JPH0494479A - マグネット駆動多段式ダイヤフラム真空ポンプ - Google Patents
マグネット駆動多段式ダイヤフラム真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0494479A JPH0494479A JP21275990A JP21275990A JPH0494479A JP H0494479 A JPH0494479 A JP H0494479A JP 21275990 A JP21275990 A JP 21275990A JP 21275990 A JP21275990 A JP 21275990A JP H0494479 A JPH0494479 A JP H0494479A
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- JP
- Japan
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- diaphragm
- yoke
- stage
- magnet
- pump chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims 1
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- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、マグネット駆動多段式ドライ真空ポンプに関
するものである。
するものである。
従来例を第３図及び第４図で説明する。マグネットラバ
ー１を内蔵したダイヤフラム２を角形リング状コイル３
を装着した第１段ヨーク２０と第２段ヨーク２１でダイ
ヤフラム外周上下面を挾んでポンプ室を形成する。
ー１を内蔵したダイヤフラム２を角形リング状コイル３
を装着した第１段ヨーク２０と第２段ヨーク２１でダイ
ヤフラム外周上下面を挾んでポンプ室を形成する。
気体１０は吸気弁１１を通して第１段ポンプ室８に吸込
まれる。次に第１段ヨーク２０に装着したコイルの極性
を変えることにより、ダイヤフラム２を下側に移動させ
て第１段ポンプ室８に吸入されていた気体を第２段ポン
プ室９に送り込む。
まれる。次に第１段ヨーク２０に装着したコイルの極性
を変えることにより、ダイヤフラム２を下側に移動させ
て第１段ポンプ室８に吸入されていた気体を第２段ポン
プ室９に送り込む。
この時第１段ポンプ室８から第２段ポンプ室９の気体移
動はダイヤフラム中央穴１２で行なう。ダイヤフラムが
下側に移動した時は、内蔵マグネットとダイヤフラム上
部が離れるので中央穴が開く。ダイヤフラム２が上側に
移動した時は内蔵マグネットとダイヤフラム上部が接触
してシールするので中央穴は閉じる。
動はダイヤフラム中央穴１２で行なう。ダイヤフラムが
下側に移動した時は、内蔵マグネットとダイヤフラム上
部が離れるので中央穴が開く。ダイヤフラム２が上側に
移動した時は内蔵マグネットとダイヤフラム上部が接触
してシールするので中央穴は閉じる。
第２段ポンプ室９から第３段ポンプ室１４の気体移動も
同様に行なう。そして気体は最終段の排気口１６から大
気へ排気される。
同様に行なう。そして気体は最終段の排気口１６から大
気へ排気される。
各ポンプ室は積み重ねてスルーボルト１８で締付けられ
ている。
ている。
しかし、前記ヨークはコイルから発生した磁束がダイヤ
フラム対抗部に行きにくいため電磁力が弱いという欠点
があった。
フラム対抗部に行きにくいため電磁力が弱いという欠点
があった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくシ、ド
ライかつ高真空でコンパクトな真空ポンプにすることで
ある。
ライかつ高真空でコンパクトな真空ポンプにすることで
ある。
本発明は、ダイヤフラムにマグネットを内蔵し、外部磁
界の極性変化によってダイヤフラムを上下に移動させて
ポンピング作用をする真空ポンプにおいてダイヤフラム
に作用する電磁石のヨークを２分割にしたものである。
界の極性変化によってダイヤフラムを上下に移動させて
ポンピング作用をする真空ポンプにおいてダイヤフラム
に作用する電磁石のヨークを２分割にしたものである。
すなわちダイヤフラムに内蔵した永久磁石に対面する部
分には、コイルを装着して高透磁率材を用い、他の部分
は磁束が逃げないようにするため、低速磁率材を用いて
ドライかつ高真空でコンパクトな真空ポンプになるよう
工夫したものである。
分には、コイルを装着して高透磁率材を用い、他の部分
は磁束が逃げないようにするため、低速磁率材を用いて
ドライかつ高真空でコンパクトな真空ポンプになるよう
