JPH0480934A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

Info

Publication number
JPH0480934A
JPH0480934A JP2195374A JP19537490A JPH0480934A JP H0480934 A JPH0480934 A JP H0480934A JP 2195374 A JP2195374 A JP 2195374A JP 19537490 A JP19537490 A JP 19537490A JP H0480934 A JPH0480934 A JP H0480934A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor chip
copper foil
terminals
terminal
semiconductor device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2195374A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuo Arisue
有末 一夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2195374A priority Critical patent/JPH0480934A/ja
Publication of JPH0480934A publication Critical patent/JPH0480934A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/98Methods for disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32245Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/4813Connecting within a semiconductor or solid-state body, i.e. fly wire, bridge wire
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • H01L2224/83192Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/922Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
    • H01L2224/9222Sequential connecting processes
    • H01L2224/92242Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
    • H01L2224/92247Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01029Copper [Cu]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01079Gold [Au]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電子機器やその他の機器に用いて電子回路を構
成する半導体装置に関する。
従来の技術 近年、半導体装置は樹脂により全体を被覆したパッケー
ジ型のものから実装面積をより小さくできる樹脂被覆な
しのいわゆる半導体チップのままで実装するものへと要
求が変化してきている。以下に従来の半導体装置につい
て説明する。
第5図は従来のパッケージ型の半導体装置の外形を示す
斜視図であシ、図において、1は端子で半導体チップ(
図示せず)に接続され、その端子1の外向きに曲げ加工
した一部を残して半導体チップとともに封止樹脂2で覆
われている。第6図は第5図に示す従来例とは別の半導
体装置の側面図であり、3は端子で封止樹脂4に沿りて
内側に曲げ加工されている。
以上のように構成された半導体について、以下その動作
について説明する。
まず、第6図に示すように半導体チップと端子1の一端
を所定の方法で接続した後、半導体チップの周囲を端子
1の一部を残して封止樹脂2で被覆する。次に端子1を
所定寸法に切断、曲げ加工を行う。このとき端子1の切
断された側は外側に向かって曲げられる。外側に曲げる
ことにより曲げ加工をしやすくすると共に実装をもしや
すくしている。他の従来例は第6図に示すように端子3
を封止樹脂4に沿って内側に曲げるように加工したもの
であり、他の構造は第5図に示す従来例と同様である。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記の従来の構成では、半導体チップを封
止樹脂2,4で覆い、その外側に端子1または3を形成
するので、その外形が半導体チップよシ大きくなること
は避けられず、端子1を外側に曲げる構造ではさらにそ
の外形が大きくなり実装面積を多く必要とするという課
題を有していた。
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、端子の
形成を半導体チップの面積の範囲内か、またはわずかに
大きくなる程度に抑えることのできる優れた半導体装置
を提供することを目的とする。
課題を解決するだめの手段 上記目的を達成するために本発明は、銅箔端子を有する
銅箔内の中央銅箔上に導電接着剤を介して半導体チップ
を搭載し、その半導体チップの電極に接続したボンディ
ング端子と銅箔端子に半導体チップ上に直立させてその
半導体チップの上面または全体をオーバコート樹脂で被
覆したものである。
作   用 上記の構成により、半導体チップを搭載した銅箔の一部
を折り曲げて銅箔端子とし、半導体チップの電極に接続
したボンディングワイヤを切断し、折り曲げてボンディ
ング端子とすることによって外形寸法が半導体チップと
ほぼ等しい小形の半導体装置が得られるものである。
実施例 以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
第1図〜第3図は本発明の一実施例の構成を示すもので
あシ、第4図(a)〜(f)は同半導体装置を製造する
場合の概略工程図である。
図において、5はその上面に半導体チア16分導電接着
剤7を介してダイボンディングした銅箔、8は銅箔5と
一体に成形されている銅箔端子、9は半導体チップ6の
電極10に金ワイヤ11によってボンディングされたボ
ンディング端子、12は半導体チップ6を保護するため
に被覆されたオーバコート樹脂である。さらに第2図お
よび第3図において、13は半導体チップ6をダイボン
ディングするために載置する中央銅箔、14は開口部、
16は銅箔5に半導体チップ6を搭載する時の位置決め
孔、16は半導体装置の銅箔端子8およびボンディング
端子9と半日または導電樹脂17で接続したプリント基
板である。
次に上記実施例の動作について説明する。
まず、第3図に示すように銅箔6をエツチング加工する
ことによシ銅箔端子8を有する中央銅箔13を残し、開
口部14で示す銅箔の部分を除去する。次に第4図(a
)に示すように中央銅箔13の上に導電接着剤7を塗布
し、半導体チップ6をのせ、同図(b)に示すように加
熱、加圧して接着する。
次に同図(C)に示すように半導体チップ6の電極10
と銅箔5とを金ワイヤ%11でボンディングする。
次に同図(cl)に示すように銅箔端子8と、金ワイヤ
11を切断して形成したボンディング端子9とと上方に
曲げることによって同図(e)に示すように銅箔端子8
およびボンディング端子9は半導体チップ6上に直立す
る。次に同図(f)に示すように半導体チップ6の上よ
ジオ−バコード樹脂12を塗布、硬化させる。
また上記のようにして完成させた半導体装置はさらにそ
の外周にオーバコート樹脂12を被覆することもできる
。第2図はこのようにして得られた半導体装置をプリン
ト基板16に実装した状態を示す図であわ、プリント基
板16の銅箔上に半日または導電樹脂17と印刷または
ディヌペンサ等で形成し、この上に上記半導体装置の端
子部分を下向きにして位置合わせした後、加熱、加圧し
接合させる。
このように上記実施例によれば、半導体装置の形状を半
導体チップ6とほぼ等しい大きさとすることができるた
め、プリント基板16上により多くの電子部品を搭載で
きるなど高密度実装に極めて有効である。
なお、本実施例では銅箔5を用いたものについて説明し
たが、電気的に導通性を有するものであれば他の材料を
用いることも可能であわ、また銅箔5の厚みを半導体チ
ップ6を装着する部分を厚く、銅箔端子8の部分を薄く
することにより銅箔端子8を曲げやすく、また半導体チ
ップ6の放熱効果を上げることができるものである。
発明の効果 本発明は上記実施例より明らかなように、銅箔上に半導
体チップを載置してその電極に金ワイヤでボンディング
し、金型で銅箔につながる銅箔端子および金ワイヤより
なるボンディング端子全形成することにより半導体チッ
プの寸法とほとんど同じ大きさの半導体装置を形成する
ことができる。
また銅箔の厚みを半導体チップを載置する部分を厚くす
ることによって半導体チップの放熱効果をあげ、銅箔端
子の部分を薄くすることによって曲げ加工をしやすくす
ることができる。このようにすることによりプリント基
板の面積を有効に活用して高密度実装化とはかり、電子
機器の軽薄短小化に寄与できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図(a) 、 (b)は本発明の一実施例における
半導体装置の正面図および側面図、第2図は同実施例の
半導体装置をプリント基板へ実装した状態を示す部分正
面図、第3図は同実施例の作製に使用した銅箔の平面図
、第4図(a)〜(f)は同実施例の半導体装置と作製
するときの概略工程図、第6図は従来の半導体装置の斜
視図、第6図は他の従来例の側面図である。 5・・・・・・銅箔、6・・・・・・半導体チップ、7
・・・・・・導電接着剤、8・・・・・・銅箔端子、9
・・・・・・ボンディング端子、1o・・・・・・電極
、12・・・・・・オーバコート樹脂、13・・・・・
・中央銅箔。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名(o
L) (b) 第 図 笥 図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)銅箔端子を有する銅箔内の中央銅箔上に導電接着
    剤を介して半導体チップを搭載し、その半導体チップの
    電極に接続したボンディング端子と前記銅箔端子を前記
    半導体チップ上に直立させて前記半導体チップの上面ま
    たは全体をオーバコート樹脂で被覆した半導体装置。
  2. (2)半導体チップを搭載する部分の銅箔の厚さを銅箔
    端子の厚さより厚くした請求項1記載の半導体装置。
JP2195374A 1990-07-23 1990-07-23 半導体装置 Pending JPH0480934A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2195374A JPH0480934A (ja) 1990-07-23 1990-07-23 半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2195374A JPH0480934A (ja) 1990-07-23 1990-07-23 半導体装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0480934A true JPH0480934A (ja) 1992-03-13

