DE4028179C2 - Verfahren zur Überwachung der Lage und des Durchmessers von Laserstrahlen - Google Patents
Verfahren zur Überwachung der Lage und des Durchmessers von LaserstrahlenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überwachung von Laser
strahlen auf Lageabweichungen bezüglich einer Sollage und auf
Abweichungen des Durchmessers von einem vorgegebenen oder ein
gestellten Durchmesser.
In der Fertigung werden in zunehmendem Maße Verfahren unter
Anwendung von Laserstrahlen durchgeführt. Hierzu verwendete
Maschinen sind mit einem Laser ausgerüstet und arbeiten häufig
mit "fliegender Optik". Hierbei besteht die Gefahr, daß der
Laserstrahl auf die Fassung der Optik trifft. Dies geschieht,
wenn der Laserstrahl des in der Maschine vorhandenen Laserge
rätes geringfügig dejustiert wird. Die Folge davon sind unmit
telbare Verschlechterungen des Bearbeitungsergebnisses. Dies
wird einerseits durch die Abschattung des Laserstrahles beim
Auftreffen auf einer Optikfassung erzeugt. Desweiteren kann
eine Änderung des Durchmessers vom Laserstrahl vor der Fokus
sierungsoptik bei gleichbleibender Brennweite dieser Optik
direkten Einfluß auf den Durchmesser des Laserstrahl es im Fo
kus haben. Da der Strahldurchmesser im Fokus direkt proportio
nal dem Kehrwert des Durchmessers vom Laserstrahl vor der
Optik ist, ist der Energieeintrag in ein zu bearbeitendes Werk
stück unmittelbar abhängig von der Änderung des Strahldurchmes
sers.
Derartige Fehler treten durch Änderung der Laserleistung auf,
die entweder durch thermische Belastungen von Bauelementen
oder durch Verschmutzung des Auskoppelfensters am Laser er
zeugt werden. Dadurch wird unmittelbar die Divergenz des Lasers
beeinflußt.
Bei Lasern, die im ultravioletten, im sichtbaren oder im nahen
infraroten Licht arbeiten, können die Strahllage und der Durch
messer mit Photodioden oder mit Anordnungen von Photodioden
gemessen werden. Hierzu muß jedoch ein minimaler Anteil des
Laserstrahles ausgekoppelt werden. Dabei wird lediglich der
ausgekoppelte Anteil, aber nicht der eigentliche Bearbeitungs
strahl überwacht. Für Laser, die mit Infrarotlicht arbeiten,
können beispielsweise bei ausreichender Leistung Drähte in den
Strahlengang eingebracht werden, deren Erwärmung ein Maß für
die Strahllage ist. Die Drähte dürfen aber nicht beliebig lan
ge der Laserstrahlung ausgesetzt werden. Ein Laserstrahl kann
mittels der Methode der "rotierenden Hohlnadel" justiert wer
den. Dies ist eine Weiterentwicklung der "rotierenden Drähte".
Ebenso kann mittels bewegter Blenden ein Teil des Laserstrah
les ausgekoppelt und überwacht werden. Dies bezieht sich wie
derum nicht auf den eigentlichen Bearbeitungsstrahl. Eine seit
langem bekannte und nach die vor verwendbare Methode zur Fest
stellung der Strahllage und des Durchmessers des Laserstrahles
ist die Möglichkeit der Erzeugung von Einbränden.
Die US-Patentschrift 4 707 597 offenbart ein Verfahren zur
akustischen Überwachung und Einstellung eines Lichtbündels in
Bezug auf dessen Position und/oder Richtung. Dazu wird ein
opto-elektrischer Wandler eingesetzt, wobei das elektrische
Signal des Wandlers verarbeitet wird. Wenn Lichtanteile des
Lichtbündels auf die einzelnen Sektoren des Sensors einfallen,
wird eine optoelektrische Messung der Positionsabweichung
vorgenommen. Für jeden einzelnen Sektor werden Schwingungen
erzeugt. Die Schwingungen werden über einen Lautsprecher
umgesetzt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein für die Fertigung
praktikables Verfahren zur Verfügung zu stellen, mit dem eine
Überwachung von Laserstrahlen auf Lage- und Durchmesserabwei
chung möglich ist.
Die Lösung dieser Aufgabe wird durch die Merkmale des
Patentanspruchs wiedergegeben.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß mittels eines
oder mehrerer in einem Körper erzeugter Schallemissionssignale
das auftreffen eines Laserstrahles detektierbar ist. Hierbei
reicht eine geringfügige Erwärmung des jeweiligen Körpers aus,
um ein gut meßbares Signal zu erzeugen. Dieser Effekt der
Schallemission wird zur Messung der Strahllage und des Strahl
durchmessers insofern herangezogen, als ein auf die Sollage
und den Solldurchmesser eines Laserstrahles abgestimmter Kör
per, der an die Form des Laserstrahls angepaßt ist, Sensoren
zur Aufnahme von Schallemissionssignalen enthalt. Sobald der
Laserstrahl von seiner Sollage bzw. von seinem Solldurchmesser
abweicht und auf den beschriebenen Körper trifft, werden durch
Aufheizen dieses Körpers Schallemissionssignale emittiert,
über die Sensoren aufgenommen und entsprechend ausgewertet.
