JPH0477398A - 硼化セリウム系単結晶とその育成法 - Google Patents
硼化セリウム系単結晶とその育成法Info
- Publication number
- JPH0477398A JPH0477398A JP2191672A JP19167290A JPH0477398A JP H0477398 A JPH0477398 A JP H0477398A JP 2191672 A JP2191672 A JP 2191672A JP 19167290 A JP19167290 A JP 19167290A JP H0477398 A JPH0477398 A JP H0477398A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boride
- single crystal
- cerium
- cerium boride
- lanthanum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 32
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 32
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 6
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 17
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 11
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N (R)-camphor Chemical compound C1C[C@@]2(C)C(=O)C[C@@H]1C2(C)C DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N 0.000 description 2
- 241000723346 Cinnamomum camphora Species 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 229960000846 camphor Drugs 0.000 description 2
- 229930008380 camphor Natural products 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は融液法による硼化セリウム(Ce B s )
系単結晶とその育成法に関する。
系単結晶とその育成法に関する。
(従来の技術及び解決しようとする課題)硼化セリウム
単結晶は、現在、寿命の長い高輝度電子放射材料として
、有望視されている。
単結晶は、現在、寿命の長い高輝度電子放射材料として
、有望視されている。
硼化セリウム単結晶の育成法としては、溶液法、気相法
、融液法などが知られているが、高純度な単結晶を育成
するには、育成温度が高い融液法が適している。
、融液法などが知られているが、高純度な単結晶を育成
するには、育成温度が高い融液法が適している。
融液法としては、アークベルヌーイ法、フローティング
・ゾーン法、ペデエスタル法があるが、高品質単結晶を
育成するにはフローティング・ゾーン法が適している。
・ゾーン法、ペデエスタル法があるが、高品質単結晶を
育成するにはフローティング・ゾーン法が適している。
従来、融液法による硼化セリウム単結晶の育成法におい
ては、単結晶の純度を高くするために、高純度の硼化セ
リウム原料が用いられてきた。しかし、この方法により
育成された単結晶中には多くの欠陥(例えば、粒界密度
で600cIIl/cI12)が存在するという欠点が
あった。このため、高品質な部分を選び、電子放射材と
して使用せざるを得ないのが実情である。
ては、単結晶の純度を高くするために、高純度の硼化セ
リウム原料が用いられてきた。しかし、この方法により
育成された単結晶中には多くの欠陥(例えば、粒界密度
で600cIIl/cI12)が存在するという欠点が
あった。このため、高品質な部分を選び、電子放射材と
して使用せざるを得ないのが実情である。
本発明は、上記従来技術の欠点を解消して、欠陥のない
良質な硼化セリウム単結晶を提供することを目的とする
ものである。
良質な硼化セリウム単結晶を提供することを目的とする
ものである。
(課題を解決するための手段)
前記課題を解決するため、本発明者らは、従来の融液法
において高純度の硼化セリウム原料を用いても単結晶中
に多くの欠陥が存在することに鑑みて、原料として、硼
化セリウム以外の材料を含有させることについて試みた
。その結果、硼化セリウムに、硼化セリウムに劣らない
電子放射特性を示す硼化ランタンを含有させた原料を使
用したところ、硼化セリウムの電子放射特性を劣化する
ことなく、良質の硼化セリウム系単結晶が育成できるこ
