JPH0476502B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0476502B2 JPH0476502B2 JP60115008A JP11500885A JPH0476502B2 JP H0476502 B2 JPH0476502 B2 JP H0476502B2 JP 60115008 A JP60115008 A JP 60115008A JP 11500885 A JP11500885 A JP 11500885A JP H0476502 B2 JPH0476502 B2 JP H0476502B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outer ring
- inner ring
- ring
- seat
- fixing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0442—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば半導体ウエハを個々のペレ
ツトに分割する際に上記ウエハを貼りつけたシー
トを拡張後固定する拡張シート固定具に関するも
のである。
ツトに分割する際に上記ウエハを貼りつけたシー
トを拡張後固定する拡張シート固定具に関するも
のである。
第４図は、従来の拡張シート固定具を示す外観
図であり、図において１は内輪、２外輪、３，４
は該外輪２を上記内輪１に締めつけるためのボル
ト、ナツトである。
図であり、図において１は内輪、２外輪、３，４
は該外輪２を上記内輪１に締めつけるためのボル
ト、ナツトである。
第５図は従来の拡張コート固定具の使用状態を
示す断面である。個々の半導体ペレツトに分割さ
れた半導体ウエハ６を貼りつけた拡張シート５を
内輪１に外輪２で締めつけることで、シートを固
定する。
示す断面である。個々の半導体ペレツトに分割さ
れた半導体ウエハ６を貼りつけた拡張シート５を
内輪１に外輪２で締めつけることで、シートを固
定する。
従来の拡張シートの固定具は以上の様に構成さ
れているため、外輪２を締めつける際にボルト
３、ナツト４近くのシートは円周方向に沿つて引
き締められたり、締めつけが不十分だと前記ボル
ト３、ナツト４近くのシート５と外輪が接してい
ない付近からシートが緩んだり、また内輪１と外
輪２の面でシートを押さえるため圧力不足でシー
トが緩んだりし、第６図に示すように半導体ペレ
ツトの配列が乱れるという問題があり、また、ボ
ルト３、ナツト４を用いているため自動化が困難
であるという問題点があつた。
れているため、外輪２を締めつける際にボルト
３、ナツト４近くのシートは円周方向に沿つて引
き締められたり、締めつけが不十分だと前記ボル
ト３、ナツト４近くのシート５と外輪が接してい
ない付近からシートが緩んだり、また内輪１と外
輪２の面でシートを押さえるため圧力不足でシー
トが緩んだりし、第６図に示すように半導体ペレ
ツトの配列が乱れるという問題があり、また、ボ
ルト３、ナツト４を用いているため自動化が困難
であるという問題点があつた。
この発明は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、半導体ペレツトの配列の乱れ
を防止するとともに、自動化の容易な拡張シート
固定具を提供することを目的とする。
になされたもので、半導体ペレツトの配列の乱れ
を防止するとともに、自動化の容易な拡張シート
固定具を提供することを目的とする。
この発明に係る拡張シート固定具は、嵌合可能
な所定の寸法、形状に形成された内輪と外輪から
なり、上記内輪の外周面と外輪の内周面との間
に、拡張したシートの周縁部を挟み込んでこれを
固定するための拡張シート固定具において、上記
外輪を、内輪より弾性係数の小さい材料からな
り、その内周面に断面台形形状の凸部を有する構
造とし、上記内輪を、その外周面に上記外輪の凸
部と係合可能な凹状溝を有する構造としたもので
ある。
な所定の寸法、形状に形成された内輪と外輪から
なり、上記内輪の外周面と外輪の内周面との間
に、拡張したシートの周縁部を挟み込んでこれを
固定するための拡張シート固定具において、上記
外輪を、内輪より弾性係数の小さい材料からな
り、その内周面に断面台形形状の凸部を有する構
造とし、上記内輪を、その外周面に上記外輪の凸
部と係合可能な凹状溝を有する構造としたもので
ある。
この発明においては、外輪をその内周面に内輪
外周面の凹状溝との係合可能な台形状凸部を有す
る構造としたから、この外輪と内輪の係合状態で
は、外輪凸部の傾斜面が内輪凹状溝の縁部と接触
することとなつて、この接触部分には外輪の内輪
に対する締め付け力に比べて大きな圧接保持力が
発生することになり、またこの接触は線接触とな
つて力の分散がなく、これによりシートの固定を
小さな締め付け力で確実に行うことができ、ま
た、外輪を内輪よりやわらかい材質にして、これ
を弾性変形させて内輪に嵌め込むようにしている
ため、外輪と内輪の加工精度はそれほど厳しくす
る必要はなく、しかもこの嵌め込みの際、台形状
凸部の傾斜面がガイド面となり、外輪の内輪への
嵌め込みを非常にスムーズに行うことができるも
のである。
外周面の凹状溝との係合可能な台形状凸部を有す
る構造としたから、この外輪と内輪の係合状態で
は、外輪凸部の傾斜面が内輪凹状溝の縁部と接触
することとなつて、この接触部分には外輪の内輪
に対する締め付け力に比べて大きな圧接保持力が
発生することになり、またこの接触は線接触とな
つて力の分散がなく、これによりシートの固定を
小さな締め付け力で確実に行うことができ、ま
た、外輪を内輪よりやわらかい材質にして、これ
