JPH0469537A - 機械式ポンプ組立及び漏れ検出装置 - Google Patents
機械式ポンプ組立及び漏れ検出装置Info
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- JPH0469537A JPH0469537A JP2182530A JP18253090A JPH0469537A JP H0469537 A JPH0469537 A JP H0469537A JP 2182530 A JP2182530 A JP 2182530A JP 18253090 A JP18253090 A JP 18253090A JP H0469537 A JPH0469537 A JP H0469537A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は機械的二次真空ポンピングアセンブリと、この
アセンブリを用いて漏洩を検出する装置とに係わる。
アセンブリを用いて漏洩を検出する装置とに係わる。
欧州特許第００７２８９２号には、ポンピング段を２つ
含み、第１ポンピング段が吸込入口を有し、第２ポンピ
ング段が吸込オリフィスを備え、これらの入口及びオリ
フィスが両方とも外部に連通し、これら２つのポンピン
グ段が共通の吐出口を有する機械的二次真空ポンピング
アセンブリが開示されている。
含み、第１ポンピング段が吸込入口を有し、第２ポンピ
ング段が吸込オリフィスを備え、これらの入口及びオリ
フィスが両方とも外部に連通し、これら２つのポンピン
グ段が共通の吐出口を有する機械的二次真空ポンピング
アセンブリが開示されている。
この先行技術の機械的ポンピングアセンブリはＩ・レー
ザガスを用いる向流式漏洩検出に使用され、その場合は
第１ポンピング段の吸込入口に分光計か接続され、第２
ポンピング段の吸込オリフィスに検査すべき容器が接続
され、共通吐出口に予備的真空ポンプが接続される。
ザガスを用いる向流式漏洩検出に使用され、その場合は
第１ポンピング段の吸込入口に分光計か接続され、第２
ポンピング段の吸込オリフィスに検査すべき容器が接続
され、共通吐出口に予備的真空ポンプが接続される。
この先行技術のアセンブリては、２つのポンピング段が
回転翼及び固定翼を有するターボモレキュラ（ｔｕｒｂ
ｏｍｏ１６ｃｕｌａｉｒｅ）タイプの段であり、軸線に
沿って一列に配置される。
回転翼及び固定翼を有するターボモレキュラ（ｔｕｒｂ
ｏｍｏ１６ｃｕｌａｉｒｅ）タイプの段であり、軸線に
沿って一列に配置される。
このようなシステムを使用すれば、自流式漏洩検出を大
きな感度で且つ短い反応時間て行うことができる。
きな感度で且つ短い反応時間て行うことができる。
本発明の目的は、製造がより簡単でコストがより低く、
ミリバールのオーダーの大きな吐出圧力で機能し得、吐
出圧力がＩＯ−’ｍｂａｒを超える場合に前記先行技術
タイプのポンプが示す効率より明らかに高い効率を示す
機械的ポンピングアセンブリを実現することにある。
ミリバールのオーダーの大きな吐出圧力で機能し得、吐
出圧力がＩＯ−’ｍｂａｒを超える場合に前記先行技術
タイプのポンプが示す効率より明らかに高い効率を示す
機械的ポンピングアセンブリを実現することにある。
そこで本発明ては、ポンピング段を２つ含み、第１ポン
ピング段が吸込入口を有し、第２ポンピング段が吸込オ
リフィスを備え、これらの入口及びオリフィスが両方と
も外部に連通し、前記２つのポンピング段が共通の吐出
口を有する機械的二次真空ポンピングアセンフリであっ
て、前記２つのポンピング段がドラム形のホルウェック
（Ｈｏｌｕ＋ｅｃｋ）タイプの段であり、第１ポンピン
グ段の圧縮比か例えばヘリウムのようなガスの場合は約
５０、空気の場合は約ａｏｏｏｏであり、この第１ポン
ピング段のポンピング速度が空気の場合は約４ｎ／ｓ、