工夫したものである。
本発明における実施例を第１図、第２図をもって説明す
る。マグネットラバー１を内蔵したダイヤフラム２を角
形リング状コイル３の装着した第１段ヨーク４と第１段
ヨーク５を組み合わせたものと、上記同様の角形リング
状コイルを装着した第２段ヨーク６と第２段ヨーク７を
組み合わせたものとで、ダイヤフラムの外周上下面を挟
んで第１段ポンプ室８および第２段ポンプ室９を形成す
る。
る。マグネットラバー１を内蔵したダイヤフラム２を角
形リング状コイル３の装着した第１段ヨーク４と第１段
ヨーク５を組み合わせたものと、上記同様の角形リング
状コイルを装着した第２段ヨーク６と第２段ヨーク７を
組み合わせたものとで、ダイヤフラムの外周上下面を挟
んで第１段ポンプ室８および第２段ポンプ室９を形成す
る。
気体１０は吸気弁１１を通して第１段ポンプ室８に吸込
まれる。ダイヤフラム２を下側に移動させると、第１段
ポンプ室８に吸入されていた気体は第２段ポンプ室９に
送り込まれる。この場合、第１段ポンプ室８から第２段
ポンプ室９への気体移動はダイヤフラム２の中央穴１２
で行なう。ダイヤフラム２が上側に移動した時は、内蔵
マグネットラバー１とダイヤフラム２上部が接触してシ
ールするので中央穴は閉じ、排気弁１３が開いて第２段
ポンプ室９から第３段ポンプ室１４へ気体の移動がされ
る。第３段ポンプ１４室から第４段ポンプ室１５の気体
移動も同様に行なわれる。そして気体は最終段の排気口
１６から大気に排気される。
まれる。ダイヤフラム２を下側に移動させると、第１段
ポンプ室８に吸入されていた気体は第２段ポンプ室９に
送り込まれる。この場合、第１段ポンプ室８から第２段
ポンプ室９への気体移動はダイヤフラム２の中央穴１２
で行なう。ダイヤフラム２が上側に移動した時は、内蔵
マグネットラバー１とダイヤフラム２上部が接触してシ
ールするので中央穴は閉じ、排気弁１３が開いて第２段
ポンプ室９から第３段ポンプ室１４へ気体の移動がされ
る。第３段ポンプ１４室から第４段ポンプ室１５の気体
移動も同様に行なわれる。そして気体は最終段の排気口
１６から大気に排気される。
コイルを装着しているヨーク４，６は例えば鉄等の高透
磁率材を用い、ヨーク５，７は磁束を逃げないようにす
るため１例えばアルミ等の低透磁率材を使用している。
磁率材を用い、ヨーク５，７は磁束を逃げないようにす
るため１例えばアルミ等の低透磁率材を使用している。
従って角形リング状コイル３によって発生した磁束は第
１段ヨーク４に集中するようになる。
１段ヨーク４に集中するようになる。
ヨーク４．６とヨーク５．７の組み合わせ部は○リング
１７で真空シールしている。
１７で真空シールしている。
各ポンプ室は積み重ねてスルーボルト１８で締め付けて
いる。
いる。
外周は、内部で発生させた磁束が漏洩しないように磁気
シールドカバー１９でおおっている。
シールドカバー１９でおおっている。
本発明によればヨークを２分割にして、角形リング状コ
イルを装着している部分には高透磁率材を用い、磁束の
逃げを防止する部分には低透磁率材を使用しているので
、マグネットラバーを内蔵しているダイヤフラムに対面
する部分の電磁力を増すことができる。
イルを装着している部分には高透磁率材を用い、磁束の
逃げを防止する部分には低透磁率材を使用しているので
、マグネットラバーを内蔵しているダイヤフラムに対面
する部分の電磁力を増すことができる。
ポンプ室の内壁が曲面にしであるので、ダイヤフラムが
曲面にならって排気できるので気体の排気残しがなくな
り、かつ多段にできるので到達圧力が良くなる。
曲面にならって排気できるので気体の排気残しがなくな
り、かつ多段にできるので到達圧力が良くなる。
ポンプおよび駆動源にグリース等の潤滑油を使用してい
ないのでドライな真空が得られ、低温起動も容易にでき
る。また摺動面がないので摩耗粉の発生がないため、ク
リーンな真空が得られる。
ないのでドライな真空が得られ、低温起動も容易にでき
る。また摺動面がないので摩耗粉の発生がないため、ク
リーンな真空が得られる。
ポンプは容易に組立、分解ができるので保守が容易であ
る。またポンプを積み重ねて多段にできるのでコンパク
トになる。
る。またポンプを積み重ねて多段にできるのでコンパク
トになる。
第１図は本発明の縦断面図、第２図は第１図の上面図、
第３図は従来の縦断面図、第４図は第３図の上面図であ
る。 図において、１はマグネットラバー、２はダイヤフラム
、３は角形リング状コイル、４．６は高透磁率材のヨー
ク、５．７は低透磁率材のヨーク１１は吸気弁、１３は
排気弁である。 す２０ オ苓図
第３図は従来の縦断面図、第４図は第３図の上面図であ
る。 図において、１はマグネットラバー、２はダイヤフラム
