JPH05102550A - カラー液晶成膜生成装置 - Google Patents
カラー液晶成膜生成装置Info
- Publication number
- JPH05102550A JPH05102550A JP3260213A JP26021391A JPH05102550A JP H05102550 A JPH05102550 A JP H05102550A JP 3260213 A JP3260213 A JP 3260213A JP 26021391 A JP26021391 A JP 26021391A JP H05102550 A JPH05102550 A JP H05102550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film formation
- film forming
- chamber
- liquid crystal
- color liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】カラー液晶成膜生成装置において、真に必要な
時点に定期洗浄を実施する。 【構成】カラー液晶成膜生成装置の成膜室１および成膜
室２に各々ゴミ検出機８、ゴミ検出機９を単独に付属さ
せ、一定の期間毎に成膜室１、成膜室２の内部に浮遊す
るゴミのレベルを数値的に確認して、あらかじめ定めて
おいた管理限界に達した時点で成膜室１、成膜室２の定
期洗浄を実施する。
時点に定期洗浄を実施する。 【構成】カラー液晶成膜生成装置の成膜室１および成膜
室２に各々ゴミ検出機８、ゴミ検出機９を単独に付属さ
せ、一定の期間毎に成膜室１、成膜室２の内部に浮遊す
るゴミのレベルを数値的に確認して、あらかじめ定めて
おいた管理限界に達した時点で成膜室１、成膜室２の定
期洗浄を実施する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶成膜生成装
置に関する。
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、カラー液晶製造工程における成
膜生成装置においては、カラー液晶基板（以下、単に基
板と称す）上に形成されるべき成膜が基板以外の箇所、
具体的には成膜室の内壁、成膜生成用ガス吸出板・電極
板の表面、さらに基板自動搬送機構等、成膜生成用ガス
が接触するあらゆる箇所にも形成される。このためこれ
らを定期的に洗浄する必要がある。
膜生成装置においては、カラー液晶基板（以下、単に基
板と称す）上に形成されるべき成膜が基板以外の箇所、
具体的には成膜室の内壁、成膜生成用ガス吸出板・電極
板の表面、さらに基板自動搬送機構等、成膜生成用ガス
が接触するあらゆる箇所にも形成される。このためこれ
らを定期的に洗浄する必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の定期的洗浄
には、厳密に合理的な洗浄のタイミングを設定し得ない
という問題点があった。すなわち、成膜工程はその原理
的理由から真空中で行なわれるので、通常成膜室は一定
の真空度に保持され、ロードロック室と称される、いわ
ゆる予備室を経て基板が大気の状態にあるローダ側（搬
入側）から成膜室に運び込まれ、成膜形成後の基板はア
ンローダ側（搬出側）のロードロック室を経て大気の状
態にあるアンローダ側に運び出される。
には、厳密に合理的な洗浄のタイミングを設定し得ない
という問題点があった。すなわち、成膜工程はその原理
的理由から真空中で行なわれるので、通常成膜室は一定
の真空度に保持され、ロードロック室と称される、いわ
ゆる予備室を経て基板が大気の状態にあるローダ側（搬
入側）から成膜室に運び込まれ、成膜形成後の基板はア
ンローダ側（搬出側）のロードロック室を経て大気の状
態にあるアンローダ側に運び出される。
【０００４】定期洗浄を行なうためには、この一定の真
空度が保持されている真空を大気に解放せねばならず、
定期洗浄を終了した後に再度必要な真空度にするための
時間・工数を最少にして装置の稼働時間を最大のものと
するためには単に一定の期間を設定するのではなく、真
に必要な時点に定期洗浄を実施する必要がある。
空度が保持されている真空を大気に解放せねばならず、
定期洗浄を終了した後に再度必要な真空度にするための
時間・工数を最少にして装置の稼働時間を最大のものと
するためには単に一定の期間を設定するのではなく、真
に必要な時点に定期洗浄を実施する必要がある。
【０００５】この成膜室内各構成要素表面に形成された
生成膜は成膜工程を繰り返すに従って次第に厚く積層さ
れ、その厚さが一定以上になると部分的に微細な粒子形
状に剥離して新規に成膜が形成されるべき基板上に付着
することになる。この付着物はカラー液晶の性能そのも
のに直接影響し品質低下をもたらすことになる。
生成膜は成膜工程を繰り返すに従って次第に厚く積層さ
れ、その厚さが一定以上になると部分的に微細な粒子形
状に剥離して新規に成膜が形成されるべき基板上に付着
することになる。この付着物はカラー液晶の性能そのも
のに直接影響し品質低下をもたらすことになる。
【０００６】従来、この影響を少なくするために成膜形
成を行なった基板が一定枚数になった時点、あるいは一
定経過時間を設定して成膜室内各構成要素の洗浄を行な
うことが一般的であった。
成を行なった基板が一定枚数になった時点、あるいは一
定経過時間を設定して成膜室内各構成要素の洗浄を行な
うことが一般的であった。
【０００７】従来行なわれていた基板の枚数あるいはそ
れを基とする経過時間を基準として定期洗浄の時期を設
定する方式は、実際には真に定期洗浄を必要とする時期
に合致しない場合が多い。すなわち、成膜室内各構成要
素表面に積層した生成膜が剥離して、新規に成膜が形成
されるべき基板上に付着する可能性が大きくなる以前に
定期洗浄の時期を設定すべきであるが、未だ生成膜が剥
離する恐れもなく、その必要がない時期に定期洗浄を実
施することはいたずらに装置の稼働率を低下させること
になる。
れを基とする経過時間を基準として定期洗浄の時期を設
定する方式は、実際には真に定期洗浄を必要とする時期
に合致しない場合が多い。すなわち、成膜室内各構成要
素表面に積層した生成膜が剥離して、新規に成膜が形成