前記カスの場合は約２．５Ｚ／ｓであり、第２ポンピン
グ段のポンピング速度が空気の場合は約３．５４！／ｓ
、前記カスの場合は約２ｌ／ｓであり、該機械的ポンピ
ングアセンブリの公称回転速度が約２７０００ｒｐｍで
あることを特徴とする機械的ポンピングアセンブリを提
案する。
ピング段が吸込入口を有し、第２ポンピング段が吸込オ
リフィスを備え、これらの入口及びオリフィスが両方と
も外部に連通し、前記２つのポンピング段が共通の吐出
口を有する機械的二次真空ポンピングアセンフリであっ
て、前記２つのポンピング段がドラム形のホルウェック
（Ｈｏｌｕ＋ｅｃｋ）タイプの段であり、第１ポンピン
グ段の圧縮比か例えばヘリウムのようなガスの場合は約
５０、空気の場合は約ａｏｏｏｏであり、この第１ポン
ピング段のポンピング速度が空気の場合は約４ｎ／ｓ、
前記カスの場合は約２．５Ｚ／ｓであり、第２ポンピン
グ段のポンピング速度が空気の場合は約３．５４！／ｓ
、前記カスの場合は約２ｌ／ｓであり、該機械的ポンピ
ングアセンブリの公称回転速度が約２７０００ｒｐｍで
あることを特徴とする機械的ポンピングアセンブリを提
案する。
本発明の機械的ポンピングアセンブリは、好ましい実施
態様の１つでは、内壁及び外壁が滑らかなベル形の単一
ボディからなるロータと、このロータを包囲する外側第
１部分及び該ロータ内に侵入する内側第２部分からなる
ステータとを含み、ロータに面するステータ第１部分の
壁が複数のリブ（環状突出部）を有し、このリブの深さ
がステータに設けられた吸込入口から共通吐出口にかけ
て漸減し、ロータとステータ第１部分との間のスペース
が前記第１ポンピング段を構成し、ロータに面するステ
ータ第２部分の壁が複数のリブを有し、このリブの深さ
がステータに設けられた吸込オリフィスから共通吐出口
にかけて漸減し、ロータとステータ第２部分との間のス
ペースが前記第２ポンピング段を構成するようになって
いる。
態様の１つでは、内壁及び外壁が滑らかなベル形の単一
ボディからなるロータと、このロータを包囲する外側第
１部分及び該ロータ内に侵入する内側第２部分からなる
ステータとを含み、ロータに面するステータ第１部分の
壁が複数のリブ（環状突出部）を有し、このリブの深さ
がステータに設けられた吸込入口から共通吐出口にかけ
て漸減し、ロータとステータ第１部分との間のスペース
が前記第１ポンピング段を構成し、ロータに面するステ
ータ第２部分の壁が複数のリブを有し、このリブの深さ
がステータに設けられた吸込オリフィスから共通吐出口
にかけて漸減し、ロータとステータ第２部分との間のス
ペースが前記第２ポンピング段を構成するようになって
いる。
本発明は、検査すべき容器の漏洩をトレーサガスを用い
て検出する装置にも係わる。この装置は、ポンピング段
を２つ含み、第１ポンピング段が吸込入口を有し、第２
ポンピング段が吸込オリフィスを備え、これらの入口及
びオリフィスが両方ともポンプの外部に連通し、前記２
つのポンピング段か共通の吐出口を有し、前記吸込入口
がガス分析器に接続され、前記共通吐出口が第１弁を備
えた第１管路を介して一次ポンプに接続され、前記吸込
オリフィスが前記容器に接続し得る第２弁を備えた第２
管路を具備する機械的二次真空ポンピングアセンブリを
含み、この機械的ポンピングアセンブリの前記２つのポ
ンピング段がドラム形のホルウェックタイプの段であり
、ガス分析器に接続された第１ポンピング段の圧縮比が
前記トレーサガスの場合は約５０、空気の場合は約３０
０００であり、この第１ポンピング段のポンピング速度
が空気の場合は約４！／ｓ、前記トレーサガスの場合は
約２．５１／Ｓであり、前記第２ポンピング段のポンピ
ング速度が空気の場合は約３．５ｌ／ｓ、前記トレーサ
ガスの場合は約２ｌ／ｓであり、前記機械的ポンピング
