JPH04788B2 - - Google Patents

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JPH04788B2
JPH04788B2 JP60113689A JP11368985A JPH04788B2 JP H04788 B2 JPH04788 B2 JP H04788B2 JP 60113689 A JP60113689 A JP 60113689A JP 11368985 A JP11368985 A JP 11368985A JP H04788 B2 JPH04788 B2 JP H04788B2
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JP
Japan
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grinding
ground
wheel
abrasive grains
dressing
Prior art date
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JP60113689A
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JPS61270078A (ja
Inventor
Teruhiro Nakamura
Katsumi Uesugi
Ryozo Kikuma
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
Priority to JP11368985A priority Critical patent/JPS61270078A/ja
Publication of JPS61270078A publication Critical patent/JPS61270078A/ja
Publication of JPH04788B2 publication Critical patent/JPH04788B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」 本発明は、主として両頭研削盤において、工作
物(被研削材)の研削作業中にドレツシング(目
直しあるいは目立て)を行なう場合に好適な研削
盤における研削方法に関する。 「従来の技術」 一般に、ダイヤモンドまたは立方晶窒化ホウ素
(CBN)等の砥粒を用いる研削砥石(ホイール)
は、研削作業に供するに当たり、砥粒を保持する
結合材に対して、砥粒にある突出量を与え、個々
に切刃として作用する砥粒にチツプポケツトを設
けるため、ドレツシングを行なう必要があり、ま
た、研削作業中においても、適宜ホイールの切味
を回復させるために、ドレツシングを行なうこと
が多い。そして、上記ホイールのドレツシング
は、炭化ケイ素(SiC)、アルミナ(Al2O3)等の
砥粒を原料とするドレツシング砥石をホイールに
押し込んだり、あるいはSiC,Al2O3砥粒を遊離
砥粒として用いてホイールをラツピング加工する
ことにより行なわれている。 「発明が解決しようとする問題点」 ところで、従来、研削作業の途中でドレツシン
グを行なう必要が生じた場合には、研削作業を一
時中断させて行なわなければならず、また、場合
によつては、ホイールを研削盤から取り外してラ
ツピングしなければならないこともあり、研削作
業を連続的に行なうことができず、研削作業効率
の低下を招くという問題がある。例えば、両頭研
削盤において、超硬合金チツプを一定厚さにそろ
えようとする場合には、超硬合金チツプを多数個
一度にキヤリヤーに設置して、上下一対のダイヤ
モンドデイスクホイールで超硬合金チツプの上下
面を一度に研削するようにしている。この際、上
下のホイールをドレツシングする必要が生じる
と、従来においては、上記各超硬合金チツプを全
て取り除いた後に、上下のホイールを同時にラツ
ピングしたり、あるいは上下のホイールを一つず
つ回転させながら、ドレツシング砥石をホイール
の回転面に対して切り込むことによりドレツシン
グが行なわれている。さらに、必要に応じて、上
下のホイールを取り外し、各ホイールを片面ずつ
定盤上でラツピングする場合もあり、ドレツシン
グのために多くの時間を要する。 また、量産加工においては、一定の加工数毎に
