JPH05113413A - 放射光ビーム調整装置 - Google Patents
放射光ビーム調整装置Info
- Publication number
- JPH05113413A JPH05113413A JP3302321A JP30232191A JPH05113413A JP H05113413 A JPH05113413 A JP H05113413A JP 3302321 A JP3302321 A JP 3302321A JP 30232191 A JP30232191 A JP 30232191A JP H05113413 A JPH05113413 A JP H05113413A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- synchrotron radiation
- rays
- light
- machine time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 放射光発生部のマシンタイムに入る前にＸ線
測定系についての各種調整を行なうことを可能にして、
マシンタイムを有効に活用できるようにする。 【構成】 Ｘ線を発生するＸ線管２１を内蔵したＸ線発
生装置１３と、Ｘ線管２１を放射光通路２上の位置と放
射光通路２から退避する位置との間で移動させる移動機
構と、その移動機構によって移動するＸ線発生装置１３
のまわりを気密に保持するベローズ１４とを有する放射
光ビーム調整装置。
測定系についての各種調整を行なうことを可能にして、
マシンタイムを有効に活用できるようにする。 【構成】 Ｘ線を発生するＸ線管２１を内蔵したＸ線発
生装置１３と、Ｘ線管２１を放射光通路２上の位置と放
射光通路２から退避する位置との間で移動させる移動機
構と、その移動機構によって移動するＸ線発生装置１３
のまわりを気密に保持するベローズ１４とを有する放射
光ビーム調整装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放射光に含まれるＸ線
を用いて試料の構造解析等を行なう放射光装置に関す
る。
を用いて試料の構造解析等を行なう放射光装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】放射光（ＳＯＲ：Synchrotron Orbital
Radiation）は、非常に高いエネルギを持って光速度近
くまで加速された電子の軌道を磁界によって曲げた際、
軌道の接線方向に発生する強い光である。この放射光の
中には可視光からＸ線に至る幅広い波長の光が含まれて
いる。例えば、Ｘ線について見た場合、放射光に含まれ
るＸ線は非常に強度が強く、汎用のＸ線装置では困難な
Ｘ線回折測定も行なうことができるという利点がある。
Radiation）は、非常に高いエネルギを持って光速度近
くまで加速された電子の軌道を磁界によって曲げた際、
軌道の接線方向に発生する強い光である。この放射光の
中には可視光からＸ線に至る幅広い波長の光が含まれて
いる。例えば、Ｘ線について見た場合、放射光に含まれ
るＸ線は非常に強度が強く、汎用のＸ線装置では困難な
Ｘ線回折測定も行なうことができるという利点がある。
【０００３】ところで、放射光施設は大型の設備及び大
きな経費を必要とし、誰でもが簡単に入手できるという
ものではない。現在のところ日本全国に数カ所設置され
ているだけである。このように放射光施設の数は非常に
少ないにもかかわらず、その使用を希望する者の数は非
常に多く、通常は、マシンタイムと呼ばれる放射光使用
のための割り当て時間が個々の測定者に割り当てられ
る。個々の測定者は、そのマシンタイム内で所望の測
定、例えば放射光からＸ線を取り出してＸ線回折測定を
行なう。
きな経費を必要とし、誰でもが簡単に入手できるという
ものではない。現在のところ日本全国に数カ所設置され
ているだけである。このように放射光施設の数は非常に
少ないにもかかわらず、その使用を希望する者の数は非
常に多く、通常は、マシンタイムと呼ばれる放射光使用
