JPH0483179A - テープキャリヤ用ハンドラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、テープキャリヤ用ハンドラに関し、特にテ
ープキャリアの搬送及びプローブとの位置合わせに利用
して有効な技術に関するものである。

〔従来の技術〕

ＩＣの実装技術の分野では、電子機器の小型、軽量化や
特殊形状化等に対応するために、テープキャリヤ方式の
実装技術が用いられている。この実装技術１よ、テープ
状に形成されたプラスティックフィルムを区画化し、各
区画毎に実装するＩＣチップの電極配列に合わせてリー
ドパターンや電極（パッド）等を形成して、これにＩＣ
等の電子部品を実装するものである。このようなテープ
キャリヤをテープ状のままで連続的に処理する検査装置
の例としては、例えば特開平１−１６３６７８号公報が
ある。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来技術におけるテープキャリヤの搬送方法は、テープ
キャリヤの両側に一列に並んで形成されたスプロケット
ホール（コマ送り穴）にスプロケットの爪を掛けて駆動
するものである。このような搬送方法を採ると、搬送−
停止（測定中）が繰り返しが行われるとき、スプロケッ
トホールに変形もしくは破損などのダメージを与えない
ように比較的遅い速度での搬送しかできない。

また、テープ位置の検出機構として、工業用テレビジョ
ンカメラを用いた画像認識によりテープの位置検出を行
い、位置ずれが生じると搬送手段又はプローブ本体を微
動させて位置修正を行うようにしている。しかし、この
方法では、位置の修正が完了しなければ、測定が行われ
ないため上記搬送速度の制限と相俟って、装置の高速化
を妨げている。

この発明の目的は、高速で高精度の搬送を実現したテー
プキャリア用ハンドラを提供することにある。

この発明の他の目的は、高速で高精度の位置合わせを実
現したテープキャリア用ハンドラを提供することにある
。

この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は
、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。

すなわち、テープキャリヤにおける上記電子部品が搭載
されない部分を上下から挟むようにホールドして指定さ
れ距離分だけの搬送を行うようにする。測定ポジション
に対する送り側における一定の位置に位置検出手段を設
けておき、測定動作と並行して位置検出情報により測定
ポジションまでの送り量を算出して次に測定すべき電子
部品を搬送する。

〔作　用〕

上記した手段によれば、テープキャリヤを上下から挟ん
で搬送するため、スプロケットホールの変形や破損を考
慮する必要がないから高速搬送が可能となる。また、測
定と位置検出とを同時に並行して行われるから位置検出
によるタイムラグが生じない。

〔実施例〕

第１図には、この発明に係るテープキャリヤ用ハンドラ
の一実施例の概略構成図が示されている。

テープキャリヤは、例えば厚さが約５０〜１２５μｍの
ガラスエポキシ樹脂からなるテープ状基板にＩＣチップ
の電極配列に合わせてリードパターンや電極（パ・ノド
）等が形成され、これにＩＣ等の電子部品が実装されて
なるものである。テープキャリアは、供給用のリール１
に巻かれており、ガイドとしてのローラエを介して第１
の搬送手段−測定ポジシゴンー第２の搬送手段−ガイド
としてのローラ２を経由して収納用のり−ル２に巻き取
られる。

この実施例では、特に制限されないが、測定ポジション
を挟んで、送り側と巻き取り側の両方に一対からなる第
１と第２の搬送手段が設けられる。

そして、上記テープ牛ヤリャの高速搬送を実現するため
、テープキャリヤの両側に設けられるスプロケットホー
ルを用いないので、上記スプロケットホールが形成され
る両側、言い換えるならば、テープキャリヤのうちＩＣ
等の電子部品が実装されない部分を、上面と下面から挟
み込んでホールドし、区画化されたテープキャリヤの１
ピツチ分に相当する距離を搬送させる。

すなわち、測定ポジションＰＣに対して送り側に設けら
れるホルダＩＵとＩＬは、ポジションＰＡをホームポジ
ションとして互いに上下からテープキャリヤを挟み込む
ようにしてホールドする。

