL素子アレイを構
成し、かつ高圧交流電圧の負荷がかかる各EL素子の信頼
性が、大幅に向上されている。すなわち、EL素子の密度
を上げ解像度を向上し得るとともに、光プリンタヘッド
として信頼性の高い機能を常に保持・発揮し得ることに
なり、もって印字分解能の向上などに十分応え得るもの
といえる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光プリンタヘッドの要部構成例を
示す断面図。
【図2】本発明に係る光プリンタヘッドの他の要部構成
例を示す断面図。
【図3】従来の光プリンタヘッドの要部構成を示す断面
図。
【符号の説明】
1…基板(ガラス基板) 2a…第1の電極(データ電
極) 2b…第2の電極(主走査電極) 3a…第1の
誘電体層 3b…第2の誘電体層 4…蛍光体層
5…遮光層 6…保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05B 33/00

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、この基板の所定面上に配設され
    た第1の電極群と、前記第1の電極群をそれぞれ被覆す
    る第1の誘電体層と、前記第1の誘電体層上に配設され
    た蛍光体層と、前記蛍光体層を被覆する第2の誘電体層
    と、前記第2の誘電体層上に第1の電極群に対向して配
    設された第2の電極群とを具備して成る一端面発光形光
    プリンタヘッドにおいて、 前記第1の電極および第2の電極少なくともいずれか一
    方の電極上面並びに側面が表面酸化されていることを特
    徴とする光プリンタヘッド。
JP3279791A 1991-10-25 1991-10-25 光プリンタヘツド Withdrawn JPH05121171A (ja)

Priority Applications (1)

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JP3279791A JPH05121171A (ja) 1991-10-25 1991-10-25 光プリンタヘツド

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JP3279791A JPH05121171A (ja) 1991-10-25 1991-10-25 光プリンタヘツド

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0788297A1 (en) * 1996-01-31 1997-08-06 Sharp Kabushiki Kaisha Electroluminescence device and method of manifacturing same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0788297A1 (en) * 1996-01-31 1997-08-06 Sharp Kabushiki Kaisha Electroluminescence device and method of manifacturing same
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Effective date: 19990107