JPH05114536A - 半導体プロセス処理進捗管理装置 - Google Patents
半導体プロセス処理進捗管理装置Info
- Publication number
- JPH05114536A JPH05114536A JP30129691A JP30129691A JPH05114536A JP H05114536 A JPH05114536 A JP H05114536A JP 30129691 A JP30129691 A JP 30129691A JP 30129691 A JP30129691 A JP 30129691A JP H05114536 A JPH05114536 A JP H05114536A
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- Japan
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- card
- computer
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- progress management
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 記憶及び更新の処理及び内容表示を単独で行
うことのできるＩＣカードを用いることで、コンピュー
タ系統の停止が生じた場合でも進捗管理が行えるように
する。 【構成】 半導体プロセスの処理進捗管理をコンピュー
タ１によって行う半導体プロセス処理進捗管理装置であ
って、データを記憶する記憶部１２と、光通信によって
コンピュータ１との間でデータ伝送を行う光送受信器３
と、通信制御及び前記記憶部に対する書き込み／読み出
しを行う制御部１１と、情報の入力及び指示入力を行う
ために筐体部の表面に設けられる入力部８と、各回路部
に電源を供給する電源部１７と、進捗データなどを表示
すべく筐体部の表面に設けられる表示部７とを備えたＩ
Ｃカード５を設け、これをウエハカセットケースなどの
表面に装着する。
うことのできるＩＣカードを用いることで、コンピュー
タ系統の停止が生じた場合でも進捗管理が行えるように
する。 【構成】 半導体プロセスの処理進捗管理をコンピュー
タ１によって行う半導体プロセス処理進捗管理装置であ
って、データを記憶する記憶部１２と、光通信によって
コンピュータ１との間でデータ伝送を行う光送受信器３
と、通信制御及び前記記憶部に対する書き込み／読み出
しを行う制御部１１と、情報の入力及び指示入力を行う
ために筐体部の表面に設けられる入力部８と、各回路部
に電源を供給する電源部１７と、進捗データなどを表示
すべく筐体部の表面に設けられる表示部７とを備えたＩ
Ｃカード５を設け、これをウエハカセットケースなどの
表面に装着する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造工程における
プロセス処理の進捗を管理するための半導体プロセス処
理進捗管理装置に関するものである。
プロセス処理の進捗を管理するための半導体プロセス処
理進捗管理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造において、そのプロセス処理
を進捗管理するに際しては、ウエハ搬送が自動でない場
合、バーコードの付いたカードをウエハカセットケース
に添付し、そのバーコードをバーコードリーダで読み取
り、さらに搬送装置、使用レシピ（例えば処理方法）な
どの確認を行うことによりロット進捗を行っている。
を進捗管理するに際しては、ウエハ搬送が自動でない場
合、バーコードの付いたカードをウエハカセットケース
に添付し、そのバーコードをバーコードリーダで読み取
り、さらに搬送装置、使用レシピ（例えば処理方法）な
どの確認を行うことによりロット進捗を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
技術にあっては、管理の主体がコンピュータであるた
め、コンピュータ系統が停止した場合、ロットの進捗管
理を行うことができない。停止を避けるためにはコンピ
ュータの二重化が必要であり、コストアップを招くとい
う不具合がある。
技術にあっては、管理の主体がコンピュータであるた
め、コンピュータ系統が停止した場合、ロットの進捗管
理を行うことができない。停止を避けるためにはコンピ
ュータの二重化が必要であり、コストアップを招くとい
う不具合がある。
【０００４】また、トラベラーズシート（レシピが書き
