JPH05121148A

JPH05121148A - セラミツクスヒータ装置の製造方法

Info

Publication number: JPH05121148A
Application number: JP3156699A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Mizutani; 洋一水谷; Kikuo Ariga; 喜久雄有賀; Yoshinari Kato; 吉成加藤; Eizo Kojima; 榮藏小島
Original assignee: Aichi Steel Corp; TYK Corp
Current assignee: Aichi Steel Corp; TYK Corp
Priority date: 1991-06-27
Filing date: 1991-06-27
Publication date: 1993-05-18

Abstract

(57)【要約】【目的】セラミックス製の発熱体２の均厚化、発熱体２
と電極部との偏芯防止を図り、発熱体２の発熱の暴走を
回避すること。【構成】軸状部６９をもつ芯金６２を成形型７４のキャ
ビティ７０に配置し、軸部６６を成形型７４の位置決め
孔７３に挿入し軸状部６９を位置決めする。次にスラリ
をキャビティ７９に装填し筒状の発熱体２を成形する。
次に芯金６２を装備したまま発熱体２を成形型７４から
離型し、芯金６２の軸状部６９を第１チャック部材でチ
ャックすると共に、芯金６２の他端部を第２チャック部
材でチャックし、その状態で発熱体２を表面研削する。
次に発熱体２のうち芯金６２を外して形成した電極挿入
孔に棒状の電極部を挿入する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はセラミックスヒータ装置
の製造方法に関する。このセラミックスヒータ装置は、
例えば、連続鋳造工程で使用されるタンディシュ内に保
持された溶鋼を加熱して、その溶鋼の温度調整を行う際
に使用できる。

【０００２】

【従来の技術】連続鋳造法で使用するセラミックスヒー
タ装置を例にとって説明する。連続鋳造法では、とりべ
から例えば１４５０〜１６００℃程度の溶鋼をタンディ
シュに１次的にうけ、タンディシュの吐出口から溶鋼を
水冷鋳型に注入して冷却固化し、冷却スプレ−帯による
冷却の後、冷却固化した部分をピンチロールで引張り、
所定の長さに切断し、これによりスラブやビレットなど
を製造している。上記した連続鋳造方法では、分塊圧延
法に比較して製造される製品の品質は向上しており、歩
留も向上している。しかし、近年、鉄鋼製品では一層の
高品質化が要求されているため、連続鋳造方法でも鉄鋼
製品の高品質化のため開発が鋭意進められている。

【０００３】ところで上記した連続鋳造方法では、鉄鋼
の溶鋼をタンディシュに１次的に受ける関係上、タンデ
ィシュ内で鉄鋼の溶鋼の温度が低下しがちであった。特
に連続鋳造する際、鋳造開始から時間が例えば５０〜８
０分間経過した鋳造末期では溶鋼の温度が数〜数１０℃
程度場合によってはそれ以上低下する。ここで、タンデ
ィシュは溶鋼が凝固する直前の最終容器であるため、タ
ンディシュ内の溶鋼温度は鉄鋼製品の表層下介在物指
数、炭素の中心偏析指数に大きな影響を与え、従って、
鉄鋼製品の高品質化に大きな影響を与える。故に、タン
ディシュ内の溶鋼が数〜数１０℃程度低下する場合であ
っても、品質管理上好ましくない。

【０００４】そこで、鋭意研究の結果、本発明者は、近
年、図１０に示すような溶鋼に浸漬される溶鋼浸漬用セ
ラミックスヒ−タ装置を開発した。この溶鋼浸漬用セラ
ミックスヒ−タ装置１００は、マグネシアが常温域では
電気絶縁材料であるが、鋼の融点付近の１５００°Ｃ程
度では導電性をもつこと、溶鋼温度域での必要な固有抵
抗値が得られること、マグネシアが溶鋼に侵入したとき
における鋼への影響性が少ないこと、価格、毒性等の要
因に着目したものであり、図１０に示す様に、マグネシ
アを主成分とする筒状の発熱体２００と、発熱体２００
の中央孔に装備された電極部３００とで構成されてい
る。そして、図６に示す様にヒ−タ装置１００を２個用
い、２個１組のヒ−タ装置１００をタンディシュ４００
内の溶鋼に浸漬した状態で、ヒ−タ装置１００と溶鋼Ｗ
との間に電圧を印加し、発熱体２００の発熱で溶鋼Ｗを
加熱する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、セラミ
ックスヒータ装置１００において内部の熱が局部的に溜
まり、局部的な高温部分が生じることがある。この様な
局部的な高温部分が一旦発生すると、高温部分はますま
す高温となり、発熱の暴走現象が発生する。即ち、発熱
体２００を構成するマグネシアは１５００°Ｃ付近にお
いて温度が高くなると、固有抵抗値が低下する特性をも
つので、高温化により電流が多く流れる様になり、これ
によりＱ＝ＫＲＩ²の関係式に従い、ますます局部的な
高温部分が高温化するものである。