とを見い出した。特に、直径1cmの単結晶を育成する
場合、30モル%以上の硼化ランタンを含有させると、
全く粒界を含まない完全性の高い単結晶を育成できるこ
とを知見し、ここに本発明をなしたものである。
において高純度の硼化セリウム原料を用いても単結晶中
に多くの欠陥が存在することに鑑みて、原料として、硼
化セリウム以外の材料を含有させることについて試みた
。その結果、硼化セリウムに、硼化セリウムに劣らない
電子放射特性を示す硼化ランタンを含有させた原料を使
用したところ、硼化セリウムの電子放射特性を劣化する
ことなく、良質の硼化セリウム系単結晶が育成できるこ
とを見い出した。特に、直径1cmの単結晶を育成する
場合、30モル%以上の硼化ランタンを含有させると、
全く粒界を含まない完全性の高い単結晶を育成できるこ
とを知見し、ここに本発明をなしたものである。
すなわち、本発明は、化学式(CeニーxLaX)B6
(但し、0.01≦x < 0 、50 )を有するこ
とを特徴とする硼化セリウム系単結晶を要旨とするもの
である。
(但し、0.01≦x < 0 、50 )を有するこ
とを特徴とする硼化セリウム系単結晶を要旨とするもの
である。
また、その育成法は、硼化セリウム系単結晶を融液法に
よって育成するに際し、原料として、1モル%以上50
モル%未満の硼化ランタンを含有する硼化セリウムを使
用することを特徴とするものである。
よって育成するに際し、原料として、1モル%以上50
モル%未満の硼化ランタンを含有する硼化セリウムを使
用することを特徴とするものである。
以下に本発明を更に詳述する。
(作用)
本発明において用いられる単結晶育成法は融液法であり
、前述の如く種々の方法が可能であるが、フローティン
グ・ゾーン法(以下、rFZ法」という)は、大型で高
品位の単結晶が育成し易いので、好ましい。
、前述の如く種々の方法が可能であるが、フローティン
グ・ゾーン法(以下、rFZ法」という)は、大型で高
品位の単結晶が育成し易いので、好ましい。
第1図はFZ法育成炉の概念図であり、1は上軸、1′
は下軸、2.2′はホルダー、3は焼結棒(原料)、3
′は初期融帯保持用焼結棒又は種結晶、4は育成した単
結晶、5は融帯、6は高周波ワークコイルである。
は下軸、2.2′はホルダー、3は焼結棒(原料)、3
′は初期融帯保持用焼結棒又は種結晶、4は育成した単
結晶、5は融帯、6は高周波ワークコイルである。
原料としては、硼化セリウム粉末に硼化ランタン粉末を
1モル%以上50千ル れに結合剤として少量の樟脳を加えて、ラバープレス(
2 0 0 0kg/cm2)により圧粉枠を作製する
。
1モル%以上50千ル れに結合剤として少量の樟脳を加えて、ラバープレス(
2 0 0 0kg/cm2)により圧粉枠を作製する
。
この圧粉枠を真空中又は不活性ガス雰囲気中で千数百℃
に加熱して、原料焼結棒を作製する。
に加熱して、原料焼結棒を作製する。
なお、原料焼結棒としては、上記の如く硼化ランタン粉
末を使用する以外に、ランタンの酸化物、水酸化物、塩
化物などと硼素を、硼化ランタン換算で上記所定量を含
有させることも可能である。
末を使用する以外に、ランタンの酸化物、水酸化物、塩
化物などと硼素を、硼化ランタン換算で上記所定量を含
有させることも可能である。
得られた原料焼結棒3を上軸1にホルダー2を介してセ
ットし、下軸l′には、初期融帯保持用の焼結棒又は種
結晶3′をホルダー2′を介してセットする。次に原料
焼結棒3の下端を高周波ワークコイル6からの誘導加熱
により熔融させ、融帯5を形成させ、上軸1と下軸1′
をゆっくり下方に移動させて単結晶4を育成する。
ットし、下軸l′には、初期融帯保持用の焼結棒又は種
結晶3′をホルダー2′を介してセットする。次に原料
焼結棒3の下端を高周波ワークコイル6からの誘導加熱
により熔融させ、融帯5を形成させ、上軸1と下軸1′
をゆっくり下方に移動させて単結晶4を育成する。
その時の育成速度は0.2〜5cm/h、好ましくは0
.5〜2cm/hである。雰囲気は散気圧のアルゴン又
はヘリウムなどの不活性ガスが用いられる。
.5〜2cm/hである。雰囲気は散気圧のアルゴン又
はヘリウムなどの不活性ガスが用いられる。
これは、蒸発の抑制と高周波ワークコイル部分で発生す
る放電を防止するためである。
る放電を防止するためである。
かくして育成される単結晶は、化学式(Ce1−xLa
)B&(但し、0.01≦x < 0 、 5 0
)を有する硼化セリウム系単結晶である。ここで、Xが
0。
)B&(但し、0.01≦x < 0 、 5 0
)を有する硼化セリウム系単結晶である。ここで、Xが
0。
01未満では硼化ランタンを添加した効果が殆ど見られ
ない。すなわち、単結晶中の粒界密度の減少が実験誤差
の中に含まれてしまう程度である。
ない。すなわち、単結晶中の粒界密度の減少が実験誤差
の中に含まれてしまう程度である。
また0.50以上では単結晶中に気泡が含有することが
あり、実用上好ましくない。