込まれたシート）を添付することも考えられる。しか
し、このトラベラーズシートが発塵源となる恐れがあ
り、これによって歩留まり低下を招くことになる。
込まれたシート）を添付することも考えられる。しか
し、このトラベラーズシートが発塵源となる恐れがあ
り、これによって歩留まり低下を招くことになる。
【０００５】本発明の目的は、コンピュータ系統が機能
を停止した場合でも進捗管理を行えるようにする半導体
プロセス処理進捗管理装置を提供することにある。
を停止した場合でも進捗管理を行えるようにする半導体
プロセス処理進捗管理装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、半導体プロセスの処理進捗管理をコンピ
ュータによって行う半導体プロセス処理進捗管理装置で
あって、データを記憶する記憶部と、光通信によって前
記コンピュータとの間でデータ伝送を行う通信手段と、
通信制御及び前記記憶部に対する書き込み／読み出しを
行う制御部と、情報の入力及び指示入力を行うために筐
体部の表面に設けられる入力部と、進捗データなどを表
示すべく筐体部の表面に設けられる表示部とを備え、加
工対象の製品またはその収納体に装着されるＩＣカード
を設けるようにしている。
に、本発明は、半導体プロセスの処理進捗管理をコンピ
ュータによって行う半導体プロセス処理進捗管理装置で
あって、データを記憶する記憶部と、光通信によって前
記コンピュータとの間でデータ伝送を行う通信手段と、
通信制御及び前記記憶部に対する書き込み／読み出しを
行う制御部と、情報の入力及び指示入力を行うために筐
体部の表面に設けられる入力部と、進捗データなどを表
示すべく筐体部の表面に設けられる表示部とを備え、加
工対象の製品またはその収納体に装着されるＩＣカード
を設けるようにしている。
【０００７】前記通信手段は、電磁波の影響を防止し、
かつ塵埃の発生を防止するために、光通信を用いること
が望ましい。
かつ塵埃の発生を防止するために、光通信を用いること
が望ましい。
【０００８】
【作用】上記した手段によれば、コンピュータの動作時
には、その端末装置を用いて通常の進捗管理を行うこと
ができ、コンピュータの停止時にはＩＣカードの記憶部
に格納されたデータを用いてプロセス処理の実行、情報
入力及び検索を単独で行うことができる。したがって、
コンピュータの停止時でも大規模な構成にすることな
く、進捗管理を行うことができる。
には、その端末装置を用いて通常の進捗管理を行うこと
ができ、コンピュータの停止時にはＩＣカードの記憶部
に格納されたデータを用いてプロセス処理の実行、情報
入力及び検索を単独で行うことができる。したがって、
コンピュータの停止時でも大規模な構成にすることな
く、進捗管理を行うことができる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明による半導体プロセス処理進捗
管理装置の主要部を成すＩＣカードの電気系の構成を示
すブロック図である。また、図２は図１に示したＩＣカ
ードの外観を示す正面図であり、図３は本発明による半
導体プロセス処理進捗管理装置の全容を示す構成図であ
る。
管理装置の主要部を成すＩＣカードの電気系の構成を示
すブロック図である。また、図２は図１に示したＩＣカ
ードの外観を示す正面図であり、図３は本発明による半
導体プロセス処理進捗管理装置の全容を示す構成図であ
る。
【００１０】まず、半導体プロセス処理進捗管理装置の
全体を説明すると、図３に示すように、ロット進捗管理
を行うコンピュータ１には、端末装置２及び光送受信器
３が接続されている。一方、ウエハカセットケース４は
設置台６に載置され、ウエハカセットケース４の側面の
光送受信器３に対向する部位には、ＩＣ（集積回路）カ
ード５が装着されている。また、光送受信器３は、ＩＣ
カード５の光送受信器（不図示）に同一軸心上に位置さ
せて設置台６に取り付けられている。
全体を説明すると、図３に示すように、ロット進捗管理
を行うコンピュータ１には、端末装置２及び光送受信器
３が接続されている。一方、ウエハカセットケース４は
設置台６に載置され、ウエハカセットケース４の側面の
光送受信器３に対向する部位には、ＩＣ（集積回路）カ
ード５が装着されている。また、光送受信器３は、ＩＣ
カード５の光送受信器（不図示）に同一軸心上に位置さ
せて設置台６に取り付けられている。
【００１１】次に、図２に示すＩＣカード５の詳細構成
について説明する。
について説明する。
