JPH05109867A

JPH05109867A - 機械式インターフエース装置

Info

Publication number: JPH05109867A
Application number: JP3269774A
Authority: JP
Inventors: Hitoshi Kono; 等河野; Atsushi Okuno; 敦奥野; Masanori Tsuda; 正徳津田; Michihiro Hayashi; 満弘林; Teppei Yamashita; 哲平山下; Masanao Murata; 正直村田; Miki Tanaka; 幹田中; Akiya Morita; 日也森田
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1991-10-17
Filing date: 1991-10-17
Publication date: 1993-04-30

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】空ポッドの一時保管機能を有し、外部装置に
頼ることなく空ポッドの一時保管が可能で、複数のウエ
ハカセット分のウエハを一括処理するのに極めて好適な
機械式インターフェース装置を提供する。【構成】ポートプレート３Ａ、Ｂ上に載置されて被処
理物の搬入・搬出用ポート４Ａ、Ｂを覆うポッド１０１
Ａ〜１０４Ｂ、ポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、
本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時にポートプ
レートに係合してポートを閉鎖するポートドア３１Ａ、
３１Ｂ、ポートドアがポッドドアを搬送する機械式イン
ターフェース装置において、装置ケース１が、ポッド搬
入・搬出空間１Ｂに連続する空ポッド一時保管空間１Ｃ
を有すると共に両空間内に空ポッド移載機構５０Ａ、
Ｂ、５２、６０、６１Ａ、Ｂが収納される。空ポッド移
載機構は、ポッド搬入・搬出空間に面しているポートプ
レート上の空ポットを空ポッド一時保管空間内の所定位
置へ、またその逆に移載する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造プロセス
で用いられる機械式インターフェース装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体の処理は、半導体のパーテ
ィクル汚染を防止するために、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれていたが、その保守を含めて費用が
かかりすぎるという問題がある他、パーティクル汚染の
汚染レベルの低減には限界があるので、例えば特開昭６
０−１４３６２３号公報に開示されているような標準化
された機械的インターフェース装置（ＳＭＩＦ装置）が
開発された。

【０００３】このＳＭＩＦ装置は、例えば、図９に示す
ように、ウエハ処理装置（図示しない）を収納し、清浄
空気で満たされている装置ケース１と、可搬式タイプの
ボックス（以下、ポッドＰＯＤという）１０および搬送
装置３０を含んでいる。装置ケース１の天板２にはポー
トプレート３によりポート（ウエハカセット２０の搬入
・搬出口）４が形成されており、把手１０ａを持つポッ
ドＰＯＤ１０はこのポートプレート３上に載置される。

【０００４】ポッドＰＯＤ１０はその開口１１の周囲に
環状部１２ａを持つフランジ１２を有する形状となって
いる。この例の搬送装置３０は昇降装置であって、昇降
軸３２に支持された昇降台３１にウエハカセット２０を
載せて昇降するが、この昇降台３１は、ポートドアとな
っており、最上昇時には、ポートプレート３に下から当
接もしくは嵌合してポート４を装置ケース１を外部に対
して密閉し、また、ポートドア３１上にあるウエハカセ
ット２０の台２１はポッドＰＯＤ１０の開口１１の周部
に当接して当該開口１１を密閉する。この台２１を、以
下、ポッドドアという。１３はシール材であって、ポッ
ドＰＯＤ１０の開口とポッドドア２１との間をシール
し、シール材１４はポッドＰＯＤ１０のフランジ１２と
ポートプレート３との間をシールし、シール材１５はポ
ートプレート３とポートドア３１との間をシールする。
４０はロック機構であって、図示しないギヤードモータ
により駆動されるロックレバー４１を有し、ポッドＰＯ
Ｄ１０のフランジ１２をポートプレート３上へ押し下げ
る働きをする。