あり、実用上好ましくない。
融液法による育成法としては、上述の高周波加熱による
FZ法に限らず、赤外線集中加熱によるFZ法も可能で
あり、更には、FZ法以外に,融液より引き上げる引き
上げ法、アーク・ベルヌイ法、ペデスタル法も可能であ
り、それぞれの方法に適した原料調整を行う。
FZ法に限らず、赤外線集中加熱によるFZ法も可能で
あり、更には、FZ法以外に,融液より引き上げる引き
上げ法、アーク・ベルヌイ法、ペデスタル法も可能であ
り、それぞれの方法に適した原料調整を行う。
次に本発明の実施例を示す。
(実施例)
硼化セリウム粉末に所定比(x=0.02、0。
05、061、0.2、0.4)の硼化ランタン粉末を
添加し混合した後、結合剤として樟脳を少量加えて再び
混合した。この混合物を直径12mn+のゴム袋に詰め
円柱状にし、これを2 0 0 0kg/c+nのラバ
ープレスして圧粉棒を得た。この圧粉棒を真空中、18
00℃で加熱して焼結棒を得た。
添加し混合した後、結合剤として樟脳を少量加えて再び
混合した。この混合物を直径12mn+のゴム袋に詰め
円柱状にし、これを2 0 0 0kg/c+nのラバ
ープレスして圧粉棒を得た。この圧粉棒を真空中、18
00℃で加熱して焼結棒を得た。
この焼結棒を第1図に示すFZ育成炉の上軸にホルダー
を介して固定し、下軸には(Cei−xI’ ax)B
6単結晶を固定した。育成炉に7気圧のアルゴンを充填
した後、高周波コイルにより原料焼結棒の下端を溶かし
て初期融帯を形成し、1cm/hで下方に移動させて、
(100>方位に単結晶を育成した。
を介して固定し、下軸には(Cei−xI’ ax)B
6単結晶を固定した。育成炉に7気圧のアルゴンを充填
した後、高周波コイルにより原料焼結棒の下端を溶かし
て初期融帯を形成し、1cm/hで下方に移動させて、
(100>方位に単結晶を育成した。
得られた単結晶は、直径1c+n、長さ7cI11であ
った。分析の結果、原料焼結棒と同じ組成を持つ単結晶
が育成され、蒸発による組成変化のないことが確認でき
た。また、育成された単結晶中のランタンの濃度は、始
端部を除き、全組成領域において一定となっていた。こ
のことは、育成後固化した融帯と結晶終端部の分析から
、硼化セリウムと硼化ランタンの分配係数が1に近いこ
とが判明し、融帯移動開始後すぐに定常状態になったた
めである。
った。分析の結果、原料焼結棒と同じ組成を持つ単結晶
が育成され、蒸発による組成変化のないことが確認でき
た。また、育成された単結晶中のランタンの濃度は、始
端部を除き、全組成領域において一定となっていた。こ
のことは、育成後固化した融帯と結晶終端部の分析から
、硼化セリウムと硼化ランタンの分配係数が1に近いこ
とが判明し、融帯移動開始後すぐに定常状態になったた
めである。
育成した単結晶の粒界密度は、結晶終端部の(100)
面を切り出し、鏡面研磨した後、エツチング(硝酸:水
=1=3の液で2〜3分)して測定した結果、第2図に
示すように、硼化セリウムに硼化ランタンを添加してゆ
くと粒界密度が減少し、30モル%以上添加すると粒界
が観察できなくなった。単結晶中に粒界が存在しない領
域は、育成する結晶の直径に依存し、細くなる程、広く
なった。すなわち、15モル%の硼化ランタンを添加し
た試料から直径6mmの単結晶を育成した場合、粒界が
全く観察されなかった。
面を切り出し、鏡面研磨した後、エツチング(硝酸:水
=1=3の液で2〜3分)して測定した結果、第2図に
示すように、硼化セリウムに硼化ランタンを添加してゆ
くと粒界密度が減少し、30モル%以上添加すると粒界
が観察できなくなった。単結晶中に粒界が存在しない領
域は、育成する結晶の直径に依存し、細くなる程、広く
なった。すなわち、15モル%の硼化ランタンを添加し
た試料から直径6mmの単結晶を育成した場合、粒界が
全く観察されなかった。
(発明の効果)
以上詳述したとおり、本発明によれば、欠陥のない良質
な硼化セリウム系単結晶を提供することができ、敢えて
高純度硼化セリウム原料を使用しなくともよいので経済
的である。
な硼化セリウム系単結晶を提供することができ、敢えて
高純度硼化セリウム原料を使用しなくともよいので経済
的である。
第1図はFZ育成炉の一例を説明する図、第2図は実施
例で得られた単結晶の粒界密度と硼化ランタン添加量の
関係を示す図である。 1・・・上軸、1′・・・下軸、2.2′・・・ホルダ
ー3・・焼結棒(原料)、3電・・初期融帯保持用焼結
棒又は種結晶、4・・育成した単結晶、5・・・融帯、
6・・高周波ワークコイル。 第1図 −53′
例で得られた単結晶の粒界密度と硼化ランタン添加量の
関係を示す図である。 1・・・上軸、1′・・・下軸、2.2′・・・ホルダ
ー3・・焼結棒(原料)、3電・・初期融帯保持用焼結
棒又は種結晶、4・・育成した単結晶、5・・・融帯、
6・・高周波ワークコイル。 第1図 −53′
Claims (3)
- (1)化学式(Ce_1_−_xLa_x)B_6(但
