JPH0461333B2 - - Google Patents

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JPH0461333B2
JPH0461333B2 JP60130974A JP13097485A JPH0461333B2 JP H0461333 B2 JPH0461333 B2 JP H0461333B2 JP 60130974 A JP60130974 A JP 60130974A JP 13097485 A JP13097485 A JP 13097485A JP H0461333 B2 JPH0461333 B2 JP H0461333B2
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JP
Japan
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measurement
optical device
vibrations
measuring
adjustment process
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JP60130974A
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JPS6135410A (ja
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Shurutsuuheenihi Ieruku
Jiifuerusu Horusuto
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RAINOTAIPU HERU AG
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RAINOTAIPU HERU AG
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Publication of JPS6135410A publication Critical patent/JPS6135410A/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G01B11/272Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/02Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Testing Of Balance (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、結像光学系およびレーザ光学系の分
野に係わりかつ光束の光軸を位置および/または
方向に関して調整しなければならない光学装置に
関する。
従来の技術 光束の強度分布または位置ないしは方向は、
鏡、方向変換プリズム、レンズ、光学透明平板お
よび光学透明楔、ライン格子、ホログラフ偏向絞
り、音響的マルチ周波数−変調器、音響光学反射
器のような光学素子によつて影響をうける。最終
的には、光源自身も変動することがある。強度分
布または、位置ないしは方向に関する光束の調整
は、鏡支持部材のような機械的調節形式の適切な
調節手段によつてか、またはピエゾ駆動装置のよ
うな電気機械的調節形式の適切な調節手段によつ
てなされる。
光束の調整を監視するために、調整過程中ター
ゲツトデイスク、スクリンもしくは穴絞りなどの
ようなゲージを観察したり、または、たとえばオ
シログラフ上の適切さ光電検出器の信号を読取る
ことが公知である。
発明が解決しようとする問題点 公知の調整補助装置は、多くの場合において正
確でなく、時々、光調整に関して、全く明確でな
い通報をし、また場合によつては、取扱いがむづ
かしい。さらに、たとえば、調整手段が、届きに
くい位置にあつたり、光装置がコンパクトな構造
であるために、調整過程の際同時に得られる調整
の正確な観察または監視を行うことが、しばしば
不可能である。
したがつて本発明の課題は、調整を一層容易か
つ精確に実施できしかも光学調整に対して必要な
ステツプを大きさおよび方向について信号化す
る、光束の光軸の、位置および/または方向に関
しての調整の音響監視方法および装置を提供する
ことである。
問題点を解決するための手段 この課題は本発明によれば特許請求の範囲第1
項および第8項に記載の方法並びに第9項に記載
の装置によつて解決される。
実施例 次に本発明を図示の実施例につき図面を用いて
詳細に説明する。
第1図は、光束の光軸を横断する方向にある前
以つて決められた基準面における光束の、空間位
置に関しての調整を音響的に監視するための装置
の1実施例を示す。
光源および位置補正のための調整手段は図示さ
れていない光束96は、光束96の光軸97を横
断する方向にある基準面98の真中に位置するよ
うになつている。
光束96の位置を検出するために光束96の光
路に設けた半透明の平面鏡99を用いて部分光束
100が取出されかつ整合光学部材101を用い
て位置検出器を形成する測定面103の測定領域
102において結像される。整合光学部材101
は例えば、部分光束100の横断面を測定領域1