【０００５】この例においては、処理前のウエハが図示
しない他の場所から移載ロボット等によりポートドア３
１上へ移載されたのち、ポッドＰＯＤ１０をポートプレ
ート３上に載置し、ロックレバー４１で固定する。ロッ
クレバー４１で固定したのち、ポッドＰＯＤ１０内に清
浄空気を供給して、ポッドＰＯＤ１０内を本体ケース１
内と同様の清浄雰囲気としたのち、ポートドア３１を移
載位置まで下降する。ポートドア３１が移載位置まで下
降すると、図示しない移載装置がポートドア３１上のウ
エハカセット２０を処理機械へ搬送する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、装置ケース
１内でのウエハ処理を、１つのウエハカセット２０単位
毎に行なう場合には、空ポッドＰＯＤの問題はないが、
複数のウエハカセット２０内のウエハを一括処理する場
合には、ウエハカセット２０が装置ケース１内へ取り込
まれて空になったポッドＰＯＤをポートプレート３上か
ら何れかへ保管したのち、ポートプレート３上に次のポ
ッドＰＯＤ１０を移載することになり、一括処理された
ウエハを各々元のポッドＰＯＤ内へ収納するため、上記
保管させておいたポッドＰＯＤ１０を保管場所からポー
トプレート３上へ搬送してこなくてはならず、一時的保
管を要する空ポッドＰＯＤの数が多くなると、保管場所
の確保と保管構造、当該空ポッドＰＯＤの保管場所への
移載方式等が問題となってくる。

【０００７】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、空ポッドの一時保管機能を有し、外部装置に
頼ることなく空ポッドの一時保管が可能で、複数のウエ
ハカセット分のウエハを一括処理するのに極めて好適な
機械式インターフェース装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、装置ケースに設けられ被処理
物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に
載置されて前記ポートを覆うポッド、このポッドの開口
を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケース内に昇降可能
に支持され最上昇時に上記ポートプレートに係合して前
記ポートを閉鎖するポートドア、このポートドアが上記
ポッドドアを上記ポッド内から本体ケースへまたその逆
へ搬送する機械式インターフェース装置において、上記
装置ケースが、ポッド搬入・搬出空間に連続する空ポッ
ド一時保管空間を有するとともに両空間内に空ポッド移
載機構が収納され、該空ポッド移載機構は、上記ポッド
搬入・搬出空間に面している上記ポートプレート上の空
ポットを上記空ポッド一時保管空間内の所定位置へ、ま
たその逆に移載する構成とした。

【０００９】請求項２では、空ポッド一時保管空間内に
は、１もしくは複数の空ポッド用棚が設けられている構
成とした。

【００１０】請求項３では、空ポッド一時保管空間内の
空ポッド用棚は、当該空ポッド一時保管空間内の所定位
置をホームポジションとする水平可動棚であり、対応す
るポートプレート上方の所定のポッド授受位置と上記ホ
ームポジション間を移動する構成とした。

【００１１】請求項４では、空ポッド一時保管空間内の
空ポッド用の水平可動棚は、ポッド授受位置の高さが高
位である水平可動棚と、低位である水平可動棚とがあ
り、前者のホームポジションと後者のホームポジション
とは水平移動方向に対して前後相異なる位置であるよう
にした。

【００１２】請求項５では、空ポッド一時保管空間内の
空ポッド用棚が固定棚である場合において、空ポッド移
載機構は、ポッドピックアップ機構を昇降可能な水平駆
動装置であるようにした。

【００１３】請求項６では、空ポッド一時保管空間内の
空ポッド用棚が可動棚である場合において、空ポッド移
載機構は、ポッドピックアップ機構を備える昇降駆動装
置と、水平可動棚をポッド授受位置へ進退させる水平駆
動装置からなる構成とした。

【００１４】

【作用】本発明では、内部に収納してきたウエハカセッ
トがケース本体部内へ取り込まれて空になったポッド
は、当該ウエハカセット内のウエハの処理が収納し、上
記ウエハカセットが処理済みのウエハを収納してポート
側へ運ばれるまで、空ポッド一時保管空間内の所定場所
に保管することができるので、複数のウエハカセット分
のウエハを一括処理する場合に好適である。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。

