JPH05107346A - レーザドツプラ速度計 - Google Patents
レーザドツプラ速度計Info
- Publication number
- JPH05107346A JPH05107346A JP27096691A JP27096691A JPH05107346A JP H05107346 A JPH05107346 A JP H05107346A JP 27096691 A JP27096691 A JP 27096691A JP 27096691 A JP27096691 A JP 27096691A JP H05107346 A JPH05107346 A JP H05107346A
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- JP
- Japan
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- laser
- doppler
- lens
- irradiation
- cylindrical lens
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ドップラ信号Ｓ／Ｎが高く、かつ空間的な計
測領域が広い、高精度なレーザドップラ速度計を提供す
ることを目的としている。 【構成】 レーザ発振器の後にビームコリメータ，シリ
ンドリカルレンズを配し、レーザビームをビームスプリ
ッタで２分割し、各々のレーザビームを全反射ミラーで
被測定物上に交差させるように配し、その散乱光を受光
レンズで光検出器に導くように配し、光検出器出力を処
理するための信号処理部を備えている。 【効果】 ドップラ信号Ｓ／Ｎを大幅に改善でき、かつ
空間的な計測領域を広く保つことができる。
測領域が広い、高精度なレーザドップラ速度計を提供す
ることを目的としている。 【構成】 レーザ発振器の後にビームコリメータ，シリ
ンドリカルレンズを配し、レーザビームをビームスプリ
ッタで２分割し、各々のレーザビームを全反射ミラーで
被測定物上に交差させるように配し、その散乱光を受光
レンズで光検出器に導くように配し、光検出器出力を処
理するための信号処理部を備えている。 【効果】 ドップラ信号Ｓ／Ｎを大幅に改善でき、かつ
空間的な計測領域を広く保つことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光のドップラ効果を
利用して移動物体の移動速度を非接触で測定するレーザ
ドップラ速度計に関するものである。
利用して移動物体の移動速度を非接触で測定するレーザ
ドップラ速度計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、移動物体の速度を光のドップラ
効果を利用して測定するには、図４に示すような速度計
が用いられていた。図４は例えば特開昭５４−８３８７
２号公報に示された従来のレーザドップラ速度計を示す
図であり、図において、１はレーザ発振器、２は所要の
レーザビーム径を得るためのビームコリメータ、３はビ
ームスプリッタ、４a ，４b ，４c は全反射ミラー、５
は被測定物、６は受光レンズ、７は光検出器、８は信号
処理部である。
効果を利用して測定するには、図４に示すような速度計
が用いられていた。図４は例えば特開昭５４−８３８７
２号公報に示された従来のレーザドップラ速度計を示す
図であり、図において、１はレーザ発振器、２は所要の
レーザビーム径を得るためのビームコリメータ、３はビ
ームスプリッタ、４a ，４b ，４c は全反射ミラー、５
は被測定物、６は受光レンズ、７は光検出器、８は信号
処理部である。
【０００３】図４に示すごとく、レーザ発振器１からの
レーザ光をビームコリメータ２で所要のビーム径にコリ
メートした後、ビームスプリッタ３で２分割し、全反射
ミラー４a ，４b によって互いに反対方向から被測定物
５上に交差させて照射すると、各々の照射レーザビーム
に対応した被測定物５からの散乱光の波長は被測定物５
の速度ｖに応じて、いわゆる正負のドップラシフトを起
こす。この２つの正負のドップラシフトを受けた散乱光
を受光レンズ６、全反射ミラー４c を介して受光し、光
検出器７で電気信号に変換すると、受信光に比例する直
流信号と“数１”に示すドップラ周波数ｆd の交流信号