【００１２】ＩＣカード５は薄いカード形を成し、上部
には液晶（ＬＣＤ）などによる表示部７が設置され、右
下には各種の入力を行う入力部８（キーなど）が設けら
れ、この入力部８の左側には外部とのデータ交換を行う
ための光送受信器９が設けられている。さらに、左側端
にはコンピュータ１に装着してダイレクトにデータ交換
が行えるように電極１０が設けられている。この電極１
０を用いての通信は、下工程などのように振動が発生し
ていて、光送受信器３を用いての通信が不適な場所での
使用の際に用いられる。
には液晶（ＬＣＤ）などによる表示部７が設置され、右
下には各種の入力を行う入力部８（キーなど）が設けら
れ、この入力部８の左側には外部とのデータ交換を行う
ための光送受信器９が設けられている。さらに、左側端
にはコンピュータ１に装着してダイレクトにデータ交換
が行えるように電極１０が設けられている。この電極１
０を用いての通信は、下工程などのように振動が発生し
ていて、光送受信器３を用いての通信が不適な場所での
使用の際に用いられる。
【００１３】次に、図１に示すＩＣカードの電気系の詳
細構成について説明する。
細構成について説明する。
【００１４】電気系の中心を成すのが制御部１１であ
り、例えば、マイクロコンピュータが用いられる。この
制御部１１には、表示部７、入力部８のほか、記憶部１
２（メモリ）、データ入出力部１３の各々が接続され、
このデータ入出力部１３には光送受信器９及び電極１０
が接続されている。光送受信器９は、光送受信部１４及
びこの光送受信部１４に接続される発光体１５（例え
ば、発光ダイオード）と受光体１６（例えば、フォトダ
イオード）が接続されている。さらに、上記の各部に電
源を供給するために電源部１７（例えば、ボタン電池な
ど）が設けられている。
り、例えば、マイクロコンピュータが用いられる。この
制御部１１には、表示部７、入力部８のほか、記憶部１
２（メモリ）、データ入出力部１３の各々が接続され、
このデータ入出力部１３には光送受信器９及び電極１０
が接続されている。光送受信器９は、光送受信部１４及
びこの光送受信部１４に接続される発光体１５（例え
ば、発光ダイオード）と受光体１６（例えば、フォトダ
イオード）が接続されている。さらに、上記の各部に電
源を供給するために電源部１７（例えば、ボタン電池な
ど）が設けられている。
【００１５】次に、上記構成による実施例の動作につい
て、図４及び図５のフローチャートを参照して説明す
る。図４はコンピュータ１が使用可能な場合の処理を示
し、図５はコンピュータ１が使用できない場合の処理を
示している。
て、図４及び図５のフローチャートを参照して説明す
る。図４はコンピュータ１が使用可能な場合の処理を示
し、図５はコンピュータ１が使用できない場合の処理を
示している。
【００１６】まず、ウエハカセットケース４を設置台６
にセットし（Ｓ４０１）、端末装置２によってロットナ
ンバーの読み取りを指示する（Ｓ４０２）。これに応じ
てコンピュータ１は、光送受信器３をを介してＩＣカー
ド５に対し、ロットナンバーの送信要求を行う（Ｓ４０
３）。ＩＣカード５では、受光体１６、光送受信部１４
及びデータ入出力部１３の各々を介して制御部１１が送
信要求信号を受信する。制御部１１は記憶部１２からロ
ットナンバーを読み出し、これをデータ入出力部１３、
光送受信部１４及び発光体１５の各々を介して光送受信
器３へ送出する（Ｓ４０４）。コンピュータ１は光送受
信器３からの信号に対し、コンピュータ１のデータベー
スにロットナンバーが有るか否かを判定し（Ｓ４０
５）、無しであれば該当するロットナンバーの無いこと
をモニタテレビなどに表示して処理を終了する（Ｓ４０
６）。このように、光送受信器３を用いて通信を行うこ
とで、電磁波の影響を受けることがなく、また、非接触
であるために塵の発生は無く、したがって高純度の清浄
空気が要求されるウエハの処理に適している。
にセットし（Ｓ４０１）、端末装置２によってロットナ
ンバーの読み取りを指示する（Ｓ４０２）。これに応じ
てコンピュータ１は、光送受信器３をを介してＩＣカー
ド５に対し、ロットナンバーの送信要求を行う（Ｓ４０
３）。ＩＣカード５では、受光体１６、光送受信部１４
及びデータ入出力部１３の各々を介して制御部１１が送
信要求信号を受信する。制御部１１は記憶部１２からロ
ットナンバーを読み出し、これをデータ入出力部１３、
光送受信部１４及び発光体１５の各々を介して光送受信
器３へ送出する（Ｓ４０４）。コンピュータ１は光送受
信器３からの信号に対し、コンピュータ１のデータベー