されるべき基板上に付着する可能性が大きくなる以前に
定期洗浄の時期を設定すべきであるが、未だ生成膜が剥
離する恐れもなく、その必要がない時期に定期洗浄を実
施することはいたずらに装置の稼働率を低下させること
になる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、各成膜
室にゴミ検査機能を備え、成膜室内のゴミレベルを測定
してその変化の推移を観察し、真に必要な時期に定期洗
浄を実施するカラー液晶成膜生成装置が得られる。
室にゴミ検査機能を備え、成膜室内のゴミレベルを測定
してその変化の推移を観察し、真に必要な時期に定期洗
浄を実施するカラー液晶成膜生成装置が得られる。
【０００９】
【実施例】以下に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の第１の実施例のカラー液晶成膜生成
装置の構成図である。成膜室１と成膜室２の前後にロー
ダ側ロードロック室３とアンローダ側ロードロック室４
を備え、各々真空状態にある成膜室１，成膜室２と大気
状態にあるローダ５，アンローダ６との間を基板７が運
搬されることを可能としている。ここでは２つの成膜室
を例としているが、単一あるいは３室以上の場合も同様
である。図１では、簡略化のため基板は１枚のみ図示し
てあるが、実際にはローダ５からアンローダ６までの各
ポジションにあることが一般的である。
る。図１は本発明の第１の実施例のカラー液晶成膜生成
装置の構成図である。成膜室１と成膜室２の前後にロー
ダ側ロードロック室３とアンローダ側ロードロック室４
を備え、各々真空状態にある成膜室１，成膜室２と大気
状態にあるローダ５，アンローダ６との間を基板７が運
搬されることを可能としている。ここでは２つの成膜室
を例としているが、単一あるいは３室以上の場合も同様
である。図１では、簡略化のため基板は１枚のみ図示し
てあるが、実際にはローダ５からアンローダ６までの各
ポジションにあることが一般的である。
【００１０】すなわち、基板７は搬送部によってローダ
５からローダ側ロードロック室３に搬送され、その室内
の真空度が成膜室１と同程度に到達した時点で基板７は
成膜室１に搬送される。基板７は同様に成膜室２，アン
ローダ側ロードロック室４，アンローダ６へと順次搬送
される。
５からローダ側ロードロック室３に搬送され、その室内
の真空度が成膜室１と同程度に到達した時点で基板７は
成膜室１に搬送される。基板７は同様に成膜室２，アン
ローダ側ロードロック室４，アンローダ６へと順次搬送
される。
【００１１】この一般的な構成であるカラー液晶成膜生
成装置の成膜室１および成膜室２に各々ゴミ検出機８，
ゴミ検出機９を単独に付属させることにより、一定の期
間毎に成膜室１，成膜室２の内部に浮遊するゴミのレベ
ルを数値的に確認し、あらかじめ定めておいた管理限界
に達した時点で成膜室１，成膜室２の定期洗浄を実施す
ることが可能となる。ゴミ検出機により測定されるゴミ
は大半が成膜室内各構成要素表面に積層した生成膜が剥
離したものであるが、一部は例えば搬送部から発生した
金属系のゴミでもある。後者を基板７の表面に付着する
と、前者と同様カラー液晶の性能に直接影響するもので
あり、ゴミ検出機によって測定されるべき対象物であ
る。ゴミ検出機によって測定されるゴミレベルと、管理
するべき基板上のゴミレベルとの相関関係は事前に確認
しておくものとする。
成装置の成膜室１および成膜室２に各々ゴミ検出機８，
ゴミ検出機９を単独に付属させることにより、一定の期
間毎に成膜室１，成膜室２の内部に浮遊するゴミのレベ
ルを数値的に確認し、あらかじめ定めておいた管理限界
に達した時点で成膜室１，成膜室２の定期洗浄を実施す
ることが可能となる。ゴミ検出機により測定されるゴミ
は大半が成膜室内各構成要素表面に積層した生成膜が剥
離したものであるが、一部は例えば搬送部から発生した
金属系のゴミでもある。後者を基板７の表面に付着する
と、前者と同様カラー液晶の性能に直接影響するもので
あり、ゴミ検出機によって測定されるべき対象物であ
る。ゴミ検出機によって測定されるゴミレベルと、管理
するべき基板上のゴミレベルとの相関関係は事前に確認
しておくものとする。
【００１２】図２は本発明の第２の実施例を示す図であ
り、複数の成膜室を単一のゴミ検出機１０により各々の
ゴミレベルを測定するものである。これはゴミ検出機が
保有しているチャンネルの切換により可能である。図１
および図２において、成膜室内の具体的ゴミ採取箇所に
ついては、その構造により妥当な箇所、すなわち成膜室
内各構成要素の表面からある距離離れていてしかも搬送
されてくる基材に接触しない部分、さらにゴミが比較的
浮遊しがちな箇所とすれば、より的確にその測定が可能
となる。
り、複数の成膜室を単一のゴミ検出機１０により各々の
ゴミレベルを測定するものである。これはゴミ検出機が
保有しているチャンネルの切換により可能である。図１
および図２において、成膜室内の具体的ゴミ採取箇所に
ついては、その構造により妥当な箇所、すなわち成膜室
内各構成要素の表面からある距離離れていてしかも搬送
されてくる基材に接触しない部分、さらにゴミが比較的
浮遊しがちな箇所とすれば、より的確にその測定が可能
となる。
【００１３】図３はゴミレベル管理に関する提案例であ
る。このグラフの縦軸にはゴミの数、横軸には時間の経
過を示してある。ゴミの数については、その粒子の大き
さにより２〜３段階に分類して管理すべき段階のゴミに
注目しても良いし、各段階におけるゴミの数を合計した
ものを対象としても良い。また時間軸については、基板
毎・１ロット毎・数ロット毎あるいは毎日一定の時間毎
など任意に設定することが可能である。図３の如き管理
図により、ゴミの数がＸ点になったときのＹ時点で定期
洗浄を実施すれば良い。
る。このグラフの縦軸にはゴミの数、横軸には時間の経
過を示してある。ゴミの数については、その粒子の大き
さにより２〜３段階に分類して管理すべき段階のゴミに
注目しても良いし、各段階におけるゴミの数を合計した
ものを対象としても良い。また時間軸については、基板
毎・１ロット毎・数ロット毎あるいは毎日一定の時間毎
など任意に設定することが可能である。図３の如き管理
図により、ゴミの数がＸ点になったときのＹ時点で定期