、３は角形リング状コイル、４．６は高透磁率材のヨー
ク、５．７は低透磁率材のヨーク１１は吸気弁、１３は
排気弁である。 す２０ オ苓図
Claims (1)
- マグネット内蔵ダイヤフラムの上下面を角形リング状コ
イルを装着したヨークで挾んでポンプ室を形成し、前記
ヨークを高透磁率のヨークと低透磁率のヨークの２分割
にして、マグネット内蔵のダイヤフラムに対面するヨー
クに磁束を集中させて電磁力を増し、前記構成部品を多
段にしてドライな真空を得られるようにした、マグネッ
ト駆動多段式ダイヤフラム真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21275990A JPH0494479A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | マグネット駆動多段式ダイヤフラム真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21275990A JPH0494479A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | マグネット駆動多段式ダイヤフラム真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0494479A true JPH0494479A (ja) | 1992-03-26 |
Family
ID=16627937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21275990A Pending JPH0494479A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | マグネット駆動多段式ダイヤフラム真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0494479A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010230015A (ja) * | 2010-07-16 | 2010-10-14 | Casio Computer Co Ltd | ポンプ装置 |
| US20150316046A1 (en) * | 2014-05-05 | 2015-11-05 | Aavid Thermalloy, Llc | Planar coil and support for actuator of fluid mover |
| CN105697342A (zh) * | 2016-04-18 | 2016-06-22 | 河南工程学院 | 并联扩展式直流隔膜电磁泵 |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP21275990A patent/JPH0494479A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010230015A (ja) * | 2010-07-16 | 2010-10-14 | Casio Computer Co Ltd | ポンプ装置 |
| US20150316046A1 (en) * | 2014-05-05 | 2015-11-05 | Aavid Thermalloy, Llc | Planar coil and support for actuator of fluid mover |
| CN106460825A (zh) * | 2014-05-05 | 2017-02-22 | 阿威德热合金有限公司 | 用于流体移动器的致动器的平面线圈和支撑件 |
| US10077768B2 (en) * | 2014-05-05 | 2018-09-18 | Aavid Thermalloy, Llc | Planar coil and support for actuator of fluid mover |
| CN106460825B (zh) * | 2014-05-05 | 2019-05-10 | 阿威德热合金有限公司 | 用于流体移动器的致动器的平面线圈和支撑件 |
| CN105697342A (zh) * | 2016-04-18 | 2016-06-22 | 河南工程学院 | 并联扩展式直流隔膜电磁泵 |
| CN105697342B (zh) * | 2016-04-18 | 2017-08-08 | 河南工程学院 | 并联扩展式直流隔膜电磁泵 |
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