スにロットナンバーが有るか否かを判定し（Ｓ４０
５）、無しであれば該当するロットナンバーの無いこと
をモニタテレビなどに表示して処理を終了する（Ｓ４０
６）。このように、光送受信器３を用いて通信を行うこ
とで、電磁波の影響を受けることがなく、また、非接触
であるために塵の発生は無く、したがって高純度の清浄
空気が要求されるウエハの処理に適している。
【００１７】一方、ステップ４０５でロットナンバー有
りが判定された場合、端末装置２はコンピュータ１に対
し、これから行うプロセス処理レシピの確認、ロット履
歴の確認、今後の工程の確認、測定データの確認など、
各種の情報検索を行う（Ｓ４０７）。ついで、プロセス
処理を実施し（Ｓ４０８）、必要に応じてプロセス処理
後に検査、測定を実施する。さらに、プロセス処理なら
びに測定データなどの情報入力を端末装置２から行い、
そのデータをコンピュータ１のデータベースに格納する
（Ｓ４０９）。ついで、必要なデータを光送受信器３を
介してＩＣカード５へ送出し、ＩＣカード５はデータを
記憶部１２に書き込んで処理を終了する（Ｓ４１０）。
りが判定された場合、端末装置２はコンピュータ１に対
し、これから行うプロセス処理レシピの確認、ロット履
歴の確認、今後の工程の確認、測定データの確認など、
各種の情報検索を行う（Ｓ４０７）。ついで、プロセス
処理を実施し（Ｓ４０８）、必要に応じてプロセス処理
後に検査、測定を実施する。さらに、プロセス処理なら
びに測定データなどの情報入力を端末装置２から行い、
そのデータをコンピュータ１のデータベースに格納する
（Ｓ４０９）。ついで、必要なデータを光送受信器３を
介してＩＣカード５へ送出し、ＩＣカード５はデータを
記憶部１２に書き込んで処理を終了する（Ｓ４１０）。
【００１８】つぎに、図５の処理について説明する。
【００１９】まず、ＩＣカード５の入力部８を操作して
現在どの工程まで進んだかの検索の開始を指示する（Ｓ
５０１）。これに応じて制御部１１は記憶部１２から工
程進捗データを読み出し、これを表示部７に表示する
（Ｓ５０２）。さらに、入力部８を操作し、プロセス処
理の開始を指示する（Ｓ５０３）。これに応じて制御部
１１は、記憶部１２から進捗データを読み出し、これを
表示部７に表示する（Ｓ５０４）。ついで、入力部８を
操作し、プロセス処理レシピを表示すべき指示を行う
（Ｓ５０５）。制御部１１は、記憶部１２からレシピを
読み取り、これを表示部７に表示し（Ｓ５０６）、プロ
セス処理を実施（必要に応じて処理後に検査、測定を行
う）する（Ｓ５０７）。さらに、プロセス処理及び測定
データなどの情報の入力を入力部８から行い、データは
記憶部１２に記憶される（Ｓ５０９）。なお、コンピュ
ータ１が使用可能になった時点で、ＩＣカード５の記憶
部１２に格納されている情報をコンピュータ１へ転送す
る。
現在どの工程まで進んだかの検索の開始を指示する（Ｓ
５０１）。これに応じて制御部１１は記憶部１２から工
程進捗データを読み出し、これを表示部７に表示する
（Ｓ５０２）。さらに、入力部８を操作し、プロセス処
理の開始を指示する（Ｓ５０３）。これに応じて制御部
１１は、記憶部１２から進捗データを読み出し、これを
表示部７に表示する（Ｓ５０４）。ついで、入力部８を
操作し、プロセス処理レシピを表示すべき指示を行う
（Ｓ５０５）。制御部１１は、記憶部１２からレシピを
読み取り、これを表示部７に表示し（Ｓ５０６）、プロ
セス処理を実施（必要に応じて処理後に検査、測定を行
う）する（Ｓ５０７）。さらに、プロセス処理及び測定
データなどの情報の入力を入力部８から行い、データは
記憶部１２に記憶される（Ｓ５０９）。なお、コンピュ
ータ１が使用可能になった時点で、ＩＣカード５の記憶
部１２に格納されている情報をコンピュータ１へ転送す
る。
【００２０】なお、上記実施例においては、ウエハカセ
ットケースにＩＣカードを装着するものとしたが、これ
に限定されるものではなく、加工対象の製品に直接に装
着する場合でも本発明を適用可能であることは言うまで
もない。
ットケースにＩＣカードを装着するものとしたが、これ
に限定されるものではなく、加工対象の製品に直接に装
着する場合でも本発明を適用可能であることは言うまで
もない。
【００２１】
【発明の効果】以上説明した通り、この発明は、半導体
プロセスの処理進捗管理をコンピュータによって行う半
導体プロセス処理進捗管理装置であって、データを記憶
する記憶部と、光通信によって前記コンピュータとの間
でデータ伝送を行う通信手段と、通信制御及び前記記憶
部に対する書き込み／読み出しを行う制御部と、情報の
