JPH05100096A - Ｘ線ミラー支持装置 - Google Patents
Ｘ線ミラー支持装置Info
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- JPH05100096A JPH05100096A JP3289283A JP28928391A JPH05100096A JP H05100096 A JPH05100096 A JP H05100096A JP 3289283 A JP3289283 A JP 3289283A JP 28928391 A JP28928391 A JP 28928391A JP H05100096 A JPH05100096 A JP H05100096A
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- mirror holder
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- G—PHYSICS
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/702—Reflective illumination, i.e. reflective optical elements other than folding mirrors, e.g. extreme ultraviolet [EUV] illumination systems
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＳＲ−Ｘ線ミラーユニットのミラーの交換を
容易にするとともに交換後の再調整を簡単にする。 【構成】 ミラー１は反射面を下向きにした状態で、ミ
ラー保持器２の板ばね１６によって支持される。ミラー
保持器２は、ミラーユニットの真空チャンバー６内に配
置された支持板３の所定部分に係合可能な突当て部材１
７、およびミラー１を冷却する冷媒流路１３を備えてい
る。ミラー１を保持するミラー保持器２を真空チャンバ
ーに搬入して突当て部材１７による位置決めを行い、孔
１８に係合するボルトによって支持板に固着する。損傷
したミラー１は、孔１８からボルトを引き抜いてミラー
保持器２ごと支持板から取りはずし、真空チャンバーの
外へ搬出する。
容易にするとともに交換後の再調整を簡単にする。 【構成】 ミラー１は反射面を下向きにした状態で、ミ
ラー保持器２の板ばね１６によって支持される。ミラー
保持器２は、ミラーユニットの真空チャンバー６内に配
置された支持板３の所定部分に係合可能な突当て部材１
７、およびミラー１を冷却する冷媒流路１３を備えてい
る。ミラー１を保持するミラー保持器２を真空チャンバ
ーに搬入して突当て部材１７による位置決めを行い、孔
１８に係合するボルトによって支持板に固着する。損傷
したミラー１は、孔１８からボルトを引き抜いてミラー
保持器２ごと支持板から取りはずし、真空チャンバーの
外へ搬出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン放射Ｘ
線（ＳＲ−Ｘ線）露光装置に使用されるミラーユニット
のＸ線ミラー支持装置に関し、特に、着脱自在なミラー
保持器を使用することでＸ線ミラーの交換を簡易化した
Ｘ線ミラー支持装置に関するものである。
線（ＳＲ−Ｘ線）露光装置に使用されるミラーユニット
のＸ線ミラー支持装置に関し、特に、着脱自在なミラー
保持器を使用することでＸ線ミラーの交換を簡易化した
Ｘ線ミラー支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】シンクロトロン放射Ｘ線（ＳＲ−Ｘ線）
露光装置は、シートビーム状のＳＲ−Ｘ線を、ＳＯＲリ
ングの軌道面に対する垂直方向に発散させるＳＲ−Ｘ線