を弾性変形させて内輪に嵌め込むようにしている
ため、外輪と内輪の加工精度はそれほど厳しくす
る必要はなく、しかもこの嵌め込みの際、台形状
凸部の傾斜面がガイド面となり、外輪の内輪への
嵌め込みを非常にスムーズに行うことができるも
のである。
以下、本発明の実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例による拡張シート
固定具を示す外観図、また、第２図は同じく断面
図、第３図はこの拡張シート固定具の使用状態を
示す図であり、図中、第４図と同一符号は同一部
分を示す。図において、７は外周部に角状凹部分
７ａを備えた内輪、８は内周部に断面台形状凸部
分８ａを備え外周部に凹部分８ｂを備えた外輪、
９は内輪７に外輪８を上から押し込むためのプレ
ス、１０は外輪８を自動搬送するためのチヤツキ
ングツメである。
固定具を示す外観図、また、第２図は同じく断面
図、第３図はこの拡張シート固定具の使用状態を
示す図であり、図中、第４図と同一符号は同一部
分を示す。図において、７は外周部に角状凹部分
７ａを備えた内輪、８は内周部に断面台形状凸部
分８ａを備え外周部に凹部分８ｂを備えた外輪、
９は内輪７に外輪８を上から押し込むためのプレ
ス、１０は外輪８を自動搬送するためのチヤツキ
ングツメである。
次に作用効果について説明する。第３図はこの
固定具の使用状態を示す図であり、図において内
輪７に、半導体ウエハ６を貼りつけた拡張シート
５をのせ外輪８を上きり嵌め込みシート５を固定
する。これにより、シート５の固定時に従来装置
のように円周方向にシート５が引つ張られること
が無く、半導体ペレツト６の配列乱れを防止す
る。また、外輪８は全開に切り目が無いため、従
来装置のようなシート５を押さえない部分は無
く、そのような部分からのシート緩みによる半導
体ペレツト６の配列乱れを防止する。また、第２
図はこの発明の一実施例による拡張シート固定具
の断面を示すが、内輪７と外輪８とは２点でシー
ト５を押えることになり、押える力の分散を妨げ
ており、シート５の緩みによる半導体ペレツト６
の配列乱れを防止する。また、この２点の接触部
分には外輪の内輪に対する締め付け力に比べて大
きな圧接保持力が発生することになり、これによ
りシートの固定を小さな締め付け力で確実に行う
ことができる。
固定具の使用状態を示す図であり、図において内
輪７に、半導体ウエハ６を貼りつけた拡張シート
５をのせ外輪８を上きり嵌め込みシート５を固定
する。これにより、シート５の固定時に従来装置
のように円周方向にシート５が引つ張られること
が無く、半導体ペレツト６の配列乱れを防止す
る。また、外輪８は全開に切り目が無いため、従
来装置のようなシート５を押さえない部分は無
く、そのような部分からのシート緩みによる半導
体ペレツト６の配列乱れを防止する。また、第２
図はこの発明の一実施例による拡張シート固定具
の断面を示すが、内輪７と外輪８とは２点でシー
ト５を押えることになり、押える力の分散を妨げ
ており、シート５の緩みによる半導体ペレツト６
の配列乱れを防止する。また、この２点の接触部
分には外輪の内輪に対する締め付け力に比べて大
きな圧接保持力が発生することになり、これによ
りシートの固定を小さな締め付け力で確実に行う
ことができる。
また、内輪７はこれを鋼材、外輪８はこれを内
輪７により弾性係数のアルミニウム材とすること
により、外輪８が内輪７に押し拡げられてシート
５を固定するため、シート５を押える力が両輪中
心方向に向つて集中できる。また、内輪７に外輪
８が上から押し込む方法のため、第３図のように
プレス９を用いて自動で嵌め込むことができる。
また、外輪を内輪よりやわらかい材質にして、こ
れを弾性変形させて内輪に嵌め込むようにしてい
るため、外輪と内輪の加工精度はそれほど厳しく
する必要はなく、しかもこの嵌め込みの際、台形
凸部の傾斜面がガイド面となり、外輪の内輪への
嵌め込みを非常に簡単に行うことができ、またそ
の保持力も大きくなる。さらに外輪８の外周部に
凹部分を設けたことで、第３図のようにチヤツキ
ングツメ１０で外輪８を自動搬送することもでき
自動化を用意にできる。
輪７により弾性係数のアルミニウム材とすること
により、外輪８が内輪７に押し拡げられてシート
５を固定するため、シート５を押える力が両輪中
心方向に向つて集中できる。また、内輪７に外輪
８が上から押し込む方法のため、第３図のように
プレス９を用いて自動で嵌め込むことができる。
また、外輪を内輪よりやわらかい材質にして、こ
れを弾性変形させて内輪に嵌め込むようにしてい
るため、外輪と内輪の加工精度はそれほど厳しく
する必要はなく、しかもこの嵌め込みの際、台形
凸部の傾斜面がガイド面となり、外輪の内輪への
嵌め込みを非常に簡単に行うことができ、またそ
の保持力も大きくなる。さらに外輪８の外周部に
凹部分を設けたことで、第３図のようにチヤツキ
ングツメ１０で外輪８を自動搬送することもでき
自動化を用意にできる。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明に係る拡張シート固定
具によれば、外輪と内輪の係合状態では、外輪凸
部の傾斜面が内輪凹状溝の縁部と接触することと
なつて、この接触部分には外輪の内輪に対する締
め付け力に比べて大きな圧接保持力が発生するこ
とになり、またこの接触は線接触となつて力の分
散がなく、これによりシートの固定を小さな締め
付け力で確実に行うことができる。また、外輪を
弾性変形させて内輪に嵌め込むようにしているた
め、外輪と内輪の加工精度はそれほど厳しくする
必要はなく、しかもこの嵌め込みの際、台形状凸
部の傾斜面がガイド面となり、外輪の内輪への嵌
め込みを非常に簡単に行うことができる。この結