【０００６】本発明は上記した実情に鑑みなされたもの
であり、その目的は、セラミックス製の発熱体の発熱の
暴走を回避するのに有効なセラミックスヒータ装置の製
造方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者は上記目的のも
とに鋭意開発を進め、そして、セラミックス製の発熱体
と電極部との偏芯を少なくすること、発熱体の肉厚の均
一化を図ることが、発熱体の発熱暴走の抑制に有効であ
ることを知見した。例えば、偏芯量や肉厚変動量が０．
１ｍｍ程度でも、発熱の均一性が不均衡となり、局部的
な高温部分が生じることがある。

【０００８】本発明のセラミックスヒータの製造方法
は、セラミックス製の発熱体と電極部との偏芯を少なく
するのに、また発熱体の均厚化に有利なものである。即
ち、本発明のセラミックスヒータの製造方法は、先端部
に軸状部をもち外面が成形型面を形成する棒状の芯金
と、芯金が挿入されるキャビティを区画する成形型面と
底部に位置決め孔とをもつ成形型とを用い、芯金を成形
型のキャビティに配置し、かつ、軸状部を成形型の位置
決め孔に挿入し芯金を位置決めして保持する配置工程
と、セラミックススラリを成形型のキャビティに装填し
芯金の成形型面と成形型の成形型面とで芯金の回りに筒
状の発熱体を成形する装填工程と、芯金を装備したまま
発熱体を成形型から離型することにより、芯金と芯金の
回りの発熱体と発熱体から突き出た軸状部とを備えた中
間体を得るとともに、中間体の芯金に連結された軸状部
を第１チャック部材でチャックすると共に、中間体の芯
金の他端部を第２チャック部材でチャックし、その状態
で中間体と処理具との少なくとも一方を周方向へ相対回
転させ、発熱体の表面を処理具で表面処理する処理工程
と、チャック解除した中間体の発熱体と芯金とを分離す
るとともに、発熱体のうち芯金を外して形成した電極挿
入孔に棒状の電極部を挿入する挿入工程とを順に実施す
ることを特徴とするものである。

【０００９】本発明方法にかかる配置工程では、先端部
に軸状部をもち外面が成形型面を形成する棒状の芯金
と、芯金が挿入されるキャビティを区画する成形型面と
底部に位置決め孔とをもつ成形型とを用いる。軸状部は
芯金と別体でも一体でも良い。後述の実施例の様に、軸
状部は、その外周部に雄螺子部を有するものでも良い。
そして配置工程では、芯金を成形型のキャビティに配置
し、かつ、軸状部を成形型の位置決め孔に挿入し軸状部
を保持する。これにより芯金は成形型に位置決めされて
保持される。

【００１０】本発明方法にかかる装填工程では、セラミ
ックスを成形型のキャビティに装填し芯金の成形型面と
成形型の成形型面とで芯金の回りに筒状の発熱体を成形
する。セラミックススラリはマグネシア（ＭｇＯ）、ジ
ルコニア（ＺｒＯ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、マグ
ネシアとジルコニアとの混合体、マグネシアとジルコニ
アとアルミナとの混合体で構成できる。ここで、マグネ
シアとジルコニアとアルミナとの混合体を用いる場合に
は、アルミナは、マグネシアの熱衝撃性を抑制するのに
有効であり、また、抵抗値を制御するのに有効であり、
また、ジルコニアは耐熱性、衝撃性、熱間特性及び抵抗
値の制御に有効である。更に、マグネシアとジルコニア
とアルミナとの混合体を用いる場合には、熱衝撃性、熱
膨張性、固有抵抗値等を考慮すると、その配合割合は例
えば、重量％で、マグネシアが６０〜１００％、特に８
５〜９５％が好ましく、ジルコニアが０〜４０％。特に
５〜２．５％が好ましく、アルミナが０〜４０％、特に
２．５〜１５％が好ましい。溶鋼の加熱において、発熱
体の固有抵抗値は１５００℃付近で、２０Ωｃｍ以上で
あることが望ましく、特に２００Ωｃｍ以上であること
が望ましく、例えば一例として、その固有抵抗値が３６
０Ωｃｍ程度のものを採用することができる。発熱体を
形成するセラミックスの粒度は抵抗値、電流の偏流化に
影響を与えることがあり、そのため最大粒径は０．５ｍ
ｍ〜５ｍｍ程度が望ましく、特に０．７ｍｍ〜３ｍｍ程
度が望ましい。