02の大きさに整合するための非焦点形伸縮光学
装置である。測定領域102は、光束96の光路
に設けることもできる。
その際位置検出器103の測定領域102は、
基準面98の合同面であり、これによつて光束9
6の角度ないし方向変化ではなくて、位置のずれ
のみが測定領域102における部分光束96の相
応の位置ずれとなつて生じるように保証されてい
る。この種の位置ずれは例えば光路に設けられた
鏡またはプリズムを用いて実現される。位置検出
器103は、4つの電気的に別個の光電変換器か
ら成る。これら変換器の光入射面が測定領域10
2の4つの象限を形成し、その際測定領域102
の中心点が基準面98における光束96の目標位
置に相応する。位置検出器として有利には4象限
ホトダイオードを使用することができる。
増幅器104,105,106および107に
おいて増幅れる、位置検出器103の4つの象限
に対する4つの出力信号S1,S2,S3およびS4は、
当該の象限に入射する、部分光束100のその都
度の成分に対する基準であり、したがつて目標位
置からの方向および量に対する偏差の基準でる。
位置検出器103の4つの象限に、4つの発振
器108,109,110および111が配属さ
れている。これら発振器は可聴スペクトルの異な
つた周波数の振動を発生する。発振器108は例
えば5KHzの非常に高い周波数を有する振動を発
生し、発振器109は例えば1KHzの高い周波数
を有する振動を発生し、発振器110は例えば
400Hzの中位の周波数を有する振動を発生しかつ
発振器111は例えば100Hzの低い周波数を有す
る振動を発生する。
次のステツプにおいてその都度、周波数、振
幅、キーイング周波数またキーイング比のよう
な、4つの振動のパラメータのうちの1つが対応
する出力信号S1,S2,S3およびS4に依存して変調
されかつこれら4つの変調された振動が異なつた
測定音として聴取されるようになる。この測定音
の音の強さ、断続周波数または中断の持続時間
は、光束96の検出された位置に依存している。
この実施例において発振器108,109,1
10および111の4つの振動は後置接続された
振幅変調器112,113,114および115
において位置検出器103の増幅された出力信号
S1,S2,S3およびS4に依存して振幅変調されかつ
マルチプレクサ117の入力側116に供給され
る。マルチプレクサ117は4つの振幅変調され
た振動を順次サイクリツクに増幅器118を介し
て電気音響変換器、例えばスピーカ119に切換
える。その際スピーカは振動を連続する測定音と
して聴取可能とする。振動のサイクリツクな切換
は、マルチプレクサ117に相応のクロツクパル
ス列T0を供給するクロツク発生器120によつ
て制御される。
位置検出器103の増幅された出力信号S1
S2,S3およびS4は同時に正規化段121において
正規化される。正規化された出力信号12
3および4を形成するために、AD変換器12
2においてデジタル化された出力信号S1,S2,S3
およびS4が一方において正規化段121の加算段
123において和ΣSに加算されかつ他方において
割算段124においてこの和ΣSによつて割算され
る。
正規化された出力信号123および4
は閾値回路125に供給される。閾値回路125
において減算段126,127および128にお
いて3つの正規化された差信号12および
が第1および第2の正規化されたり出力信号、
第3および第4の正規化された出力信号、第2
および第4の正規化された出力信号から求めら
れかつ前以つて決められた関数にしたがつて変形
される、この実施例においては自乗段129,1
30および131において自乗される。これら正
規化されかつ自乗された差信号2 12 2および
2 3は比較器132,133および134において
レジスタ135に格納された正規化された限界値
gと比較される。限界値gは、光束96の、目
標位置からの許容偏差を表わす。差信号2が前
以つて決められた、正規化された限界値を下回つ
ていれば、相応の比較器132,133または1
34はHレベルを有する信号を送出する。比較器
132,133および134の出力は、ANDゲ
ート136によつて論理結合される。このゲート
の出力側には、すべて3つの正規化され、自乗さ
れた差値2が正規化された限界値gを下回つて
いるとき、論理Hレベルを有する信号が送出され
る。この場合線137に対するANDゲート13
6の出力信号によつてマルチプレクサ117のす
べての入力側が出力側に通し接続され、これによ
つてすべて4つの測定音が同時に聴取可能とな
る。
したがつて光束の位置の調整の際4つの測定音
の種々異なつた音の高さが方向について指示しか
つ種々異なつた音の強さが位置偏差の値に関して
指示し、その際光束96の、その目標位置への対
称調整の際4つすべての測定トーンは同時に同じ
音の強さで聴取されるようになつている。
測定音の発生は、既述の実施例に限定されるも
のではない。
第2図は、光束96の、前以つて決められた光
軸に関する方向ないし角度の調整を音響的に監視
するための装置の実施例を示す。この装置は第1
図に図示の装置とは、整合光学素子101の代わ
りに焦束形光学素子138が使用されている。こ
の光学素子138によつて部分光束100は位置
検出器を形成する測定面103の測定領域102
に、光束の平行移動でなく、方向変化のみが位置
