JPH036508U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH036508U JPH036508U JP6572289U JP6572289U JPH036508U JP H036508 U JPH036508 U JP H036508U JP 6572289 U JP6572289 U JP 6572289U JP 6572289 U JP6572289 U JP 6572289U JP H036508 U JPH036508 U JP H036508U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- displacement
- rotation speed
- pair
- face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の構成を示すブロ
ツク図、第２図イは同実施例によるシヤフトの端
面形状を示す図、同図ロおよびハはシヤフトの端
面形状の他の例を示す図、第３図は同実施例の動
作を説明するための各部の波形図、第４図は磁気
軸受の一部の構造を示す斜視図である。 １……シヤフト、１ａ……凸部、１ｂ……凹部
、４，５……変位センサ、６……加算器、７……
減算器、８……除算器（６〜８が変位検手段）、
９……比較器、１０……Ｆ／Ｖ変換器、（９と１
０が回転数検出手段）。
ツク図、第２図イは同実施例によるシヤフトの端
面形状を示す図、同図ロおよびハはシヤフトの端
面形状の他の例を示す図、第３図は同実施例の動
作を説明するための各部の波形図、第４図は磁気
軸受の一部の構造を示す斜視図である。 １……シヤフト、１ａ……凸部、１ｂ……凹部
、４，５……変位センサ、６……加算器、７……
減算器、８……除算器（６〜８が変位検手段）、
９……比較器、１０……Ｆ／Ｖ変換器、（９と１
０が回転数検出手段）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 磁気軸受によつて非接触状態で支持されている
シヤフトの端面の円周等分複数個所に交互に形成
された凹部と凸部と、 前記シヤフトの端面と所定距離隔てて配置され
、前記端面の凹部と凸部までの距離に対応した信
号を各々出力する一対の変位センサと、 前記一対の変位センサの出力信号の和に基づい
て前記シヤフトのスラスト方向への変位を検出す
る変位検出手段と、 前記一対の変位センサのいずれか一方の出力信
号の単位時間当たりの変動回数に基づいて前記シ
ヤフトの回転数を検出する回転数検出手段と、 を具備することを特徴とする変位・回転数検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6572289U JPH0648326Y2 (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | 変位・回転数検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6572289U JPH0648326Y2 (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | 変位・回転数検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH036508U true JPH036508U (ja) | 1991-01-22 |
| JPH0648326Y2 JPH0648326Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31597801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6572289U Expired - Lifetime JPH0648326Y2 (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | 変位・回転数検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648326Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002005167A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-09 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 磁気軸受構造及びこれを回転軸に組み付ける方法 |
| JP2011208967A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Nippo Corp | 測位装置 |
| JP2016221444A (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-28 | 日立工機株式会社 | 遠心機 |
| JP2018527576A (ja) * | 2015-09-15 | 2018-09-20 | マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲーＭｉｃｒｏ−Ｅｐｓｉｌｏｎ Ｍｅｓｓｔｅｃｈｎｉｋ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ ＆ Ｃｏｍｐａｇｎｉｅ Ｋｏｍｍａｎｄｉｔｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 測定対象物の非接触式距離及び／又は位置の測定装置及びセンサ |
-
1989
- 1989-06-05 JP JP6572289U patent/JPH0648326Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002005167A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-09 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 磁気軸受構造及びこれを回転軸に組み付ける方法 |
| JP2011208967A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Nippo Corp | 測位装置 |
| JP2016221444A (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-28 | 日立工機株式会社 | 遠心機 |
| JP2018527576A (ja) * | 2015-09-15 | 2018-09-20 | マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲーＭｉｃｒｏ−Ｅｐｓｉｌｏｎ Ｍｅｓｓｔｅｃｈｎｉｋ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ ＆ Ｃｏｍｐａｇｎｉｅ Ｋｏｍｍａｎｄｉｔｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 測定対象物の非接触式距離及び／又は位置の測定装置及びセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0648326Y2 (ja) | 1994-12-12 |