【００１１】本発明方法にかかる処理工程では、芯金を
外すことなく、芯金を装備したまま発熱体を成形型から
離型する。そして、芯金と芯金の回りの発熱体と発熱体
から突き出た軸状部とを備えた中間体を得る。更に処理
工程では、中間体の芯金に連結されている軸状部を第１
チャック部材でチャックすると共に、中間体の芯金の他
端部を第２チャック部材でチャックし、その状態で中間
体の発熱体及び処理具を周方向へ相対回転させ、発熱体
の表面を処理具で表面処理する。表面処理としては、発
熱体の外周表面を研磨、研削する形態がある。

【００１２】本発明方法にかかる挿入工程では、中間体
の発熱体と芯金とを分離する。そして、発熱体のうち芯
金を外して形成した電極挿入孔に棒状の電極部を挿入す
る。電極部は発熱体に電気を流すためのものである。電
極部の材質は導電率、熱伝達率等を考慮して選択する。
この場合、導電率を高くし熱伝達率を小さくすることが
できる。但し、物質は一般的には、導電率が高くなる
と、熱伝達率も高くなる傾向にあるので、単一の材料で
電極部を形成するよりも導電率の高い材料と熱伝達率の
小さい材料とを適宜組合せて、電極部の導電性を確保し
つつ、電極部の見掛けの熱伝達度合を小さくすることが
できる。

【００１３】

【作用】本発明方法では、装填工程においては、芯金の
軸状部が成形型の位置決め孔に挿通されて位置決め状態
で保持されているので、セラミックススラリを成形型の
キャビティに装填する際において、芯金のずれ、偏りを
回避するのに有利である。また、処理工程では、芯金を
発熱体から外すことなく、中間体の芯金に連結された軸
状部を第１チャック部材でチャックすると共に、中間体
の芯金の他端部を第２チャック部材でチャックするの
で、発熱体の表面処理の際において発熱体の外周径を均
一化するのに有利である。

【００１４】

【実施例】本発明にかかるセラミックスヒータの製造方
法の一実施例について説明する。（セラミックスヒータ装置）先ず、説明の便宜上、本実
施例にかかるセラミックスヒ−タ装置１を図１を参照し
て説明する。

【００１５】このセラミックスヒ−タ装置１はシリンダ
タイプであり、円筒状の発熱体２と、丸棒状の電極部３
とで構成されている。発熱体２は、重量％で、マグネシ
ア９０％、ジルコニア５％、アルミナ５％、不可避の不
純物を含有する混合セラミックスで形成されている。発
熱体２は、フランジ状の基端部２０と、基端部２０につ
ながる中央部２１と、中央部２１につながる３次元曲面
形状つまり半球状の先端部２２とから構成されている。
中央部２１の肉厚は実質的に一定である。ここで本実施
例では、発熱体２の軸方向の全体の長さＬ１が８００ｍ
ｍ程度、中央部２１の長さＬ２が６３５ｍｍ程度、先端
部２２の長さＬ３が３５ｍｍ程度、中央部２１の外径が
７０ｍｍ、中央部２１の内径が５０ｍｍ、従って中央部
２１の半径方向における肉厚が１０ｍｍである。なお基
端部２０がフランジ状であるのはホルダで保持するため
である。発熱体２の先端部２２の貫通状態の螺孔２７に
はモルタル部２８が装入されている。