洗浄を実施すれば良い。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば成
膜室にゴミ検出機能を有することにより真に必要な時点
に定期洗浄を実施することが可能となる。これにより、
カラー液晶の品質を保つことが確保され、また装置の稼
働時間を最大のものとすることが可能となることによ
り、生産数も向上することができ、さらには今後の同様
機能装置導入台数削減が期待し得ることによる設備費削
減、フロアスペース、用力費等多面的な経済的効果も大
なるものとすることが可能となる。
膜室にゴミ検出機能を有することにより真に必要な時点
に定期洗浄を実施することが可能となる。これにより、
カラー液晶の品質を保つことが確保され、また装置の稼
働時間を最大のものとすることが可能となることによ
り、生産数も向上することができ、さらには今後の同様
機能装置導入台数削減が期待し得ることによる設備費削
減、フロアスペース、用力費等多面的な経済的効果も大
なるものとすることが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施例の構成図である。
【図２】本発明の第２の実施例の構成図である。
【図３】ゴミレベル管理に関する提案例である。
１，２ 成膜室 ３ ローダ側ロードロック室 ４ アンローダ側ロードロック室 ５ ローダ ６ アンローダ ７ カラー液晶基板 ８，９，１０ ゴミ検出機
Claims (1)
- 【請求項１】 各成膜室にゴミ検査機能を備えているこ
とを特徴とするカラー液晶成膜生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3260213A JPH05102550A (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | カラー液晶成膜生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3260213A JPH05102550A (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | カラー液晶成膜生成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05102550A true JPH05102550A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17344921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3260213A Pending JPH05102550A (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | カラー液晶成膜生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05102550A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9766411B2 (en) | 2015-11-20 | 2017-09-19 | Corning Optical Communications LLC | Optical interface devices and methods employing optical fibers and a support member having a bend section |
| US9784930B2 (en) | 2015-09-22 | 2017-10-10 | Corning Optical Communications LLC | Optical interface device having a curved waveguide using laser writing and methods of forming |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61219028A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-29 | Ulvac Corp | 液晶配向膜の形成方法 |
| JPH0250422A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Nec Kyushu Ltd | 半導体製造装置 |
-
1991
- 1991-10-08 JP JP3260213A patent/JPH05102550A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61219028A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-29 | Ulvac Corp | 液晶配向膜の形成方法 |
| JPH0250422A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Nec Kyushu Ltd | 半導体製造装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9784930B2 (en) | 2015-09-22 | 2017-10-10 | Corning Optical Communications LLC | Optical interface device having a curved waveguide using laser writing and methods of forming |
| US9766411B2 (en) | 2015-11-20 | 2017-09-19 | Corning Optical Communications LLC | Optical interface devices and methods employing optical fibers and a support member having a bend section |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980407 |