アセンブリの公称回転速度が約２７０００ｒｐｍである
ことを特徴とする。
て検出する装置にも係わる。この装置は、ポンピング段
を２つ含み、第１ポンピング段が吸込入口を有し、第２
ポンピング段が吸込オリフィスを備え、これらの入口及
びオリフィスが両方ともポンプの外部に連通し、前記２
つのポンピング段か共通の吐出口を有し、前記吸込入口
がガス分析器に接続され、前記共通吐出口が第１弁を備
えた第１管路を介して一次ポンプに接続され、前記吸込
オリフィスが前記容器に接続し得る第２弁を備えた第２
管路を具備する機械的二次真空ポンピングアセンブリを
含み、この機械的ポンピングアセンブリの前記２つのポ
ンピング段がドラム形のホルウェックタイプの段であり
、ガス分析器に接続された第１ポンピング段の圧縮比が
前記トレーサガスの場合は約５０、空気の場合は約３０
０００であり、この第１ポンピング段のポンピング速度
が空気の場合は約４！／ｓ、前記トレーサガスの場合は
約２．５１／Ｓであり、前記第２ポンピング段のポンピ
ング速度が空気の場合は約３．５ｌ／ｓ、前記トレーサ
ガスの場合は約２ｌ／ｓであり、前記機械的ポンピング
アセンブリの公称回転速度が約２７０００ｒｐｍである
ことを特徴とする。
好ましい実施態様の１つでは、前記第２管路と前記第１
管路とが、前記第２弁の上流と前記第１弁の下流との間
で、第３弁を備えた第３管路を介して接続される。
管路とが、前記第２弁の上流と前記第１弁の下流との間
で、第３弁を備えた第３管路を介して接続される。
以下、添付図面に基づき非限定的実施例を挙げて本発明
をより詳細に説明する。
をより詳細に説明する。
第１図に示した機械的ポンピングアセンブリ２゜は、ド
ラム形のホルウェ＋ｍプのポンピング段を同心的に２つ
含むポンピングアセンブリである。このアセンブリは、
内壁面２及び外壁面３か滑らかなベル形の単一ボディか
らなるロータ１と、２つの部分からなるステータ４とを
含む。
ラム形のホルウェ＋ｍプのポンピング段を同心的に２つ
含むポンピングアセンブリである。このアセンブリは、
内壁面２及び外壁面３か滑らかなベル形の単一ボディか
らなるロータ１と、２つの部分からなるステータ４とを
含む。
ステータ４は、ロータ１を包囲する外側の第１部分５と
、ロータ１内に侵入する内側の第２部分６とを含む。
、ロータ１内に侵入する内側の第２部分６とを含む。
ロータ１に面する各ステータ部分の壁には複数のリブが
形成されている。ステータ第１部分５のすブ７と、ステ
ータ第２部分６のリブ８である。ロータ１とステータ４
の第１部分５との間のスペースは該機械的ポンピングア
センブリの第１ポンピング段を構成し、ステータ４に設
けられた吸込入口９を所有する。ロータ１とステータ４
の第２部分６との間のスペースは該機械的ポンピングア
センブリの第２ポンピング段を構成し、ステータ４に設
けられた吸込オリフィス１０を所有する。この図から明
らかなように、吸込入口９及び吸込オリフィス１０は両
方とも該機械的ポンピングアセンブリの外部に連通ずる
。
形成されている。ステータ第１部分５のすブ７と、ステ
ータ第２部分６のリブ８である。ロータ１とステータ４
の第１部分５との間のスペースは該機械的ポンピングア
センブリの第１ポンピング段を構成し、ステータ４に設
けられた吸込入口９を所有する。ロータ１とステータ４
の第２部分６との間のスペースは該機械的ポンピングア
センブリの第２ポンピング段を構成し、ステータ４に設
けられた吸込オリフィス１０を所有する。この図から明
らかなように、吸込入口９及び吸込オリフィス１０は両
方とも該機械的ポンピングアセンブリの外部に連通ずる
。
このポンピングアセンブリは更に、共通の吐出口１１を
備える。この吐出口は勿論外部に連通ずるが、その他に
２つのポンピング段の吐出口に共通した環状チャンバ１
２にも連通ずる。
