JPH0478019A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［概　要］ 磁気ディスク装置に搭載する磁気記録媒体、特に記録ト
ラ、りの高密度化に好適な媒体構造に関し、 既知の磁気ヘッドのトラック位置決め方式と媒体面での
光反射率の差異による光検出法を併用することで、高ト
ラック密度化における磁気へノドのトラック位置決め精
度を高めることが実現できる磁気記録媒体を提供するこ
とを目的とし、非磁性基板上に少なくとも一層からなる
磁性層を設けた磁気記録媒体において、前記磁性層が金
属酸化物磁性膜からなり、該磁性層上に金属膜と、その
金属膜表面の記録トラック間に対応する領域に、前記金
属膜とは光の反射率が異なるガード膜を同心円状、若し
くは渦巻状に設けた構成とする。

また、非磁性基板上に金属磁性膜からなる磁性層を設け
、その磁性層表面の記録トラック間に対応する領域に、
前記磁性層とは光の反射率が異なるガード膜を同心円状
、若しくは渦巻状に設けた構成とする。

〔産業上の利用分野］ 本発明はコンピュータシステムの外部記憶装置として用
いられる磁気ディスク装置に搭載する磁気記録媒体に係
り、特に記録トラックの高密度化に好適な媒体構造に関
するものである。

近来、磁気ディスク詰置の小型化、大容量化の要求に伴
い、磁気記録媒体の面記録密度を向上するために記録ト
ラック方向の線記録密度のみならず、トラック密度を高
めることも進められている。

しかし磁気記録媒体の高トラツク密度化に対する記録・
再往用磁気ヘッドのトラック位置決め精度にも限界があ
る。このため、そのような限界を乗り越える高精度な磁
気へノドのトラック位置決めが実現できる磁気記録媒体
が必要とされる。

〔従来の技術〕

従来の磁気記録媒体は、一般にアルマイト表面処理、或
いはＮｉ−Ｐめっき処理等が施されたアルミニウム円板
等からなる非磁性基板−ヒに、スパッタリング法などに
よってＴ−Ｆｅ、０．、等の金属酸化物磁性膜、或いは
Ｃｏ系合金等の金属磁性膜からなる磁気記録層を設けた
構成からなり、線記録密度やトラック密度を高めるため
に、前記磁気記録層の薄膜化、表面の平滑化、記録・再
生用磁気ヘットの低浮上化等が進められている。

Ｌ発明が解決しようとする課題〕 ところで上記したような磁気記録媒体を用いた磁気ディ
スク装置において、該磁気記録媒体に対する記録・再生
用磁気ヘッドのトラック位置決め制御としては、トラッ
ク位置決め機構を制御するためのサーボ信号をあらかじ
め記録している専用のサーボディスクを用いたサーボ面
サーボ方式、或いはデータディスク面の一部にあらかし
め記録したサーボ信号によりトラック位置決め機構を制
御するデータ面サーボ方式を通用している。

しかし、磁気記録媒体の高トラツク密度によりトラック
幅が狭められると、前者のサーボ面サーボ方式では、サ
ーボディスク、データディスクや、それらに対する各磁
気ヘッドアセンブリの微妙な熱膨張差による相互間のず
れにより、磁気へ・ノドのオフトラックが生じて再生時
にクロストークが発生するなど、磁気記録媒体に対する
記録・再生用磁気ヘッドのトラック位置決め精度にも限
界が生じている。この点、後者のデータ面サーボ方式は
前者の方式よりも多少は有利であるが、高トラツク密度
化が進むにつれて、常時、磁気ヘッドのトラック位置情
報が得られるわけではなく、同様なオフトラックが生し
易く、防止することが困難でありこの方式によっても、
磁気記録媒体に対する記録・再生用磁気ヘッドのトラ・
ツク位置決め精度の向上に限界がでてきている。

従って、高トラツク密度化に対する高精度なトラック位
置決め技術の向上が期待されている。

因に、このような状況下にある高密度記録用の磁気記録
媒体は、光記録媒体と比較して線記録密度においては勝
るものの、トラック密度では１７５程度に留まっている
。

本発明は上記した従来の問題点を解消するため、既知の
磁気ヘッドのトラック位置決め方式と媒体面での光反射
率の差異による光検出法を併用することで、高トラック
密度化における磁気ヘッドのトラック位置決め精度を高
めることが実現できる新規な磁気記録媒体を提供するこ
とを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段１ 本発明は上記した目的を達成するため、非磁性基板上に
少なくとも一層からなる磁性層を設けた磁気記録媒体に
おいて、前記磁性層が金属酸化物磁性膜からなり、該磁
性層上に金属膜と、その金属膜表面の記録トラック間に
対応する領域に、前記金属膜とは光の反射率が異なるカ
ード膜を同心円状、若しくは渦巻状に設けた構成とする
。

また、非磁性基板上に金属磁性膜からなる磁性層を設け
、その磁性層表面の記録トラック間に対応する領域に、
前記磁性層とは光の反射率が異なるガード膜を同心円状
、若しくは渦巻状に設けた構成とする。