同様に、測定ポジションＰＣに対して巻き取り側に設け
られるホルダ２Ｕと２Ｌも、ポジションＰＤをホームポ
ジションとして互いに上下からテープキャリヤを挟み込
むようにしてホールドする。

上記２つの搬送手段としてのホルダＩＵ、ＩＬ及び２Ｕ
、２Ｌは、上記のホームポジションにおいて、測定ポジ
ションでのＩＣチップの測定試験を待っている。

測定ポジションＰＣでは、特に制限されないが、測定台
に設けられた真空吸着手段によりテープキャリヤの裏面
（同図では上面）側を吸引固定し、テープキャリヤの表
面（同図では下面）側に設けられたＩＣチップと接続さ
れるリード等の電極にブローフ゛ユニットのプローブが
押し当てられることによって電気的接触が行われ、交流
的（又は機能的）及び直流的な特性測定が行われる。

なお、特に制限されないが、測定台とプローブユニット
とはアップ／ダウン動作を行い、テープキャリヤの搬送
時には互いにテープキャリヤから離れるようにアップと
ダウン動作を行い、測定時にはテープキャリヤを挟み込
むようにダウンとアップ動作を行う。プローブユニット
は、特に制限されないが、プリント基板等のボードに上
記測定すべきＩＣチップの電極ないしリードに先端が位
置合わせされて固定されれた細い線条からなる複数のプ
ローブを持っている。このプローブユニットは、基本的
には半導体ウェハ上に完成された半導体チップの特性試
験（ブロービング）に用いられるプローブボードと同様
な構成のものを利用することができる。

この実施例では、測定ポジションでのプローブユニット
と測定を行うべきＩＣチップとの位置合わせ（針合わせ
）のタイムラグを無くすために、上記ホルダＩＵとＩＬ
は、上記測定ポジションを基準にしてポジションＰＢが
ＩＣチップが設けられる区画に対して１ピツチ分だけ手
前に設定され、ポジションＰＡが２ピツチ分だけ手前に
設定される。

上記ポジションＰＡとＰＢの間を搬送手段が往復してテ
ープキャヤヤの搬送を行う。すなわち、上記ポジション
ＰＡにおいてホルダＩＵとＩＬがテープキャリヤを挟ん
込んでホールドし、その状態まま搬送方向にポジション
ＰＢまで１ピ・ノチ平行移動する。これと対応して、測
定ポジションに対して巻き取り側にもポジションＰＤと
ＰＥのように１ピツチの間隔でホルダ２Ｕ、２Ｌが連動
してテープキャリヤの巻き取りのための搬送を行う。

第２図には、ホルダ２Ｕと２Ｌの一実施例の斜視図が示
されている。

同図に示すように、ホルダ２Ｕと２Ｌは薄く細長いフィ
ルム状のテープキャリヤのスプロケットホールが設けら
れる両側を上下から挟み込むように、その断面形が凹状
に形成される。ホルダ２Ｕと２Ｌの凹部は電子部品がそ
こに収まるように設けられる。それ故、テープキャリヤ
の裏面（上面）側が平坦なら、上側のホルダ２Ｕは上記
凹部を省略する構成としてもよい。

この実施例の搬送手段にあっては、従来技術のようにス
プロケットホールにスプロケットの爪を引っ掛けて搬送
するものではないので、搬送時にスプロケットホールを
変形ないし破損させる虞れがない。これにより、テープ
キャリヤを測定中の停止状態から高速に搬送してもテー
プキャリヤを変形ないし破損させる虞れがないから、高
速に次に測定すべきＩＣチップを測定ポジションＰＣま
で搬送することができる。

また、この実施例では、測定の針合わせが同時に平行し
て行われる。

このために、特に制限されないが、測定ポジションＰＣ
を基準にして約１ピツチ手前のポジションＰＢに、位置
検出を行う工業用テレビジョンカメラを設置する。この
ため、送り側の搬送手段は、第３図に示すように、カメ
ラ側に面した下側のホルダＩＬには、開口が設けられ、
テープキャリャに実装されたＩＣ及びそのリード等の撮
影が可能にされる。同図では、第１図及び第２図に示し
たホルダとは上下が逆に描かれていることに注意された
い。

