JPH046206Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はウエーハ乾燥装置に関するものであ
り、更に詳しくは純水による洗浄処理を施された
ウエーハ表面への塵埃の付着ならびに振動による
ウエーハ破損の防止機能を向上せしめたウエーハ
乾燥装置に関するものである。

従来の技術 純水で洗浄された半導体ウエーハを乾燥するた
めに、第２図および第３図に示すようなウエーハ
乾燥装置が使用されている。図示する乾燥装置に
於いて、積層されたウエーハ１，１…間に乾燥用
空気を流通させるため、ウエーハキヤリヤ２には
所定の間隔を置いて整列した複数段のウエーハ支
持溝３が設けられている。

ウエーハキヤリヤ２は、回転枢軸４に固着され
たターンテーブル５上に載置された状態で周囲に
多数のフイン６，６…を偏心配置してなる乾燥室
７内に回転自在に支持されている。乾燥室の上面
中央部に開口している乾燥用空気の取入口８から
導入された乾燥用の空気が、前記ウエーハ支持溝
３内に周縁が挿入支持されているウエーハ１に高
速で接触することによつて、ウエーハ１の表面に
付着している水滴を遠心力の作用下に飛散させる
と共に、ウエーハ１は所望の乾燥状態を与えられ
る。乾燥室７の内部にはターンテーブル５の外縁
を囲繞するように乾燥用空気を排出するためのフ
イン６，６…が垂設されており、ウエーハ１に付
着していた水滴は、遠心力および乾燥用空気の吹
き付け圧によつてウエーハ１の表面から引き離さ
れた後、該乾燥用空気流に担持された状態で前記
フイン６，６…の間を通過して系外に排出され
る。

考案が解決しようとする問題点 以上の説明から理解し得るように、在来のウエ
ーハ乾燥装置にもターンテーブル５の回転駆動機
構ならびに乾燥用空気の流路が設けられている
が、このような装置を使用すると乾燥対象たるウ
エーハ１の品質に悪影響を及ぼす場合が少なくな
い。より詳しく説明すると、先ず乾燥室７の上面
中央部に開口している乾燥用空気の取入口８に取
付けるフイルタ９の寸法が制約されるため、系外
から乾燥室７内に微細な塵埃を含んだ乾燥用空気
が導入される場合があり、また該乾燥室７内に乾
燥用空気の対流が発生することにより、ウエーハ
１の表面から引き離された塵埃や回転時の振動に
よりウエーハ１が破損することによつて発生した
ウエーハ１の屑が、乾燥用の空気流と共に乾燥室
７内を循環してウエーハ１の表面に再付着して、
汚染を引き起こす場合が少なくない。第２の問題
点としてターンテーブル５が単一のベアリング１
０を介して回転枢軸４の上端部に一点支持式で固
着されているため、ターンテーブル５上にウエー
ハキヤリヤ２を載置する際に回転枢軸４を中心と
して４個のウエーハキヤリヤ２ａ，２ｂ…を対称
状に配置しないと、振動のない安定した回転条件
をウエーハおよびウエーハキヤリヤに付与するこ
とが困難となる。従つて、乾燥時の振動を防止す
るためには、対称状に配置された４個のウエーハ
キヤリヤ２ａ，２ｂ…の重量、ならびにウエーハ
支持溝３内に挿入支持されたウエーハ１，１…の
重量が、回転枢軸４の前後左右で同一となるよう
に、重量バランスを調節する必要があり、この重
量的なバランスが失われた場合には、回転時の振
動によつてウエーハ１が破損してシリコン屑が発
生し、その付着に起因する不良品の多発や製造原
価の高騰と云つた問題が引き起こされる。このよ
うな不都合を回避するためにはウエーハキヤリヤ
２の載置位置やウエーハキヤリヤ１個当りのウエ
ーハ１の収納個数を前記重量バランスを考慮して
厳密に管理する必要があり、これに伴つてウエー
ハ乾燥工程の稼動効率が大幅に低下する。

本考案の主要な目的は、在来のウエーハ乾燥装
置に認められた上記の如き問題点を解消し、乾燥
用空気の流動条件の安定化ならびに回転時の振動
によるウエーハ破損の防止に好適なウエーハ乾燥
装置を提供することにある。

問題点を解決するための手段 斯かる目的に鑑みて本考案は、複数個のウエー
ハキヤリヤを周縁等間隔状に配置せしめた回転体
と、該回転体の周面に固設された中空器体からな
るウエーハ乾燥室と、前記回転体の駆動装置とか
らなるウエーハ乾燥装置に於いて、前記ウエーハ
乾燥室の内壁と対向する回転体の支持軸を円周面
に乾燥用空気の導入孔を開口せしめた中空円筒体
から構成すると共に、該空気導入孔穿設域に隣接
して円筒状のフイルタ部材を配置し、且つ、前記
支持軸の上部に所定の間隔を置いて対向配置され
た２個のベアリングによつて、前記回転体を回転
自在に支持してなるウエーハ乾燥装置を要旨とす
るものである。

作 用 乾燥用空気の流入孔の周囲にフイルタ部材を配
置した密閉型のウエーハ乾燥室を形成すると共
に、支持軸の上部に所定の間隔を置いて対向配置
された２個のベアリングによつて、回転体を二点
支持方式で支承することによつて、塵埃付着の防
止機能と振動防止機能とを大幅に向上せしめたウ
エーハ乾燥装置が構成される。