備える。この吐出口は勿論外部に連通ずるが、その他に
２つのポンピング段の吐出口に共通した環状チャンバ１
２にも連通ずる。
第１図に示すように、第１ポンピング段のリブ７も第２
ポンピング段のリブ８も、深さが吸込口９．１０から吐
出口１１にかけて漸減している。
ポンピング段のリブ８も、深さが吸込口９．１０から吐
出口１１にかけて漸減している。
第１ポンピング段の圧縮比は、分子量の小さいガス、例
えばヘリウムの場きには約５０であり、空気の場合は約
３００００である。この第１ポンピング段のポンピング
速度は空気の場合が約４ｌ７ｓ、ヘリウムもしくは類似
の分子量のガスの場合は約２．５ｌ／ｓである。第２ポ
ンピング段のポンピング速度は空気の場合が約３．５ｆ
ｆｉ／ｓ、ヘリウムの場合か約２ρ／Ｓである。
えばヘリウムの場きには約５０であり、空気の場合は約
３００００である。この第１ポンピング段のポンピング
速度は空気の場合が約４ｌ７ｓ、ヘリウムもしくは類似
の分子量のガスの場合は約２．５ｌ／ｓである。第２ポ
ンピング段のポンピング速度は空気の場合が約３．５ｆ
ｆｉ／ｓ、ヘリウムの場合か約２ρ／Ｓである。
このようなホルウェックタイブのポンピングアセンブリ
では、圧縮比及びポンピング速度どいつたパラメータが
最適な結果を得る上で十分に独立しているポンピング段
を形成することができる。
では、圧縮比及びポンピング速度どいつたパラメータが
最適な結果を得る上で十分に独立しているポンピング段
を形成することができる。
ポンピング速度は実質的に、吸込口側のポンピング段冒
頭部分のリブの深さにしか依存しない。
頭部分のリブの深さにしか依存しない。
圧縮比は事実上、ロータとステータとの闇の間隙とポン
ピング段の長さとに依存するだけである。
ピング段の長さとに依存するだけである。
回転速度もポンピング速度及び圧縮比を決定する要因の
１っであるが、この回転速度は、ポンピングアセンブリ
が回転中に優れた機械的耐性を示すように十分に小さく
する。
１っであるが、この回転速度は、ポンピングアセンブリ
が回転中に優れた機械的耐性を示すように十分に小さく
する。
これらの機能特性を得るためには、例えば下記のような
構造条件を使用し得る。
構造条件を使用し得る。
各段の吸込口から長さ２６ｍｍで５つのリブを形成し、
これらの各リブを更に二分して、吐出口に至るまでに１
０個のリブが得られるようにする。
これらの各リブを更に二分して、吐出口に至るまでに１
０個のリブが得られるようにする。
機械的ポンピングアセンブリの回転軸△に対するリブの
傾斜角度を６５°にする。
傾斜角度を６５°にする。
第１ポンピング段のリブの深さを吸込側て４ｍｍ、吐出
側で１ｆｆｌ１１１にする。
側で１ｆｆｌ１１１にする。
第２ポンピング段のリブの深さ企吸込側て４ｍｍ吐出側
で１ｍｆｆ１にする。
で１ｍｆｆ１にする。
第１ポンピング段の長さＬｌを９０ｍｍ、第２ポンピン
グ第の長さＬ２を７５ｍｍにする。
グ第の長さＬ２を７５ｍｍにする。
第１ポンピング段の間隙Ｊ、を０．２ＩＩ１ｍ、第２ポ
ンピング段の間隙Ｊ２を０．１５ｍｍにする。
ンピング段の間隙Ｊ２を０．１５ｍｍにする。
第１ポンピング段のリブの平均半径Ｒ１を３６ｍｍにす
る。
る。
第２ポンピング段のリブの平均半径Ｒ２を３Ｏｎ＋ＩＩ
にする。
にする。
ロータ１の公沖回転速度を２７０００ｒμｍにする。
第１図に示すように、このアセンブリは、共通吐出口１
１と第２ポンピング段の吸込オリフィス１０とが該機械
的ポンピングアセンブリの底部に位置するような機械的
構造を有するため、種々の接続が簡単であり且つアセン
ブリ自体の切削加工費用も節減される。
１と第２ポンピング段の吸込オリフィス１０とが該機械
的ポンピングアセンブリの底部に位置するような機械的
構造を有するため、種々の接続が簡単であり且つアセン
ブリ自体の切削加工費用も節減される。
第２図はヘリウムのようなトレーサカスを用いて漏洩を
検出する装置を簡単に示している。この装置は第１図に
基づいて説明した機械的ポンピングアセンブリに対応す
る機械的二次ポンピングアセンブリ２０を含む。
検出する装置を簡単に示している。この装置は第１図に
基づいて説明した機械的ポンピングアセンブリに対応す
る機械的二次ポンピングアセンブリ２０を含む。
第２図では機械的ポンピングアセンブリ２０の第１ポン
ピング段を符号１３で示し、第２ポンピング段を符号１
４で示した。
ピング段を符号１３で示し、第２ポンピング段を符号１
４で示した。
第１ポンピング段１３の吸込入口９にはガス分析器１５
が接続されている。この分析器は例えばヘリウムに基づ
いて較正した質量分析計である。共通吐出口１１には第
１＃１８を備えた第１管路１７を介して一次ボンプ１６
が接続されている。第２ポンプ段１４の吸込オリフィス
１０には、第２弁２ｌを備えた第２管路１９が具備され
ている。この第２管路】９は端部に接続フランジ（図示
せず）を有し、このフランジを介して検査すべき容器２
２に接続されている。
が接続されている。この分析器は例えばヘリウムに基づ
いて較正した質量分析計である。共通吐出口１１には第
１＃１８を備えた第１管路１７を介して一次ボンプ１６
が接続されている。第２ポンプ段１４の吸込オリフィス
１０には、第２弁２ｌを備えた第２管路１９が具備され
ている。この第２管路】９は端部に接続フランジ（図示
せず）を有し、このフランジを介して検査すべき容器２
２に接続されている。
また、第２管路１９及び第１管路１７は、第３弁２４を
備えた第３管路２３を介して、第２弁２ｌの上流及び第
１弁１８の下流の間で互いに接続されている。
備えた第３管路２３を介して、第２弁２ｌの上流及び第
１弁１８の下流の間で互いに接続されている。
この装置は、前記したようにヘリウムの場合は比較的小
さい５０であり、空気の場合は約３００００と大きい圧
縮比を有する第１ポンピング段１３を介して自流で機能
する。
さい５０であり、空気の場合は約３００００と大きい圧
縮比を有する第１ポンピング段１３を介して自流で機能
する。
前述のごとく、機械的二次ポンピングアセンブリ２０の
回転速度は２７０００ｒｐｍであるが、これは一般に使
用されている翼付きターボモレキュラボンブの回転速度
より遅い。後者の回転速度は通常３００００ｒｐ川以上
である。
回転速度は２７０００ｒｐｍであるが、これは一般に使
用されている翼付きターボモレキュラボンブの回転速度
より遅い。後者の回転速度は通常３００００ｒｐ川以上
である。
回転速度をこのように遅くするとジャイロスコープ効果
が減少するため、装置を作動中に移動させることができ
る。
が減少するため、装置を作動中に移動させることができ
る。
大きい容量を有し得る部材２２の気密性を検査する場合
は、第３弁２４を閉鎖し、第ｊ弁１８及び第２弁２ｌを
開放する。この機能モードでは、炭化水素蒸気か一次ポ
ンプ１６から偶発的に送出されても第２ポンピング段１
４の大きな圧縮比によって流動が停止するため、検査す
べき部材２２が汚染される危険が回避されるという利点
が得られ、また二次ポンプ２０のポンピング段１４のポ
ンピング速度が大きいために、良好な感度を保持しなが
ら反応時間を短縮することができる。
は、第３弁２４を閉鎖し、第ｊ弁１８及び第２弁２ｌを
開放する。この機能モードでは、炭化水素蒸気か一次ポ
ンプ１６から偶発的に送出されても第２ポンピング段１
４の大きな圧縮比によって流動が停止するため、検査す
べき部材２２が汚染される危険が回避されるという利点
が得られ、また二次ポンプ２０のポンピング段１４のポ
ンピング速度が大きいために、良好な感度を保持しなが
ら反応時間を短縮することができる。
容量の小さい部材２２を高ピツチて検査する場合には、
第２弁２ｌを閉鎖し且つ第１−１Ｐ１８及び第３弁２４
を開放する。
第２弁２ｌを閉鎖し且つ第１−１Ｐ１８及び第３弁２４
を開放する。
どちらの場合も、装置の感度は一次ボンプ１６のポンピ
ング速度と第１ポンピング段１３のヘリウムの圧縮比に
しか依存しない。
ング速度と第１ポンピング段１３のヘリウムの圧縮比に
しか依存しない。
第１図は本発明の機械的ポンピングアセンブリを軸線方
向半断面図で示す簡略説明図、第２図は第１図の機械的
ポンピングアセンブリを含む漏洩検出装置の簡略説明図
である。 １・・・・・・ロータ、４・・曲・ステータ、１５・・
・・・ガス分析器、２０・・・・・・ポンピングアセン
ブリ。 ＦＩＧ、１ 代理人弁理士 坂 井 淳
向半断面図で示す簡略説明図、第２図は第１図の機械的
ポンピングアセンブリを含む漏洩検出装置の簡略説明図
である。 １・・・・・・ロータ、４・・曲・ステータ、１５・・
・・・ガス分析器、２０・・・・・・ポンピングアセン
ブリ。 ＦＩＧ、１ 代理人弁理士 坂 井 淳
Claims (5)
- （１）ポンピング段を２つ含み、第１ポンピング段が吸
込入口を有し、第２ポンピング段が吸込オリフィスを備
え、これらの入口及びオリフィスが両方とも外部に連通
し、前記２つのポンピング段が共通の吐出口を有する機
械的二次真空ポンピングアセンブリであって、前記２つ
のポンピング段がドラム形のホルウェックタイプの段で
あり、第１ポンピング段の圧縮比が例えばヘリウムのよ
うなガスの場合は約５０、空気の場合は約３００００で
あり、この第１ポンピング段のポンピング速度が空気の
場合は約４ｌ／ｓ、前記ガスの場合は約２．５ｌ／ｓで
あり、第２ポンピング段のポンピング速度が空気の場合
は約３．５ｌ／ｓ、前記ガスの場合は約２ｌ／ｓであり
、該機械的ポンピングアセンブリの公称回転速度が約２
７０００ｒμｍであることを特徴とする機械的二次真空
ポンピングアセンブリ。 - （２）内壁及び外壁が滑らかなベル形の単一ボディから
なるロータと、このロータを包囲する外側第１部分及び
該ロータ内に侵入する内側第２部分からなるステータと
を含み、ロータに面するステータ第１部分の壁が複数の
リブを有し、このリブの深さがステータに設けられた吸
込入口から共通吐出口にかけて漸減し、ロータとステー
タ第１部分との間のスペースが前記第１ポンピング段を
構成し、ロータに面するステータ第２部分の壁が複数の
リブを有し、このリブの深さがステータに設けられた吸
込オリフィスから共通吐出口にかけて漸減し、ロータと
ステータ第２部分との間のスペースが前記第２ポンピン
グ段を構成するようになっていることを特徴とする請求
項１に記載の機械的ポンピングアセンブリ。 - （３）検査すべき容器の漏洩をトレーサガスを用いて検
出する装置であって、ポンピング段を２つ有する機械的
二次ポンピングアセンブリを含み、このポンピングアセ
ンブリの第１ポンピング段が吸込入口を有し、第２ポン
ピング段が吸込オリフィスを備え、これらの入口及びオ
リフィスが両方ともポンプの外部に連通し、前記２つの
ポンピング段が共通の吐出口を有し、前記吸込入口がガ
ス分析器に接続され、前記共通吐出口が第１弁を備えた
第１管路を介して一次ポンプに接続され、前記吸込オリ
フィスが前記容器に接続し得る第２弁を備えた第２管路
を具備し、この機械的二次真空ポンピングアセンブリの
前記２つのポンピング段がドラム形のホルウェックタイ
プの段であり、ガス分析器に接続された第１ポンピング
段の圧縮比が前記トレーサガスの場合は約５０、空気の
場合は約３００００であり、この第１ポンピング段のポ
ンピング速度が空気の場合は約４ｌ／ｓ、前記トレーサ
ガスの場合は約２．５ｌ／ｓであり、前記第２ポンピン
グ段のポンピング速度が空気の場合は約３．５ｌ／ｓ、
前記トレーサガスの場合は約２ｌ／ｓであり、前記機械