果、シートの固定がしつかりし半導体ペレツトの
配列の乱れを防止することができ、また、自動化
を容易にする拡張シート固定具が得られる効果が
ある。
具によれば、外輪と内輪の係合状態では、外輪凸
部の傾斜面が内輪凹状溝の縁部と接触することと
なつて、この接触部分には外輪の内輪に対する締
め付け力に比べて大きな圧接保持力が発生するこ
とになり、またこの接触は線接触となつて力の分
散がなく、これによりシートの固定を小さな締め
付け力で確実に行うことができる。また、外輪を
弾性変形させて内輪に嵌め込むようにしているた
め、外輪と内輪の加工精度はそれほど厳しくする
必要はなく、しかもこの嵌め込みの際、台形状凸
部の傾斜面がガイド面となり、外輪の内輪への嵌
め込みを非常に簡単に行うことができる。この結
果、シートの固定がしつかりし半導体ペレツトの
配列の乱れを防止することができ、また、自動化
を容易にする拡張シート固定具が得られる効果が
ある。
第１図はこの発明の一実施例による拡張シート
固定具の構成を示す外観図、第２図はこの固定具
の断面図、第３図はこの固定具の使用状態を示す
図、第４図は従来固定具の構成を示す外観図、第
５図は従来固定具の使用状態を示す断面図、第６
図は従来固定具の問題点を説明するための外観図
である。 ５……シート、７……内輪、７ａ……角状凹部
分、８……外輪、８ａ……台形状凸部分。なお、
図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
固定具の構成を示す外観図、第２図はこの固定具
の断面図、第３図はこの固定具の使用状態を示す
図、第４図は従来固定具の構成を示す外観図、第
５図は従来固定具の使用状態を示す断面図、第６
図は従来固定具の問題点を説明するための外観図
である。 ５……シート、７……内輪、７ａ……角状凹部
分、８……外輪、８ａ……台形状凸部分。なお、
図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 嵌合可能な所定の寸法、形状に形成された内
輪と外輪とからなり、上記内輪の外周面と外輪の
内周面との間に、拡張したシートの周縁部を挟み
込んでこれを固定するための拡張シート固定具に
おいて、 上記外輪を、内輪より弾性係数の小さい材料か
らなり、その内周面に断面台形形状の凸部を有す
る構造とし、 上記内輪を、その外周面に上記外輪の凸部と係
合可能な凹状溝を有する構造とし、 上記外輪の台形状凸部の傾斜部分と上記内輪の
角状凹部分の縁部との２箇所の線接触部分でシー
トを押さえて固定するようしたことを特徴とする
拡張シート固定具。 ２ 上記内輪が鋼材、外輪がアルミニウム材であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
拡張シート固定具。 ３ 上記内輪の外周部に凹部分を備えたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載
の拡張シート固定具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60115008A JPS61271852A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 拡張シ−ト固定具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60115008A JPS61271852A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 拡張シ−ト固定具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61271852A JPS61271852A (ja) | 1986-12-02 |
| JPH0476502B2 true JPH0476502B2 (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=14651992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60115008A Granted JPS61271852A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 拡張シ−ト固定具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61271852A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10262295A (ja) * | 1996-04-10 | 1998-09-29 | Asahi Optical Co Ltd | マイク用抗菌消臭カバーおよびその製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956742U (ja) * | 1982-10-06 | 1984-04-13 | ソニー株式会社 | 半導体素子取扱いリング |
| JPS59191732U (ja) * | 1983-06-06 | 1984-12-19 | 三菱電機株式会社 | プラスチツクシ−トの伸張保持具 |
-
1985
- 1985-05-27 JP JP60115008A patent/JPS61271852A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61271852A (ja) | 1986-12-02 |
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