JPH0474503A - 微小粒子摘出装置及び摘出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体製造施設等において、空気中または液
体中に存在する微小粒子を捕獲し摘出する装置に関し、
特にその摘出効率の向上を図ったものに関するものであ
る。

〔従来の技術〕

半導体装置等の製造施設などではその空気中にシリコン
のくずや銅、アルミ等の金属による発塵による微小粒子
が存在し、これが製造工程等に影響を与えることがあり
、この微小粒子を検出しその発生源を追究してこれを防
止する必要がある。

第３図は、従来の微小粒子摘出装置の構成図を示し、微
小粒子の存在する流体を一方向に流すことによりフィル
タに微小粒子を捕獲させる仕組みを模式的に示す図であ
り、図において、■はフィルタ、２ａ〜２ｄはホルダ部
を構成する部品であり、それぞれ２ａはホルダーケース
、２ｂはＯリング、２Ｃはフィルタ押え、２ｄはホルダ
カバー３はフィルタ１を支持するためのサポートスクリ
−ンである。また４ａは配管Ａ、４ｂは配管Ｂ。

５ａは配管Ａ（４ａ）のＯリング、５ｂは配管Ｂ（４ｂ
）の０リング、６ａは微小粒子の存在する流体である流
体Ａの流れ、７は微小粒子である。

次に使用方法及び動作について説明する。

ホルダケース２ａにサポートスクリーン３．フィルタ１
．Ｏリング２ｂ、　フィルタ押え２Ｃの順で装着しホル
ダーカバー２ｄをねじ込んで固定する。

その後、０リング５ａを装着した配管Ａ（４ａ）及び０
リング５ｂを装着した配管Ｂ（４ｂ）を両側から押え込
んで固定する。

上記構成の微小粒子摘出装置に対し、微小粒子７の存在
する流体Ａの流れ６ａを一方向に通すことによって微小
粒子７をフィルタ１に捕獲させる。

その後フィルタ１から捕獲された微小粒子７を摘出する
方法として、例えば第４図に示すような方法で行なって
いた。すなわち前記流体Ａと同成分もしくは異なる成分
の流体Ｂを用い、流体Ｂの流れ６ｂを流体Ａの流れ６ａ
と逆方向とし、この流れによってフィルタ１に捕獲され
ていた微小粒子７をフィルタ１から離脱させ、微小粒子
７を摘出していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の微小粒子摘出装置及び摘出方法は以上のように構
成されているので、フィルタの有効面全面に捕獲させた
微小粒子を離脱させるべく大量の流体Ｂを流す必要があ
り、さらに微小粒子の大きさが小さくなるほど離脱させ
るための流体Ｂの流速を増加させる必要があり、微小粒
子を離脱させるための流体Ｂは総じて莫大な流量が必要
になるという問題があった。

例えば、ある成分のある大きさの微小粒子がフィルタに
捕獲されている場合、フィルタから微小粒子を離脱させ
るために必要な流体Ｂの流速がＶ（ｍ／５ｅｃ）とした
場合、フィルタの有効面全面（Ｓ　ｃ＋ｆｌ　）に捕獲
させていた微小粒子を離脱させるためにはｖＸｓＸｌｏ
ｏ　（ｃＪ／５ｅｃ）の流量が必要となる。　ｌ（：′
（＆ この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、微小粒子を離脱させるために必要な流体Ｂの
流量を極力減らすことのできる微小粒子摘出装置を得る
ことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る微小粒子摘出装置及び摘出方法は、フィ
ルタの両側に該フィルタと対向するノズルを設け、フィ
ルタの微小粒子を捕獲していない側のノズルから、フィ
ルタの微小粒子を捕獲している側のノズルへ流体Ｂを流
通させることにより、フィルタの微小粒子を捕獲した領
域から局所的に微小粒子を摘出するようにし、さらに上
記対向するノズルの双方を上記フィルタの微小粒子捕獲
領域において部分的または全体的に走査することでフィ
ルタの微小粒子捕獲領域から微小粒子を摘出するように
したものである。

〔作用〕

この発明においては、フィルタの両側に対向する一対の
ノズルを設け、フィルタの有効面の径に比べて十分に小
さい内径を有するノズルから流体を流通させてフィルタ
に捕獲された微小粒子を摘出するようにしたから、少な
い流量の流体で微小粒子を離脱させるために必要な流速
を得ることができ、従来のように莫大な流量を必要とし
ない。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図は本発明の一実施例による微小粒子摘出装置の構
成図を示し、第３図及び第４図と同一符号は同一または
相当部分を示し、８ａはフィルタ１の微小粒子を捕獲し
ていない側の配管Ｂ（４ｂ）内に配置されたノズルＡ、
８ｂはフィルタ１の微小粒子を捕獲している側の配管Ａ
（４ａ）内に配置されたノズルＢ、９は流体Ｂの流れで
ある。