（以下ドップラ信号という）が得られる。
レーザ光をビームコリメータ２で所要のビーム径にコリ
メートした後、ビームスプリッタ３で２分割し、全反射
ミラー４a ，４b によって互いに反対方向から被測定物
５上に交差させて照射すると、各々の照射レーザビーム
に対応した被測定物５からの散乱光の波長は被測定物５
の速度ｖに応じて、いわゆる正負のドップラシフトを起
こす。この２つの正負のドップラシフトを受けた散乱光
を受光レンズ６、全反射ミラー４c を介して受光し、光
検出器７で電気信号に変換すると、受信光に比例する直
流信号と“数１”に示すドップラ周波数ｆd の交流信号
（以下ドップラ信号という）が得られる。
【０００４】
【数１】
【０００５】ここで ｖ：被測定物の速度 λ：レーザ光の波長 Ψ：２つの照射レーザビームの交差角
【０００６】光検出器７で電気信号に変換されたドップ
ラ信号を信号処理部８に入力し、ドップラ周波数ｆd を
求め“数１”により速度演算することにより、被測定物
５の速度ｖを求めることが出来る。
ラ信号を信号処理部８に入力し、ドップラ周波数ｆd を
求め“数１”により速度演算することにより、被測定物
５の速度ｖを求めることが出来る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図４に示すレーザドッ
プラ速度計の空間的な計測領域は、２つの照射レーザビ
ームの交差する領域で決定され、Lm は２つの照射レー
ザビームの交差する領域、図中Ｄb は照射レーザビーム
の径、Ψは２つの照射レーザビームの交差角、ｗm は被
測定物５に２つの照射レーザビームが同心状態で交差し
たときのビーム幅、ｈm はこのときのビーム高さを示す
もので、Lm は“数２”で与えられる。
プラ速度計の空間的な計測領域は、２つの照射レーザビ
ームの交差する領域で決定され、Lm は２つの照射レー
ザビームの交差する領域、図中Ｄb は照射レーザビーム
の径、Ψは２つの照射レーザビームの交差角、ｗm は被
測定物５に２つの照射レーザビームが同心状態で交差し
たときのビーム幅、ｈm はこのときのビーム高さを示す
もので、Lm は“数２”で与えられる。
【０００８】
【数２】
【０００９】一方このレーザドップラ速度計を種々の製
造ラインに適用する場合には、一般にライン変動（被測
定物の位置変動）が±１０mm〜±１００と大きいため、
“数２”から、照射レーザビームの径Ｄb を大きくする
か、２つの照射レーザビームの交差角Ψを小さくする必
要があり、交差角Ψを小さくする場合“数１”から単位
速度当りのドップラ周波数ｆd が小さくなって精度を低
下させるので限界があり、レーザビームの径Ｄb を大き
くする手法が取られている。ところがレーザビームの径
Ｄb を大きくした場合、“数３”に示すように被測定物
に照射される面積Ｓ1 が大きくなるため、単位面積当り
の照射レーザパワーが低下し、ドップラシフトを受けた
散乱光の中で位相の揃った信号光のパワーが低下して、
ドップラ信号のＳ／Ｎが低下するという課題があった。
造ラインに適用する場合には、一般にライン変動（被測
定物の位置変動）が±１０mm〜±１００と大きいため、
“数２”から、照射レーザビームの径Ｄb を大きくする
か、２つの照射レーザビームの交差角Ψを小さくする必
要があり、交差角Ψを小さくする場合“数１”から単位
速度当りのドップラ周波数ｆd が小さくなって精度を低
下させるので限界があり、レーザビームの径Ｄb を大き
くする手法が取られている。ところがレーザビームの径
Ｄb を大きくした場合、“数３”に示すように被測定物
に照射される面積Ｓ1 が大きくなるため、単位面積当り
の照射レーザパワーが低下し、ドップラシフトを受けた
散乱光の中で位相の揃った信号光のパワーが低下して、
ドップラ信号のＳ／Ｎが低下するという課題があった。
【００１０】
【数３】
【００１１】この発明は、かかる課題を解決するために
なされたものであり、ドップラ信号Ｓ／Ｎが高く、かつ
空間的な計測領域が広い、高精度なレーザドップラ速度
計を提供することを目的としている。
なされたものであり、ドップラ信号Ｓ／Ｎが高く、かつ
空間的な計測領域が広い、高精度なレーザドップラ速度
計を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明に係わるレーザ
