JPH0480323B2 - - Google Patents
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- JPH0480323B2 JPH0480323B2 JP58016306A JP1630683A JPH0480323B2 JP H0480323 B2 JPH0480323 B2 JP H0480323B2 JP 58016306 A JP58016306 A JP 58016306A JP 1630683 A JP1630683 A JP 1630683A JP H0480323 B2 JPH0480323 B2 JP H0480323B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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- Optical Transform (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は特許請求の範囲第1項の上位概念によ
る測定装置に関する。
る測定装置に関する。
(従来の技術)
デジタル測定装置は単一体から構成されること
ができる測定尺を有する(西独国特許明細書
1698006号)。
ができる測定尺を有する(西独国特許明細書
1698006号)。
このような測定装置では、例えば制御パルスが
カウンタにゼロ位置を復帰させるための、測定の
はじめに所定の位置からスタートさせるための及
び阻止パルスを制御するための並びに後続の制御
装置への入力のための方法で使用される。
カウンタにゼロ位置を復帰させるための、測定の
はじめに所定の位置からスタートさせるための及
び阻止パルスを制御するための並びに後続の制御
装置への入力のための方法で使用される。
西独国特許明細書2540412号から測定尺上に相
互に固定された間隔で目盛をつくる際に既に一列
の参照マークを設けかつ測定尺自体上に又はその
直ぐ近くに選択要素を配置することが公知であ
り、1つ又は複数の参照マークぎ選択されること
ができ、かつそのつど変換手段と作用関係にもた
らされ、この間測定過程で作用されるべき参照マ
ークに1つのマグネツトがセツトされており、マ
グネツトほ走査ユニツトの通過運動の際走査ユニ
ツト上に取りつけられているスイツチを制御し、
その電気出力は走査ユニツトの電気出力と共に電
子構成ユニツトに達し、電子構成ユニツトは走査
ユニツトの出力スイツクの出力と同時に電気信号
がある場合にのみ1つの制御パルスを発生する。
互に固定された間隔で目盛をつくる際に既に一列
の参照マークを設けかつ測定尺自体上に又はその
直ぐ近くに選択要素を配置することが公知であ
り、1つ又は複数の参照マークぎ選択されること
ができ、かつそのつど変換手段と作用関係にもた
らされ、この間測定過程で作用されるべき参照マ
ークに1つのマグネツトがセツトされており、マ
グネツトほ走査ユニツトの通過運動の際走査ユニ
ツト上に取りつけられているスイツチを制御し、
その電気出力は走査ユニツトの電気出力と共に電
子構成ユニツトに達し、電子構成ユニツトは走査
ユニツトの出力スイツクの出力と同時に電気信号
がある場合にのみ1つの制御パルスを発生する。
走査ユニツトの運動方向に移動可能な各選択要
素はその都度選択された参照マークに関して再現
可能な位置に固定可能である。
素はその都度選択された参照マークに関して再現
可能な位置に固定可能である。
(発明の課題)
本発明は上記の種類の測定装置で各参照マーク
に対する1つの選択要素の位置の簡単な固定方法
を提供することを課題の基礎とする。
に対する1つの選択要素の位置の簡単な固定方法
を提供することを課題の基礎とする。
(課題の解決のための手段)
本発明の課題は特許請求の範囲第1項の特徴に
よつて解決される。
よつて解決される。
(実施例)
第1図には光電デジタル測定装置が示されてお
り、装置は測定尺1と走査ユニツト2とから成
り、走査ユニツトはその都度機械の測定されるべ
き対象物と結合されている。測定尺1上には線格
子である目盛3が形成されており、線格子は光学
的で、無接触で光電的な走査される。目盛3に沿
つて測定尺1上に一列の等間隔の参照マーク4が
設けられている、参照マークはそのつど所定の線
目盛を備えた線群から成る。目盛の走査によつて
生じ、走査ユニツト2で増幅されかつ矩形波T1、
T2に変形される周期的走査信号によつて導線5,
6を経てデジタル形の測定値を示す電子カウンタ
7を制御する。目盛3の格子定数の1/4だけ相互
