JPH0474503A - 微小粒子摘出装置及び摘出方法 - Google Patents
微小粒子摘出装置及び摘出方法Info
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- JPH0474503A JPH0474503A JP2189842A JP18984290A JPH0474503A JP H0474503 A JPH0474503 A JP H0474503A JP 2189842 A JP2189842 A JP 2189842A JP 18984290 A JP18984290 A JP 18984290A JP H0474503 A JPH0474503 A JP H0474503A
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- 239000008187 granular material Substances 0.000 title abstract 8
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Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体製造施設等において、空気中または液
体中に存在する微小粒子を捕獲し摘出する装置に関し、
特にその摘出効率の向上を図ったものに関するものであ
る。
体中に存在する微小粒子を捕獲し摘出する装置に関し、
特にその摘出効率の向上を図ったものに関するものであ
る。
半導体装置等の製造施設などではその空気中にシリコン
のくずや銅、アルミ等の金属による発塵による微小粒子
が存在し、これが製造工程等に影響を与えることがあり
、この微小粒子を検出しその発生源を追究してこれを防
止する必要がある。
のくずや銅、アルミ等の金属による発塵による微小粒子
が存在し、これが製造工程等に影響を与えることがあり
、この微小粒子を検出しその発生源を追究してこれを防
止する必要がある。
第3図は、従来の微小粒子摘出装置の構成図を示し、微
小粒子の存在する流体を一方向に流すことによりフィル
タに微小粒子を捕獲させる仕組みを模式的に示す図であ
り、図において、■はフィルタ、2a〜2dはホルダ部
を構成する部品であり、それぞれ2aはホルダーケース
、2bはOリング、2Cはフィルタ押え、2dはホルダ
カバー3はフィルタ1を支持するためのサポートスクリ
−ンである。また4aは配管A、4bは配管B。
小粒子の存在する流体を一方向に流すことによりフィル
タに微小粒子を捕獲させる仕組みを模式的に示す図であ
り、図において、■はフィルタ、2a〜2dはホルダ部
を構成する部品であり、それぞれ2aはホルダーケース
、2bはOリング、2Cはフィルタ押え、2dはホルダ
カバー3はフィルタ1を支持するためのサポートスクリ
−ンである。また4aは配管A、4bは配管B。
5aは配管A(4a)のOリング、5bは配管B(4b
)の0リング、6aは微小粒子の存在する流体である流
体Aの流れ、7は微小粒子である。
)の0リング、6aは微小粒子の存在する流体である流
体Aの流れ、7は微小粒子である。
次に使用方法及び動作について説明する。
ホルダケース2aにサポートスクリーン3.フィルタ1
.Oリング2b、 フィルタ押え2Cの順で装着しホル
ダーカバー2dをねじ込んで固定する。
.Oリング2b、 フィルタ押え2Cの順で装着しホル
ダーカバー2dをねじ込んで固定する。
その後、0リング5aを装着した配管A(4a)及び0
リング5bを装着した配管B(4b)を両側から押え込
んで固定する。
リング5bを装着した配管B(4b)を両側から押え込
んで固定する。
上記構成の微小粒子摘出装置に対し、微小粒子7の存在
する流体Aの流れ6aを一方向に通すことによって微小
粒子7をフィルタ1に捕獲させる。
する流体Aの流れ6aを一方向に通すことによって微小
粒子7をフィルタ1に捕獲させる。
その後フィルタ1から捕獲された微小粒子7を摘出する
方法として、例えば第4図に示すような方法で行なって
いた。すなわち前記流体Aと同成分もしくは異なる成分
の流体Bを用い、流体Bの流れ6bを流体Aの流れ6a
と逆方向とし、この流れによってフィルタ1に捕獲され
ていた微小粒子7をフィルタ1から離脱させ、微小粒子
7を摘出していた。
方法として、例えば第4図に示すような方法で行なって
いた。すなわち前記流体Aと同成分もしくは異なる成分
の流体Bを用い、流体Bの流れ6bを流体Aの流れ6a
と逆方向とし、この流れによってフィルタ1に捕獲され
ていた微小粒子7をフィルタ1から離脱させ、微小粒子
7を摘出していた。
従来の微小粒子摘出装置及び摘出方法は以上のように構