のための割り当て時間が個々の測定者に割り当てられ
る。個々の測定者は、そのマシンタイム内で所望の測
定、例えば放射光からＸ線を取り出してＸ線回折測定を
行なう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般に、Ｘ線回折測定
を行なうにはＸ線測定系の各種光学要素に関して光軸位
置の初期調整や条件変更のための各種調整が必要であ
る。従来、それらの測定系の調整はマシンタイムの開始
と同時に始められ、かなり長時間を費やしていた。その
ため装置の条件によっては、高価なマシンタイムのほと
んどが本来の測定の前の調整に消費され、充分な測定が
行なえぬままにマシンタイムが終了してしまうこともあ
った。
を行なうにはＸ線測定系の各種光学要素に関して光軸位
置の初期調整や条件変更のための各種調整が必要であ
る。従来、それらの測定系の調整はマシンタイムの開始
と同時に始められ、かなり長時間を費やしていた。その
ため装置の条件によっては、高価なマシンタイムのほと
んどが本来の測定の前の調整に消費され、充分な測定が
行なえぬままにマシンタイムが終了してしまうこともあ
った。
【０００５】本発明は放射光装置における上述した従来
の問題点に鑑みてなされたものであって、マシンタイム
に入る前にＸ線測定系についての各種調整を行なうこと
を可能にして、マシンタイムを有効に活用できるように
することを目的とする。
の問題点に鑑みてなされたものであって、マシンタイム
に入る前にＸ線測定系についての各種調整を行なうこと
を可能にして、マシンタイムを有効に活用できるように
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る放射光ビーム調整装置は、放射光通路
を通って送られた放射光からＸ線を取り出してＸ線装置
へ導くようにした放射光装置に用いられる放射光ビーム
調整装置であって、Ｘ線を発生するＸ線源を内蔵したＸ
線発生装置と、Ｘ線源を放射光通路上の位置と放射光通
路から退避する位置との間で移動させるＸ線源移動手段
と、Ｘ線源移動手段によって移動するＸ線発生装置のま
わりを気密に保持する密封手段とを有することを特徴と
している。
め、本発明に係る放射光ビーム調整装置は、放射光通路
を通って送られた放射光からＸ線を取り出してＸ線装置
へ導くようにした放射光装置に用いられる放射光ビーム
調整装置であって、Ｘ線を発生するＸ線源を内蔵したＸ
線発生装置と、Ｘ線源を放射光通路上の位置と放射光通
路から退避する位置との間で移動させるＸ線源移動手段
と、Ｘ線源移動手段によって移動するＸ線発生装置のま
わりを気密に保持する密封手段とを有することを特徴と
している。
【０００７】
【作用】放射光通路内に設置される各種機器及びその放
射光通路に接続されるＸ線装置内の各種機器に関する位
置調整を行なうにあたっては、放射光のマシンタイムに
はいる前、すなわち放射光の利用開始の前に、Ｘ線源移
動手段によってＸ線源を移動させてそれを放射光通路上
の位置に配置する。そして、Ｘ線源からＸ線を出射し、
その出射されたＸ線を利用して各種機器の位置調整を行
なう。その位置調整が終ると、Ｘ線装置はいつでもＸ線
回折測定が行なえる状態になる。その後、Ｘ線源移動手
段によってＸ線源を放射光通路から退避する退避位置に
移動させる。この状態で、放射光は何等の障害もなく放
射光通路を通ってＸ線装置に到達できる。マシンタイム
が到来して放射光が利用できるようになると、放射光通
路を介して放射光がＸ線装置へ導かれ、マシンタイムの
開始と同時に所望のＸ線測定が行なわれる。マシンタイ
ムを利用して測定系の位置調整を行なうのではないの
で、非常に効率的な放射光の利用が可能となる。
射光通路に接続されるＸ線装置内の各種機器に関する位
置調整を行なうにあたっては、放射光のマシンタイムに
はいる前、すなわち放射光の利用開始の前に、Ｘ線源移
動手段によってＸ線源を移動させてそれを放射光通路上
の位置に配置する。そして、Ｘ線源からＸ線を出射し、
その出射されたＸ線を利用して各種機器の位置調整を行
なう。その位置調整が終ると、Ｘ線装置はいつでもＸ線