に位相のずらされた矩形波T1、T2は走査方向の
弁別に役立つ。参照マーク4に生じる信号は走査
ユニツト2において増幅され、矩形信号SBに変
形され、そして導線を経て電子機構ユニツト8に
に入力される。
り、装置は測定尺1と走査ユニツト2とから成
り、走査ユニツトはその都度機械の測定されるべ
き対象物と結合されている。測定尺1上には線格
子である目盛3が形成されており、線格子は光学
的で、無接触で光電的な走査される。目盛3に沿
つて測定尺1上に一列の等間隔の参照マーク4が
設けられている、参照マークはそのつど所定の線
目盛を備えた線群から成る。目盛の走査によつて
生じ、走査ユニツト2で増幅されかつ矩形波T1、
T2に変形される周期的走査信号によつて導線5,
6を経てデジタル形の測定値を示す電子カウンタ
7を制御する。目盛3の格子定数の1/4だけ相互
に位相のずらされた矩形波T1、T2は走査方向の
弁別に役立つ。参照マーク4に生じる信号は走査
ユニツト2において増幅され、矩形信号SBに変
形され、そして導線を経て電子機構ユニツト8に
に入力される。
測定過程の際に行われるべき参照マーク4の選
択はマグネツト9の形の選択要素のセツトによつ
て行われ、その磁界が走査ユニツト2が近づくと
走査ユニツトにあるリードスイツチ10の形の電
気的変換手段を制御し、導線12上の出力信号
SRは同時に電子構成ユニツト8に入力される。
導線11,12上の信号SB、SRが同時に電子構
成ユニツト8に入力する場合のみその出力導線1
3上の信号SB′が電子カウンタに入力され、電子
カウンタはそれによつて例えば計数値ゼロにセツ
トされる。マグネツト9は選択される参照マーク
4のセツトのために測定尺1のT形溝中を測定方
向に移動する。当該参照マークに対するマグネツ
ト9の位置の形状拘束的固定は充填要素15によ
つて行われ、充填要素の長さは測定尺1上の参照
マーク4の間隔と一致する。マグネツト9の長さ
は溝14の全長がマグネツト9及び充填要素15
によつて充填される寸法にさらており、その際マ
グネツト9の最大長は参照マーク4の間隔と一致
する。他の参照マーク4に対するマグネツト9の
セツトは相応して充填要素15が溝14から取り
出され、かつ残りの充填要素が溝中14から他の
側へ送られるという方法で行われる。充填要素1
5は溝の端で図示しない方法で落下防止されてい
る。
択はマグネツト9の形の選択要素のセツトによつ
て行われ、その磁界が走査ユニツト2が近づくと
走査ユニツトにあるリードスイツチ10の形の電
気的変換手段を制御し、導線12上の出力信号
SRは同時に電子構成ユニツト8に入力される。
導線11,12上の信号SB、SRが同時に電子構
成ユニツト8に入力する場合のみその出力導線1
3上の信号SB′が電子カウンタに入力され、電子
カウンタはそれによつて例えば計数値ゼロにセツ
トされる。マグネツト9は選択される参照マーク
4のセツトのために測定尺1のT形溝中を測定方
向に移動する。当該参照マークに対するマグネツ
ト9の位置の形状拘束的固定は充填要素15によ
つて行われ、充填要素の長さは測定尺1上の参照
マーク4の間隔と一致する。マグネツト9の長さ
は溝14の全長がマグネツト9及び充填要素15
によつて充填される寸法にさらており、その際マ
グネツト9の最大長は参照マーク4の間隔と一致
する。他の参照マーク4に対するマグネツト9の
セツトは相応して充填要素15が溝14から取り
出され、かつ残りの充填要素が溝中14から他の
側へ送られるという方法で行われる。充填要素1
5は溝の端で図示しない方法で落下防止されてい
る。
第3a図、第3b図にはパツキング20によつ
て閉鎖されたハウジング21を備え、密閉された
公知の構成の測定装置が横断面図及び平面図で示
されており、ハウジングには測定尺22が走査ユ
ニツト23によつて走査され、走査ユニツトは連
行体24及び組立要素25を介して図示しない機
械の往復台26に固定されており、アルミニウム
ハウジング21は機械のベツド27と結合してい
る。
て閉鎖されたハウジング21を備え、密閉された
公知の構成の測定装置が横断面図及び平面図で示
されており、ハウジングには測定尺22が走査ユ
ニツト23によつて走査され、走査ユニツトは連
行体24及び組立要素25を介して図示しない機
械の往復台26に固定されており、アルミニウム
ハウジング21は機械のベツド27と結合してい
る。
ハウジング21の機械と反対側のT形溝28に
マグネツト29の矩形の選択要素が図示しない参
照マークに対してセツトされており、溝28の他
の部分は完全に充填要素30を充填されている。
