JPH0459745B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、回転陽極型Ｘ線管に係り、特にそ
の回転機構の改良に関する。

〔発明の技術的背景〕

一般にＸ線管は、例えばＸ線診断として医療用
に利用されているが、胃の検診などの場合には、
従来第１図に示すようなＸ線管が用いられてい
る。このＸ線管は、いわゆる回転陽極型といわれ
るもので、外囲器１の一方に陰極２が配設され、
陰極フイラメント及び集束電極を内蔵したカツプ
３が偏心して設けられている。又、外囲器１の中
央付近には陰極２に対向して陽極４が配設され、
この陽極４の略傘状のターゲツト５がローター６
により支持注７を介して回転するようになつてい
る。そして動作時には、陰陽極間に高電圧（30〜
200kV）が印加され、陰極フイラメントから発射
された電子が集束電極により集束されてターゲツ
ト５上に大小２つの焦点を形成し、この小焦点で
透視が、大焦点で撮影がそれぞれ行なわれる。

ところで、従来の回転陽極型Ｘ線管の要部（回
転機構付近）を示すと、第２図のように構成さ
れ、図中５は陽極ターゲツト、７は陽極ターゲツ
ト５を支持する支持柱、８は陽極ターゲツト５を
支持柱７に固定するナツト、６は支持柱７と一体
になつた有蓋円筒状のロータである。又、９は一
端に円板１０を有する回回転軸で円板１０が上記
ローター６に固着されている。従つて回転軸９が
回転すると同時に陽極ターゲツト５も回転するこ
とになる。１１，１２はベアリング、１３は固定
円筒、１４は固定子である。更に、一方のベアリ
ング１２はスプリング１５により陽極ターゲツト
５とは反対方向に予圧（偏埼力）が与え、上記円
筒１３内面を軸方向に摺動可能になつている。そ
して実際の使用時にあつては、回転子のロータ６
が外部より回転磁界を受け、その力で陽極ターゲ
ツト５を回転させることになる。

〔背景技術の問題点〕

上記のような従来の回転陽極型Ｘ線管における
回転機構では、回転軸９を支持する１組のベアリ
ング１１，１２のうち一方を円筒１３内面で滑ら
せて熱膨張を逃げ、一定の予圧がベアリング１２
にかかるようにしている。ところが円筒１３とベ
アリング１２との間に適当な潤滑方法がないの
で、真空中にて高温使用するＸ線管用軸受として
は、滑りの不具合を起こし、破損の原因となるこ
とがあつた。而も単純なる機械的摩擦の他にベア
リング１２を通じて電流を流しているので微少放
電が発生し、これが滑り悪化の一因となつてい
る。

〔発明の目的〕

この発明の目的は、振動による微少放電が生じ
ることなく、潤滑剤が不要な回転陽極型Ｘ線管を
提供することである。

〔発明の概要〕

この発明は、１組のベアリングのうち一方を固
定し他方をスプリングで予圧をかけて円筒内面を
摺動可能にした回転陽極型Ｘ線管において、ベア
リングが摺動する円筒部分をセラミツクで形成し
たものである。

〔発明の実施例〕

この発明の回転陽極型Ｘ線管の回転機構付近は
第３図に示すように構成され、従来例（第２図）
と同じ箇所は同一符号を付すと、陽極ターゲツト
５を固着した支持柱７を一端に同軸的に突設した
有蓋円筒状のローター６の内側には、一端に円板
１０を有する回転軸９が同軸的に固着されてい
る。従つて回転軸９が回転すると同時に陽極ター
ゲツト５も回転することになる。更に上記ロータ
ー６と上記回転軸９との間には、有底筒状の固定
子１４が配設され、この固定子１４は外囲器（第
１図参照）に固定されている。又、固定子１４の
内面には、固定円筒１６が嵌合されている。この
円筒１６は陽極ターゲツト５側の厚肉部１６ａと
薄肉部１６ｂとからなり、厚肉部１６ａは金属で
あるが、薄肉部１６ｂはBN、B₄C、Si₃N₄、SiC
のうちの１つを95％以上含むセラミツクからなつ
ている。尚、厚肉部１６ａと薄肉部１６ｂは一体
又は別個に製作されている。更に、この円筒１６
と上記回転軸９との間には、１組のベアリング１
１，１２が配設されている。この場合、ベアリン
グ１１はその内輪が回転軸９に固着され、外輪が
円筒１６の厚肉部１６ａに固着されている。又、
ベアリング１２はその内輪が回転軸９に固着さ
れ、外輪は円筒１６の薄肉部１６ｂ内面を軸方向
に摺動可能となつている。而も、このベアリング
１２と円筒１６の厚肉部１６ａとの間には、螺旋
状スプリング１５が設けられ、このスプリング１
５によりベアリング１２には予圧（偏埼力）が加
えられている。尚、ベアリング１１とベアリング
１２との間には筒状スペーサ１７が配設され回転
軸９外周に固着されている。又、回転軸９の他端
にはナツト１８が螺着されている。

この発明の回転陽極型Ｘ線管は、上記以外は第
１図と同様構成ゆえ、詳細な説明を省略する。

〔発明の効果〕

この発明によれば、固定子１４の内側に円筒１
６を嵌合し、この円筒１６のセラミツクからなる
薄肉部１６ｂの内面にベアリング１２を摺動可能
に設けているので、ベアリング１２の摺動による
微少放電を末然に防止することができた。即ち、
摺動する方のベアリング１２は絶縁して電流を流
さないようにし、而も低摩擦力で滑らせることが
できる。更に硬度が高いので、使用中に他の金属
潤滑剤等と異なり、微粉が発生して耐電圧性能に
悪影響を与えることがないから、安定した長寿命
が得られる。

以上説明したようにこの発明によれば、実用的
価値大なる回転陽極型Ｘ線管を供給することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来及びこの発明を説明するために用
いる回転陽極型Ｘ線管を示す概略構成図、第２図
は従来の回転陽極型Ｘ線管における回転機構付近
を示す断面図、第３図はこの発明の一実施例に係
る回転陽極型Ｘ線管における回転機構付近を示す
断面図である。 ５…陽極ターゲツト、６…ローター、７…支持
柱、９…回転軸、１１，１２…ベアリング、１４
…固定子、１５…スプリング、１６…円筒、１６
ａ…厚肉部、１６ｂ…薄肉部。

【特許請求の範囲】

１ 回転対称面を有する試料をその回転対称軸を
中心として、荷電粒子線のＸ軸偏向方向と平行に
回転自在に支持する試料支持装置と、試料を上記
支持軸周りに駆動するパルスモータを備え、画像
表示用CRTのＸ軸走査と同期して荷電粒子線照
射装置のＸ軸偏向コイルを制御せしめると共に、
このＸ軸走査と同期して、一Ｘ軸走査毎に試料を
微小角度ずつ回転するように上記パルスモータを
制御せしめたことを特徴とする荷電粒子線走査型
分析装置。