し、0.01≦x<0.50)を有することを特徴とす
る硼化セリウム系単結晶。 - (2)硼化セリウム系単結晶を融液法によって育成する
に際し、原料として、1モル%以上50モル%未満の硼
化ランタンを含有する硼化セリウムを使用することを特
徴とする硼化セリウム系単結晶の育成法。 - (3)硼化ランタンに代えて、ランタンの酸化物、水酸
化物又は塩化物と硼素を所定比に混合したものを用いる
請求項2に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19167290A JPH0686358B2 (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | 硼化セリウム系単結晶とその育成法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19167290A JPH0686358B2 (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | 硼化セリウム系単結晶とその育成法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0477398A true JPH0477398A (ja) | 1992-03-11 |
JPH0686358B2 JPH0686358B2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=16278542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19167290A Expired - Lifetime JPH0686358B2 (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | 硼化セリウム系単結晶とその育成法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0686358B2 (ja) |
-
1990
- 1990-07-19 JP JP19167290A patent/JPH0686358B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0686358B2 (ja) | 1994-11-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0477398A (ja) | 硼化セリウム系単結晶とその育成法 | |
JPH0477397A (ja) | 硼化ランタン系単結晶とその育成法 | |
JP3755021B2 (ja) | 六ホウ化希土類単結晶の育成法 | |
JPH04164896A (ja) | 硼化希土類系単結晶とその育成法 | |
JPS5860699A (ja) | 炭化チタン単結晶の育成法 | |
JPS5812240B2 (ja) | 炭化ハフニウム結晶体の製造法 | |
Tsai et al. | Growth of (FexMg1− x) 2SiO4 single crystals by the double pass floating zone method | |
JP2580523B2 (ja) | 二ホウ化チタン単結晶の育成法 | |
JPH04164897A (ja) | 硼化ランタン系単結晶とその育成法 | |
JPS5812239B2 (ja) | 炭化ジルコニウムの結晶体の製造法 | |
JPH05319991A (ja) | 六ホウ化ランタン単結晶の育成法 | |
JPH01286996A (ja) | 炭化チタン単結晶の育成法 | |
JP2997761B2 (ja) | 二ホウ化レニウム単結晶の製造方法 | |
JPH04198093A (ja) | ホウ化ランタン単結晶の育成法 | |
JPS58135200A (ja) | イットリウムアルミニウムガ−ネット(Y↓3Al↓5O↓1↓2)またはその固溶体の単結晶の製造法 | |
JP2929007B1 (ja) | Va族二ホウ化物単結晶の育成法 | |
JP2997762B2 (ja) | 六ホウ化カルシウム結晶の育成法 | |
JPS6247000A (ja) | タングステン・カ−バイドの結晶体の製造法 | |
JPS606914B2 (ja) | 炭化タンタル結晶体の製造法 | |
JPH0751480B2 (ja) | 六ホウ化ランタン単結晶の育成法 | |
JP2997760B2 (ja) | 二ホウ化ハフニウム単結晶の製造方法 | |
JPH04338191A (ja) | 単結晶の製造方法 | |
JPH08143395A (ja) | 六ホウ化ランタン単結晶の育成法 | |
JPS5957996A (ja) | 炭化ニオブ結晶体の製造法 | |
JPH0476353B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |