JPH0459628A - ガラス板の加工方法 - Google Patents
ガラス板の加工方法Info
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- JPH0459628A JPH0459628A JP17163790A JP17163790A JPH0459628A JP H0459628 A JPH0459628 A JP H0459628A JP 17163790 A JP17163790 A JP 17163790A JP 17163790 A JP17163790 A JP 17163790A JP H0459628 A JPH0459628 A JP H0459628A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/04—Compositions for glass with special properties for photosensitive glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/007—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by thermal treatment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は感光性ガラス板に溝又は孔を形成するガラス板
の加工方法に関する。
の加工方法に関する。
［従来の技術］
ガラス板の加工方法には、感光性ガラス板に溝又は孔を
形成する方法があり、この方法としては、感光性ガラス
板を露光・熱処理・エツチング処理して溝又は孔を形成
する方法が知られている。この方法は高精度の溝又は孔
を形成でき、例えばインクシエンドプリンタの印字ヘッ
トの加工に適用されている（特公昭６３−５８０９５号
）。
形成する方法があり、この方法としては、感光性ガラス
板を露光・熱処理・エツチング処理して溝又は孔を形成
する方法が知られている。この方法は高精度の溝又は孔
を形成でき、例えばインクシエンドプリンタの印字ヘッ
トの加工に適用されている（特公昭６３−５８０９５号
）。
第８図には、この種の従来の加工方法に係る加工工程か
示されている。第８図では図示されていないか始めに感
光性ガラス板を部分的に露光し、その後に当該露光部を
熱処理して結晶化し結晶部とした後に、第８図（Ａ）に
示されるように結晶部１の表面にマスキング材２を接着
する。マスキング材２の接着後は、第８図（Ｂ）に示さ
れるように結晶部１のマスキング材２の開口との対応部
分を所定の深さまでエツチングし、その後にマスキング
材２を剥離する。そして、マスキング材２の剥離後に第
８図（Ｃ）に示されるように結晶部１の表面全体を所定
の深さまでエツチングして段付き溝３を形成する。この
加工方法によれば、マスキング材２の着脱によって段付
き溝３を形成できるたけてなく、マスキング材２の接着
状態でのエツチングによってマスキング材２の裏側にエ
ツチング液を回り込ませて段付き溝３の内壁の一部を斜
面３ａとすることができるという利点がある。
示されている。第８図では図示されていないか始めに感
光性ガラス板を部分的に露光し、その後に当該露光部を
熱処理して結晶化し結晶部とした後に、第８図（Ａ）に
示されるように結晶部１の表面にマスキング材２を接着
する。マスキング材２の接着後は、第８図（Ｂ）に示さ
れるように結晶部１のマスキング材２の開口との対応部
分を所定の深さまでエツチングし、その後にマスキング
材２を剥離する。そして、マスキング材２の剥離後に第
８図（Ｃ）に示されるように結晶部１の表面全体を所定
の深さまでエツチングして段付き溝３を形成する。この
加工方法によれば、マスキング材２の着脱によって段付
き溝３を形成できるたけてなく、マスキング材２の接着
状態でのエツチングによってマスキング材２の裏側にエ
ツチング液を回り込ませて段付き溝３の内壁の一部を斜
面３ａとすることができるという利点がある。
［発明か解決しようとする課題］
しかしなから、この加工方法では、結晶部１へのマスキ
ング材２の接着状態でマスキング材２か結晶部１との密
着性のバラつきによって剥離する場合かあり、マスキン
グ材２の部分的な剥離等によって斜面３ａの傾斜角度に
ハラつきか生したり、斜面３ａの傾斜角度がエツチング
液の当たりによって略一定（約４５度前後）に定められ
て所望の大きさに設定できないという問題がある。
ング材２の接着状態でマスキング材２か結晶部１との密
着性のバラつきによって剥離する場合かあり、マスキン