他の参照マークに対するマグネツト29のセツト
位置の変更は前述の方法で行われる。充填要素3
0は溝28の端で旋回可能な板31によつて脱落
防止されている。
マグネツト29の矩形の選択要素が図示しない参
照マークに対してセツトされており、溝28の他
の部分は完全に充填要素30を充填されている。
他の参照マークに対するマグネツト29のセツト
位置の変更は前述の方法で行われる。充填要素3
0は溝28の端で旋回可能な板31によつて脱落
防止されている。
充填要素による溝14,28へのマグネツト
9,29の形状拘束的固定によつてマグネツト
9,29の不意の移動が阻止される、そのわけは
は溝14,28はいつぱいに充填されているから
である。従つてマグネツト9,29の移動を困難
にするような異物が溝14,28にたまることが
ない。
9,29の形状拘束的固定によつてマグネツト
9,29の不意の移動が阻止される、そのわけは
は溝14,28はいつぱいに充填されているから
である。従つてマグネツト9,29の移動を困難
にするような異物が溝14,28にたまることが
ない。
第4図には測定尺41の目盛40と走査要素4
3a〜43dを備えた走査ユニツト42よつて、
参照マーク44の列は選択要素45によつて走査
される。測定尺41は支持体46に固定されてお
り、支持体は目盛40に対して平行なT形溝の溝
47を有し、溝には選択されるべき参照マーク4
4のランイプ48の形の選択要素が測定方向に移
動可能に付設されることができる。案内溝47に
は選択された参照マーク44に対するランプ48
の位置の形状拘束的固定のための同様に充填要素
49が設けられている、この充填要素は残りの溝
47一杯に充填されかつ図示しない方法で溝47
の端での脱落防止されている。選択れた参照マー
ク44の走査の際、ランプ48の光も走査ユニツ
ト42の光電要素50にに入射し、参照マーク4
4が検出される。他の参照マーク44に対するラ
ンプ48のセツトは前述の方法で行われる。
3a〜43dを備えた走査ユニツト42よつて、
参照マーク44の列は選択要素45によつて走査
される。測定尺41は支持体46に固定されてお
り、支持体は目盛40に対して平行なT形溝の溝
47を有し、溝には選択されるべき参照マーク4
4のランイプ48の形の選択要素が測定方向に移
動可能に付設されることができる。案内溝47に
は選択された参照マーク44に対するランプ48
の位置の形状拘束的固定のための同様に充填要素
49が設けられている、この充填要素は残りの溝
47一杯に充填されかつ図示しない方法で溝47
の端での脱落防止されている。選択れた参照マー
ク44の走査の際、ランプ48の光も走査ユニツ
ト42の光電要素50にに入射し、参照マーク4
4が検出される。他の参照マーク44に対するラ
ンプ48のセツトは前述の方法で行われる。
第5図には目盛50と測定尺52の参照マーク
51の列が1つの走査ユニツト53によつて走査
される。測定尺52は支持体54に固定され、支
持体は選択されるべき参照マーク51に合わせて
セツトされるために鏡56である選択要素の測定
方向への移動のための横断面T形の案内溝55を
有する。選択された参照マーク51に関する鏡5
6の一の形状拘束的固定のために同様に充填要素
57が設けられており、充填要素は残りの溝55
を一杯に充填しかつ図示しない方法で溝55の端
で脱落阻止されている。走査ユニツト53による
選択された参照マーク51の走査の際、ランプ6
0の光はコンデンサ61を介して走査ユニツト5
3及び走査ユニツト53中の光電要素62上の鏡
56に入射する。他の参照マーク51へのセツト
は前記の通りである。
51の列が1つの走査ユニツト53によつて走査
される。測定尺52は支持体54に固定され、支
持体は選択されるべき参照マーク51に合わせて
セツトされるために鏡56である選択要素の測定
方向への移動のための横断面T形の案内溝55を
有する。選択された参照マーク51に関する鏡5
6の一の形状拘束的固定のために同様に充填要素
57が設けられており、充填要素は残りの溝55
を一杯に充填しかつ図示しない方法で溝55の端
で脱落阻止されている。走査ユニツト53による
選択された参照マーク51の走査の際、ランプ6
0の光はコンデンサ61を介して走査ユニツト5
3及び走査ユニツト53中の光電要素62上の鏡
56に入射する。他の参照マーク51へのセツト
は前記の通りである。
第6図には第3a図に相応する横断面積の密閉
れた他の長さの測定装置が示されており、その長
さ測定装置には同一の構成要素が同一であるが、