【００１６】図１および図２において、１０１Ａ、１０
１Ｂ〜１０４Ａ、１０４Ｂは把手１０ａを有するポッド
ＰＯＤを示している。装置ケース１はウエハ処理装置
（図示しない）を収納しているケース本体部１Ａと、仕
切り壁２Ａで当該ケース本体部１Ａと区画されているウ
エハ搬入・搬出部１Ｂおよび空ポッド一時保管部（スト
ッカー部）１Ｃからなる。１Ｄは制御装置を収納した制
御ユニット部である。また、１Ｗはウエハ搬入・搬出部
１Ｂの出し入れ口である。上記仕切り壁２Ａの、ケース
本体部１Ａとポッド取り込み機構（前記した昇降装置）
を収納している空間部分Ｅとを仕切る水平壁部２ａに、
ポート４Ａと４Ｂをそれぞれ有するポートプレート３
Ａ、３Ｂが設けられている。５０Ａ、５０Ｂはウエハ搬
入・搬出部１Ｂに設けられた昇降駆動装置、６０、６１
Ａ及び６１Ｂはウエハ搬入・搬出部１Ｂとストッカー部
１Ｃとに亘って設けられた互いに平行して伸びる水平駆
動装置（例えば、スライダ）である。このストッカー部
１Ａは空ポッドＰＯＤを一時保管するための複数個の水
平可動棚（以下、単に、可動棚という）７０、７１Ａ、
７１Ｂを収納している。この昇降駆動装置５０Ａ、５０
Ｂは、例えば、スクリュー式の昇降装置であって、ガイ
ド筒内の図示しない回転ねじ軸に図示しない係合子を介
して螺合したポッドピックアップ機構５２を有してい
る。ポッドピックアップ機構５２はポッドＰＯＤの把手
１０ａに対して進退する水平杆５２Ａとこれを進退させ
る駆動部５２Ｂからなる。可動棚７０は水平駆動装置
６０の可動子６０ａから垂下する支持板７０ａの下端に
水平に支持された前方棚であって、支持板７０ａにより
左右に並ぶ棚部７０Ａと７０Ｂに区分されている。可動
棚７１Ａは水平駆動装置６１Ａの可動子６１ａから垂下
する支持板７１ａに支持された後方棚、可動棚７１Ｂは
水平駆動装置６１Ｂの可動子６１ａから垂下する支持板
７１ａに支持された後方棚であって、両可動棚７１Ａと
７１Ｂは可動棚７０より高く支持され、かつ可動棚７０
より後方位置をホームポジションとする。

【００１７】本実施例においては、８箇のウエハカセッ
ト（図５に示す）２０が順次ケース本体部１Ａ内に送り
込まれて、図示しない成膜処理用の反応炉等で一括処理
されたのち、順次、ケース本体部１Ａからポート４Ａ、
４Ｂを経てウエハ搬入・搬出部１Ｂへ取り出されるもの
とする。

【００１８】今、図３に示す如く、ポッドＰＯＤ１０１
Ａが装置外から図示しない移載ロボットによりポートプ
レート３Ａ上に移載され、当該ポートプレート３Ａ上に
セットされたものとする。

【００１９】（Ａ）ポッドＰＯＤ１０１Ａがこのポート
プレート３Ａ上にセットされると、昇降装置３０Ａが下
降動作して、ポッドＰＯＤ１０１Ａ内のウエハカセット
がポートドア３１Ａとともに下降してケース本体部１Ａ
内に取り込まれ、図示しない反応炉等の処理装置側へ搬
送されると、ポートドア３１Ａは上昇してポート４Ａを
閉鎖する。

【００２０】（Ｂ）この間に、ポッドＰＯＤ１０１Ｂが
ポートプレート３Ｂ上に移載され、当該ポートプレート
３Ｂ上にセットされる。上記ポートドア３１Ａが上昇し
てポート４Ａを閉鎖すると、昇降装置３０Ｂが下降動作
して、ポッドＰＯＤ１０１Ｂ内のウエハカセットがポー
トドア３１Ｂとともに下降してケース本体部１Ａ内に取
り込まれる。このウエハカセットが図示しない反応炉等
の処理装置側へ搬送されると、ポートドア３１Ｂは上昇
してポート４Ｂを閉鎖する。

