JPH0511854A - 2段アクチユエータ制御装置 - Google Patents

2段アクチユエータ制御装置

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JPH0511854A
JPH0511854A JP3164402A JP16440291A JPH0511854A JP H0511854 A JPH0511854 A JP H0511854A JP 3164402 A JP3164402 A JP 3164402A JP 16440291 A JP16440291 A JP 16440291A JP H0511854 A JPH0511854 A JP H0511854A
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frequency
movable range
stage
driving circuit
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Masaharu Ogawa
雅晴 小川
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、例えば光ディスク装置のトラッキ
ング制御系などに使用される2段アクチュエータ制御装
置の安定性を改善することを目的とする。 【構成】 可動範囲が小さく高周波で駆動可能な第1の
アクチュエータ3と、その駆動回路2と、可動範囲が大
きく低周波で駆動可能な第2のアクチュエータ8と、そ
の駆動回路7と、2つのアクチュエータの動作帯域を分
離するローパスフィルタ6と、第1のアクチュエータ3
の第2のアクチュエータ8との相対的な位置を検出する
位置検出器4と、位置信号を微分する微分器5とで構成
され、微分器5の出力が第1のアクチュエータ駆動回路
2の入力にフィードバックされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アクチュエータの先端
位置を制御する、制御装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4は、例えば光メモリシンポジウム’
85論文集のPP.203〜208において、”光ディ
スクメモリの2段結合サーボ方式”と題して発表された
光ディスク装置の2段アクチュエータトラッキング制御
系のブロック図である。図中可動範囲が小さく高周波で
動作可能なトラッキングアクチュエータ3の位置13と
可動範囲が大きく低周波で動作するリニアモータ8の位
置16との和が、光スポットの位置10となる。目標位
置9と光スポットの位置10との差が光スポットのトラ
ックずれ量11となって2段結合サーボ系の安定化補償
器1に入力される。安定化補償器1の出力信号12は、
トラッキングアクチュエータ駆動回路2を介してトラッ
キングアクチュエータ3に入力される。また、安定化補
償器1の出力信号12は、主に低周波を通過させる結合
補償器41からリニアモータ駆動回路7を介してリニア
モータ8に入力される。すなわち、制御偏差11の低周
波成分がリニアモータ8へ、高周波成分がトラッキング
アクチュエータ3へ伝達される。
【0003】図5は、図4における2、3を合成した伝
達特性51と、41、7、8を合成した伝達特性52と
を示している。図5からわかるように、ωcを境にし
て、トラッキングアクチュエータ3とリニアモータ8と
の動作帯域を分離している。ところが、ω1においても
51と52のゲインが等しくなり、しかも両者の位相差
が180度に近くなる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】したがって、ω1付近
の周波数で装置が加振されると、トラッキングアクチュ
エータ3とリニアモータ8とが互いに等しい振幅でほぼ
反対方向に振動し、振幅が大きくなりすぎて2段結合サ
ーボ系が不安定になるという問題点があった。
【0005】本発明はかかる問題点を解決し、2段アク
チュエータ制御装置の加振に弱い周波数を無くし、装置
の耐振性能を向上させると同時に、2段アクチュエータ
制御系をより安定化させることが目的である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る2段アクチ
ュエータ制御装置は、可動範囲が小さく高周波で動作す
る第1のアクチュエータの位置または速度を検出するセ
ンサを設け、第1のアクチュエータの速度をフィードバ