ミラーユニットの改良によって実用化が可能となり、最
小線幅１／４μｍの微細パターンをの焼付けを可能とす
る露光装置として近年とくに注目をあびつつある。
露光装置は、シートビーム状のＳＲ−Ｘ線を、ＳＯＲリ
ングの軌道面に対する垂直方向に発散させるＳＲ−Ｘ線
ミラーユニットの改良によって実用化が可能となり、最
小線幅１／４μｍの微細パターンをの焼付けを可能とす
る露光装置として近年とくに注目をあびつつある。
【０００３】上記ＳＲ−Ｘ線ミラーユニットは、ＳＲ−
Ｘ線を拡大する反射面をもつＸ線ミラー（以下、「ミラ
ー」という。）と、該ミラーの反射面によって拡大され
るＳＲ−Ｘ線およびミラーを包囲する真空チャンバーを
備え、ミラーを調整自在に支持する支持機構は、真空チ
ャンバーの外に配置されており、ＳＲ−Ｘ線とミラーの
反射面との相対位置および各軸のまわりの回動角度は、
上記支持機構によって高精度で調整される。
Ｘ線を拡大する反射面をもつＸ線ミラー（以下、「ミラ
ー」という。）と、該ミラーの反射面によって拡大され
るＳＲ−Ｘ線およびミラーを包囲する真空チャンバーを
備え、ミラーを調整自在に支持する支持機構は、真空チ
ャンバーの外に配置されており、ＳＲ−Ｘ線とミラーの
反射面との相対位置および各軸のまわりの回動角度は、
上記支持機構によって高精度で調整される。
【０００４】従ってＸ線の露光によってミラーの損傷が
進んでミラーの交換を行う場合は、ミラーの取扱いが容
易であること、およびミラー交換後のミラー支持機構の
再調整が簡単であることが要求される。
進んでミラーの交換を行う場合は、ミラーの取扱いが容
易であること、およびミラー交換後のミラー支持機構の
再調整が簡単であることが要求される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＳＲ−
Ｘ線ミラー（以下、「ミラー」という。）の反射面は極
めて高精度に加工されており傷つきやすく、従って取扱
いが難しいため、ミラーの交換に際して必要である上記
の要求を満たすことは困難であった。
Ｘ線ミラー（以下、「ミラー」という。）の反射面は極
めて高精度に加工されており傷つきやすく、従って取扱
いが難しいため、ミラーの交換に際して必要である上記
の要求を満たすことは困難であった。
【０００６】本発明は上記従来の技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、ミラーの交換に際して、ミ
ラーを着脱自在に保持するミラー保持器ごと交換するこ
とによって、交換作業を容易にするとともに、ミラー保
持器に設けられた位置決め手段によって、交換後のミラ
ーの位置決めを簡易化したＸ線ミラー支持装置を提供す
ることを目的とするものである。
鑑みてなされたものであり、ミラーの交換に際して、ミ
ラーを着脱自在に保持するミラー保持器ごと交換するこ
とによって、交換作業を容易にするとともに、ミラー保
持器に設けられた位置決め手段によって、交換後のミラ
ーの位置決めを簡易化したＸ線ミラー支持装置を提供す
ることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明のＸ線ミラー支持装置は、ミラーを着脱自在
に保持するミラー保持器と、前記ミラー保持器を真空チ
ャンバー内において着脱自在に支持するミラー支持手段
とからなり、前記ミラー保持器が、前記ミラー支持手段
の突当て面に係合する位置決め手段を備えていることを
特徴とする。
めに本発明のＸ線ミラー支持装置は、ミラーを着脱自在
に保持するミラー保持器と、前記ミラー保持器を真空チ
ャンバー内において着脱自在に支持するミラー支持手段
とからなり、前記ミラー保持器が、前記ミラー支持手段
の突当て面に係合する位置決め手段を備えていることを
特徴とする。
【０００８】ミラー保持器はミラー支持手段に螺着する
のが望ましい。また位置決め手段が突当て部材であると