【００２１】（Ｃ）上記のように、ポートドア３１Ａが
上昇してポート４Ａを閉鎖すると、昇降駆動装置５０Ａ
側のポッドピックアップ機構５２の水平杆５２Ａが空に
なったポッドＰＯＤ１０１Ａの把手１０ａ内へ所定長だ
け伸びる。水平杆５２Ａが所定長だけ伸びると、昇降駆
動装置５０Ａが作動してポッドピックアップ機構５２が
所定高さ上方へ上昇し、ポッドＰＯＤ１０１Ａを図４に
点線で示すようにポートドア３１Ａの上方位置（高位ポ
ッド授受位置）に保持する。ポッドＰＯＤ１０１Ａがこ
のポッド授受位置に来ると、図４に鎖線で示す如く示す
如く、可動棚７１Ａがホームポジションから当該高位ポ
ッド授受位置の直下まで搬送され、次いで、昇降駆動装
置５０Ａが作動してポッドピックアップ機構５２を少し
下げ、ポッドＰＯＤ１０１Ａを可動棚７１Ａ上に降ろ
す。ポッドＰＯＤ１０１Ａが可動棚７１Ａ上に降りる
と、ポッドピックアップ機構５２の水平杆３が把手１０
ａから退避し、退避し終わると、可動棚７１Ａはホーム
ポジションへ移動するとともにポッドピックアップ機構
５２も元の位置まで下降する。

【００２２】（Ｄ）上記のように、ポートドア３１Ｂが
上昇してポート４Ｂを閉鎖すると、同様にして、可動棚
７１Ｂがホームポジションからポートドア３１Ｂの上方
の高位ポッド授受位置の直下まで搬送され、ここでポッ
ドＰＯＤ１０１Ｂを受け取って、ホームポジションへ戻
る。

【００２３】（Ｅ）空になったポッドＰＯＤ１０１Ａが
可動棚７１Ａ上へ移載されると、ポートプレート３Ａ上
へのポッドＰＯＤの搬入が可能になるので、ポッドＰＯ
Ｄ１０２Ａが図５に示すようにポートプレート３Ａ上へ
移載されてセットされる。同様に、空になったポッドＰ
ＯＤ１０１Ｂが可動棚７１Ｂ上へ移載されると、ポート
プレート３Ｂ上へのポッドＰＯＤの搬入が可能になるの
で、ポッドＰＯＤ１０２Ｂがポートプレート３Ａ上へ移
載されてセットされる。

【００２４】（Ｆ）ポッドＰＯＤ１０２Ａが空ポッドに
なり、ポート４Ａがポートプレート３１Ａで閉鎖される
と、昇降駆動装置５０Ａが作動してポッドピックアップ
機構５２が所定高さ上方へ上昇し、図６に点線で示す如
く示す如くポッドＰＯＤ１０２Ａをポートドア３１Ａの
上方位置（低位ポッド授受位置）に保持する。ポッドＰ
ＯＤ１０２Ａがこのポッド授受位置に来ると、図６に鎖
線で示す如く示す如く、可動棚７０がホームポジション
から当該低位ポッド授受位置の直下まで搬送され、次い
で、昇降駆動装置５０Ａが作動してポッドピックアップ
機構５２を少し下げ、ポッドＰＯＤ１０２Ａを可動棚７
０の棚部７０Ａ上に降ろす。ポッドＰＯＤ１０２Ａが棚
部７０Ａ上に降りると、ポッドピックアップ機構５２の
水平杆３が把手１０ａから退避し、退避し終わると、可
動棚７０はホームポジションへ移動するとともにポッド
ピックアップ機構５２も元の位置まで下降する。

【００２５】（Ｇ）ポートドア３１Ｂが上昇してポート
４Ｂを閉鎖すると、同様にして、可動棚７０がホームポ
ジションからポートドア３１Ｂの上方の低位ポッド授受
位置の直下まで搬送され、ここでポッドＰＯＤ１０２Ｂ
を受け取って、ホームポジションへ戻る。

【００２６】（Ｈ）空になったポッドＰＯＤ１０２Ａが
可動棚７０上へ移載されると、ポートプレート３Ａ上へ
のポッドＰＯＤの搬入が可能になるので、図７に示す如
くポッドＰＯＤ１０３Ａがポートプレート３Ａ上へ移載
されてセットされる。同様に、空になったポッドＰＯＤ
１０２Ｂが可動棚７１Ｂ上へ移載されると、ポートプレ
ート３Ｂ上へのポッドＰＯＤの搬入が可能になるので、
ポッドＰＯＤ１０３Ｂがポートプレート３Ｂ上へ移載さ
れてセットされる。