ドップラ速度計は、照射レーザビームを、交差する２つ
の照射レーザビームが作る平面と垂直なレーザビーム成
分だけを交差位置でビームウエストができるように絞り
込んで、楕円形状ビームとして被測定物に照射するシリ
ンドリカルレンズを設けたものである。
ドップラ速度計は、照射レーザビームを、交差する２つ
の照射レーザビームが作る平面と垂直なレーザビーム成
分だけを交差位置でビームウエストができるように絞り
込んで、楕円形状ビームとして被測定物に照射するシリ
ンドリカルレンズを設けたものである。
【００１３】また、シリンドリカルレンズを外気遮断用
として光学系の前面に配置し、散乱光の受光レンズ系に
上記シリンドリカルレンズと直交するシリンドリカルレ
ンズと集光レンズを設けている。
として光学系の前面に配置し、散乱光の受光レンズ系に
上記シリンドリカルレンズと直交するシリンドリカルレ
ンズと集光レンズを設けている。
【００１４】さらにまた、照射レーザビームを、交差す
る２つの照射レーザビームが作る平面と同一なレーザビ
ーム成分だけを所要の倍率だけ拡大する光学系を備えて
いる。
る２つの照射レーザビームが作る平面と同一なレーザビ
ーム成分だけを所要の倍率だけ拡大する光学系を備えて
いる。
【００１５】
【作用】この発明におけるシリンドリカルレンズは、照
射レーザビームを楕円形状ビームとして被測定物に照射
するため、Lm を決める方向のビーム幅は確保されたま
まビーム高さが圧縮されるので、Lm が保存されたま
ま、単位面積当りの照射レーザパワーがアップしてドッ
プラ信号の信号Ｓ／Ｎが改善される。
射レーザビームを楕円形状ビームとして被測定物に照射
するため、Lm を決める方向のビーム幅は確保されたま
まビーム高さが圧縮されるので、Lm が保存されたま
ま、単位面積当りの照射レーザパワーがアップしてドッ
プラ信号の信号Ｓ／Ｎが改善される。
【００１６】また、シリンドリカルレンズを外気遮断用
として光学系の前面に配置することで、ビームスプリッ
タで２分割されてからレーザビームが交差するまでの光
路長が異なる光学系においても、２つの照射レーザビー
ムに対して１個のシリンドリカルレンズで機能すること
が可能となり、構成が簡略化され、光軸調整に要する時
間も短縮できる。
として光学系の前面に配置することで、ビームスプリッ
タで２分割されてからレーザビームが交差するまでの光
路長が異なる光学系においても、２つの照射レーザビー
ムに対して１個のシリンドリカルレンズで機能すること
が可能となり、構成が簡略化され、光軸調整に要する時
間も短縮できる。
【００１７】さらにまた、音響光学変調器を用いて照射
レーザビームの周波数を所要周波数だけシフトさせる光
学系では、音響光学変調器の入射レーザビーム径に制限
が有るため、音響光学変調器通過後のレーザビームを、
Lm を決める方向のビーム幅だけを所要の倍率だけ拡大
する光学系を配置することで、Lm の範囲を拡大するこ
とができる。
レーザビームの周波数を所要周波数だけシフトさせる光
学系では、音響光学変調器の入射レーザビーム径に制限
が有るため、音響光学変調器通過後のレーザビームを、
Lm を決める方向のビーム幅だけを所要の倍率だけ拡大
する光学系を配置することで、Lm の範囲を拡大するこ
とができる。
【００１８】
実施例１．図１はこの発明の１実施例の概略構成図を示
したものであり、１〜８及びＤb ，Ψ，ｗm は上記従来
装置と全く同一のものである。９は挿入位置から２つの
レーザビーム交差位置までの光路長L1 ＋ L2 と焦点距
離ｆが一致するようなシリンドリカルレンズであり、ｈ
はシリンドリカルレンズで絞られた照射レーザビームの
ビームウエスト高さである。
したものであり、１〜８及びＤb ，Ψ，ｗm は上記従来
装置と全く同一のものである。９は挿入位置から２つの
レーザビーム交差位置までの光路長L1 ＋ L2 と焦点距
離ｆが一致するようなシリンドリカルレンズであり、ｈ
はシリンドリカルレンズで絞られた照射レーザビームの
ビームウエスト高さである。
【００１９】上記のように構成されたレーザドップラ速
度計では、レーザ発振器１からのレーザ光をビームコリ
メータ２で所要のビーム径にコリメートし、シリンドリ
カルレンズ９で高さ方向のみ絞り込んだ後、ビームスプ