よい。さらに、ミラー保持器が、ミラー冷却用配管を接
続可能な開口および前記開口に連通する冷媒流路を備え
ているとよい。
のが望ましい。また位置決め手段が突当て部材であると
よい。さらに、ミラー保持器が、ミラー冷却用配管を接
続可能な開口および前記開口に連通する冷媒流路を備え
ているとよい。
【０００９】
【作用】ミラー保持器にミラーを保持させたまま、真空
チャンバー内において、ミラー保持器をミラー支持手段
から分離して真空チャンバーの外へ搬出する。ミラー保
持器に対するミラーの着脱は真空チャンバーの外で行わ
れる。新しいミラーを取付けたミラー保持器は真空チャ
ンバー内に搬入され、ミラー支持手段に着脱自在に固着
される。このとき、ミラー保持器に設けられた位置決め
手段によって、ミラー保持器とミラー支持手段との間の
位置決めは容易に行われる。
チャンバー内において、ミラー保持器をミラー支持手段
から分離して真空チャンバーの外へ搬出する。ミラー保
持器に対するミラーの着脱は真空チャンバーの外で行わ
れる。新しいミラーを取付けたミラー保持器は真空チャ
ンバー内に搬入され、ミラー支持手段に着脱自在に固着
される。このとき、ミラー保持器に設けられた位置決め
手段によって、ミラー保持器とミラー支持手段との間の
位置決めは容易に行われる。
【００１０】また、ミラー保持器が冷媒流路を備えてい
る場合には、ミラー保持器をミラー支持手段に固着した
のち、ミラー支持手段に設けられた貫通孔からミラー冷
却用配管を挿入して、その先端をミラー保持器の冷媒流
路の開口に係合させる。ミラー支持手段の貫通孔に設け
られた内部ベローズを減圧することによって、真空チャ
ンバーの真空雰囲気維持に対する信頼性を向上させる。
る場合には、ミラー保持器をミラー支持手段に固着した
のち、ミラー支持手段に設けられた貫通孔からミラー冷
却用配管を挿入して、その先端をミラー保持器の冷媒流
路の開口に係合させる。ミラー支持手段の貫通孔に設け
られた内部ベローズを減圧することによって、真空チャ
ンバーの真空雰囲気維持に対する信頼性を向上させる。
【００１１】さらに、ミラー保持器に新しいミラーの反
射面を保護するカバーを取付けて、真空チャンバー内へ
の搬入、およびミラー支持手段への取付け作業中のミラ
ーの損傷を防ぐ。
射面を保護するカバーを取付けて、真空チャンバー内へ
の搬入、およびミラー支持手段への取付け作業中のミラ
ーの損傷を防ぐ。
【００１２】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１３】図１は本発明の実施例を用いたミラーユニ
ットの主要部を示す部分斜視図であって、ミラー１はミ
ラー保持器２に着脱自在に保持され、ミラー保持器２は
ミラー支持手段である支持板３に複数のボルト（図示せ
ず）によって着脱自在に固着されている。支持板３は、
一対の支持棒４の下端に一体的に固着される。各支持棒
４は中空管によって作られており、ミラー冷却用配管５
は各支持棒４の上端からその内部に挿入され、支持板３
の貫通孔３ａ（図３に示す）を通って、ミラー保持器２
に設けられた冷媒流路（後述する）に連通する。
ットの主要部を示す部分斜視図であって、ミラー１はミ
ラー保持器２に着脱自在に保持され、ミラー保持器２は
ミラー支持手段である支持板３に複数のボルト（図示せ
ず）によって着脱自在に固着されている。支持板３は、
一対の支持棒４の下端に一体的に固着される。各支持棒
４は中空管によって作られており、ミラー冷却用配管５
は各支持棒４の上端からその内部に挿入され、支持板３
の貫通孔３ａ（図３に示す）を通って、ミラー保持器２
に設けられた冷媒流路（後述する）に連通する。
【００１４】ミラー保持器２の下面は高精度に平坦化処
理され、かつミラー１の上面との間にインジウム箔を介
在させることで熱伝達を良好にしてミラー１の冷却効果