となる。

：作　用］ 本発明では、上記した７−ＦｅｚＯ，、薄膜等からなる
磁気記録層の表面に叶薄膜等からなる金属膜を設け、そ
の表面の記録トラック間と対応する領域に、該金属膜と
は光の反則率が異なるカーホン薄膜からなるガード膜を
同心円状、若しくは渦巻状に設けた構成、或いはＦｅ−
Ｃｏｎ膜等からなる磁気記録層の表面の記録トラック間
と対応する領域に、該磁気記録層とは光の反射率が異な
るカーボン薄膜からなるガード膜を同心円状、若しくは
渦巻状に設けた構成とする。

そしてかかる磁気記録媒体に対する磁気へノドのトラッ
ク位置決めとして、サーボ面ザーボ方式、或いはデータ
面サーボ方式と、１−ラック領域をトラック間領域との
光の反射率の違いにより検出してトラック位置ずれを制
御する光検出制御法を併用することにより、高精度な１
−ラック位置決めが実現できる。その結果、高トラツク
密度化も容易：実施例］ 以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。

第１図は本発明に係る磁気記録媒体の一実施例を示す要
部断面斜視図である。

区１において、１１はアルマイト表面処理等が施された
アルミニウム円板、或いはガラス円板、セラミック円板
等からなる非磁性基板であり、その表面にはスパッタリ
ング法などによって得られるＴＦｅ２０３の酸化物磁性
膜からなる磁気記録層１２と光を透過しないＣｒ薄膜か
らなる金属膜１３が積層されている。

そしてその金属膜１３表面の記録トラック１４ｒｇＩと
対応する令ｌ域に、該金属膜１３とは光の反射率が異な
るカーボン薄膜からなる同心円状、若しくは渦巻状のガ
ード膜１５を設けた構成としている。

従って、このような構成の磁気記録媒体に対する磁気ヘ
ッドのトラック位置決めとして、例えザーボ面サーボ方
式、或いはデータ面サーボ方式と、記録トラック１４領
域をトラック間領域との光の反射率の違い（所謂、Ｃｒ
薄膜とカーボン薄膜との光の反射率の違い）により検出
してトラック位置すれを制イ卸する光検出制御法とを併
用することで、メ”フトラックのない高精度なトラック
位置決めを実現することが可能となる。

次に上記した構成の磁気記録媒体の形成方法を第３図ｆ
ａ、）〜（ｄ）によって説明する。

先ず第３図（ａ）にボずようにアルマイト表面処理等が
施されたアルミニウム円板、或いばセラミ。

り円板等からなる非磁性基板１１の表面に、スパッタリ
ング法により例えばｏ、ｔ−０，５μｍの膜厚のＴＦｅ
ｚ０３の酸化物磁性膜からなる磁気記録層１２と、０．
０２〜０．０３μｍの膜厚のＣｒ薄膜からなる金属膜２
３及び０．０２〜０．０５μｍの膜厚のカーボン薄膜２
１を１順次被着して積層する。

次に第３図■）に示すように前記カーボン薄膜２１の表
面に１．０μｍの膜厚のレジスト膜２２を塗布法により
形成し、該レジスト膜２２に記録１−ラック間と対応す
る領域のみをマスクするようにバターニングされたフォ
（・マスク２３を通して露光を施し、かつ現像した後、
第３図（Ｃ）に示すようにそのレジストマスク２４を通
して露出する前記カーホン薄膜２１を反応性イオンエツ
チング法によりエンチングする。

その後、レジストマスク２４を酸素プラスマエソチング
法により除去することにより、第３図（ｄ）に示すよう
に前記金属膜１３の表面に該金属膜１３とは光の反射率
が異なるカーホン薄膜２１からなる同心円状、若しくは
渦巻状のガーＦ’　［１５を設けた磁気記録媒体を容易
に得ることができる。

また、第２圀は本発明に係る磁気記録媒体の第二実施例
を示す要部断面斜視図である。

本実施例では、アルマイ１−表面処理等が施されたアル
ミニウム円板、或いはセラミック円板等からなる非磁性
基板３１の表面に、例えば０．０５μｍの膜厚のＣｏ−
Ｃｒ−Ｔａの金属磁性膜からなる磁気記録層３２が配設
され、その磁気記録層３２の表面の記録トラック３３間
と対応する領域に、前記第一実施例の磁気記録媒体の形
成方法と同様な方法により該磁気記録層３２とは光の反
射率が異なる０、Ｏ１〜０，０５μｍの膜厚のカーボン
薄膜からなる同心円状、若しく暖渦巻状のガード膜３４
を設けた構成としている。

この実施例の構成によっても前記第１図による実施例と
同様にオフトラックのない高精度なトラック位置決めを
実現することが可能となる優れた効果が得られる。

更に、第４図は本発明に係る磁気記録媒体の第三実施例
を示す要部断面斜視図であり、第２図と同等部分には同
一符号を付した。この図で示す実施例が第２図の実施例
と異なる点は、アルマイト表面処理等が施されたアルミ
ニウム円板、或いはセラミック円板等からなる非磁性基
板３１と０．０５μｍの膜厚のＣｏ−Ｃｒ−Ｔａの金属
磁性膜からなる磁気記録層３２との間に、０．０１〜０
．０２　ａ　ｍの膜厚のＴｉ、またはＣｒ等の該非磁性
基板３１に対する磁気記録層３２の密着性を向上させる
ための非磁性金属薄膜４１を介在させた構成としたこと
である。