ドレツシングを行なうようにしていることが多い
が、この場合、ドレツシング直後とドレツシング
直前とでは、ホイールの表面状態が変化している
ため、被研削面の仕上面アラサが一定に保てない
という問題がある。 本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、工作物の研削作業を中
断することなく研削砥石のドレツシングを行うこ
とができ、研削作業能率を向上させるとともに、
研削砥石の表面状態を常に一定に保持できて、被
研削材の仕上面アラサを一定に保つことができる
ような研削方法を提供することにある。 「問題点を解決するための手段」 上記目的を達成するために、本発明は、被研削
材に対して相対回転する研削砥石と、被研削材と
研削砥石の間に研削液を供給する研削液供給管
と、被研削材と研削砥石との間に研削液と砥粒と
からなる混濁液を供給する混濁液供給管とを備え
た研削盤により、研削砥石と被研削材の間に混濁
液を供給して研削を行つて、被研削材の表面を荒
研削しつつ研削砥石の表面のドレツシングを行つ
た後、研削砥石と被研削材の間に研削液を供給し
て研削を行つて、被研削材の表面を仕上研削する
ようにしたものである。 なお、上記砥粒は研削砥石をドレツシングする
ことができる硬度を持つていることが必要であ
る。 研削砥石のドレツシング効率を高めるために、
研削砥石面に砥粒を滞留させるための溝を形成し
てもよい。 「作用」 このような研削盤における研削方法において
は、研削砥石と被研削材との間に供給する流体
を、研削液と砥粒からなる混濁液とすることによ
り、混濁液中の砥粒が被研削材と研削砥石の双方
の面を研磨する。従つて、比較的硬質の研削砥石
は砥粒によりドレツシングされ、一方、被研削材
は荒研削される。次に、砥粒を含まない研削液の
みを供給して研削を行うことにより、研削砥石は
研削されず、被研削材のみが仕上研削される。 砥粒の硬度や粒度などの条件は、研削砥石や被
研削材の特性に応じて適宜選択される。 「実施例」 以下、第1図ないし第7図に基づいて本発明の
第1実施例を説明する。 第1図は、本発明の研削方法を行うために用い
る両頭研削盤の全体の構成を示す概略図である。
図中1は、ダイヤモンドホイール(研削砥石)で
あり、このダイヤモンドホイール1は、環状の台
金2の一方の表面に砥粒層3が形成されたもので
ある。そして、上下一対のダイヤモンドホイール
1が、それぞれ砥粒層3を向かい合わせた状態
で、互いに反対方向に回転するようになつてい
る。また、上記各ダイヤモンドホイール1の表面
(研削面)4には、第2図に示すように、直線状
の溝4aが中央部から適宜間隔で放射状に形成さ
れている。そして、これらの溝4aの断面形状
は、第3図a,b,cに示すように、ほぼV字状
に形成されると共に、各溝4aの底部が円弧状
〔第3図a〕、平担状〔第3図b〕、鋭角状〔第3
図c〕のいずれかに形成されている。 さらに、上記各ダイヤモンドホイール1の間に
は、中心部に穴を有する円板状のキヤリヤー5が
複数個配置されている。そして、これらのキヤリ
ヤー5には、複数個の工作物(被研削材)6が適
宜間隔をあけて設置され、かつこれらの工作物6
は、第4図に示すように、キヤリヤー5の厚さよ
り2εだけ厚く設定されている。また、上記各ダイ
ヤモンドホイール1の周囲の適宜位置には、それ
ぞれ、研削液供給ノズル7と混濁液供給ノズル8
が配置されている。そして、上記研削液供給ノズ
ル7及び混濁液供給ノズル8は、それぞれ研削液
供給管9及び混濁液供給管10を介して、電磁弁
11に連結されている。この電磁弁11は、研削
液供給ポンプ12を介して研削液タンク13に連
結されていると共に、混濁液供給ポンプ14を介
して、遊離砥粒混濁槽15に連結されている。さ
らにまた、この遊離砥粒混濁槽15には、研削液
供給ポンプ16を介して研削液タンク13が連結
されていると共に、遊離砥粒混濁槽15内攪拌用
のフアン17を駆動する駆動モーター18が設置
されている。また、上記ダイヤモンドホイール1
から流出した混濁液F1は遊離砥粒分離フイルタ
ー19により、研削液F2と遊離砥粒(SiCまたは
Al2O3)20とを分離するようになつている。 上記のように構成された研削砥石を備えた両頭
研削盤において、工作物6を研削する場合には、
まず、研削初期に電磁弁11をタイマーによつて
所定時間操作して、電磁弁11の混濁液供給管1