このような開口を持つホルダＩＬを用いることにより、
測定すべきＩＣを測定ポジションまで搬送すると、ポジ
ションＰＢには次に測定すべきＩＣチップが来ることに
なる。これをホルダＩＬの開口を通して上記カメラによ
り撮影し、それを図示しない画像処理装置によりパター
ン認識を行い、特徴パターンの位置から位置ずれを検出
する。すなわち、上記カメラが設けられる位置は、上記
測定ポジションに対して例えば１ピンチ分だけずらして
正確に設定されるから、ポジションＰＢでの位置ずれは
そのまま測定ポジションでの位置ずれに対応させること
ができる。

このような撮影が開始されると、直ちにホルダＩＵとＩ
Ｌは、第１図に矢印で示したように、互いに上及び下に
移動し、テープキャリヤを解放して、前記ホームポジシ
ョンＰＡの位置まで平行移動し再び下及び上に移動して
テープキャリヤを挟み込んで測定終了まで待機している
。

そして、ＩＣチップの測定が終了すると、上記パターン
認識により検出された位置ずれを修正するように、１ピ
ンチの搬送動作を行う。すなわち、ポジションＰＢでの
位置ずれが一ΔＬであるとし、１ピンチ分の搬送距離が
してあるとすると、Ｌ−Δしたけ上記ホルダＩＵとＩＬ
により搬送させる。

これにより、測定ポジションＰＣに運ばれるＩＣは、位
置ずれが自動的に修正できるから直ちにブローブユニン
トによる電気的接触を行って測定を開始することができ
る。

なお、巻き取り側のホルダ２Ｕと２Ｌも上記のような送
り側の搬送距離に対応し、かつ送り側のホルダＩＵ、Ｉ
Ｌと同期して上記同様なテープキャリヤの搬送動作を行
う。

このように測定中に実質的な位置検出を行うとともに、
ホルダをホームポジションで待機させる構成を採ること
によって、上記のようなテープキャリヤの搬送速度の向
上と相俟って測定試験時間の大幅な短縮化が可能になる
。

上記のようなホルダＩＵ、ＬＬ及び２Ｕ、２Ｌのストロ
ーク動作は、搬送方向をＸ方向とし、上下動をＺ方向と
すると、Ｘ及びＺステージを利用して行うことができる
。すなわち、搬送方向の移動はリードスクリューの回転
とそのネジピッチにより高精度の搬送動作を行わせるこ
とができる。

あるいは、上記搬送方向の移動はりニアモータを利用し
て位置制御を行うものであってもよい。また、Ｚ方向の
移動は、単にテープキャリヤの表面からホルダを解放す
ると、所定の接触圧をもってテープキャリヤが滑らない
ように挟み込むものであればよいからカムとバネ等を利
用したものを用いることができる。

上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りであ
る。

（１１テープキヤリヤにおける上記電子部品が搭載され
ない部分を上下から挟むようにホールドして指定され距
離分だけの搬送を行うようにすることにより、スプロケ
ットホールの変形や破損を考慮する必要がないから高速
搬送が可能になるという効果が得られる。

（２）測定中に搬送動作を行うホルダをホームポジショ
ンまで移動させて待機させることにより、測定終了と同
時に次のＩＣチップの搬送が可能になるから、上記（１
）と相俟っていっそうの高速搬送が可能になるという効
果かえられる。

（３）測定ポジションに対する送り側の一定の位置に位
置検出手段を設けておき、測定動作と並行して位置検出
情報により測定ポジションまでの送り量を算出して次に
測定すべき電子部品を搬送することより、位置検出と修
正のためのタイムラグをなくすことができるという効果
が得られる。