検出器103の測定領域102における光分布の
位置変化に影響を及ぼすように、集束される。
光束の位置および角度調整を同時に音響的に監
視するために、第1図および第2図の装置は有利
にも1つの装置にまとめることもできる。この場
合増幅器104,105,106および107に
おいて増幅された4つの、第1図に図示の位置測
定のために使用される位置検出器103の出力信
号Sおよび第2図に図示の、角度測定のために使
用される位置検出器103の4つの出力信号は切
換スイツチを用いて選択的に振幅変調器112,
113,114および115および正規化段12
1に切換られる。位置または角度測定装置の、切
換スイツチを用いた信号評価回路への切換は、手
動または自動的に時間発生器を用いて順に行なわ
れる。
既述の装置が、所定の測定音ないし連続音にお
いて適当な調整処置を講ずるために、表を有する
調整指示が必要である一方、測定音の発生に代わ
つて所定のデジタル記憶内容を復調器から読出す
ことができ、これら記憶内容を用いて増幅器およ
びスピーカを介して、操作者には人間の言語にお
ける指示として識別される連続音が発生される。
しかし光束の相対位置および/または方向では
なく絶対位置および/または方向に関心がある場
合、正規化段121は橋絡されるかまたは設けな
くてもよい。その際閾値回路125のレジスタ1
35に絶対限界値がロードされる。
発明の効果 本発明によれば光束の調整過程を正確にかつ確
実に音響により監視することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、光束の光軸の位置の調整の音響監視
装置に対する実施例のブロツク回路図であり、第
2図は、光束の方向の調整の音響監視装置に対す
る実施例のブロツク回路図である。 96……光束、101……整合形光学素子、1
04〜107……測定装置、108〜111,1
12〜115……振動発生器、117……マルチ
プレクサ、121……正規化段、125……閾値
回路、138……焦束形光学素子。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 a 光束96の光路に設けられた測定面10
    3を測定領域102に分割し、その際該領域1
    02の中心角の中心点が前記目標点にあるもの
    とし、 b 前記測定面103の個別測定領域102に入
    射する、光束96の光成分を光電測定し、該光
    成分が個別測定領域102における光束96の
    光軸97の、前記目標点からの位置偏差を表わ
    すようにし、かつ c 前記測定面103の個別測定領域102に対
    して異なつた振動を発生し、該振動のパラメー
    タをそれぞれ、対応する測定領域102におい
    て測定された前記光成分に依存して変化し、か
    つパラメータが変化された振動を個別測定領域
    102を特徴付ける測定音として聴取可能とす
    ることを特徴とする光学装置における調整過程
    の音響監視方法。 2 振動のパラメータとして周波数、振幅、キー
    イング周波数またはキーイング比、したがつて測
    定音の音の高さ、音の強さ、断続周波数または遮
    断持続時間を測定された光成分に依存して変える
    特許請求の範囲第1項記載の光学装置における調
    整過程の音響監視方法。 3 測定面103の個別測定領域102に対し
    て、異なつた周波数の振動を発生しかつ振動の振
    幅を測定された光成分に依存して変化させ、これ
    により個別測定領域102に対して異なつた高さ
    の測定音を発生し、該測定音の強さを検出された
    偏差に依存するようにする特許請求の範囲第2項
    記載の光学装置における調整過程の音響監視方
    法。 4 測定面103の個別測定領域102を特徴付
    ける測定音を順次サイクリツクに聴取する特許請
    求の範囲第1項から第3項までのいづれか1項記
    載の光学装置における調整過程の音響監視方法。 5 a 測定面103の隣接する測定領域102
    および相対する測定領域102の測定された光
    成分を表示する信号(S)から差信号(D)を
    形成し、 b 該差信号を、目標値からの許容偏差を表示す
    る前以つて決められた限界値(Dg)と比較し、
    かつ c 該限界値(Dg)の方が差信号(D)より下
    回つているときに聴取可能とする特許請求の範
    囲第1項から第4項までのいづれか1項記載の
    光学装置における調整過程の音響監視方法。 6 限界値(Dg)の方が低い場合個別測定音の
    サイクリツクな順序を中断しかつすべての測定音
    を同時に聴取可能とする特許請求の範囲第5項記
    載の光学装置における調整過程の音響監視方法。 7 光束96の横断面を、光束96の光路におけ
    る測定面103に整合するために、同測定面10
    3の前方に整合光学素子101を設ける特許請求
    の範囲第1項記載の光学装置における調整過程の
    音響監視方法。 8 光学装置における調整過程を音響的に監視す
    るための方法において、 a 光束96を、光路に設けられた測定面103
    上に集束し、 b 前記測定面103を測定領域102に分割
    し、その際該領域102の中心角の中心点が前