0側を開き、かつ研削液供給管9側を閉じる。こ
の際、遊離砥粒混濁槽15内において、研削液供
給ポンプ16によつて研削液タンク13から供給
された研削液F2と遊離砥粒20とが、駆動モー
ター18によるフアン17の攪拌作用によつて良
く混濁されており、この混濁液F1が、混濁液供
給ポンプ14によつて、電磁弁11、混濁液供給
管10を通つて、混濁液供給ノズル8から各ダイ
ヤモンドホイール1と工作物6との接触面に注入
される。従つて、この混濁液F1によつて、各ダ
イヤモンドホイール1の砥粒層3がドレツシング
されると共に、キヤリヤー5に設置された各工作
物6の上下両面が荒研削される。この場合、遊離
砥粒20が、各ダイヤモンドホイール1の表面に
形成された断面形状ほぼV字状の溝4aにより、
研削液F2と共に各ダイヤモンドホイール1の表
面に滞留させられ、かつ各ダイヤモンドホイール
1の回転運動により、各工作物6の上下両面に遊
離砥粒20が効果的に供給される一方、各工作物
6をキヤリヤー5の厚さより上下方向にそれぞれ
εずつ厚く設定してあることにより、対向する2
枚のダイヤモンドホイール1の間に、混濁液F1
内の遊離砥粒20が、より一層各工作物6とダイ
ヤモンドホイール1との接触面に導入され易くな
る。この結果、上記遊離砥粒20が、各ダイヤモ
ンドホイール1に設けた溝4aと工作物6の厚み
に対応させたキヤリヤー5との相乗作用により、
短時間で効果的なドレツシングを上記各ダイヤモ
ンドホイール1の表面に対して行なう。 次いで、所定時間が経過すると、電磁弁11の
混濁液供給管10側が閉じられ、かつ研削液供給
管9側が開かれる。これにより、研削液タンク1
3内の研削液F2が、研削液供給ポンプ12によ
つて、電磁弁11、研削液供給管9を通つて、研
削液供給ノズル7から各ダイヤモンドホイール1
と工作物6との接触面に注入される。この結果、
この研削液F2によつて、今まで、上記接触面に
滞留していた遊離砥粒20が速やかに洗い流さ
れ、工作物6は通常の研削液F2を用いて、各ダ
イヤモンドホイール1の砥粒層3により仕上研削
される。一方、洗い流された混濁液F1は、遊離
砥粒分離フイルター19により、遊離砥粒20と
研削液F2とに分離される。 さらに、通常の研削液F2を用いた仕上研削が
完了すると、電磁弁11は、研削液供給管9、混
濁液供給管10をともに閉じるから、各供給ノズ
ル7,8から研削液F2あるいは混濁液F1が供給
されない状態になり、この間に工作物6の交換を
行なう。 このようにして、各ダイヤモンドホイール1を
その研削工程初期において、ドレツシングしなが
ら工作物6を荒研削した後、工作物6を仕上研削
するから、研削作業を中断することなく、連続し
て研削加工を行なうことができ、自動連続運転が
可能となつた。 上記効果を示すものが、第6図と第7図に示す
特性図である。これらの図における加工条件は、 ダイヤモンドホイール 2A2形 350D×40T×100W×4X
SD230−N60B−4.0 ホイール周速 V=66m/分 上面ホイール切込荷重 P=480Kg 超硬合金チツプ(被研削材) M−20種 12.7×12.7mm面 取代 0.15mm 12ケ/キヤリヤー(48ケ/回) 使用遊離砥粒 C180 遊離砥粒供給時間 4秒/回 湿式研削 である。ただし、本実施例のダイヤモンドホイー
ル1には、溝4aが形成されている。 上記各特性図を見ても明らかなように、本実施
例(A)においては、遊離砥粒20を毎回取代0.15mm
研削初期の4秒間供給することにより、300個加
工以降の加工時間の安定化を図ることができた
(第6図)と共に、仕上面アラサについても、一
定に保つことができた(第7図)のに対して、従
来例(B)においては、加工個数の増加に伴つて、加
工時間が長くかかり、かつ仕上面アラサが小さく
なつているのがわかる。そして、本実施例におけ
る加工時間及び仕上面アラサを変更する必要があ
る場合には、遊離砥粒20の供給時間を適当な値
に変更し設定すればよい。また、ドレツシング後
の遊離砥粒20の残留による工作物6の被研削面
へのスクラツチは、4秒間の遊離砥粒20の供給
では発生しなかつた。さらに、従来例において
は、ドレツシング直前でのホイールの砥粒突出量
の減少により、超硬合金チツプが上側のホイール
に密着して、超硬合金チツプのローデイング、ア
ンローデイングの自動化を妨げていたが、本実施