Hierbei ist es nur wichtig das Vorhandensein eines Schallemis
sionssignales zu detektieren. Dazu kann die Amplitude und auch
die Frequenz des Signales herangezogen werden.
Sind die Blende oder die Fassung entlang ihres Umfanges in
akustisch gegeneinander isolierte Segmente unterteilt, wobei
gleichzeitig jedem Segment ein Sensor zugeordnet ist, so be
steht die Möglichkeit, neben der Aussage bezüglich einer Lage
abweichung eines überwachten Laserstrahls auch die Richtung
der Abweichung anzugeben. Hierzu werden die Amplitudenunter
schiede der akustischen Signale zwischen den einzelnen Segmen
ten ermittelt und ausgewertet. Für den Fall, daß die Segmente
so eingestellt sind, daß gerade kein Signal entsteht, so er
gibt sich die Möglichkeit, bereits eine geringfügige Strahl
vergrößerung zu detektieren. Dabei würden gleichmäßige Signale
in allen Segmenten erzeugt werden. Die anfängliche Konzen
trizität der Blende oder der Fassung einer Optik bezüglich der
Sollage des Laserstrahles wird natürlich vorausgesetzt.
Die einfachste Ausführung der Erfindung besteht in der Auswer
tung des Schallemissionssignales, das bei Lage- und Durchmes
serabweichungen an einer Optikfassung auftritt. Hier wird bei
spielsweise ein Piezosensor an der Optikfassung befestigt und
angekoppelt. Das aufgenommene Schallemissionssignal wird even
tuell gefiltert und verstärkt. Das auftreten eines Schallemis
sionssignales signalisiert das Auftreffen des Laserstrahles
auf die Fassung der Optik. Grundsätzlich kann jede Fassung
eines optischen Elementes innerhalb der Fokussierungsoptik
dazu verwendet werden. Die Materialien sind in der Regel Me
talle.
Werden an der Optikfassung oder an einer Blende mehrere Senso
ren angebracht, so kann aus den Laufzeitunterschieden der
akustischen Signale die Richtung der Strahlabweichung ermittelt
werden. Dies ist jedoch nur mit einer Segmentierung und mit
akustisch gegeneinander isolierten Segmenten möglich. Mittels
des beschriebenen Verfahrens ist sogar die quantitative Messung
des Strahldurchmessers möglich.
Die diesbezügliche Vorgehensweise entspricht in etwa dem Prin
zip eines Lehrringes zur Bestimmung des Durchmessers von
zylindrischen Körpern. Der Durchmesser eines Laserstrahles ist
so groß, wie der Durchmesser einer konzentrisch angeordneten
Blende, bei der gerade kein Schallemissionssignal auftritt.
Die Verwendung einer nächstkleineren Blende würde ein
Schallemissionssignal in der Blende bewirken, da der Laser
strahl bei diesem Durchmesser auf die Blende auftrifft.
Die verschiedenen beschriebenen Ausführungsformen des Verfah
rens müssen nicht notwendigerweise in einer Bearbeitungsma
schine enthalten sein. Es besteht die Möglichkeit, diese
Varianten in einem bewegbaren Meßgerät zu integrieren, das
nicht ortsgebunden einsetzbar ist. Das Meßgerät ist aufgrund
der Tatsache, daß blenden nur geringfügig erwärmt werden, sehr
robust und kann auch an Lasern hoher Leistung eingesetzt wer
den. Es können allgemein Fehler bei der Bearbeitung vermieden
werden, indem der Laser bei Abweichungen von der Sollage oder
dem Solldurchmesser des Laserstrahles abgeschaltet oder nach
geregelt wird.
Claims (1)
- Verfahren zur Überwachung der Lage und des Durchmessers von Laserstrahlen, bei dem die Abweichung eines Laserstrahls von seiner Sollage durch Auswertung eines Schallemissionssignales geschieht, das durch Auftreffen des Laserstrahles auf eine konzentrisch zur Sollage des Laserstrahles angeordnete Blende oder eine Fassung einer laserstrahlformenden Optik und dadurch bedingte Erwärmung entsteht, wobei die Blende oder die Fassung entlang ihres Umfanges in akustisch gegeneinander isolierte Segmente unterteilt sind und an jedem Segment ein Sensor zur Aufnahme eines im Segment erzeugten Schallemissions signales angekoppelt ist.
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