リッタ３で２分割し、全反射ミラー４a ，４b によって
互いに反対方向から被測定物５上に交差させて照射する
と、被測定物５上には楕円形状のビームが形成され、各
々の照射レーザビームに対応した被測定物５からの散乱
光の波長は被測定物５の速度ｖに応じて、正負のドップ
ラシフトを起こす。この２つの正負のドップラシフトを
受けた散乱光を受光レンズ６、全反射ミラー４c を介し
て受光し、光検出器７で電気信号に変換された信号には
“数１”で示したドップラ周波数ｆd を含んでいるた
め、従来のレーザドップラ速度計同様、光検出器７で電
気信号に変換されたドップラ信号を信号処理部８に入力
し、ドップラ周波数ｆd を求め速度演算することによ
り、被測定物５の速度ｖを求めることが出来る。
度計では、レーザ発振器１からのレーザ光をビームコリ
メータ２で所要のビーム径にコリメートし、シリンドリ
カルレンズ９で高さ方向のみ絞り込んだ後、ビームスプ
リッタ３で２分割し、全反射ミラー４a ，４b によって
互いに反対方向から被測定物５上に交差させて照射する
と、被測定物５上には楕円形状のビームが形成され、各
々の照射レーザビームに対応した被測定物５からの散乱
光の波長は被測定物５の速度ｖに応じて、正負のドップ
ラシフトを起こす。この２つの正負のドップラシフトを
受けた散乱光を受光レンズ６、全反射ミラー４c を介し
て受光し、光検出器７で電気信号に変換された信号には
“数１”で示したドップラ周波数ｆd を含んでいるた
め、従来のレーザドップラ速度計同様、光検出器７で電
気信号に変換されたドップラ信号を信号処理部８に入力
し、ドップラ周波数ｆd を求め速度演算することによ
り、被測定物５の速度ｖを求めることが出来る。
【００２０】このときの照射レーザビームのビームウエ
スト高さｈは次式で表される。
スト高さｈは次式で表される。
【００２１】
【数４】
【００２２】ここで ｆ：シリンドリカルレンズの焦点距離 ｋ：回折限界で決まるｈに対する実際のレンズで可能な
ｈの比
ｈの比
【００２３】したがって、被測定物面上での楕円形状の
照射ビーム面積Ｓ2は“数５”で与えられる。
照射ビーム面積Ｓ2は“数５”で与えられる。
【００２４】
【数５】
【００２５】ここで従来方式の照射ビーム面積Ｓ1 とこ
の発明による照射ビーム面積Ｓ2 の比を求めると“数
６”となり、例えばｆ＝５００mm，λ＝６３２．８nm，
Ｄb ＝５mm，Ｋ＝１０とすればＳ2 ／Ｓ1 ＝０．０８と
なって、単位面積当りの照射レーザパワーが約１２．５
倍となり、ドップラ信号Ｓ／Ｎが大幅に改善される。
の発明による照射ビーム面積Ｓ2 の比を求めると“数
６”となり、例えばｆ＝５００mm，λ＝６３２．８nm，
Ｄb ＝５mm，Ｋ＝１０とすればＳ2 ／Ｓ1 ＝０．０８と
なって、単位面積当りの照射レーザパワーが約１２．５
倍となり、ドップラ信号Ｓ／Ｎが大幅に改善される。
【００２６】
【数６】
【００２７】実施例２．図２はシリンドリカルレンズ９
を外気遮断用として光学系の前面に配置しており、被測
定物５からの散乱光は、シリンドリカルレンズ９とこれ
に直交するシリンドリカルレンズ１０によって平行光に
変換された後、集光レンズ１１を介して光検出器に導か
れる。この図２によればビームスプリッタで２分割され
てからレーザビームが交差するまでの光路長が異なる光
学系においても、２つの照射レーザビームに対して１個
のシリンドリカルレンズで機能することが可能となり、
構成が簡略化され、光軸調整に要する時間も短縮でき
る。
を外気遮断用として光学系の前面に配置しており、被測
定物５からの散乱光は、シリンドリカルレンズ９とこれ
に直交するシリンドリカルレンズ１０によって平行光に
変換された後、集光レンズ１１を介して光検出器に導か
れる。この図２によればビームスプリッタで２分割され
てからレーザビームが交差するまでの光路長が異なる光
学系においても、２つの照射レーザビームに対して１個
のシリンドリカルレンズで機能することが可能となり、
構成が簡略化され、光軸調整に要する時間も短縮でき
る。
【００２８】実施例３．図３は音響光学変調器１２a ，
１２b を照射レーザビーム光路中に配し、２つの照射レ
ーザビームの各々の周波数を所要周波数だけシフトさ
せ、ドップラ周波数に一定のオフセット周波数を与える
光学で、この場合音響光学変調器１２a ，１２b の入射