例においては、研削を行ないながら、同時に適
宜、ドレツシングを行なうことができるから、上
記超硬合金チツプの密着の問題が解消された。さ
らにまた、ドレツシング時間を含んだ平均加工能
率の比較においても、表1に示すように、従来例
に比べて、本実施例の加工能率が良いことがわか
つた。
【表】 なお、本発明は、上記実施例に限られるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可
能である。例えば、上記実施例においては、ダイ
ヤモンドホイール1の表面4に、直線状の溝4a
を中央部から適宜間隔で放射状に形成している
が、その代わりに、第8図に示すように、直線状
の溝4bを中央部から螺旋状に形成したり、ある
いは、第9図に示すように、上記直線状の溝4a
の間に別の短溝4eを設けたり、または、第10
図に示すように、曲線状の溝4dを中央部から螺
旋状に形成してもよい。これらの溝4b〜4eの
断面形状は、第3図a,b,cに示す溝4aの断
面形状と同様である。 「発明の効果」 以上説明したように、本発明によれば、被研削
材に対して相対回転する研削砥石と、被研削材と
研削砥石の間に研削液を供給する研削液供給管
と、被研削材と研削砥石との間に研削液と砥粒と
からなる混濁液を供給する混濁液供給管とを備え
た研削盤により、研削砥石と被研削材の間に混濁
液を供給して研削を行つて、被研削材の表面を荒
研削しつつ研削砥石の表面のドレツシングを行つ
た後、研削砥石と被研削材の間に研削液を供給し
て研削を行つて、被研削材の表面を仕上研削する
ものであるから、工作物の研削作業と同時に研削
砥石のドレツシングを行うことにより、研削作業
能率を向上させることができるとともに、被研削
材の仕上面アラサを一定に保持できるという優れ
た効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第7図は、本発明の第1実施例を
示すもので、第1図は両頭研削盤の構成を示す概
略構成図、第2図はダイヤモンドホイールの表面
に形成された溝を説明する平面図、第3図は溝の
断面形状を示す図であり、第3図aは溝の底部を
円弧状に形成した一例の断面図、第3図bは溝の
底部を平担状に形成した一例の断面図、第3図c
は溝の底部を鋭角状に形成した一例の断面図、第
4図はダイヤモンドホイールとキヤリヤー部との
関係を示す側面図、第5図はダイヤモンドホイー
ルと工作物との関係を示す側面図、第6図は毎回
の加工時間と加工個数との関係を示す特性図、第
7図は仕上面アラサと加工個数との関係を示す特
性図、第8図は本発明の第2実施例を示す平面
図、第9図は本発明の第3実施例を示す平面図、
第10図は本発明の第4実施例を示す平面図であ
る。 1……ダイヤモンドホイール(研削砥石)、4
……表面(研削面)、4a,4b,4c、4d…
…溝、4e……短溝、6……工作物(被研削材)。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被研削材に対して相対回転する研削砥石と、
    被研削材と研削砥石の間に研削液を供給する研削
    液供給管と、被研削材と研削砥石との間に研削液
    と砥粒とからなる混濁液を供給する混濁液供給管
    とを備えた研削盤により、 研削砥石と被研削材の間に混濁液を供給して研
    削を行つて、被研削材の表面を荒研削しつつ研削
    砥石の表面のドレツシングを行つた後、 研削砥石と被研削材の間に研削液を供給して研
    削を行つて、被研削材の表面を仕上研削すること
    を特徴とする研削盤における研削方法。
JP11368985A 1985-05-27 1985-05-27 研削盤における研削方法 Granted JPS61270078A (ja)

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JP6345564B2 (ja) * 2014-09-30 2018-06-20 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 砥石及び砥石製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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