JPH0461976A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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Publication number
JPH0461976A
JPH0461976A JP16800490A JP16800490A JPH0461976A JP H0461976 A JPH0461976 A JP H0461976A JP 16800490 A JP16800490 A JP 16800490A JP 16800490 A JP16800490 A JP 16800490A JP H0461976 A JPH0461976 A JP H0461976A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
air
liquid
tank
air pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16800490A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhiro Tsukamoto
塚本 和大
Masaru Suda
須田 勝
Shogo Ariyoshi
有吉 昭吾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH0461976A publication Critical patent/JPH0461976A/ja
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  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば電子部品の洗浄装置の構造に関する
ものである。
〔従来の技術〕
第5図、第6図は従来の洗浄機の正面図と断面図であり
、図において、1は洗浄槽で、2はこの洗浄槽1内に収
納する洗浄ラック(網かご)、3はこの底部に配置され
たヒーターである。
次に作用について説明する。洗浄槽1に入っている洗浄
液4をヒーター3により温め、その中に洗浄物を収容し
た洗浄ラック2を入れることにより浸漬洗浄を行うもの
である。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の洗浄装置は以上のように構成されているので、液
自体の動きがないため、物と物の細かいすき間などに液
が入っても動がず、このなめ、汚れを落としきれないと
いう問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するなめになされ
たもので、エアーを流すことにより、洗浄効果を上げる
ことを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
この発明に係る洗浄装置は、洗浄槽の底にエアーパイプ
を置き、洗浄液中へエアーが噴出するようにしたもので
ある。
〔作用〕
この発明における洗浄装置は、エアーによる液の対流及
び細かい泡によって液が動がされ、細がいすき間の液が
動き、従来落としきれながった汚れを落とすことが可能
になる。
〔実施例〕
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第1図、第2図において、1.2.3は上記従来例のも
のと同様であり、5はエアーを流すエアーパイプで、洗
浄ラック2の底部からエアーが噴出するように設置され
ている。
次に作用について説明すると、エアーパイプ5から出る
エアーによる洗浄液の揺動く対流)と、エアーによる泡
により洗浄物を洗浄する。
第3図、第4図はこの発明の他の実施例を示すもので、
エアパイプ5の噴出口は洗浄槽1の一側部の底部に配置
されており、この実施例では、同じ洗浄効果を有するも
のが、パイプを小さくした分、安価になり、洗浄液も少
なくできる。
〔発明の効果〕
以上のようにこの発明によれば、エアーによる対流及び
泡により洗浄効果を向上させ、洗浄不良を低減させる効
果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図はこの発明の一実施例を示す正面図と断
面図、第3図、第4図はこの発明の他の実施例を示す正
面図と断面図、第5図、第6図は従来の洗浄装置の正面
図と断面図である。 図中、1は洗浄槽、2は洗浄ラック、3はヒーター、4
は洗浄液、5はエアーパイプである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  洗浄槽内に、洗浄物を収容した洗浄ラックを浸漬し、
    上記洗浄液をヒーターにより温めて浸漬洗浄するものに
    おいて、上記洗浄槽の底部にエアーパイプを配置し、こ
    のエアーパイプより液中にエアーを流すことにより、液
    を対流(揺動)させることでの洗浄と、エアーによる泡
    での洗浄との両作用を行うようにしたことを特徴とする
    洗浄装置。
JP16800490A 1990-06-25 1990-06-25 洗浄装置 Pending JPH0461976A (ja)

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JP16800490A JPH0461976A (ja) 1990-06-25 1990-06-25 洗浄装置

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JP16800490A JPH0461976A (ja) 1990-06-25 1990-06-25 洗浄装置

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JPH0461976A true JPH0461976A (ja) 1992-02-27

Family

ID=15860019

Family Applications (1)

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JP16800490A Pending JPH0461976A (ja) 1990-06-25 1990-06-25 洗浄装置

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JP (1) JPH0461976A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003035872A (ja) * 2001-07-24 2003-02-07 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003035872A (ja) * 2001-07-24 2003-02-07 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡

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