    記目標軸が前記測定面103を貫通する点にあ
    るものとし、 c 前記測定面103の個別測定領域102に入
    射する、集束された光束96の光成分を光電測
    定し、該光成分が個別測定領域102における
    光束96の光学軸97の、前記目標軸からの方
    向偏差値を表わすようにし、かつ d 前記測定板103の個別測定領域102に対
    して種々異なつた振動を発生し、該振動のパラ
    メータをそれぞれ、対応する測定領域102に
    おいて測定された前記光成分に依存して変化
    し、かつパラメータが変化された振動を個別測
    定領域102を特徴付ける測定音として聴取可
    能とすることを特徴とする光学装置における調
    整過程の音響監視方法。 9 a 光束96の光路に光電測定装置103な
    いし107が設けられており、該測定装置の測
    定面103は測定領域102に分割されてお
    り、その際測定領域102の中心角の中心点が
    前記目標点に位置し、前記測定装置は個別測定
    領域102に入射する、光束96の光成分を信
    号(S)として測定し、 b 前記測定装置103ないし107に接続され
    ている振動発生器108ないし115が設けら
    れており、該発生器は前記測定面103の測定
    領域102を特徴付ける振動を発生しかつ該振
    動を測定された光成分に依存して変化させ、 c 前記振動発生器108ないし115に接続さ
    れているマルチプレクサ117が設けられてお
    り、該マルチプレクサは前記変化された振動を
    順次サイクリツクに通し接続し、かつ d 前記振動を測定音として聴取するために電気
    音響変換器119が設けられていることを特徴
    とする光学装置における調整過程の音響監視装
    置。 10 振動発生器108ないし114は、 a 測定面103の個別測定領域102に対して
    異なつた周波数の振動を発生するための発振器
    108,109,110,111と、 b 該発振器108,109,110,111お
    よび測定装置103ないし107に接続されて
    おり、測定された光成分に依存して振動の振幅
    を変化するための振幅変調器112,113,
    114,115とを有する特許請求の範囲第9
    項記載の光学装置における調整過程の音響監視
    装置。 11 付加的に、測定装置103ないし107お
    よびマルチプレクサ117に接続されている、該
    マルチプレクサ117に対する制御信号を発生す
    るための閾値回路125が設けられており、該閾
    値回路は、 a 測定装置103ないし107の信号(S)か
    ら差信号(D)を形成するための差形成段12
    6,127,128と、 b 限界値(Dg)を前以つて与えるためのレジ
    スタ135と、 c 前記差形成段126,127,128および
    レジスタ135に接続されていて、前以つて決
    められた限界値の方が前記差信号(D)を下回
    つている際制御信号を形成するための比較装置
    132,133,134,136とを有する特
    許請求の範囲第9項または第10項記載の光学
    装置における調整過程の音響監視装置。
JP13097485A 1984-06-18 1985-06-18 光学装置における調整過程の音響監視方法および装置 Granted JPS6135410A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE84106944.6 1984-06-18
EP84106944A EP0165324B1 (de) 1984-06-18 1984-06-18 Verfahren und Einrichtung zur akustischen Kontrolle von Justiervorgängen an optischen Vorrichtungen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6135410A JPS6135410A (ja) 1986-02-19
JPH0461333B2 true JPH0461333B2 (ja) 1992-09-30

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ID=8191997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13097485A Granted JPS6135410A (ja) 1984-06-18 1985-06-18 光学装置における調整過程の音響監視方法および装置

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US (1) US4707597A (ja)
EP (1) EP0165324B1 (ja)
JP (1) JPS6135410A (ja)
AT (1) ATE34623T1 (ja)
CA (1) CA1220277A (ja)
DE (1) DE3471529D1 (ja)
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