JPH051070Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体製造装置に用いる熱処理装
置に関するものである。

従来の技術 反応炉で熱処理されたウエハは、排気中のスカ
ベンジヤー内に運ばれ、そこでゆつくりと冷却さ
れた後、クリーンルームに搬送される。

考案が解決しようとする課題 ところで、スカベンジヤー内には、熱処理中反
応炉から残留ガスが流れ込むが、反応炉で熱処理
され、スカベンジヤー内に運ばれた冷却中のウエ
ハに上記残留ガスが付着すると、ウエハに不要な
膜が形成され、設計通りの半導体装置とならな
い。

又、この残留ガスにより爆発事故が生じること
もある。

この考案は上記事情に鑑み、スカベンジヤー内
の残留ガスによりウエハが悪影響を受けたり、ま
たは、爆発事故が起きたりしないようにすること
を目的とする。

問題を解決するための手段 反応炉の開口部に設けられウエハが反応炉へ搬
入搬出する際通過するとともに、吸引ダクトに接
続された排気口を有するスカベンジヤーと、この
スカベンジヤー内に、上記反応炉から排出される
排出ガスを、着火燃焼させるバーンアウトヒータ
ーとを設けたこと、により前記目的を達成しよう
とするものである。

作 用 バーンアウトヒーターを着火すると、スカベン
ジヤー内の残留ガスが燃焼する。そのため、スカ
ベンジヤー内でウエハを冷却していても、ウエハ
に不要な膜が形成されないし、また爆発事故も発
生することもない。

また、スカベンジヤー内で発生する燃焼熱はス
カベンジヤーの排気口より吸引ンダクトで排出さ
れるのでスカベンジヤー内が高温状態になること
はない。

実施例 この考案の実施例を添付図面により説明する
と、スカベンジヤー１の一端には反応炉２が接続
され、その他端にはクリーンルーム３が接続され
ている。

このスカベンジヤー１はステンレスにより形成
され、その内部にはバーンアウトヒーター４が設
けられている。

５は可撓性のある光フアイバで、その先端５ａ
は、スカベンジヤー１内に臨んでおり、その後端
５ｂはクリーンルーム３に設けられている。な
お、６は、光フアイバの後端５ｂに設けたレン
ズ、７は吸引ダクトに接続する排気口である。

次にこの実施例の作動について説明する。

熱処理中バーンアウトヒーター４を作動させた
時にスカベンジヤー１内のガスに着火すると、該
ガスは燃焼を開始し、該ガスが燃焼することによ
り発生する燃焼熱は、スカベンジヤーの排気口よ
り吸引ダクトで排気され、スカベンジヤー内は燃
焼熱により不要な高温状態になることはない。ま
た、その時発生する炎８の光は、光フアイバ５を
通つてレンズ６に伝達され、該レンズ６をのぞい
ている作業者の目に入るので着火したことが確認
される。

又、前記と逆に着火していないときは光フアイ
バ５、レンズ６に光が通ることがない。

そのため、作業者は着火していないことを確認
することができる。

なお、作業者は、通常クリーンルーム内で作業
を行うので、光フアイバの後端５ｂ、レンズ６が
クリーンルーム内に位置することは着火確認作業
上極めて好都合である。

この考案の実施例は、上記に限定されるもので
はなく、例えば光フアイバとして、耐熱フアイバ
ー、又は石英フアイバーを用いてもよい。又、光
フアイバ５にコンピユータを連結し、後コンピユ
ータに反応音２のガス供給装置を接続し、着火し
ない時にはコンピユータの指示により、自動的に
ガス供給装置を停止させてもよい。

考案の効果 この考案は、スカベンジヤー内にバーンアウト
ヒーターを設けたので、スカベンジヤー内の残留
ガスを燃焼させることができる。

従つて、従来例と異なりスカベンジヤー内でウ
エハを冷却してもウエハに不要の膜が形成される
ことがなく、また、爆発事故も発生することがな
い。

また、スカベンジヤー内で発生する燃焼熱は、
スカベンジヤーの排気口より吸引ダクトで排出さ
れるので、スカベンジヤー内が、高温状態になる
ことを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す縦断面図の略
図である。 １……スカベンジヤー、４……バーンアウトヒ
ータ、５……光フアイバ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 反応炉の開口部に設けられ、ウエハが反応炉へ
   搬入搬出する際通過するとともに、吸引ダクトに
   接続された排気口を有するスカベンジヤーと、こ
   のスカベンジヤー内に上記反応炉から排出される
   排出ガスを着火燃焼させるバーンアウトヒーター
   とを設けたことを特徴とする熱処理装置。