回折測定が行なえる状態になる。その後、Ｘ線源移動手
段によってＸ線源を放射光通路から退避する退避位置に
移動させる。この状態で、放射光は何等の障害もなく放
射光通路を通ってＸ線装置に到達できる。マシンタイム
が到来して放射光が利用できるようになると、放射光通
路を介して放射光がＸ線装置へ導かれ、マシンタイムの
開始と同時に所望のＸ線測定が行なわれる。マシンタイ
ムを利用して測定系の位置調整を行なうのではないの
で、非常に効率的な放射光の利用が可能となる。
【０００８】
【実施例】図３は、本発明に係る放射光ビーム調整装置
が用いられる放射光装置の全体を示している。この放射
光装置は、大きく分けて放射光発生部１、放射光通路
２、そしてＸ線装置３によって構成されている。
が用いられる放射光装置の全体を示している。この放射
光装置は、大きく分けて放射光発生部１、放射光通路
２、そしてＸ線装置３によって構成されている。
【０００９】周知の通り放射光発生部１においては、非
常に高いエネルギを持って光速度近くまで加速された電
子の軌道を磁界によって曲げることにより、その電子軌
道の接線方向に放射光ＳＯＲが発生する。この放射光Ｓ
ＯＲは放射光通路２に取り込まれてモノクロメータ４ま
で進行し、そのモノクロメータ４によって必要なＸ線成
分が取り出され、そのＸ線が散乱抑制スリット５を通っ
てＸ線装置３に供給される。
常に高いエネルギを持って光速度近くまで加速された電
子の軌道を磁界によって曲げることにより、その電子軌
道の接線方向に放射光ＳＯＲが発生する。この放射光Ｓ
ＯＲは放射光通路２に取り込まれてモノクロメータ４ま
で進行し、そのモノクロメータ４によって必要なＸ線成
分が取り出され、そのＸ線が散乱抑制スリット５を通っ
てＸ線装置３に供給される。
【００１０】Ｘ線装置３は防Ｘ線カバー１０を有してお
り、そのカバー内には、試料スリット６、試料７、真空
チャンバ８、そしてＸ線検出器９が配置されている。放
射光から取り出されたＸ線は試料スリット６を通って試
料７に照射され、その試料７で回折あるいは散乱したＸ
線が真空チャンバ８を通ってＸ線検出器９へ到達して検
出される。
り、そのカバー内には、試料スリット６、試料７、真空
チャンバ８、そしてＸ線検出器９が配置されている。放
射光から取り出されたＸ線は試料スリット６を通って試
料７に照射され、その試料７で回折あるいは散乱したＸ
線が真空チャンバ８を通ってＸ線検出器９へ到達して検
出される。
【００１１】以上のＸ線回折測定を行なうにあたって
は、放射光通路２からＸ線装置３に至る間に配置される
各種機器、例えばモノクロメータ４、散乱防止スリット
５、試料スリット６、Ｘ線検出器９等が正確に放射光路
上及びＸ線光路上にのるように調整される必要がある。
本放射光装置はその調整を行なう際に用いる放射光ビー
ム調整装置１１を放射光通路２上に設けてある。以下、
その放射光ビーム調整装置の作用について説明する。
は、放射光通路２からＸ線装置３に至る間に配置される
各種機器、例えばモノクロメータ４、散乱防止スリット
５、試料スリット６、Ｘ線検出器９等が正確に放射光路
上及びＸ線光路上にのるように調整される必要がある。
本放射光装置はその調整を行なう際に用いる放射光ビー
ム調整装置１１を放射光通路２上に設けてある。以下、
その放射光ビーム調整装置の作用について説明する。
【００１２】図１に示すように、放射光ビーム調整装置
１１は、放射光通路２の適所に設けられた連通管１２
と、その連通管１２の側部に配置されたＸ線発生装置１
３と、Ｘ線発生装置１３のまわりを外部から遮蔽して気
密に保持するベローズ１４とによって構成されている。
ベローズ１４は、連通管１２の側壁に固定したフランジ
１５と、Ｘ線発生装置１３と一体なフランジ１６との間
に設けられている。図２のＩＩ−ＩＩ線に従った断面図
である図２に示すように、Ｘ線発生装置１３のフランジ
１６はスライダ１７に固定されており、そのスライダ１
７はハンドル１８をまわすことによってＡ−Ａ’方向へ
平行移動する。
１１は、放射光通路２の適所に設けられた連通管１２
と、その連通管１２の側部に配置されたＸ線発生装置１