【００１６】棒状電極部３は炭素質で形成されており、
その全長が８５０ｍｍ程度である。電極部３は、ほぼ下
半分の大径部３０（外径ｄ３４７ｍｍ）と、溶鋼液面と
してスラグライン付近よりも上方に位置する小径部３１
（外径ｄ４２７ｍｍ）とで構成されており、更に、軸方
向にのびる中央孔３５をもつ。中央孔３５はガス抜け、
亀裂防止として機能する。また発熱体２の内周部と棒状
電極部３の外周部との間には、炭素粉末を装填した薄肉
状の導電層４０が介在している。導電層４０は発熱体２
の内周部と棒状電極部３の外周部との間において電気的
接触性、熱的接触性を確保するのに役立つ。導電層４０
は、小径部３１の外周側に位置するリング状の厚肉層４
０ａと、大径部３０の外周側に位置するリング状の薄肉
層４０ｂとで構成されている。導電層４０の固有抵抗値
（粒子間の接触抵抗を含む）は１５００°において６６
００Ωｃｍである。炭素粉末は平均粒径が４０μｍ〜６
０μｍであり、発熱体２と電極部３とを周方向に相対回
転させつつ両者間の隙間に炭素粉末を装填して、導電層
４０を構成した。なお、導電層４０のうち電極部３の下
方の底部位４４は比較的厚くされている。（製造方法）さて本実施例の溶鋼浸漬用ヒ−タ装置１の
製造方法を説明する。即ち、図２に示す様に先端部に螺
孔６０をもち外面が成形型面６１を形成する芯金６２
（材質ＳＫＤ、焼入鋼）と、図３に示す様に軸部６６と
螺子部６７と螺子部６８とを備えた金属製の軸状部６９
とを用いる。軸部６６には突部６６ａと孔６６ｂとが形
成されている。螺子部６７の螺子山６７ａのピッチはＰ
１である。また螺子部６８の螺子山のピッチはＰ２（Ｐ
１＞Ｐ２）である。そして図３に示す様に、芯金６２の
螺孔６０に軸状部６９の螺子部６８を螺合し、両者をほ
ぼ同軸的に連結する。更に配置工程では、図４に示す様
に円筒形状のキャビティ７０を区画する成形型面７１と
底部に貫通する位置決め孔７３とをもつ成形型７４とを
用い、そして、芯金６２を成形型７４のキャビティ７０
の中央部に挿入するとともにし、軸状部６９の軸部６６
を成形型７４の位置決め孔７３に挿入して位置決めした
状態で保持する。これにより芯金６２は変位したり、偏
ることなく、キャビティ７０の中央部にセットされる。

【００１７】次に装填工程を実施する。装填工程では、
原料セラミックス粉末（最大粒径３ｍｍ）を所定の配合
割合で調整した後、水を加えて形成したセラミックスス
ラリを用い、そして、図５に示す様に、セラミックスス
ラリを成形型７４のキャビティ７０に装填し、芯金６２
の成形型面６１と成形型７４の成形型面７１とで、芯金
６２の回りに筒状の発熱体２を形成する。尚、発熱体２
の成形法についてはラバープレス法、機械加工も可能で
ある。

【００１８】次に処理工程を実施する。処理工程では、
芯金６２を装備したまま発熱体２を成形型７４から離型
し、図６から理解できる様な芯金６２と芯金６２の回り
の発熱体２と発熱体２から突き出た軸部６６とを備えた
中間体Ｈを得る。そして図６に示す様に、中間体Ｈの芯
金６２に連結された軸状部６９の軸部６６を旋盤の第１
チャック部材７７でチャックすると共に、中間体Ｈの芯
金６２の他端部６２ｆを旋盤の第２チャック部材７８で
チャックする。即ち、発熱体２の両端を両端支持する。
このとき軸部６６には突部６６ａが形成されているの
で、チャック度が向上し、発熱体２の垂れを防止する。
このようにチャックした状態で、中間体Ｈをその周方向
に回転速度７０〜１００回／分で回転させつつつ、中間
体Ｈの発熱体２の表面に研削具７９を宛てがい発熱体２
の外周面を表面研削する。これにより発熱体２の外周面
２ｃは均径化される。

【００１９】次に挿入工程を実施する。挿入工程では、
図７に示す様に芯金６２をゆっくりと周方向に相対回転
させ、軸状部６９の螺子部６７の螺子山６７ａを発熱体
２から外す。この結果、発熱体２の底部には、軸状部６
７の螺子山６７ａに対応する螺子山２７ａをもつ螺孔２
７が形成される。更に、発熱体２の螺孔２７にモルタル
を装填してモルタル部２８で螺孔２７を閉じる。ここ
で、発熱体２のうち芯金６２を外して形成した空間部分
は電極挿入孔２ｈとされる。次に発熱体２を養生し、更
に１５０℃で１５時間乾燥する。その後、乾燥した発熱
体２を１６５０℃で１０時間加熱して焼結する。焼結
後、発熱体２を縦向きにした状態で、発熱体２の電極挿
入孔２ｈに棒状の電極部３を挿入する。このとき発熱体
３と電極部３とを周方向に相対回転させつつ、導電層４
０を構成する炭素粉末を両者間の隙間に装填するもので
ある。