次に動作について説明する。

第３図に示すように微小粒子７をフィルタ１に捕獲させ
た後、フィルタ１の両側でノズルＡ（８ａ）及びノズル
Ｂ（８ｂ）を図示しない駆動機構でもってフィルタ１の
近傍まで近づける。その後、流体Ｂの流れ９をノズルＡ
（８ａ）側からノズルＢ（８ｂ）側へ流通させ、微小粒
子７をフィルタ１より離脱させると共にノズルＡ（８ａ
）に送り込む。

ここで、ある成分のある大きさの微小粒子が捕獲されて
いる場合、フィルタ１から微小粒子を離脱させるために
必要な流体Ｂの流速をｖ（ｍ／ｓｅＣ〕、ノズルＡの内
径の面積を５ｎ（ｃ＋ｆｌ）とすると、ノズルＡ及びノ
ズルＢの位置するフィルタ上の局所的な位置で捕獲され
ていた微小粒子を離脱させるためには、 ｖＸｓｎＸｌｏｏ　（ｃＩｌｌ／５ｅｃ）の流量を必要
とする。

ところが、ノズルＡの内径の面積Ｓｎはフィルタの有効
面の面積Ｓに比べ十分に小さく設定することができるた
め従来と比べその流量は、ｖＸｓｎＸｌｏｏ（ｖＸｓＸ
ｌｏｏ　（ｃ１ｆｆ／ｓｅＣ〕となり、より少ない流量
でもって有効的に微小粒子をフィルタより離脱させるこ
とができる。

そして第２図に示すように対向するノズル８ａ。

８ｂを図示しない駆動手段でもって駆動させノズル走査
１０を加えた第２の実施例を示し、このノズル走査１０
によって、 ｖＸｓｎＸｌｏｏ（ｖＸｓＸｌｏｏ　（ｃ＋ｆｌ／ｓｅ
）を維持しながら、フィルタ１の有効面全面に捕獲され
ていた微小粒子７を順次摘出させることができる。

具体的な例として、フィルタ１の直径を２５ｍｍとし、
ノズルＡの内径をｌＩｎＩｎとすると、それぞれの面積
は、 となり、その面積比Ｓ　ｎ　／　Ｓは、Ｓ　ｎ　／　Ｓ
　’−；　１　／６２５となり、従来例に比べ約１／６
００の流量とすることが可能となる。

なお、実施例においてノズルＡ（８ａ）側を流体Ｂ及び
微小粒子７を引き込む流れを持つように負圧としてもよ
く、このようにすることで更に効果的に微小粒子を一゛
出することができる。

また上記実施例に用いられる流体としては、気体、液体
いずれの場合であってもよいことは言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明に係る微小粒子摘出装置及び摘
出方法によれば、フィルタの両側に対向する一対のノズ
ルを設け、フィルタの有効面の径に比べて十分に小さい
内径を有するノズルから流体を流通させてフィルタに捕
獲された微小粒子を摘出するようにしたので、微小粒子
を離脱させるために必要な流体Ｂの流量を極力減らすこ
とのできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による微小粒子摘出装置の構
成図、第２図は本発明の一実施例による微小粒子摘出装
置のノズル走査時の動作を説明するための図、第３図は
従来の微小粒子摘出装置において、微小粒子を捕獲する
動作を説明するための図、第４図は従来の微小粒子摘出
装置の微小粒子を摘出する動作を説明するための図であ
る。 １はフィルタ、２ａはホルダケース、２ｂはＯリング、
２ｃはフィルタ押え、２ｄはホルタ゛カバ、３はサポー
トスクリーン、４ａは配管Ａ、４ｂは配管Ｂ、５ａ、５
ｂは０リング、６ａは流体Ａの流れ、６．ｂは流体Ｂの
流れ、７は微小粒子、８ａはノズルＡ、８ｂはノズルＢ
、９は流体Ｂの流れ、１０はノズル走査である。 尚、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）流体の中に存在する微小粒子を流体の流れを介在
   して捕獲するためのフィルタと、該フィルタを保持する
   ホルダ部と、 該ホルダ部の両側に配置され流体を導く配管とから構成
   された微小粒子摘出装置において、上記フィルタを挟ん
   でノズルを対向して設け、上記フィルタの微小粒子が捕
   獲されていない側のノズルより流体を流通し、対向する
   他方のノズルに粒子を送り込みフィルタに捕獲された微
   小粒子を摘出するようにしたことを特徴とする微小粒子
   摘出方法。
2. （２）上記対向するノズルの双方を上記フィルタの微小
   粒子が捕獲されている領域において部分的に又は、全体
   的に走査する手段を備えたことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の微小粒子摘出装置。