JPH0475931U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0475931U JPH0475931U JP11954690U JP11954690U JPH0475931U JP H0475931 U JPH0475931 U JP H0475931U JP 11954690 U JP11954690 U JP 11954690U JP 11954690 U JP11954690 U JP 11954690U JP H0475931 U JPH0475931 U JP H0475931U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force sensor
- input shaft
- diffusion
- strain body
- bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 2
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
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Description
第１図は本考案の力覚センサーの平面図、第２
図は側面図、第３図、第４図は第１図のＡ−Ａ断
面図で接合部分の異なるもの、第５図は同じく接
合部分の異なるものの接合部分の断面図、第６図
は従来の力覚センサーの断面図、第７図は斜視図
、第８図はＸ軸用ブリツジ回路図、第９図はＹ軸
用ブリツジ回路図、第１０図はＺ軸用ブリツジ回
路図である。 １……起歪体、２……入力軸、７……接着剤、
１０……力覚センサー。
図は側面図、第３図、第４図は第１図のＡ−Ａ断
面図で接合部分の異なるもの、第５図は同じく接
合部分の異なるものの接合部分の断面図、第６図
は従来の力覚センサーの断面図、第７図は斜視図
、第８図はＸ軸用ブリツジ回路図、第９図はＹ軸
用ブリツジ回路図、第１０図はＺ軸用ブリツジ回
路図である。 １……起歪体、２……入力軸、７……接着剤、
１０……力覚センサー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 拡散歪ゲージを形成したシリコン単結晶基板
を起歪体上に接合してなる拡散型力覚センサーに
おいて、前記拡散型力覚センサーの入力軸と前記
起歪体とを絶縁性の接着剤で接合してなることを
特徴とする絶縁された検出アーム（入力軸）を持
つ三次元力覚センサー。 ２ 前記入力軸が絶縁性部材からなり、前記起歪
体と接合したものである第１項記載の絶縁された
入力軸を持つ三次元力覚センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11954690U JPH0475931U (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11954690U JPH0475931U (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475931U true JPH0475931U (ja) | 1992-07-02 |
Family
ID=31867496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11954690U Pending JPH0475931U (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0475931U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015530579A (ja) * | 2012-09-27 | 2015-10-15 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 歪送信器 |
| JP2018054293A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 荷重センサ |
-
1990
- 1990-11-14 JP JP11954690U patent/JPH0475931U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015530579A (ja) * | 2012-09-27 | 2015-10-15 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 歪送信器 |
| US9689757B2 (en) | 2012-09-27 | 2017-06-27 | Kistler Holding Ag | Strain transmitter |
| JP2018054293A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 荷重センサ |