【００２０】以上説明した様に本実施例にかかる製造方
法では、装填工程においては、図４、図５に示す様に芯
金６２の軸状部６９の軸部６６が成形型７４の位置決め
孔７３に挿通されて位置決め状態で保持されているの
で、セラミックススラリを成形型７４のキャビティ７０
に装填する際において、芯金６２のずれ、偏りを回避す
るのに有利である。更に発熱体２の半径方向における肉
厚も均一化するのに有利である。また、処理工程では、
図６に示す様に、中間体Ｈの芯金６２に連結された軸状
部６９を第１チャック部材７７でチャックすると共に、
中間体Ｈの芯金６２の他端部６２ｆを第２チャック部材
７８でチャックするので、発熱体２の外周面２ｃの表面
研削の際において発熱体２の外周径を均一化するのに有
利である。また、発熱体２の螺子山２７ａをもつ螺孔２
７にモルタルを装填してモルタル部２８を形成するの
で、螺子山２７ａの係合力により、モルタル部２８の取
付強度は増加するし、モルタル部２８は外れにくくな
る。そのため、モルタル部２８と発熱体２との間に溶鋼
が差し込むことを回避するのに有利である。殊に本実施
例では、図６からも理解できる様に、成形の際に使用し
た芯金６２を発熱体２から外すことなく、芯金６２を処
理工程でも使用するため、装填工程における軸芯と処理
工程における軸芯とを合致させることができるので、発
熱体２と電極部３との間の偏芯防止に有利である。

【００２１】（使用方法）そして、上記のように製造し
たセラミックスヒータ置１の棒状電極部３の上端部に導
線をバンドで固定して電源につなぐと共に、ヒ−タ装置
１を容器内の溶鋼Ｗに浸漬した。この状態で２個の電極
部３と溶鋼Ｗとの間に電圧を印加し、周波数６０Ｈｚの
電流を流す。この場合、溶鋼の温度に応じて、電圧は０
Ｖから４４０Ｖまで適宜印加し、電流は０Ａ／ｃｍから
６７Ａ／ｃｍまで適宜流した。この結果、ヒ−タ装置１
の発熱体２が発熱して溶鋼Ｗが加熱される。なお、溶鋼
の容量が増した場合には、発熱体２の軸方向における長
さを長くし、発熱体２の溶鋼への浸漬長さを増加すれ
ば、前述同様に、電流値２５Ａ／ｃｍから６７Ａ／ｃｍ
流がせば、発熱量を増加できるので、溶鋼の増量化に対
処できる。

【００２２】本実施例では、発熱体２の中央部２１の半
径方向における肉厚は一定であるため、発熱体２から溶
鋼へと流れる電流の偏流化防止に有効である。また本実
施例では、発熱体２の先端部２２は３次元曲面形状とし
ての半球状であり、他の部分よりも肉厚であり、抵抗値
も大きい。又、モルタル部２８は抵抗値が大きい。故
に、発熱体２の先端部２２の発熱を抑え得る。（適用例）次に、連続鋳造工程について適用した例を説
明する。まず、連続鋳造工程で使用する連続鋳造装置に
ついて説明する。この連続鋳造装置は、図９に示すよう
に、鉄鋼溶鋼を保持する容器としてのタンディシュ５０
と、タンディシュ５０よりも下方に配置された水冷鋳型
５１と、冷却スプレ−帯５２と、ピンチロール５３と、
整直ロ−ル５４とで構成されている。なお、タンディシ
ュ５０は、溶鋼を５ｔ程度保持する容量である。次に連
続鋳造する際について説明する。まず、図１に示すヒ−
タ装置１を２個用い、各ヒ−タ装置１の発熱体２をバー
ナーで加熱して８００〜１２００℃程度に予熱する。こ
のようにヒ−タ装置１を予熱した状態で、とりべ５５か
ら移されてタンディシュ５０に保持されている１５００
〜１６００℃程度の高温の溶鋼に２個のヒ−タ装置１を
先端部２２から浸漬する。とりべから移されたタンディ
シュ５０内の溶鋼は図９に示すように吐出口５０ａに向
けて流れ、水冷鋳型５１に落下する。前記のように溶鋼
を浸漬する前にヒ−タ装置１を予熱すれば、発熱体２の
急熱を防止でき、発熱体２に亀裂が生じることを極力抑
制することができる。なお発熱体２に亀裂が生じた場合
には、溶鋼と電極部３とが直接に導通し、発熱体２の発
熱量が小さくなり、ヒ−タ装置１を有効に利用できない
不具合が生じる。上記した予熱により、マグネシアを主
成分とする高温度領域で導電性を帯びる発熱体２の導電
性を確保できる。上記のようにヒ−タ装置１を浸漬した
状態で、２個の電極部３の端子を交流電源に接続し、端
子間について１００〜６００Ｖの電圧を印加する。これ
によりタンディシュ５０に保持されている溶鋼を介して
ヒ−タ装置１の発熱体２の間で、周波数６０Ｈｚの電流
を流す。発熱体への電流量は２５Ａ／ｃｍ〜６７Ａ／ｃ
ｍ程度である。このとき発熱体２は高温に発熱する。し
たがってタンディシュ５０内に保持された溶鋼は、加熱
されて約１〜３０℃昇温し、温度調節される。このよう
にタンディシュ５０内で温度調整された溶鋼は、タンデ
ィシュ５０の吐出口５０ａから吐出され、水冷鋳型５１
で冷却固化され、さらに冷却スプレ−帯５２からの冷却
水の噴出で冷却され、冷却固化したものはピンチロール
５３で下方に引張られる。その後は切断機により所定の
長さに切断される。上記のように本適用例では、ヒ−タ
装置１でタンディシュ５０内に保持した溶鋼を加熱して
溶鋼の温度調整できるので、タンディシュ５０に保持し
た溶鋼の温度を適切に確保することができ、連続鋳造方
法で製造したブルーム、ビレットなどの製品の品質を向
上するのに有利である。