この実施例の構成によっても前記第１図による実施例と
同様にオフトラックのない高精度なトラック位置決めを
実現することが可能となる効果が得られる。

更に、第５図は本発明に係る磁気記録媒体の第四実施例
を示す要部断面斜視図である。

本実施例は図示のようにアルマイト表面処理等が施され
たアルミニウム円板、或いはガラス円板、セラミック円
板等からなる非磁性基板５１の表面に０．５〜１０．０
μｍの膜厚のＮｉ−Ｆｅからなる軟磁性層５２と０．１
０〜０．１５μｍの膜厚のＣｏ−Ｃｒからなる垂直記録
層５３を順に積層した二層膜構造の垂直磁気記録媒体に
おける前記垂直記録層５３の表面の記録トラック５４間
と対応する領域に、前記第一実施例の磁気記録媒体の形
成方法と同様な方法により該垂直記録層５３と光の反射
率が異なる０、０１〜０．０５μｍの膜厚のカーボン薄
膜からなる同心円状、若しくは渦巻状のガード膜５５を
設けた構成としたことである。

この実施例の構成によっても前記第１図による実施例と
同様にオフトラックのない高精度なトラック位置決めを
実現することが可能となる優れた効果が得られる。

なお、以上の実施例では磁気記録層として、スパッタリ
ング法等により成膜した７　−Ｆｅ２０３の酸化物磁性
膜、或いはＦｅ−Ｃｏの金属磁性膜等を用いた場合の例
について説明したが、その他に塗布・焼成法等により形
成するγ−ＦｅｚＯ，，の酸化物磁性膜を用いた場合に
も適用できる。

また、ガード膜もカーボン薄膜に限定されるものではな
く、例えば前記金属膜、或いは金属磁性膜等と光の反射
率が異なる有機薄膜などを用いても良い。

更に、以上の各実施例の磁気記録媒体には、必要に応じ
てガード膜を含む媒体表面に潤滑膜を施すようにしても
良い。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明に係る磁気記録
媒体によれば、該磁気記録媒体に対する磁気ヘッドのト
ラック位置決めに、サーボ面サーボ方式、或いはデ７タ
面サーボ方式等と、トラック領域をトラック間領域との
光の反射率の違いにより検出してトラック位置ずれを制
御する光検出制御法を併用することにより、高精度なト
ラック位置決めが容易に実現できる優れた効果を奏し、
高トラツク密度化に寄与するところが多大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気記録媒体の第一実施例を示す
要部断面斜視図、 第２図は本発明に係る磁気記録媒体の第二実施例を示す
要部断面斜視図、 第３図（ａ）〜（ｄ）は本発明の第一実施例の磁気記録
媒体の形成方法を工程順に説明する要 部断面図、 第４図は本発明に係る磁気記録媒体の第三実施例を示す
要部断面斜視図、 第５図は本発明に係る磁気記録媒体の第四実施例を示す
要部断面斜視図である。 第１図〜第５図において、 １１．３１．５１は非磁性基板、１．２．３２は磁気記
録層、１３は金属膜、１４，３３．５４は記録トラフ・
り、１５．３４．５５はガート膜、２１はカーホン薄膜
、２２はレジスト膜、２３はフォトマスク、２４はレジ
ストマスク−４１は非磁性金属薄膜、５２は軟磁性層、
５３は垂直記録層をそれぞれ示す。 ンＬ発′θｈ４滅１誤ｍ峰イ４ζＡ１む一嗟（？ゴを力
ζ１１１ＰＲａｎＩ”ｆづりど６２７１１１１図 枡明４．が自）１ｉどすφ娃イ知う１ 弟　２ 後ｆＰＪ９Ｊ：を要外村命料坪図 図 料輿＾狭員寵靭Ｉむ穿轄藉剰ヲ「諦昧し繍５第　５　図 第 園

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基板（１１）上に少なくとも一層からなる
   磁性層（１２）を設けた磁気記録媒体において、前記磁
   性層（１２）が金属酸化物磁性膜からなり、該磁性層（
   １２）上に金属膜（１３）と、その金属膜（１３）表面
   の記録トラック（１４）間に対応する領域に、前記金属
   膜（１３）とは光の反射率が異なるガード膜（１５）を
   同心円状、若しくは渦巻状に設けて成ることを特徴とす
   る磁気記録媒体。
2. （２）非磁性基板（３１）上に金属磁性膜からなる磁性
   層（３２）を設け、その磁性層（３２）表面の記録トラ
   ック（３３）間に対応する領域に、前記磁性層（３２）
   とは光の反射率が異なるガード膜（３４）を同心円状、
   若しくは渦巻状に設けて成ることを特徴とする磁気記録
   媒体。