ダツシユを付けた参照符号を有する。ハウジング
21′の機械と反対側の壁の孔28′には円筒状の
マグネツト29の形の選択要素が図示しない参照
マークにセツトされている。残りの孔28′は図
示しない方法で充填要素で一杯に充填され、充填
要素は孔28′の端で脱落防止されている。マグ
ネツト29′のセツトの変化は前述の方法で行わ
れるる。例えばマグネツト29′が外方から見え
ないとしても、各所望の参照マークに対するマグ
ネツト29′の明確なセツトは孔28′の端で取り
外され、かつ再び装着される充填要素の計数によ
つて行われる。
れた他の長さの測定装置が示されており、その長
さ測定装置には同一の構成要素が同一であるが、
ダツシユを付けた参照符号を有する。ハウジング
21′の機械と反対側の壁の孔28′には円筒状の
マグネツト29の形の選択要素が図示しない参照
マークにセツトされている。残りの孔28′は図
示しない方法で充填要素で一杯に充填され、充填
要素は孔28′の端で脱落防止されている。マグ
ネツト29′のセツトの変化は前述の方法で行わ
れるる。例えばマグネツト29′が外方から見え
ないとしても、各所望の参照マークに対するマグ
ネツト29′の明確なセツトは孔28′の端で取り
外され、かつ再び装着される充填要素の計数によ
つて行われる。
選択要素は摩擦によることなく、むしろ形状拘
束的に固定されているので、摩擦は生じない。充
填要素は好ましくは合成樹脂から成り、充填要素
の長さは存在する参照マークによつて特定された
参照マークのみが選択されるべき場合に、参照マ
ークの間隔の整数倍にもなり得、さらに充填要素
の長さは参照マークの間隔以下にもされ得る。
束的に固定されているので、摩擦は生じない。充
填要素は好ましくは合成樹脂から成り、充填要素
の長さは存在する参照マークによつて特定された
参照マークのみが選択されるべき場合に、参照マ
ークの間隔の整数倍にもなり得、さらに充填要素
の長さは参照マークの間隔以下にもされ得る。
充填要素は加工上の理由から幾分の長さ走査公
差を伴う。この長さ走査公差の補償のために充填
要素を少なくとも位置個所で長さ方向に弾性的に
形成することが提案される。第7図には充填要素
15′が示されており、充填要素は一体に突出部
66を具えた横断面狭窄部64のための弾性舌状
片65を有する。負荷されない状態において突出
部66は充填要素15′の最大長を決定し、一方
ばね路の負荷状態においては舌状片65は充填要
素15′の最小長を決定する突出部67によつて
制限される。充填要素15′の最大長は充填要素
15′の所望の基準長よりも幾分大きくされ、そ
の結果長さ走査公差は簡単な方法で保持されるこ
とができる。本発明において選択要素として永久
磁石の外に電磁石、コンデンサ等の要素も使用さ
れることができる。
差を伴う。この長さ走査公差の補償のために充填
要素を少なくとも位置個所で長さ方向に弾性的に
形成することが提案される。第7図には充填要素
15′が示されており、充填要素は一体に突出部
66を具えた横断面狭窄部64のための弾性舌状
片65を有する。負荷されない状態において突出
部66は充填要素15′の最大長を決定し、一方
ばね路の負荷状態においては舌状片65は充填要
素15′の最小長を決定する突出部67によつて
制限される。充填要素15′の最大長は充填要素
15′の所望の基準長よりも幾分大きくされ、そ
の結果長さ走査公差は簡単な方法で保持されるこ
とができる。本発明において選択要素として永久
磁石の外に電磁石、コンデンサ等の要素も使用さ
れることができる。
(発明の効果)
本発明によれば、特に参照マークに対する選択
要素の位置の予め特定された固定が摩耗を伴うこ
となくかつ簡単に構成され、並びに参照マークに
対する選択要素の安全なセツトが可能にされるこ
とにある。一方選択される参照マークに対するセ
ツトのための選択要素の移動は異物によつて困難
にされない。更に外部からも見える、例えば密閉
された測定装置の内方に配置されている選択要素
も側方へ取り出されかつ再び挿入される充填要素
の計数により参照マークにセツトされる。
要素の位置の予め特定された固定が摩耗を伴うこ
となくかつ簡単に構成され、並びに参照マークに
対する選択要素の安全なセツトが可能にされるこ
とにある。一方選択される参照マークに対するセ
ツトのための選択要素の移動は異物によつて困難
にされない。更に外部からも見える、例えば密閉
された測定装置の内方に配置されている選択要素
も側方へ取り出されかつ再び挿入される充填要素
の計数により参照マークにセツトされる。
第1図はデジタル測定装置、第2図は測定尺の
