JPH0463657U - - Google Patents
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- JPH0463657U JPH0463657U JP10621990U JP10621990U JPH0463657U JP H0463657 U JPH0463657 U JP H0463657U JP 10621990 U JP10621990 U JP 10621990U JP 10621990 U JP10621990 U JP 10621990U JP H0463657 U JPH0463657 U JP H0463657U
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- JP
- Japan
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- branch
- conductive part
- impurity concentration
- main conductive
- conductive
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- Pending
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- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例の平面図、第２図ａは
そのＡ−Ａ′略断面図、第２図ｂはそのＹ−Ｙ′
略断面図、第３図は従来の一例の平面図、第４図
は従来の他の例の平面図、第５図は第４図のＸ−
Ｘ′略断面図である。 １……Ｎ型半導体基板、２，３……電極、４…
…Ｐ型不純物拡散層、４−１……枝導電部、４−
２……基幹導電部、５……高濃度のＰ型不純物拡
散層、６……チヤネルストツパー、７……Ｎ＋型
不純物拡散層、８……裏面電極、９……Ｓｉｏ２
膜、１１……金属膜。
そのＡ−Ａ′略断面図、第２図ｂはそのＹ−Ｙ′
略断面図、第３図は従来の一例の平面図、第４図
は従来の他の例の平面図、第５図は第４図のＸ−
Ｘ′略断面図である。 １……Ｎ型半導体基板、２，３……電極、４…
…Ｐ型不純物拡散層、４−１……枝導電部、４−
２……基幹導電部、５……高濃度のＰ型不純物拡
散層、６……チヤネルストツパー、７……Ｎ＋型
不純物拡散層、８……裏面電極、９……Ｓｉｏ２
膜、１１……金属膜。
Claims (1)
- 半導体基板の表面に設けた一方の電極と他方の
電極との間を接続する細長い基幹導電部と、基幹
導電部から略直角に分岐する複数の枝導電部とよ
りなり、基幹導電部の不純物濃度を低く枝導電部
の不純物濃度を高くし、かつ基幹導電部の上面に
は絶縁膜を介して導電膜を設けたフオトダイオー
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10621990U JPH0463657U (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10621990U JPH0463657U (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463657U true JPH0463657U (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=31852224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10621990U Pending JPH0463657U (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0463657U (ja) |
-
1990
- 1990-10-08 JP JP10621990U patent/JPH0463657U/ja active Pending