ックすることで、手段を付加したものである。
【0007】
【作用】本発明においては、振動的な第1のアクチュエ
ータの一次共振周波数においてダンピング効果を高め、
この周波数近辺で2段アクチュエータそれぞれのゲイン
が等しくならないようにするため、2段アクチュエータ
制御系の不安定化を避けられる。
【0008】
【実施例】
実施例1.図1は、本発明に基づく2段アクチュエータ
制御系のブロック図である。図1において図4と同一番
号の部分は同一のブロックおよび信号を意味する。4は
第1のアクチュエータ3の位置検出器、5は検出位置信
号14を微分する微分器、15は第1のアクチュエータ
の速度信号、6は2つのアクチュエータの動作帯域を分
離するためのローパスフィルタである。図において、可
動範囲が小さく高周波で動作する第1のアクチュエータ
3の、可動範囲が大きく低周波で動作する第2のアクチ
ュエータ8に対する相対位置13と、第2のアクチュエ
ータの位置16との和が、制御すべき第1のアクチュエ
ータの先端位置10となり、目標位置9と第1のアクチ
ュエータの先端位置10との差11が小さくなるように
2段アクチュエータ制御系が動作する。このとき第1の
アクチュエータの速度15が第1のアクチュエータ駆動
回路2の入力に逆極性でフィードバックされる。一方、
位置偏差11の安定化補償器1を通過した信号12の低
周波成分が、可動範囲が大きく低周波で動作する第2の
アクチュエータ8に駆動回路7を介して入力される。光
ディスク装置においては、例えば第1のアクチュエータ
3は対物レンズ駆動用トラッキングアクチュエータに相
当し、第2のアクチュエータは、光ヘッド駆動用のリニ
アモータに相当する。
【0009】図3は図1における2段アクチュエータ制
御装置の伝達特性図である。第1のアクチュエータに
は、電気的に速度フィードバックが施されているので、
その振動的な動きにダンピングがかかり、図1の12か
ら13への伝達特性は図3の31に示すように、図5の
51のような周波数ω1付近でのゲインのピークはなく
なる。また、図1の6、7、8の伝達特性は32のよう
になり、ローパスフィルタ6の構成も簡単になる。図3
に示すように、ωc>ω1となるようにωcを決めてお
けば、ωc以外の周波数では2つのアクチュエータ系の
ゲインが等しくなる周波数が無いので、図5のω1に相
当する周波数での不安定さは解消される。
【0010】実施例2.図2は図1の他の実施例に基づ
く2段アクチュエータ制御装置のブロック図である。図
中図1と同一番号の箇所は、図1の該当部分と同一であ
る。24は、可動範囲が小さく高周波で動作する第1の
アクチュエータの速度15を検出する速度検出器であ
る。このように、図1に示したように第1のアクチュエ
ータの微分して速度をフィードバックする必要はなく、
直接速度を検出してフィードバックしてもよい。
【0011】実施例3.本発明は必ずしも光ディスク装
置だけではなく、例えば2段アクチュエータを有するロ
ボットのアームの先端の位置決め装置にも応用できる。
【0012】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、可動範囲
が小さく高周波で動作する第1のアクチュエータの速度
をフィードバックしているので、2段アクチュエータ制
御装置の安定性を改善でき、外部振動などの外乱に対し
ても強くなり、装置の性能を向上させること効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づく2段アクチュエータ制御装置の
ブロック図である。
【図2】本発明の別の実施例に基づく、2段アクチュエ
ータ制御装置のブロック図である。
【図3】図1の2段アクチュエータ制御装置の特性説明
図である。
【図4】従来の2段アクチュエータ制御装置のブロック
図である。
【図5】図4の2段アクチュエータ制御装置の特性説明
図である。
【符号の説明】
1 2段アクチュエータ制御系の安定化補償器 2 第
1のアクチュエータの駆動回路 3 第1のアクチュエータ 4 第1のアクチュエータの位置検出器 5 微分器 6 ローパスフィルタ 7 第2のアクチュエータの駆動回路 8 第2のアクチュエータ 9 目標位置入力 10 第1のアクチュエータの先端位置 13 第1のアクチュエータの第2のアクチュエータに
対する相対位置 14 第1のアクチュエータの位置信号 15 第1のアクチュエータの速度信号 16 第2のアクチュエータの位置信号