を向上する。ミラー保持器２および支持板３は真空チャ
ンバー６の内部に配置され、支持棒４は、真空チャンバ
ー６の上壁に設けられた開口を通って真空チャンバー６
の外に配置された支持機構に連結される。該支持機構
は、チルト板７に一体であるガイド８に沿って上下方向
に往復移動を行うミラー支持体９、および該ミラー支持
体９をガイド８に沿って駆動する駆動モーター１０から
なり、チルト板７は、３個の調整ねじ１１によって基準
フレーム１２に螺着され、各調整ねじ１１を回転するこ
とによって、基準フレーム１２に対する傾斜方向および
傾斜角度を調整される。
理され、かつミラー１の上面との間にインジウム箔を介
在させることで熱伝達を良好にしてミラー１の冷却効果
を向上する。ミラー保持器２および支持板３は真空チャ
ンバー６の内部に配置され、支持棒４は、真空チャンバ
ー６の上壁に設けられた開口を通って真空チャンバー６
の外に配置された支持機構に連結される。該支持機構
は、チルト板７に一体であるガイド８に沿って上下方向
に往復移動を行うミラー支持体９、および該ミラー支持
体９をガイド８に沿って駆動する駆動モーター１０から
なり、チルト板７は、３個の調整ねじ１１によって基準
フレーム１２に螺着され、各調整ねじ１１を回転するこ
とによって、基準フレーム１２に対する傾斜方向および
傾斜角度を調整される。
【００１５】ミラー保持器２は、図２の（ａ）に示すよ
うに、内部に冷媒流路１３を備えた板状の本体１４、本
体１４の下面に固着された一対の板ばね支持体１５、お
よび各板ばね支持体１５の下端に固着された複数の板ば
ね１６からなり、ミラー１はその反射面を下向きにした
状態で、板ばね１６の弾発力によって本体１４に対して
押圧された状態で支持される。
うに、内部に冷媒流路１３を備えた板状の本体１４、本
体１４の下面に固着された一対の板ばね支持体１５、お
よび各板ばね支持体１５の下端に固着された複数の板ば
ね１６からなり、ミラー１はその反射面を下向きにした
状態で、板ばね１６の弾発力によって本体１４に対して
押圧された状態で支持される。
【００１６】ミラー１を本体１４に支持するとき、例え
ば二つの突当て部材１７を結ぶ直線と、ミラー１のωｙ
方向、（つまり、シリンドルカル面の子線方向）とが、
ガイド８（図１）の直線案内の方向から見たときに、平
行となる様に調整し、支持する。
ば二つの突当て部材１７を結ぶ直線と、ミラー１のωｙ
方向、（つまり、シリンドルカル面の子線方向）とが、
ガイド８（図１）の直線案内の方向から見たときに、平
行となる様に調整し、支持する。
【００１７】ミラー保持器２を支持板３に設置すると
き、支持板３に設けられた突当て面に、ミラー保持器２
の突当て部材１７を突き当てることにより位置決めを行
う。このとき、支持板３に設けられた突き当て面の方向
とＳＲ−Ｘ線の方向とを一致する様にあらかじめ調整し
てある。よって、突き当てることにより、ミラーのωｙ
方向をＳＲ−Ｘ線方向に合わせることができる。このよ
うにして位置決めを行ったうえで、前述したように、ボ
ルトを孔１８に挿入して、ミラー保持器２と支持板３と
を固着する。なお、ミラー１を保持するミラー保持器２
を搬送する間、および上述のようにミラー保持器２と支
持板３とを固着する操作は、図２の（ｂ）に示すように
ミラー１を保護するためのカバー１９を、ネジ２０によ
ってミラー保持器２に取付けて、ミラーの反射面に傷が
つくのを防止する。
き、支持板３に設けられた突当て面に、ミラー保持器２
の突当て部材１７を突き当てることにより位置決めを行
う。このとき、支持板３に設けられた突き当て面の方向
とＳＲ−Ｘ線の方向とを一致する様にあらかじめ調整し
てある。よって、突き当てることにより、ミラーのωｙ
方向をＳＲ−Ｘ線方向に合わせることができる。このよ
うにして位置決めを行ったうえで、前述したように、ボ