３と、Ｘ線発生装置１３のまわりを外部から遮蔽して気
密に保持するベローズ１４とによって構成されている。
ベローズ１４は、連通管１２の側壁に固定したフランジ
１５と、Ｘ線発生装置１３と一体なフランジ１６との間
に設けられている。図２のＩＩ−ＩＩ線に従った断面図
である図２に示すように、Ｘ線発生装置１３のフランジ
１６はスライダ１７に固定されており、そのスライダ１
７はハンドル１８をまわすことによってＡ−Ａ’方向へ
平行移動する。
【００１３】図１において、Ｘ線発生装置１３は、Ｘ線
源であるＸ線管２１と、そのＸ線管に高電圧を供給する
高電圧発生部１９と、Ｘ線管２１に冷却水を供給する冷
却水供給系２０とを有している。Ｘ線管２１は、スライ
ダ１７（図２）の移動によって、放射線通路２の上に臨
出する図示の位置と、放射線通路２から退避する退避位
置（図示せず）との間で平行移動する。
源であるＸ線管２１と、そのＸ線管に高電圧を供給する
高電圧発生部１９と、Ｘ線管２１に冷却水を供給する冷
却水供給系２０とを有している。Ｘ線管２１は、スライ
ダ１７（図２）の移動によって、放射線通路２の上に臨
出する図示の位置と、放射線通路２から退避する退避位
置（図示せず）との間で平行移動する。
【００１４】以下、上記構成よりなる放射光ビーム調整
装置の作用について説明する。図３に示した放射光装置
においてＸ線回折測定を行なっている間（すなわち放射
光発生部１のマシンタイムの間）、スライダ１７（図
２）は矢印Ａ’方向へ移動されて、Ｘ線管２１（図１）
は放射光通路２から退避している。従って、図３におい
て、放射光発生部１から放射された放射光ＳＯＲは何等
の障害を受けることなく放射光通路２を通ってモノクロ
メータ４へと進行する。
装置の作用について説明する。図３に示した放射光装置
においてＸ線回折測定を行なっている間（すなわち放射
光発生部１のマシンタイムの間）、スライダ１７（図
２）は矢印Ａ’方向へ移動されて、Ｘ線管２１（図１）
は放射光通路２から退避している。従って、図３におい
て、放射光発生部１から放射された放射光ＳＯＲは何等
の障害を受けることなく放射光通路２を通ってモノクロ
メータ４へと進行する。
【００１５】Ｘ線回折測定を行なうのに先立って、モノ
クロメータ４等の放射光装置構成要素の位置調整を行な
う場合は、放射光発生部１がマシンタイムに入る前に、
ハンドル１８（図２）を適宜の角度だけまわしてＸ線管
２１を図１に示すように放射光通路２上に移動させる。
そして、Ｘ線管２１よりＸ線を出射し、そのＸ線を用い
てモノクロメータ４その他の要素の位置調整を行なう。
Ｘ線を用いた調整なので、わめて正確な位置調整を行な
うことができる。位置調整が終ると再びハンドル（図
２）をまわしてスライダ１７をＡ’方向へ移動させ、Ｘ
線管２１（図１）を放射光通路２から退避する退避位置
へ移動させる。これにより、放射光発生部１がマシンタ
イムに入ると、すぐに、Ｘ線回折測定を開始できる。
クロメータ４等の放射光装置構成要素の位置調整を行な
う場合は、放射光発生部１がマシンタイムに入る前に、
ハンドル１８（図２）を適宜の角度だけまわしてＸ線管
２１を図１に示すように放射光通路２上に移動させる。
そして、Ｘ線管２１よりＸ線を出射し、そのＸ線を用い
てモノクロメータ４その他の要素の位置調整を行なう。
Ｘ線を用いた調整なので、わめて正確な位置調整を行な
うことができる。位置調整が終ると再びハンドル（図
２）をまわしてスライダ１７をＡ’方向へ移動させ、Ｘ
線管２１（図１）を放射光通路２から退避する退避位置
へ移動させる。これにより、放射光発生部１がマシンタ
イムに入ると、すぐに、Ｘ線回折測定を開始できる。
【００１６】以上のようにＸ線発生装置１３が放射光通
路２に対して相対移動する間、ベローズ１４がそれに追
従して伸縮動作を行ない、Ｘ線発生装置１３のまわりを
常に真空の密封状態に保持する。
路２に対して相対移動する間、ベローズ１４がそれに追
従して伸縮動作を行ない、Ｘ線発生装置１３のまわりを
常に真空の密封状態に保持する。
【００１７】以上、１つの実施例を用いて本発明を説明
