JPH0473601U - - Google Patents

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JPH0473601U
JPH0473601U JP11642490U JP11642490U JPH0473601U JP H0473601 U JPH0473601 U JP H0473601U JP 11642490 U JP11642490 U JP 11642490U JP 11642490 U JP11642490 U JP 11642490U JP H0473601 U JPH0473601 U JP H0473601U
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JP
Japan
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pinion shaft
magnetic scale
rotation angle
case
view
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JP11642490U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第
2図は第1図の横断面図、第3図は第2図の回転
角センサーを示す斜視図、第4図は第3図の回転
角センサーの出力波形図である。第5図は公知の
搖動式アクチユエーターを示す縦断面図、第6図
は第5図の横断面図、第7図は第5図のアクチユ
エーターを縦列接続してなるマニピユレーターハ
ンドを示す斜視図である。 1……ケース、2……ラツクピストン、3……
ピニオン軸、7……アーム材、9……取付片、1
0……検出ヘツド、11……磁気スケール、12
……リング材、13,14……磁石、15……デ
イテクター、16……パルスカウンター。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ケース、ラツクピストン、ピニオン軸、軸受等
    から構成される搖動式アクチユエーターにおいて
    、ピニオン軸端部の回転部材にソリツド型リング
    状磁気スケールを取付けるとともに、磁気スケー
    ルの回転角を検出するための検出ヘツドをケース
    本体側に固定したことを特徴とする搖動式アクチ
    ユエーター。
JP11642490U 1990-11-06 1990-11-06 Pending JPH0473601U (ja)

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JP11642490U JPH0473601U (ja) 1990-11-06 1990-11-06

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JPH0473601U true JPH0473601U (ja) 1992-06-29

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006058368A (ja) * 2004-08-17 2006-03-02 Luminas Corp 三次元位置決め装置
JP2009243500A (ja) * 2008-03-28 2009-10-22 Tyco Flow Control Japan Kk 緊急遮断弁装置
JP2009243499A (ja) * 2008-03-28 2009-10-22 Tyco Flow Control Japan Kk 緊急遮断弁装置
JP5611362B2 (ja) * 2010-09-28 2014-10-22 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ 検出機構付き旋回アクチュエータおよび関節ユニット

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5032705U (ja) * 1973-07-19 1975-04-09
JPS529414U (ja) * 1976-03-03 1977-01-22

Patent Citations (2)

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