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】微小な可動範囲を高周波で動作可能な第1
    のアクチュエータと大きな可動範囲を低周波で動作可能
    な第2のアクチュエータとを有し、高周波では第1のア
    クチュエータが、低周波では第2のアクチュエータが主
    に動くように帯域分離して連動させて第1のアクチュエ
    ータの先端位置を制御するサーボ系において、第1のア
    クチュエータの駆動方向への第2のアクチュエータとの
    相対的な位置または速度を検出する手段を有し、電気的
    に第1のアクチュエータの速度フィ−ドバックを行うこ
    とで第1のアクチュエータの一次共振周波数におけるピ
    −クゲインを低くし、両アクチュエータのゲインが等し
    くなる周波数を、上記第1のアクチュエータの一次共振
    周波数より高くしたことを特徴とする2段アクチュエー
    タ制御装置。
JP3164402A 1991-07-04 1991-07-04 2段アクチユエータ制御装置 Pending JPH0511854A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6157521A (en) * 1997-09-25 2000-12-05 Nec Corporation Recording/reproducing head positioning mechanism
US6320720B1 (en) 1997-11-28 2001-11-20 Nec Corporation Head-positioning system with an improved fine tracking actuator control scheme
JP2006514334A (ja) * 2003-02-24 2006-04-27 エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド レーザビーム3次元位置決め装置及び方法
US10974457B2 (en) 2016-05-04 2021-04-13 SLM Solutions Group AG Device and method for calibrating an irradiation system of an apparatus for producing a three-dimensional work piece