したが、本発明はその実施例に限定されるものではな
い。例えば、Ｘ線管２１を移動させるためのＸ線源移動
手段は、実施例のようなハンドル１８及びスライダ１７
を用いたスライダ機構に限られず他の任意の駆動機構を
採用できる。また、Ｘ線発生装置１３のまわりを密封す
るための密封手段も、ベローズ１４以外の適宜の構成と
することができる。
したが、本発明はその実施例に限定されるものではな
い。例えば、Ｘ線管２１を移動させるためのＸ線源移動
手段は、実施例のようなハンドル１８及びスライダ１７
を用いたスライダ機構に限られず他の任意の駆動機構を
採用できる。また、Ｘ線発生装置１３のまわりを密封す
るための密封手段も、ベローズ１４以外の適宜の構成と
することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、放射光発生部のマシン
タイムに入る前に、放射光通路からＸ線装置に至るまで
間に存在する各種の構成要素の位置調整を行なうことが
できるので、上記マシンタイムを有効に活用できる。ま
た、上記の位置調整をＸ線を用いて行なうので、正確な
調整を行なうことができる。
タイムに入る前に、放射光通路からＸ線装置に至るまで
間に存在する各種の構成要素の位置調整を行なうことが
できるので、上記マシンタイムを有効に活用できる。ま
た、上記の位置調整をＸ線を用いて行なうので、正確な
調整を行なうことができる。
【図１】本発明に係る放射光ビーム調整装置の一実施例
を一部破断して示す平面図である。
を一部破断して示す平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に従った側面断面図であ
る。
る。
【図３】上記放射光ビーム調整装置を用いた放射光装置
の全体を示す概略平面図である。
の全体を示す概略平面図である。
２ 放射光通路 ３ Ｘ線装置 １３ Ｘ線発生装置 １４ ベローズ １７ スライダ １８ ハンドル ２１ Ｘ線管
Claims (1)
- 【請求項１】 放射光通路を通って送られた放射光から
Ｘ線を取り出してＸ線装置へ導くようにした放射光装置
に用いられる放射光ビーム調整装置であって、 Ｘ線を発生するＸ線源を内蔵したＸ線発生装置と、Ｘ線
源を放射光通路上の位置と放射光通路から退避する位置
との間で移動させるＸ線源移動手段と、Ｘ線源移動手段
によって移動するＸ線発生装置のまわりを気密に保持す
る密封手段とを有することを特徴とする放射光ビーム調
整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3302321A JPH05113413A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 放射光ビーム調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3302321A JPH05113413A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 放射光ビーム調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05113413A true JPH05113413A (ja) | 1993-05-07 |
Family
ID=17907540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3302321A Pending JPH05113413A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 放射光ビーム調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05113413A (ja) |
-
1991
- 1991-10-22 JP JP3302321A patent/JPH05113413A/ja active Pending
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