成されているので、フィルタの有効面全面に捕獲させた
微小粒子を離脱させるべく大量の流体Bを流す必要があ
り、さらに微小粒子の大きさが小さくなるほど離脱させ
るための流体Bの流速を増加させる必要があり、微小粒
子を離脱させるための流体Bは総じて莫大な流量が必要
になるという問題があった。
成されているので、フィルタの有効面全面に捕獲させた
微小粒子を離脱させるべく大量の流体Bを流す必要があ
り、さらに微小粒子の大きさが小さくなるほど離脱させ
るための流体Bの流速を増加させる必要があり、微小粒
子を離脱させるための流体Bは総じて莫大な流量が必要
になるという問題があった。
例えば、ある成分のある大きさの微小粒子がフィルタに
捕獲されている場合、フィルタから微小粒子を離脱させ
るために必要な流体Bの流速がV(m/5ec)とした
場合、フィルタの有効面全面(S c+fl )に捕獲
させていた微小粒子を離脱させるためにはvXsXlo
o (cJ/5ec)の流量が必要となる。 l(:′
(& この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、微小粒子を離脱させるために必要な流体Bの
流量を極力減らすことのできる微小粒子摘出装置を得る
ことを目的とする。
捕獲されている場合、フィルタから微小粒子を離脱させ
るために必要な流体Bの流速がV(m/5ec)とした
場合、フィルタの有効面全面(S c+fl )に捕獲
させていた微小粒子を離脱させるためにはvXsXlo
o (cJ/5ec)の流量が必要となる。 l(:′
(& この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、微小粒子を離脱させるために必要な流体Bの
流量を極力減らすことのできる微小粒子摘出装置を得る
ことを目的とする。
この発明に係る微小粒子摘出装置及び摘出方法は、フィ
ルタの両側に該フィルタと対向するノズルを設け、フィ
ルタの微小粒子を捕獲していない側のノズルから、フィ
ルタの微小粒子を捕獲している側のノズルへ流体Bを流
通させることにより、フィルタの微小粒子を捕獲した領
域から局所的に微小粒子を摘出するようにし、さらに上
記対向するノズルの双方を上記フィルタの微小粒子捕獲
領域において部分的または全体的に走査することでフィ
ルタの微小粒子捕獲領域から微小粒子を摘出するように
したものである。
ルタの両側に該フィルタと対向するノズルを設け、フィ
ルタの微小粒子を捕獲していない側のノズルから、フィ
ルタの微小粒子を捕獲している側のノズルへ流体Bを流
通させることにより、フィルタの微小粒子を捕獲した領
域から局所的に微小粒子を摘出するようにし、さらに上
記対向するノズルの双方を上記フィルタの微小粒子捕獲
領域において部分的または全体的に走査することでフィ
ルタの微小粒子捕獲領域から微小粒子を摘出するように
したものである。
この発明においては、フィルタの両側に対向する一対の
ノズルを設け、フィルタの有効面の径に比べて十分に小
さい内径を有するノズルから流体を流通させてフィルタ
に捕獲された微小粒子を摘出するようにしたから、少な
い流量の流体で微小粒子を離脱させるために必要な流速
を得ることができ、従来のように莫大な流量を必要とし
ない。
ノズルを設け、フィルタの有効面の径に比べて十分に小
さい内径を有するノズルから流体を流通させてフィルタ
に捕獲された微小粒子を摘出するようにしたから、少な
い流量の流体で微小粒子を離脱させるために必要な流速
を得ることができ、従来のように莫大な流量を必要とし
ない。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図は本発明の一実施例による微小粒子摘出装置の構
成図を示し、第3図及び第4図と同一符号は同一または
相当部分を示し、8aはフィルタ1の微小粒子を捕獲し
ていない側の配管B(4b)内に配置されたノズルA、
8bはフィルタ1の微小粒子を捕獲している側の配管A
(4a)内に配置されたノズルB、9は流体Bの流れで
ある。
成図を示し、第3図及び第4図と同一符号は同一または
相当部分を示し、8aはフィルタ1の微小粒子を捕獲し
ていない側の配管B(4b)内に配置されたノズルA、
8bはフィルタ1の微小粒子を捕獲している側の配管A
(4a)内に配置されたノズルB、9は流体Bの流れで
ある。
次に動作について説明する。
第3図に示すように微小粒子7をフィルタ1に捕獲させ
た後、フィルタ1の両側でノズルA(8a)及びノズル
B(8b)を図示しない駆動機構でもってフィルタ1の
近傍まで近づける。その後、流体Bの流れ9をノズルA
(8a)側からノズルB(8b)側へ流通させ、微小粒