平面図、第3図は密閉された測定装置、第4図は
測定尺及び走査ユニツトの平面図、第5図は測定
尺及び走査ユニツトの別の平面図、第6図は密閉
された別の測定装置の横断面積、そして第7図は
充填要素を示す図である。 図中符号、2:23:23′:42:53……
走査ユニツト、4:44:51……参照マーク、
9:29:29′:48:56……選択要素、1
4:28:28′:47:55……案内、15:
30:49:57……充填要素、31……保持装
置。
平面図、第3図は密閉された測定装置、第4図は
測定尺及び走査ユニツトの平面図、第5図は測定
尺及び走査ユニツトの別の平面図、第6図は密閉
された別の測定装置の横断面積、そして第7図は
充填要素を示す図である。 図中符号、2:23:23′:42:53……
走査ユニツト、4:44:51……参照マーク、
9:29:29′:48:56……選択要素、1
4:28:28′:47:55……案内、15:
30:49:57……充填要素、31……保持装
置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 機械の2つの対象物の相対位置の測定装置に
して、測定具現体が目盛及び測定方向において目
盛に沿つてこの目盛に付設された参照マークを有
し、その際走査ユニツトは両対象物の相対位置の
測定値を得るための走査信号の発生のために目盛
および測定装置のカウンタ又は機械の制御装置に
供給されるべき参照信号の発生のために参照マー
クを走査し、そして測定に必要な少なくとも1つ
の参照マークの選択のために走査ユニツトは電気
的切換手段によつて、測定具現体自体又はその直
ぐ近くの案内部に測定方向に移動可能に配設され
かつその都度選択された参照マークに連係可能の
少なくとも1つの選択要素を走査し、その際選択
された参照マーク及び所属の選択要素の同時走査
の際に発生した参照信号のみがカウンタ又は制御
装置に供給可能であるものにおいて、 その都度選択された参照マーク4;44;51
に対する少なくとも1つの選択要素9;29;2
9′;48;56の位置は測定方向において区分
された順次並んだ予め設定された長さの充填要素
15;30;49;57によつて形状一体的に確
定されることができ、その際少なくとも1つの選
択要素9;29;29′;48;56と充填要素
15;30;49;57とから成る列の端の要素
は、案内14;28;28′;47;56におけ
る少なくとも1つの選択要素9;29;29′;
48;56の不意の移動を排除するために保持要
素31によつて固定されており、電気的変換手段
10がリードスイツチ又は界磁プレートによつて
形成されており、そして充填要素15:30:4
9:57が少なくとも一個所で縦方向に弾性的に
形成されていることを特徴とする測定装置。 2 案内14:28:28′:47:55におけ
る等間隔の参照マーク4:44:51に対する選
択要素9:29:29′:48:56の位置の形
状拘束的確定のために充填要素15:30:4
9:57の長さが参照マーク4:44:51の間
隔と一致しており、そして選択要素9:29:2
9′:48:56の長さが案内14:28:2
8′:47:55及び充填要素15:30:4
9:57によつて充填されるように設定されてお
り、その際選択要素9:29:29′:48:5
6の最大長が参照マーク4:44:51の間隔と
一致するように設定されている、特許請求の範囲
第1項記載の測定装置。 3 充填要素の長さが参照マークの間隔の整数倍
又は参照マークの間隔よりも小さい、特許請求の
範囲第1項又は第2項記載の測定装置。 4 選択要素9:29:29′:48:56が、
リードスイツチ又は界磁プレートによつて形成さ
れた電気的変換手段10に対応して、マグネツト
によつて形成されている、特許請求の範囲第1項
又は第2項記載の測定装置。 5 選択要素48がランプで、変換手段50は光
電要素で形成される特許請求の範囲第1項又は第
2項記載の測定装置。 6 選択要素56が鏡によつて、そして切換手段
61,62がランプ及び光電要素によつて形成さ
れている、特許請求の範囲第1項又は第2記載の
測定装置。 7 充填要素15:30:49:57が合成樹脂
から成る、特許請求の範囲第1項から第3項まで
のうちのいずれか一記載の測定装置。 8 案内14:28:28′:47:55がT字
形溝である、特許請求の範囲第2項記載の測定装
置。 9 案内28′が孔である、特許請求の範囲第2
項記載の測定装置。
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