（４）上記（１１ないしく３）が相乗的に作用すること
によって、テープキャリヤのＩＣチップの測定試験時間
を大幅に短縮することができるという効果が得られる。

以上本発明者によりなされた発明を実施例に基づき具体
的に説明したが、本願発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、第１図において
、位置検出手段としてのカメラが設けられる位置は、測
定ポジションＰＣに対して２ピツチ又は３ピツチ等のよ
うに電子部品の整数倍ピンチのように測定ポジションに
対して基準となる一定の距離を持って配置するものであ
ればよい。これと同様に、ホルダＩＵ、ＩＬ及び２Ｕ、
２Ｌのストロークは、電子部品の１ピンチに対応させる
ことが最も効率がよいが、半ピツチ等のように１／Ｎ（
Ｎは整数）のピッチを単位として搬送動作を行うように
するものであってもよい。ホルダの接触面にギザギザや
すべり摩擦を大きくする層を設けること、あるいは真空
吸着手段を設ける等してテープキャリヤのホールドをよ
り効果的にするものであってよい。ホルダとしては、テ
ープキャリヤを上下から挟み込むようにした一対の回転
ロールにより構成するものであってもよい。

第１図において、テープキャリヤを縦方向に搬送する構
成としてもよい。すなわち、第１図において、約９０”
回転させて装置を構成するものであってもよい。あるい
は、プローブユニットと測定台の関係を上下逆にするも
のであってもよい。

この場合には、リール１とリール２がハンドラの下側に
設けられる。テープキャリヤを上下から挟み込んで搬送
する搬送方式を採る場合、搬送されるテープキャリヤの
位置検出とその修正を従来と同様に測定ポジションにお
いて行うものであってもよい。あるいは、測定ポジショ
ンの手前に設けられた位置で位置検出を行う方式を採る
場合には、テープキャリヤに設けられるスプロケットホ
ールを利用して搬送を行う構成としてもよい。

この発明は、テープキャリヤ用ハンドラとして広く利用
できる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、テープキャリヤにおける上記電子部品が搭
載されない部分を上下から挟むようにホールドして指定
され距離分だけの搬送を行うようにすることにより、ス
プロケットホールの変形や破損を考慮する必要がないか
ら高速搬送が可能になる。また、測定中に搬送動作を行
うホルダをホームポジションまで移動させて待機させる
ことにより、測定終了と同時に次のＩＣチップの搬送が
可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係るテープキャリヤ用ハンドラの
一実施例を示す概略構成図、 第２図は、それに用いられる送り側の搬送手段の一実施
例を示す斜視図、 第３図は、それに用いられる巻き取り側の搬送手段の一
実施例を示す斜視図である。 第３図 ホルダＩＵ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、テープ状基板に電子部品が搭載されてなるテープキ
   ャリヤにおける上記電子部品が搭載されない部分を上下
   から挟むようにホールドして指定された距離分だけの搬
   送を行う搬送手段を備えてなることを特徴とするテープ
   キャリヤ用ハンドラ。 ２、上記搬送手段は、測定部を挟んでテープキャリヤの
   送り側と巻き取り側に両方それぞれ設けられ、上記電子
   部品の測定中にホールド状態を解放して一定のピッチだ
   け戻るように制御されるものであることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載のテープキャリヤ用ハンドラ。 ３、測定ポジションに対して約電子部品の整数倍ピッチ
   分手前の所定の位置に位置検出手段を設け、測定動作と
   並行して位置検出情報により測定ポジションまでの送り
   量を算出しておき、次に測定すべきテープ電子部品に対
   応してテープキャリヤを搬送することを特徴とするテー
   プキャリヤ用ハンドラ。 ４、上記テープキャリヤを搬送する手段は、測定ポジシ
   ョンに対して送り側と巻き取り側の双方に設けられ、テ
   ープ状基板に電子部品が搭載されてなるテープキャリヤ
   における上記電子部品が搭載されない部分を上下から挟
   むようにホールドして指定されたピッチ分の移動させる
   ものであることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載
   のテープキャリヤ用ハンドラ。 ５、上記テープキャリヤを搬送する手段は、測定ポジシ
   ョンに対して電子部品の１ピッチ分手前と２ピッチ分手
   前の間を往復し、位置検出手段に対応した部分に開口が
   設けられるものであることを特徴とする特許請求の範囲
   第第３又は第４項記載のテープキャリヤ用ハンドラ。