レーザビーム径に制限が有るため、音響光学変調器通過
後のレーザビームを、シリンドリカルレンズ１３a ，１
３b ，１４a ，１４b でLm を決める方向のビーム幅だ
けを所要の倍率ｎだけ拡大した後に、シリンドリカルレ
ンズ９a ，９b で２つの照射レーザビームの交差位置で
高さ方向にビームウエストが形成される用に絞りこんで
おり、レーザビーム径に制限がある光学部品を使用した
場合でもLm が拡大できる。
１２b を照射レーザビーム光路中に配し、２つの照射レ
ーザビームの各々の周波数を所要周波数だけシフトさ
せ、ドップラ周波数に一定のオフセット周波数を与える
光学で、この場合音響光学変調器１２a ，１２b の入射
レーザビーム径に制限が有るため、音響光学変調器通過
後のレーザビームを、シリンドリカルレンズ１３a ，１
３b ，１４a ，１４b でLm を決める方向のビーム幅だ
けを所要の倍率ｎだけ拡大した後に、シリンドリカルレ
ンズ９a ，９b で２つの照射レーザビームの交差位置で
高さ方向にビームウエストが形成される用に絞りこんで
おり、レーザビーム径に制限がある光学部品を使用した
場合でもLm が拡大できる。
【００２９】なお、ビーム幅拡大光学系としてシリンド
リカルレンズの組み合せで説明したが、ビーム幅拡大後
にビームウエストが形成される用に絞りこんでいるの
で、一般のビーム拡大器で円状にビーム径を拡大しても
同等の効果が得られることは言うまでもない。
リカルレンズの組み合せで説明したが、ビーム幅拡大後
にビームウエストが形成される用に絞りこんでいるの
で、一般のビーム拡大器で円状にビーム径を拡大しても
同等の効果が得られることは言うまでもない。
【００３０】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果を有する。
れているので、以下に記載されるような効果を有する。
【００３１】シリンドリカルレンズを用いて被測定物に
照射レーザビームを楕円形状ビームとして照射すること
により、空間的な計測領域を広くしたまま、単位面積当
りの照射レーザパワーをアップさせて、ドップラ信号の
信号Ｓ／Ｎを改善することができる。
照射レーザビームを楕円形状ビームとして照射すること
により、空間的な計測領域を広くしたまま、単位面積当
りの照射レーザパワーをアップさせて、ドップラ信号の
信号Ｓ／Ｎを改善することができる。
【００３２】また、シリンドリカルレンズを外気遮断用
として光学系の前面に配置する構成によれば、構成が簡
略化され、光軸調整に要する時間も短縮できる。
として光学系の前面に配置する構成によれば、構成が簡
略化され、光軸調整に要する時間も短縮できる。
【００３３】また、レーザビーム径に制限を受ける光学
系を使用した場合でも、照射光学系の最終段でビーム径
を拡大したのち楕円形状にビームを絞り込むことで、空
間的な計測領域を広くして、かつドップラ信号の信号Ｓ
／Ｎを改善することができる。
系を使用した場合でも、照射光学系の最終段でビーム径
を拡大したのち楕円形状にビームを絞り込むことで、空
間的な計測領域を広くして、かつドップラ信号の信号Ｓ
／Ｎを改善することができる。
【図１】この発明の実施例１を示すレーザドップラ速度
計の構成図である。
計の構成図である。
【図２】この発明の実施例２を示すレーザドップラ速度
計の構成図である。
計の構成図である。
【図３】この発明の実施例３を示すレーザドップラ速度
計の構成図である。
計の構成図である。
【図４】従来のレーザドップラ速度計を示す構成図であ
る。
る。
１ レーザ発振器 ２ ビームコリメータ ３ ビームスプリッタ ４a 全反射ミラー ４b 全反射ミラー ４c 全反射ミラー ５ 被測定物 ６ 受光レンズ ７ 光検出器 ８ 信号処理部 ９ シリンドリカルレンズ １０ シリンドリカルレンズ １１ 集光レンズ １２ 音響光学変調器 １３ シリンドリカルレンズ １４ シリンドリカルレンズ
Claims (3)
- 【請求項１】 特定の波長を出力するレーザと、上記レ
ーザの出力レーザビームを２分割するビームスプリッタ
と、上記２分割したレーザビームの方向を移動物体上に
交差させて照射し得るための複数のミラーと、上記２つ
の照射レーザビームの各々について移動物体の移動速度
に比例するドップラシフトを起こした散乱光を所要の開
口径で受光するレンズ系と、上記レンズ系で受光したド