実施例 第１図は本考案装置を例示する一部破断正面図
である。ウエーハ乾燥装置２０は、回転体の一例
としての、略同一の配設ピツチで半径方向に延び
る複数個のキヤリヤ支持台２１からなる回転アー
ム２２と、該回転アームを囲繞するように固定さ
れた中空円環状の器体２３からなるウエーハ乾燥
室２４と、前記回転アーム２２に回転駆動力を伝
達するための駆動装置２５とによつて構成されて
いる。斯かるウエーハ乾燥装置２０に於いて、ウ
エーハ乾燥室２４の内壁２４ａと対向する回転ア
ーム２２の支持軸２６は、円周面に乾燥用空気の
導入孔２６ａを開口せしめた中空円筒体から構成
されており、該乾燥用空気の導入孔２６ａの穿設
域の外側には、支持軸２６の側壁面全周に亘つて
円筒状のフイルタ部材２７が配置されている。一
方、支持軸２６の上部には、前記フイルタ部材２
７の幅寸法に対応する一定の間隔を置いて２個の
ベアリング２８ａ，２８ｂが回転アーム２２に対
して二点支持機構を形成するように対向配置され
ている。また回転アーム２２の上面および下面
は、導入孔２６ａからウエーハ乾燥室２４内に流
入した乾燥用空気に対流が発生しないように全周
に亘つてシールプレート２９，２９によつて遮蔽
されている。

本考案装置は上記の如く構成されているから、
ベアリング２８ａを嵌装支持する支持軸２６の上
端開口部から導入された乾燥用空気は、導入孔２
６ａおよびフイルタ部材２７を通過してウエーハ
乾燥室２４内に流入する。この状態に於いて、回
転アーム２２ならびに該回転アームのキヤリヤ支
持台２１上に載置されたウエーハキヤリヤ３０，
３０…は、支持軸２６ならびにベアリング２８
ａ，２８ｂを介してモータ３１から伝達される動
力によつて所定の回転速度、例えば1000r.p.m.で
高速駆動され、前記ウエーハキヤリヤ３０のウエ
ーハ支持溝内に挿入支持されたウエーハ３２は、
遠心力の作用下に乾燥用空気を吹き付けられる。
斯くしてウエーハ３２に付着していた水滴はウエ
ーハの表面から吹き払われ、フイン３３の間を通
つて系外に排出され、ウエーハ３２の乾燥処理が
終了する。

考案の効果 以上の説明から理解されるように、本考案装置
に於いては、回転アーム２２の周囲に固設された
中空円環状の器体２３が、シールプレート２９，
２９ならびに空気導入口２６ａを開口せしめた支
持軸２６の側壁面によつて乾燥用空気の導入側と
遮断されているから、ウエーハ乾燥室２４の内部
には対流が発生せず、ウエーハ３２は乾燥用空気
の対流に起因する塵埃の再付着から略完全に防護
される。

また空気導入口２６ａから流入する乾燥用空気
は、ウエーハ乾燥室２４内への導入に先立つて実
用上充分満足し得る塵埃濾過面積を有するフイル
タ部材２７によつて充分に塵埃を除去されるか
ら、ウエーハ３２の乾燥条件が在来装置を使用し
た場合に比較して大幅に改善される。更に回転ア
ーム２２が支持軸２６の上端部に二点支持方式で
固着されているから、該回転アーム２２の支持強
度が向上し、ウエーハキヤリヤ３０の載置条件を
細かく調整しなくても振動の発生に起因するウエ
ーハ３２の破損を殆ど皆無にすることができる。

斯くして本考案は、ウエーハ乾燥工程に於ける
塵埃付着の防止ならびに振動に起因するウエーハ
の破損防止に好適な乾燥装置を提供するものとし
て、製品歩留まりの向上ならびに乾燥工程の稼動
率の向上に対して注目すべき効果を発揮し得るも
のである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置を例示する一部破断正面図
である。また第２図および第３図は従来のウエー
ハ乾燥装置の一部破断正面図および線−に沿
う横断面図である。 ３０……ウエーハキヤリヤ、２０……ウエーハ
乾燥装置、２２……回転体（回転アーム）、２３
……中空器体、２４……ウエーハ乾燥室、２６…
…回転体の支持軸、２６ａ……乾燥用空気の導入
口、２８ａ，２８ｂ……ベアリング。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 複数個のウエーハキヤリヤを周縁等配置状に配
   置せしめた回転体と、該回転体の周囲に固設され
   た中空器体からなるウエーハ乾燥室と、前記回転
   体の駆動装置とからなるウエーハ乾燥装置に於い
   て、 前記ウエーハ乾燥室の内壁と対向する回転体の
   支持軸を円周面に乾燥用空気の導入孔を開口せし
   めた中空円筒体から構成すると共に、該空気導入
   孔穿設域に隣接して円筒状のフイルタ部材を配置
   し、且つ、前記支持軸の上部に所定の間隔を置い
   て対向配置された２個のベアリングによつて前記
   回転体を回転自在に支持したことを特徴とするウ
   エーハ乾燥装置。