子7をフィルタ1より離脱させると共にノズルA(8a
)に送り込む。
た後、フィルタ1の両側でノズルA(8a)及びノズル
B(8b)を図示しない駆動機構でもってフィルタ1の
近傍まで近づける。その後、流体Bの流れ9をノズルA
(8a)側からノズルB(8b)側へ流通させ、微小粒
子7をフィルタ1より離脱させると共にノズルA(8a
)に送り込む。
ここで、ある成分のある大きさの微小粒子が捕獲されて
いる場合、フィルタ1から微小粒子を離脱させるために
必要な流体Bの流速をv(m/seC〕、ノズルAの内
径の面積を5n(c+fl)とすると、ノズルA及びノ
ズルBの位置するフィルタ上の局所的な位置で捕獲され
ていた微小粒子を離脱させるためには、 vXsnXloo (cIll/5ec)の流量を必要
とする。
いる場合、フィルタ1から微小粒子を離脱させるために
必要な流体Bの流速をv(m/seC〕、ノズルAの内
径の面積を5n(c+fl)とすると、ノズルA及びノ
ズルBの位置するフィルタ上の局所的な位置で捕獲され
ていた微小粒子を離脱させるためには、 vXsnXloo (cIll/5ec)の流量を必要
とする。
ところが、ノズルAの内径の面積Snはフィルタの有効
面の面積Sに比べ十分に小さく設定することができるた
め従来と比べその流量は、vXsnXloo(vXsX
loo (c1ff/seC〕となり、より少ない流量
でもって有効的に微小粒子をフィルタより離脱させるこ
とができる。
面の面積Sに比べ十分に小さく設定することができるた
め従来と比べその流量は、vXsnXloo(vXsX
loo (c1ff/seC〕となり、より少ない流量
でもって有効的に微小粒子をフィルタより離脱させるこ
とができる。
そして第2図に示すように対向するノズル8a。
8bを図示しない駆動手段でもって駆動させノズル走査
10を加えた第2の実施例を示し、このノズル走査10
によって、 vXsnXloo(vXsXloo (c+fl/se
)を維持しながら、フィルタ1の有効面全面に捕獲され
ていた微小粒子7を順次摘出させることができる。
10を加えた第2の実施例を示し、このノズル走査10
によって、 vXsnXloo(vXsXloo (c+fl/se
)を維持しながら、フィルタ1の有効面全面に捕獲され
ていた微小粒子7を順次摘出させることができる。
具体的な例として、フィルタ1の直径を25mmとし、
ノズルAの内径をlInInとすると、それぞれの面積
は、 となり、その面積比S n / Sは、S n / S
’−; 1 /625となり、従来例に比べ約1/6
00の流量とすることが可能となる。
ノズルAの内径をlInInとすると、それぞれの面積
は、 となり、その面積比S n / Sは、S n / S
’−; 1 /625となり、従来例に比べ約1/6
00の流量とすることが可能となる。
なお、実施例においてノズルA(8a)側を流体B及び
微小粒子7を引き込む流れを持つように負圧としてもよ
く、このようにすることで更に効果的に微小粒子を一゛
出することができる。
微小粒子7を引き込む流れを持つように負圧としてもよ
く、このようにすることで更に効果的に微小粒子を一゛
出することができる。
また上記実施例に用いられる流体としては、気体、液体
いずれの場合であってもよいことは言うまでもない。
いずれの場合であってもよいことは言うまでもない。
以上のように、この発明に係る微小粒子摘出装置及び摘
出方法によれば、フィルタの両側に対向する一対のノズ
ルを設け、フィルタの有効面の径に比べて十分に小さい
内径を有するノズルから流体を流通させてフィルタに捕
獲された微小粒子を摘出するようにしたので、微小粒子
を離脱させるために必要な流体Bの流量を極力減らすこ
とのできるという効果がある。
出方法によれば、フィルタの両側に対向する一対のノズ
ルを設け、フィルタの有効面の径に比べて十分に小さい
内径を有するノズルから流体を流通させてフィルタに捕
獲された微小粒子を摘出するようにしたので、微小粒子
を離脱させるために必要な流体Bの流量を極力減らすこ
とのできるという効果がある。
第1図は本発明の一実施例による微小粒子摘出装置の構
成図、第2図は本発明の一実施例による微小粒子摘出装
置のノズル走査時の動作を説明するための図、第3図は
従来の微小粒子摘出装置において、微小粒子を捕獲する
動作を説明するための図、第4図は従来の微小粒子摘出
装置の微小粒子を摘出する動作を説明するための図であ
る。 1はフィルタ、2aはホルダケース、2bはOリング、
2cはフィルタ押え、2dはホルタ゛カバ、3はサポー
トスクリーン、4aは配管A、4bは配管B、5a、5
bは0リング、6aは流体Aの流れ、6.bは流体Bの