Family

ID=16340109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2195374A Pending JPH0480934A (ja) 1990-07-23 1990-07-23 半導体装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0480934A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4974057A (en) Semiconductor device package with circuit board and resin
JP3420057B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置
US5554886A (en) Lead frame and semiconductor package with such lead frame
JP3142723B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
US20090004774A1 (en) Method of multi-chip packaging in a tsop package
JPH05129473A (ja) 樹脂封止表面実装型半導体装置
JPH08125094A (ja) 電子パッケージおよびその製造方法
JPH09326452A (ja) 半導体パッケージ
JPH07201918A (ja) 半導体デバイスのパッケージ方法、同パッケージに用いるリードテープ及びパッケージした半導体デバイス
JP2002353403A (ja) 超薄型半導体パッケージ及びその製造方法
US6291262B1 (en) Surface mount TO-220 package and process for the manufacture thereof
JP2000294719A (ja) リードフレームおよびそれを用いた半導体装置ならびにその製造方法
JPH1140723A (ja) 集積回路パッケージのリードフレーム及びその製造方法
CN212182312U (zh) 半导体封装件
US20050110127A1 (en) Semiconductor device
JPH0394431A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JPWO2007057954A1 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP3417095B2 (ja) 半導体装置
JP3203200B2 (ja) 半導体装置
JPH0480934A (ja) 半導体装置
JP3454192B2 (ja) リードフレームとそれを用いた樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
JP2682200B2 (ja) 半導体装置
JP2004165429A (ja) 半導体装置及びその製造方法、受動素子及びその集積体、並びにリードフレーム
JP2824175B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2600898B2 (ja) 薄型パッケージ装置