的ポンピングアセンブリの公称回転速度が約２７０００
ｒｐｍであることを特徴とする漏洩検出装置。 - （４）前記機械的ポンピングアセンブリが内壁及び外壁
が滑らかなベル形の単一ボディからなるロータと、この
ロータを包囲する外側第１部分及び該ロータ内に侵入す
る内側第２部分からなるステータとを含み、ロータに面
するステータ第１部分の壁が複数のリブを有し、このリ
ブの深さがステータに設けられた吸込入口から共通吐出
口にかけて漸減し、ロータとステータ第１部分との間の
スペースが前記第１ポンピング段を構成し、ロータに面
するステータ第２部分の壁が複数のリブを有し、このリ
ブの深さがステータに設けられた吸込オリフィスから共
通吐出口にかけて漸減し、ロータとステータ第２部分と
の間のスペースが前記第２ポンピング段を構成するよう
になっていることを特徴とする請求項３に記載の装置。 - （５）第２管路と第１管路とが、第２弁の上流と第１弁
の下流との間で、第３弁を備えた第３管路を介して接続
されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2182530A JPH07111389B2 (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 | 機械式ポンプ組立及び漏れ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2182530A JPH07111389B2 (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 | 機械式ポンプ組立及び漏れ検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0469537A true JPH0469537A (ja) | 1992-03-04 |
| JPH07111389B2 JPH07111389B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=16119920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2182530A Expired - Lifetime JPH07111389B2 (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 | 機械式ポンプ組立及び漏れ検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111389B2 (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP0344345A1 (de) * | 1988-06-01 | 1989-12-06 | Leybold Aktiengesellschaft | Pumpsystem für ein Lecksuchgerät |
-
1990
- 1990-07-10 JP JP2182530A patent/JPH07111389B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| EP0344345A1 (de) * | 1988-06-01 | 1989-12-06 | Leybold Aktiengesellschaft | Pumpsystem für ein Lecksuchgerät |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07111389B2 (ja) | 1995-11-29 |
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