【００２７】（Ｉ）ポッドＰＯＤ１０３Ａが空ポッドに
なると、前記空になったポッドＰＯＤ１０１Ａや１０２
Ａと同様にして、図８に点線で示す如くポートプレート
３Ａの上方の前記低位ポッド授受位置へ持ち上げられる
が、本実施例では、これを置く可動棚を設けていないの
で、図２に示すように示すようにポッドピックアップ機
構５２で上記低位ポッド授受位置の高さに保持したまま
にして、ポートプレート３Ａ上にポッドＰＯＤ１０４Ａ
を移載する。ポッドＰＯＤ１０４Ｂも同様で、ポッドピ
ックアップ機構５２でポートプレート３Ｂの上方の前記
低位ポッド授受位置へ保持したままにして、ポートプレ
ート３Ｂ上にポッドＰＯＤ１０４Ｂを移載する。

【００２８】（Ｊ）ポッドＰＯＤ１０１Ａ、１０１Ｂ〜
１０４Ａ、１０４Ｂからケース本体部１Ａ内に取り込ま
れたウエハカセット内のウエハはこれらウエハカセット
から処理装置内へ搬入されて一括処理されたのち、元の
ウエハカセット内へ戻される。処理済みのウエハを収納
したウエハカセットは、ポッドＰＯＤ１０１Ａ、１０１
Ｂ内にあったウエハカセットから順々にポート４Ａ、４
Ｂ側へ搬送される。

【００２９】（Ｋ）ポッドＰＯＤ１０４Ａ、１０４Ｂ内
にあったウエハカセットがポートドア３１Ａ上へ移載さ
れると、ポートドア３１Ａは上昇してポート４Ａ、４Ｂ
を閉鎖し、ポッドＰＯＤ１０４Ａ、１０４Ｂはウエハカ
セットを収納する。ウエハカセットを収納したポッドＰ
ＯＤ１０４Ａ、１０４Ｂは図示しない移載ロボットによ
り装置外へ運ばれる。

【００３０】（Ｌ）ポッドＰＯＤ１０３Ａ、１０３Ｂ内
にあったウエハカセットがポート４Ａ、４Ｂへ搬送され
る前にポッドＰＯＤ１０３Ａ、１０３Ｂはポートプレー
ト３Ａ、３Ｂ上に降ろされてセットされ、このセット終
了後に、ポッドＰＯＤ１０３Ａ、１０３Ｂ内にあったウ
エハカセットがポート４Ａ、４ＢからポッドＰＯＤ１０
３Ａ、１０３Ｂ内に戻される。ウエハカセットを収納し
たポッドＰＯＤ１０３Ａ、１０３Ｂは図示しない移載ロ
ボットにより装置外へ搬送される。

【００３１】（Ｍ）次いで、ポッドＰＯＤ１０２Ａ、１
０２Ｂ内にあったウエハカセットがポート４Ａ、４Ｂへ
搬送されるので、その前に、ポッドＰＯＤ１０２Ａ、１
０２Ｂを載せている可動棚７０が前記した低位ポッド授
受位置へ移動し、ここでポッドピックアップ機構５２で
ピックアップされて、ポートプレート３Ａ、３Ｂ上に降
ろされセットされる。このセット終了後に、ポッドＰＯ
Ｄ１０２Ａ、１０２Ｂ内にあったウエハカセットがポー
ト４Ａ、４ＢからポッドＰＯＤ１０２Ａ、１０２Ｂ内に
戻される。他のポッドＰＯＤ１０１Ａ、１０１Ｂについ
ても同様である。本実施例では、可動棚を前後２列に設
けてあるので、空ポッド一時保管部１Ｃのポッド収容能
力が大きい。装置外から装置ケース１へポッドＰＯＤを
移載する前記した移載ロボットを利用して空ポッドＰＯ
Ｄをポートプレート上から空ポッド一時保管部１Ｃへ運
ぶことも可能であるが、１台の装置に１台の移載ロボッ
トを必要とするので、不経済である他、本実施例のよう
に空ポッド一時保管部１Ｃの奥行きを深くしてポッド収
容能力を大きくした場合には、この種の移載ロボットは
不適である。

【００３２】なお、上記実施例では、空ポッド用の棚が
水平可動棚であるが、これは固定棚であってもよく、こ
の場合には、ポッドピックアップ機構５２を昇降可能な
水平駆動機構に設けるとよい。