ップラ信号を含む散乱光を光電変換する光検出器とを備
えたレーザドップラ速度計において、交差する２つの照
射レーザビームが作る平面と垂直なレーザビーム成分だ
けを交差位置でビームウェストができるように絞り込む
ためのシリンドリカルレンズを設けたことを特徴とする
レーザドップラ速度計。 - 【請求項２】 上記シリンドリカルレンズを外気遮断用
として光学系の前面に配置し、散乱光の受光レンズ系に
上記シリンドリカルレンズと直交するシリンドリカルレ
ンズと集光レンズを設けたことを特徴とする請求項第１
項記載のレーザドップラ速度計。 - 【請求項３】 交差する２つの照射レーザビームが作る
平面と同一方向のレーザビーム成分だけを所要の倍率で
拡大する光学系を設けたことを特徴とする請求項第１項
記載のレーザドップラ速度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3270966A JP2671667B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | レーザドップラ速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3270966A JP2671667B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | レーザドップラ速度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05107346A true JPH05107346A (ja) | 1993-04-27 |
| JP2671667B2 JP2671667B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=17493510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3270966A Expired - Fee Related JP2671667B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | レーザドップラ速度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2671667B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010057961A (ko) * | 1999-12-23 | 2001-07-05 | 신현준 | 레이저 판속계 및 이것을 이용한 강판의 반사도 변화에따른 측정오차 제거방법 |
| CN114137251A (zh) * | 2021-11-16 | 2022-03-04 | 安徽大学 | 一种一体式多用途激光多普勒流速测量仪器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6191000B2 (ja) * | 2013-09-19 | 2017-09-06 | 独立行政法人国立高等専門学校機構 | レーザドップラー流速測定方法及び装置 |
-
1991
- 1991-10-18 JP JP3270966A patent/JP2671667B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010057961A (ko) * | 1999-12-23 | 2001-07-05 | 신현준 | 레이저 판속계 및 이것을 이용한 강판의 반사도 변화에따른 측정오차 제거방법 |
| CN114137251A (zh) * | 2021-11-16 | 2022-03-04 | 安徽大学 | 一种一体式多用途激光多普勒流速测量仪器 |
| CN114137251B (zh) * | 2021-11-16 | 2024-01-16 | 安徽大学 | 一种一体式多用途激光多普勒流速测量仪器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2671667B2 (ja) | 1997-10-29 |
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