ルトを孔１８に挿入して、ミラー保持器２と支持板３と
を固着する。なお、ミラー１を保持するミラー保持器２
を搬送する間、および上述のようにミラー保持器２と支
持板３とを固着する操作は、図２の（ｂ）に示すように
ミラー１を保護するためのカバー１９を、ネジ２０によ
ってミラー保持器２に取付けて、ミラーの反射面に傷が
つくのを防止する。
【００１８】ミラー保持器２の本体１４は、冷媒流路１
３に連通する供給口２１および排出口２２を備えてお
り、ミラー保持器２を支持板３に固着した後に、ミラー
冷却用配管５の端部を供給口２１および排出口２２に挿
入する。すなわち、これら供給口２１および排出口２２
は、ミラー冷却用配管５を接続可能な開口を構成してい
る。
３に連通する供給口２１および排出口２２を備えてお
り、ミラー保持器２を支持板３に固着した後に、ミラー
冷却用配管５の端部を供給口２１および排出口２２に挿
入する。すなわち、これら供給口２１および排出口２２
は、ミラー冷却用配管５を接続可能な開口を構成してい
る。
【００１９】次に、支持板３および支持棒４について詳
しく説明する。
しく説明する。
【００２０】図３に示すように、各支持棒４の下端は結
合部材２３の一端に固着され、結合部材２３の他端は支
持板３の上面に一体的に固着される。結合部材２３と真
空チャンバー６の開口との間にはベローズ２４が設けら
れ、真空チャンバー６の真空雰囲気（例えば１０-7〜１
０-10 ｔｏｒｒ程度）を損なうことなく、支持棒４を上
下動および傾斜させることができる。ミラー冷却用配管
５の拡径下端部はＯリング２５を保持しており、Ｏリン
グ２５は、ミラー保持器２の供給口２１および排出口２
２にそれぞれ挿入される。
合部材２３の一端に固着され、結合部材２３の他端は支
持板３の上面に一体的に固着される。結合部材２３と真
空チャンバー６の開口との間にはベローズ２４が設けら
れ、真空チャンバー６の真空雰囲気（例えば１０-7〜１
０-10 ｔｏｒｒ程度）を損なうことなく、支持棒４を上
下動および傾斜させることができる。ミラー冷却用配管
５の拡径下端部はＯリング２５を保持しており、Ｏリン
グ２５は、ミラー保持器２の供給口２１および排出口２
２にそれぞれ挿入される。
【００２１】結合部材２３はその支持棒側内面に突出す
る内部フランジ２６を備え、内部フランジ２６は、内部
ベローズ２７の一端に連結され、内部ベローズ２７はそ
の他端にベローズフランジ２８をもっている。ベローズ
フランジ２８は、ボルト２９によって、保持器の供給口
２１および排出口２２の周囲にそれぞれ固着された保持
器フランジ３０に連結される。内部ベローズ２７の内部
空間および支持棒４の内部空間は、排気口３１に接続さ
れた真空配管（図示せず）によって、真空チャンバー６
に比較して低真空に減圧されており、真空チャンバー６
の真空雰囲気維持に対する信頼性を向上させる。すなわ
ち、内部ベローズ２７による真空シールに加えて、支持
棒４の内部を真空にすることにより、より一層確実なシ
ールを行うことができる。さらにＯリング２５から真空
チャンバー６内へ冷却水が漏出するのを防ぐ効果もあ
る。
る内部フランジ２６を備え、内部フランジ２６は、内部
ベローズ２７の一端に連結され、内部ベローズ２７はそ
の他端にベローズフランジ２８をもっている。ベローズ
フランジ２８は、ボルト２９によって、保持器の供給口
２１および排出口２２の周囲にそれぞれ固着された保持
器フランジ３０に連結される。内部ベローズ２７の内部
空間および支持棒４の内部空間は、排気口３１に接続さ
れた真空配管（図示せず）によって、真空チャンバー６
に比較して低真空に減圧されており、真空チャンバー６
の真空雰囲気維持に対する信頼性を向上させる。すなわ
ち、内部ベローズ２７による真空シールに加えて、支持
棒４の内部を真空にすることにより、より一層確実なシ
ールを行うことができる。さらにＯリング２５から真空