【００３３】

【発明の効果】本発明は以上説明した通り、装置ケース
に、ポッド搬入・搬出空間に連続する空ポッド一時保管
空間を区画するとともに両空間内に空ポッド移載機構を
設けたから、内部に収納してきたウエハカセットがケー
ス本体部内へ取り込まれて空になったポッドを、当該ウ
エハカセット内のウエハの処理が終了し、上記ウエハカ
セットが処理済みのウエハを収納してポート側へ運ばれ
るまで、空ポッド一時保管空間内の所定場所に保管する
ことができるので、複数のウエハカセット分のウエハを
一括処理する場合に極めて好適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す正面図である。

【図２】上記実施例の一部破断側面図である。

【図３】上記実施例の動作を説明するための図である。

【図４】上記実施例の動作を説明するための図である。

【図５】上記実施例の動作を説明するための図である。

【図６】上記実施例の動作を説明するための図である。

【図７】上記実施例の動作を説明するための図である。

【図８】上記実施例の動作を説明するための図である。

【図９】従来のＳＭＩＦ装置の概略を示す図である。

【符号の説明】

１装置ース１Ａケース本体部１Ｂ搬入・搬出部１Ｃ空ポッド一時保管部１Ｄ制御ユニット部１Ｗ出し入れ口３Ａ、３Ｂポートプレート４Ａ、４Ｂポート１１ポッドＰＯＤの開口１２ポッドＰＯＤのフランジ２０ウエハカセット２１ポッドドア３０Ａ、３０Ｂ昇降装置３１Ａ、３１Ｂポートドア５０Ａ、５０Ｂ昇降駆動装置５２ポッドピックアップ機構６０、６１Ａ、６１Ｂ水平駆動機構７０、７１Ａ・７１Ｂ水平可動棚

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者林満弘三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者山下哲平三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者村田正直三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者田中幹三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者森田日也三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】装置ケースに設けられ被処理物の搬入・
搬出用ポートを形成するポートプレート上に載置されて
前記ポートを覆うポッド、このポッドの開口を閉鎖可能
なポッドドア、前記本体ケース内に昇降可能に支持され
最上昇時に上記ポートプレートに係合して前記ポートを
閉鎖するポートドア、このポートドアが上記ポッドドア
を上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する
機械式インターフェース装置において、上記装置ケースが、ポッド搬入・搬出空間に連続する空
ポッド一時保管空間を有するとともに両空間内に空ポッ
ド移載機構が収納され、該空ポッド移載機構は、上記ポ
ッド搬入・搬出空間に面している上記ポートプレート上
の空ポットを上記空ポッド一時保管空間内の所定位置
へ、またその逆に移載することを特徴とする機械式イン
ターフェース装置。
【請求項２】空ポッド一時保管空間内には、１もしく
は複数の空ポッド用棚が設けられていることを特徴とす
る請求項１記載の機械式インターフェース装置。
【請求項３】空ポッド一時保管空間内の空ポッド用棚
は、当該空ポッド一時保管空間内の所定位置をホームポ
ジションとする水平可動棚であり、対応するポートプレ
ート上方の所定のポッド授受位置と上記ホームポジショ
ン間を移動することを特徴とする請求項１または２記載
の機械式インターフェース装置。
【請求項４】空ポッド一時保管空間内の空ポッド用の
水平可動棚は、ポッド授受位置の高さが高位である水平
可動棚と、低位である水平可動棚とがあり、前者のホー
ムポジションと後者のホームポジションとは水平移動方
向に対して前後異なる位置であることを特徴とする請求
項１〜３のいずれかに記載の機械式インターフェース装
置。
【請求項５】空ポッド一時保管空間内の空ポッド用棚
が固定棚である場合において、空ポッド移載機構は、ポ
ッドピックアップ機構を昇降可能な水平駆動装置である
ことを特徴とする請求項１または２記載の機械式インタ
ーフェース装置。
【請求項６】空ポッド一時保管空間内の空ポッド用棚
が可動棚である場合において、空ポッド移載機構は、ポ
ッドピックアップ機構を備える昇降駆動装置と、水平可
動棚をポッド授受位置へ進退させる水平駆動装置からな
ることを特徴とする請求項１〜４のずれかに記載の機械
式インターフェース装置。