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5745319A (en) * 1992-08-12 1998-04-28 Kabushiki Kaisha Toshiba Recording/reproducing apparatus with coarse and fine head positioning actuators and an elastic head gimbal
TW363182B (en) * 1995-02-09 1999-07-01 Hitachi Ltd Positioning apparatus for optical disks
JPH08249678A (ja) * 1995-03-15 1996-09-27 Canon Inc 光学式情報記録再生装置
US5751585A (en) * 1995-03-20 1998-05-12 Electro Scientific Industries, Inc. High speed, high accuracy multi-stage tool positioning system
US5847960A (en) * 1995-03-20 1998-12-08 Electro Scientific Industries, Inc. Multi-tool positioning system
US5920441A (en) * 1995-09-22 1999-07-06 International Business Machines Corporation Method and apparatus for controlling a multiple-stage actuator for a disk drive
JPH10255418A (ja) * 1997-03-17 1998-09-25 Fujitsu Ltd 二重アクチュエータの制御システム
US5898544A (en) * 1997-06-13 1999-04-27 Hutchinson Technology Incorporated Base plate-mounted microactuator for a suspension
US6101058A (en) * 1997-08-07 2000-08-08 Seagate Technology, Inc. Method of implementing a linear discrete-time state-space servo control system on a fixed-point digital signal processor in a disc drive
US6295184B1 (en) * 1997-09-18 2001-09-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Head actuator mechanism and magnetic disk drive including the same
US6424486B2 (en) * 1997-12-17 2002-07-23 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for positioning a read/write head of a hard disk drive
US6078476A (en) * 1997-12-17 2000-06-20 Texas Instruments Incorporated Twin head design for micro-actuator position sensing in a hard disk drive
US6295185B1 (en) 1998-04-07 2001-09-25 Seagate Technology Llc Disc drive suspension having a moving coil or moving magnet microactuator
EP1084492B1 (en) * 1999-02-03 2008-07-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Optical scanning device with parallel-controlled actuators
JP3819170B2 (ja) * 1999-02-09 2006-09-06 富士通株式会社 ヘッドキャリッジ装置の駆動方式及びディスク装置
GB2363248A (en) * 1999-04-21 2001-12-12 Seagate Technology Llc PQ enhanced dual stage servo controller
US6674605B1 (en) 1999-04-21 2004-01-06 Seagate Technology Llc PQ enhanced dual stage servo controller
US6563665B1 (en) 1999-07-23 2003-05-13 Seagate Technology Llc PQ enhanced observer based dual stage servo controller
US6137255A (en) * 1999-07-30 2000-10-24 Otis Elevator Company Apparatus and method of controlling a linear motor door operator
US6590734B1 (en) * 1999-08-25 2003-07-08 Seagate Technology Llc Observer based dual stage servo controller with gain boost to accomodate rotational vibration
WO2001022409A1 (en) * 1999-09-23 2001-03-29 Seagate Technology Llc Method and control scheme for compensating the coarse actuators undesired transients in dual stage control systems
US6542326B1 (en) * 1999-10-28 2003-04-01 Seagate Technology Llc Microactuator-induced reactive forces for fine positioning a sensor
US6437937B1 (en) * 2000-04-24 2002-08-20 Maxtor Corporation Disk drive with high speed read/write capability
JP3699882B2 (ja) * 2000-06-26 2005-09-28 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ ヘッド位置決め装置
US6693763B2 (en) * 2000-07-26 2004-02-17 Seagate Technology Llc Method for linearizing microactuator hysteresis for a disc drive
US6741417B2 (en) * 2000-08-30 2004-05-25 Seagate Technology Llc Plant variation compensation for piezoelectric microactuator in dual-stage servo of disc drives
US8497450B2 (en) 2001-02-16 2013-07-30 Electro Scientific Industries, Inc. On-the fly laser beam path dithering for enhancing throughput
US7245412B2 (en) 2001-02-16 2007-07-17 Electro Scientific Industries, Inc. On-the-fly laser beam path error correction for specimen target location processing
US6816294B2 (en) 2001-02-16 2004-11-09 Electro Scientific Industries, Inc. On-the-fly beam path error correction for memory link processing
US6747837B1 (en) * 2001-08-31 2004-06-08 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive comprising an integrator for controlling a VCM actuator and transformer for controlling a piezoelectric actuator
EP1461602A4 (en) * 2001-11-28 2011-09-14 James W Overbeck GRID MICROSCOPY, FLUORESCENT RECOGNITION AND LASER BEAM POSITIONING
US6706998B2 (en) 2002-01-11 2004-03-16 Electro Scientific Industries, Inc. Simulated laser spot enlargement
US7035041B1 (en) * 2002-02-12 2006-04-25 Maxtor Corporation Displacement resetting systems and methods for the second stage of a hard disk drive dual-stage actuator
US6975477B1 (en) * 2002-05-03 2005-12-13 Maxtor Corporation Micro actuator DC gain calibration scheme for HDD dual-stage actuator systems
US6952322B1 (en) 2002-11-27 2005-10-04 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive reading servo sectors recorded at a relative offset on multiple disk surfaces to increase the servo sample rate
US7522481B2 (en) * 2004-10-28 2009-04-21 Koninklijke Philips Electronics N.V. Disc drive mechanism and method of operation therefor
EP1977295B1 (de) 2006-01-14 2012-06-13 TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Verfahren zur achsregelung
KR101511199B1 (ko) * 2006-08-22 2015-04-10 캠브리지 테크놀로지 인코포레이티드 엑스-와이 고속 천공 시스템에서 공진 스캐너를 사용하기 위한 시스템 및 방법
US10307863B2 (en) 2013-12-06 2019-06-04 Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. Control of redundant laser processing machines
US9696709B2 (en) 2014-02-21 2017-07-04 Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. Method and system for computing reference signals for machines with redundant positioning
US9744620B2 (en) 2015-04-06 2017-08-29 Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. Control of processing machines with redundant actuators
US10216168B2 (en) 2016-12-13 2019-02-26 Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. Operation aware control of processing machine with redundant actuators
US10324446B2 (en) 2017-03-02 2019-06-18 Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. System and method for controlling redundant actuators with different dynamics

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4755977A (en) * 1984-07-05 1988-07-05 Storage Technology Partners Ii Runout compensation for a coarse tracking servo system in an optical disk storage unit
FR2598134B1 (fr) * 1986-05-05 1988-09-09 Aerospatiale Systeme de servocommande pour le train avant orientable d'un vehicule.
US5090001A (en) * 1988-06-06 1992-02-18 Olympus Optical Co., Ltd. Information recording/reproducing apparatus

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6157521A (en) * 1997-09-25 2000-12-05 Nec Corporation Recording/reproducing head positioning mechanism
US6320720B1 (en) 1997-11-28 2001-11-20 Nec Corporation Head-positioning system with an improved fine tracking actuator control scheme
JP2006514334A (ja) * 2003-02-24 2006-04-27 エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド レーザビーム3次元位置決め装置及び方法
JP4711393B2 (ja) * 2003-02-24 2011-06-29 エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド レーザビーム3次元位置決め装置及び方法
US10974457B2 (en) 2016-05-04 2021-04-13 SLM Solutions Group AG Device and method for calibrating an irradiation system of an apparatus for producing a three-dimensional work piece

Also Published As

Publication number Publication date
US5452275A (en) 1995-09-19

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