チャンバー６内へ冷却水が漏出するのを防ぐ効果もあ
る。
【００２２】支持板３に対するミラー保持器２の取付け
および取りはずしは、次のように行われる。
および取りはずしは、次のように行われる。
【００２３】カバー１９によってミラー１の下面を保護
したミラー保持器２を支持板３の下方へ搬入し、ボルト
２９によって支持板のベローズフランジ２８を保持器フ
ランジ３０に連結する（図４）。
したミラー保持器２を支持板３の下方へ搬入し、ボルト
２９によって支持板のベローズフランジ２８を保持器フ
ランジ３０に連結する（図４）。
【００２４】しかる後にミラー保持器２を支持板３に向
かって上昇させ、突当て部材１７を支持板３の前記突当
て面に係合させて位置決めを行い、孔１８に挿入された
ボルトによってミラー保持器２と支持板３を固着し、次
いでカバー１９を取りはずす。
かって上昇させ、突当て部材１７を支持板３の前記突当
て面に係合させて位置決めを行い、孔１８に挿入された
ボルトによってミラー保持器２と支持板３を固着し、次
いでカバー１９を取りはずす。
【００２５】ミラー冷却用配管５は、支持棒４の上端か
らその内部へ挿入され、先端部のＯ−リング２５をミラ
ー保持器２の供給口２１および排出口２２に係合させる
ことで、ミラー冷却用配管５とミラー保持器２の冷媒流
路１３との接続が行われる（図３の（ａ））。
らその内部へ挿入され、先端部のＯ−リング２５をミラ
ー保持器２の供給口２１および排出口２２に係合させる
ことで、ミラー冷却用配管５とミラー保持器２の冷媒流
路１３との接続が行われる（図３の（ａ））。
【００２６】ミラー保持器２の取りはずしに際しては、
まずミラー保持器２を支持板３に螺着しているボルトを
ゆるめてミラー保持器２を下降させた後、ボルト２９を
ゆるめてベローズフランジ２８を保持器フランジ３０か
ら分離する。
まずミラー保持器２を支持板３に螺着しているボルトを
ゆるめてミラー保持器２を下降させた後、ボルト２９を
ゆるめてベローズフランジ２８を保持器フランジ３０か
ら分離する。
【００２７】このようにミラーの交換は、ミラー１を保
持するミラー保持器２を支持板３に対してボルトによっ
て着脱させることで行われるため、交換作業は容易であ
り、加えて支持体３に対するミラーの位置決めが、ミラ
ー保持器２の突当て部材１７によって行われるため、ミ
ラー交換後の姿勢調整も、新たなミラーと保持器の間の
加工誤差に基づく微調整を必要とするのみであり、この
微調整はチルト板７の傾斜を調整ねじ１１によって再調
整するだけでよい。またミラー保持器２の冷媒流路１３
と支持棒４内に挿入された冷却用配管５との接続も、冷
却用配管５のＯ−リング２５をミラー保持器２の供給口
２１および排出口２２にそれぞれ圧入するのみで簡単に
行うことができる。
持するミラー保持器２を支持板３に対してボルトによっ
て着脱させることで行われるため、交換作業は容易であ
り、加えて支持体３に対するミラーの位置決めが、ミラ
ー保持器２の突当て部材１７によって行われるため、ミ
ラー交換後の姿勢調整も、新たなミラーと保持器の間の
加工誤差に基づく微調整を必要とするのみであり、この
微調整はチルト板７の傾斜を調整ねじ１１によって再調
整するだけでよい。またミラー保持器２の冷媒流路１３
と支持棒４内に挿入された冷却用配管５との接続も、冷
却用配管５のＯ−リング２５をミラー保持器２の供給口
２１および排出口２２にそれぞれ圧入するのみで簡単に
行うことができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。
で、以下に記載するような効果を奏する。
【００２９】真空チャンバー内において使用されるミラ
ーの交換をミラーの反射面を傷つけることなく、かつ繁
雑な位置決めの再調整を必要とすることなく容易に行う
ことができる。また、ミラー保持器にミラーを冷却する