【００２３】

【発明の効果】本発明にかかるセラミックスヒータ装置
の製造方法によれば、発熱体の外周面の均径化、発熱体
の半径方向における肉厚の均一化、発熱体と電極部との
間の偏芯防止に有利である。殊に本発明方法では、成形
の際に使用した芯金を発熱体から外すことなく、芯金を
処理工程でも使用するため、装填工程における軸芯と処
理工程における軸芯とを合致させることができるので、
一層有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】ヒータ装置の断面図である。

【図２】芯金の断面図である。

【図３】芯金に軸状部を連結した状態の拡大断面図であ
る。

【図４】配置工程を示す断面図である。

【図５】装填工程を示す断面図である。

【図６】処理工程を示す断面図である。

【図７】発熱体から芯金を外す状態の断面図である。

【図８】発熱体の螺孔にモルタルを装填した状態の断面
図である。

【図９】連続鋳造工程を示す構成図である。

【図１０】従来のヒータ装置を用い、溶鋼を加熱してい
る状態の断面図である。

【符号の説明】

図中、１はヒータ装置、２は発熱体、３は電極部、６２
は芯金、６９は軸状部、６６は軸部、７０はキャビテ
ィ、７３は位置決め孔、７４は成形型を示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者加藤吉成岐阜県瑞浪市寺河戸町1113の２ (72)発明者小島榮藏愛知県東海市加木屋町小家の脇

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】先端部に軸状部をもち外面が成形型面を形
成する棒状の芯金と、該芯金が挿入されるキャビティを
区画する成形型面と底部に位置決め孔をもつ成形型とを
用い、該芯金を該成形型のキャビティに配置し、かつ、
該軸状部を該成形型の位置決め孔に挿入し該芯金を位置
決めして保持する配置工程と、セラミックススラリを該成形型のキャビティに装填し該
芯金の成形型面と該成形型の成形型面とで該芯金の回り
に筒状のセラミックス製の発熱体を成形する装填工程
と、該芯金を装備したまま該発熱体を該成形型から離型する
ことにより、該芯金と該芯金の回りの該発熱体と該発熱
体から突き出た該軸状部とを備えた中間体を得るととも
に、該中間体の該芯金の該軸状部を第１チャック部材で
チャックすると共に、該中間体の該芯金の他端部を第２
チャック部材でチャックし、その状態で該中間体と処理
具との少なくとも一方を周方向へ相対回転させ、該発熱
体の表面を処理具で表面処理する処理工程と、チャック解除した該中間体の該発熱体と該芯金とを分離
するとともに、該発熱体のうち該芯金を外して形成した
電極挿入孔に棒状の電極部を挿入する挿入工程とを順に
実施することを特徴とするセラミックスヒータ装置の製
造方法。