流れ、7は微小粒子、8aはノズルA、8bはノズルB
、9は流体Bの流れ、10はノズル走査である。 尚、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
成図、第2図は本発明の一実施例による微小粒子摘出装
置のノズル走査時の動作を説明するための図、第3図は
従来の微小粒子摘出装置において、微小粒子を捕獲する
動作を説明するための図、第4図は従来の微小粒子摘出
装置の微小粒子を摘出する動作を説明するための図であ
る。 1はフィルタ、2aはホルダケース、2bはOリング、
2cはフィルタ押え、2dはホルタ゛カバ、3はサポー
トスクリーン、4aは配管A、4bは配管B、5a、5
bは0リング、6aは流体Aの流れ、6.bは流体Bの
流れ、7は微小粒子、8aはノズルA、8bはノズルB
、9は流体Bの流れ、10はノズル走査である。 尚、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (2)
- (1)流体の中に存在する微小粒子を流体の流れを介在
して捕獲するためのフィルタと、該フィルタを保持する
ホルダ部と、 該ホルダ部の両側に配置され流体を導く配管とから構成
された微小粒子摘出装置において、上記フィルタを挟ん
でノズルを対向して設け、上記フィルタの微小粒子が捕
獲されていない側のノズルより流体を流通し、対向する
他方のノズルに粒子を送り込みフィルタに捕獲された微
小粒子を摘出するようにしたことを特徴とする微小粒子
摘出方法。 - (2)上記対向するノズルの双方を上記フィルタの微小
粒子が捕獲されている領域において部分的に又は、全体
的に走査する手段を備えたことを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の微小粒子摘出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2189842A JPH0474503A (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 微小粒子摘出装置及び摘出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2189842A JPH0474503A (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 微小粒子摘出装置及び摘出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0474503A true JPH0474503A (ja) | 1992-03-09 |
Family
ID=16248120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2189842A Pending JPH0474503A (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 微小粒子摘出装置及び摘出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0474503A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109416304A (zh) * | 2016-05-13 | 2019-03-01 | 帕蒂克利弗公司 | 用于对气雾中存在的纳米颗粒进行采样的设备的可拆卸盒以及用于这种盒的过滤组件 |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP2189842A patent/JPH0474503A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109416304A (zh) * | 2016-05-13 | 2019-03-01 | 帕蒂克利弗公司 | 用于对气雾中存在的纳米颗粒进行采样的设备的可拆卸盒以及用于这种盒的过滤组件 |
JP2019515794A (ja) * | 2016-05-13 | 2019-06-13 | パーティクルベル | エアロゾル中に存在するナノ粒子を採取するための取り外し可能カセット及びそのようなカセットのための濾過アセンブリ |
CN109416304B (zh) * | 2016-05-13 | 2021-12-10 | 气体和空气技术研究所 | 用于对气雾中存在的纳米颗粒进行采样的设备的可拆卸盒以及用于这种盒的过滤组件 |
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