ための冷媒流路が設けられている場合は、真空チャンバ
ーの真空雰囲気維持に対して信頼性の高い、ミラー冷却
用配管の接続を行うことができる。
ーの交換をミラーの反射面を傷つけることなく、かつ繁
雑な位置決めの再調整を必要とすることなく容易に行う
ことができる。また、ミラー保持器にミラーを冷却する
ための冷媒流路が設けられている場合は、真空チャンバ
ーの真空雰囲気維持に対して信頼性の高い、ミラー冷却
用配管の接続を行うことができる。
【図１】本発明の実施例を用いたミラーユニットの一部
分を示す一部破断部分斜視図である。
分を示す一部破断部分斜視図である。
【図２】ミラー保持器を示し、（ａ）は支持板から取り
はずした保持器を示す斜視図、（ｂ）はカバーを取付け
た保持器を示す斜視図である。
はずした保持器を示す斜視図、（ｂ）はカバーを取付け
た保持器を示す斜視図である。
【図３】支持棒および支持板の詳細を示す部分断面図で
ある。
ある。
【図４】支持板と保持器を分離した状態を示す部分断面
図である。
図である。
１ ミラー ２ ミラー保持器 ３ 支持板 ３ａ 貫通孔 ４ 支持棒 ５ ミラー冷却用配管 ６ 真空チャンバー ７ チルト板 ９ ミラー支持体 １２ 基準フレーム １３ 冷媒流路 １７ 突当て部材 １８ 孔 １９ カバー ２１ 供給口 ２２ 排出口
Claims (7)
- 【請求項１】 ミラーを着脱自在に保持するミラー保持
器と、前記ミラー保持器を真空チャンバー内において着
脱自在に支持するミラー支持手段とからなり、前記ミラ
ー保持器が、前記ミラー支持手段の突当て面に係合する
位置決め手段を備えていることを特徴とするＸ線ミラー
支持装置。 - 【請求項２】 ミラー保持器がミラー支持手段に螺着さ
れていることを特徴とする請求項１記載のＸ線ミラー支
持装置。 - 【請求項３】 位置決め手段が、ミラー支持手段の突当
て面に係合可能な突当て部材であることを特徴とする請
求項１または２記載のＸ線ミラー支持装置。 - 【請求項４】 ミラー保持器が、ミラー冷却用配管を接
続可能な開口および前記開口に連通する冷媒流路を備え
ていることを特徴とする請求項１、２または３記載のＸ
線ミラー支持装置。 - 【請求項５】 ミラー保持器の開口に接続されたミラー
冷却用配管が、ミラー支持手段を支持する中空の支持棒
内に配設されており、前記支持棒は前記ミラー支持手段
の貫通孔に連通されていることを特徴とする請求項４記
載のＸ線ミラー支持装置。 - 【請求項６】 ミラー支持手段の貫通孔に一端を一体的
に連結するとともに、ミラー保持器の開口の周辺に他端
を着脱自在に連結した内部ベローズと、前記内部ベロー
ズの内部空間を減圧する手段とを備えていることを特徴
とする請求項４記載のＸ線ミラー支持装置。 - 【請求項７】 ミラーの反射面を保持するカバーを、ミ
ラー保持器に着脱自在に取付け可能であることを特徴と
する請求項１乃至６のいずれか１項記載のＸ線ミラー支
持装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28928391A JP3167155B2 (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | Ｘ線ミラー支持装置 |
| CA002079562A CA2079562C (en) | 1991-09-30 | 1992-09-30 | X-ray exposure apparatus |
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1991
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|---|---|---|---|---|
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