入力及び指示入力を行うために筺体部の表面に設けられ
る入力部と、進捗データなどを表示すべく筐体部の表面
に設けられる表示部とを備え、加工対象の製品またはそ
の収納体に装着されるＩＣカードを設けるようにしたの
で、コンピュータの停止時でも簡単な構成により、進捗
管理を行うことができる。
プロセスの処理進捗管理をコンピュータによって行う半
導体プロセス処理進捗管理装置であって、データを記憶
する記憶部と、光通信によって前記コンピュータとの間
でデータ伝送を行う通信手段と、通信制御及び前記記憶
部に対する書き込み／読み出しを行う制御部と、情報の
入力及び指示入力を行うために筺体部の表面に設けられ
る入力部と、進捗データなどを表示すべく筐体部の表面
に設けられる表示部とを備え、加工対象の製品またはそ
の収納体に装着されるＩＣカードを設けるようにしたの
で、コンピュータの停止時でも簡単な構成により、進捗
管理を行うことができる。
【図１】本発明による半導体プロセス処理進捗管理装置
の主要部を成すＩＣカードの電気系の構成を示すブロッ
ク図である。
の主要部を成すＩＣカードの電気系の構成を示すブロッ
ク図である。
【図２】図１に示したＩＣカードの外観を示す正面図で
ある。
ある。
【図３】本発明による半導体プロセス処理進捗管理装置
の全容を示す構成図である。
の全容を示す構成図である。
【図４】コンピュータが使用可能な場合の本発明処理を
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
【図５】コンピュータが使用不可の場合の本発明処理を
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
１ コンピュータ ２ 端末装置 ３ 光送受信器 ４ ウエハカセットケース ５ ＩＣカード ６ 設置台 ７ 表示部 ８ 入力部 ９ 光送受信器 １０ 電極 １１ 制御部 １２ 記憶部 １３ データ入出力部 １４ 光送受信部 １５ 発光体 １６ 受光体 １７ 電源部
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体プロセスの処理進捗管理をコンピ
ュータによって行う半導体プロセス処理進捗管理装置で
あって、データを記憶する記憶部と、光通信によって前
記コンピュータとの間でデータ伝送を行う通信手段と、
通信制御及び前記記憶部に対する書き込み／読み出しを
行う制御部と、情報の入力及び指示入力を行うために筺
体部の表面に設けられる入力部と、進捗データなどを表
示すべく筐体部の表面に設けられる表示部とを備え、加
工対象の製品またはその収納体に装着されるＩＣカード
を有することを特徴とする半導体プロセス処理進捗管理
装置。 - 【請求項２】 前記通信手段は、光通信によることを特
徴とする請求項１記載の半導体プロセス処理進捗管理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30129691A JPH05114536A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 半導体プロセス処理進捗管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30129691A JPH05114536A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 半導体プロセス処理進捗管理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05114536A true JPH05114536A (ja) | 1993-05-07 |
Family
ID=17895134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30129691A Withdrawn JPH05114536A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 半導体プロセス処理進捗管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05114536A (ja) |
-
1991
- 1991-10-22 JP JP30129691A patent/JPH05114536A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990107 |