グ材２の部分的な剥離等によって斜面３ａの傾斜角度に
ハラつきか生したり、斜面３ａの傾斜角度がエツチング
液の当たりによって略一定（約４５度前後）に定められ
て所望の大きさに設定できないという問題がある。
本発明の目的は、溝又は孔の内壁の一部をハラつきなく
傾斜させることができ、しかもその傾斜角度を所望の大
きさに設定できるガラス板の加工方法を提供することに
ある。
傾斜させることができ、しかもその傾斜角度を所望の大
きさに設定できるガラス板の加工方法を提供することに
ある。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために本発明に係るガラス板の加工
方法においては、感光性ガラス板をその板厚方向に対し
て傾斜する方向及びこの方向と交差する方向の少なくと
も２方向から部分的に露光して感光性ガラス板にその板
厚方向に対して傾斜する斜面を有する露光部を形成し、
この露光部の形成後に当該露光部を熱処理して結晶化し
結晶部とし、その後にこの結晶部を所望の深さまでエツ
チングして溝又は孔を形成するようにした。
方法においては、感光性ガラス板をその板厚方向に対し
て傾斜する方向及びこの方向と交差する方向の少なくと
も２方向から部分的に露光して感光性ガラス板にその板
厚方向に対して傾斜する斜面を有する露光部を形成し、
この露光部の形成後に当該露光部を熱処理して結晶化し
結晶部とし、その後にこの結晶部を所望の深さまでエツ
チングして溝又は孔を形成するようにした。
［作用］
上記の本発明に係るガラス板の加工方法によれば、溝又
は孔の内壁の一部が露光部の斜面と対応する斜面となり
、その傾斜角度は露光部の露光方向によって定められて
バラつくことがなく、また露光部の露光方向を変えるこ
とにより所望の大きさに設定できる。
は孔の内壁の一部が露光部の斜面と対応する斜面となり
、その傾斜角度は露光部の露光方向によって定められて
バラつくことがなく、また露光部の露光方向を変えるこ
とにより所望の大きさに設定できる。
［実施例］
第１図乃至第４図には、本発明に係るガラス板の加工方
法の実施例が示されており、この実施例では第５図及び
第６図に示されるインクジェットプリンタ用の印字ヘッ
ド５の加工に適用されている。
法の実施例が示されており、この実施例では第５図及び
第６図に示されるインクジェットプリンタ用の印字ヘッ
ド５の加工に適用されている。
印字ヘット５は、第５図及び第６図に示されるように基
板６の上に基板７が接合されて両者の間にインク射出口
８、加圧室９、インク溜室１０及びインク供給口１１が
形成され、インクがインク供給口１１、インク溜室１０
を経て加圧室９に供給されるようになっている。基板７
は平板状でその上面に圧電素子１２か接着され、この圧
電素子１２によって加圧室９を加圧してインクをインク
射出口８から噴出てきるようになっている。基板６の上
面には、基板７との間にインク射出口８、加圧室９、イ
ンク溜室１０及びインク供給口１１を形成する溝１３か
形成され、この基板６か感光性ガラス板を素材として加
工されている。
板６の上に基板７が接合されて両者の間にインク射出口
８、加圧室９、インク溜室１０及びインク供給口１１が
形成され、インクがインク供給口１１、インク溜室１０
を経て加圧室９に供給されるようになっている。基板７
は平板状でその上面に圧電素子１２か接着され、この圧
電素子１２によって加圧室９を加圧してインクをインク
射出口８から噴出てきるようになっている。基板６の上
面には、基板７との間にインク射出口８、加圧室９、イ
ンク溜室１０及びインク供給口１１を形成する溝１３か
形成され、この基板６か感光性ガラス板を素材として加
工されている。
基板１の加工手順を説明すると（ここでは便宜上、基板
１の前端部の加工手順のみを説明する）、始めに第１図
（Ａ）に示されるようにフォトマスク１４を介して感光
性ガラス板６ａをその上方であって板厚方向に対して傾
斜する方向（矢印Ａ方向）から部分的に露光して露光部
６ｂを形成する。
１の前端部の加工手順のみを説明する）、始めに第１図
（Ａ）に示されるようにフォトマスク１４を介して感光
性ガラス板６ａをその上方であって板厚方向に対して傾
斜する方向（矢印Ａ方向）から部分的に露光して露光部
６ｂを形成する。
フォトマスク１４には、第２図に示されるように加圧室
９の前端部からインク射出口８の手前に至るインク流路
の平面形状に対応した開口１４ａが形成され、露光部６
ｂの平面形状は加圧室９の前端部からインク射出口８の
手前に至るインク流路の平面形状と対応する。
９の前端部からインク射出口８の手前に至るインク流路
の平面形状に対応した開口１４ａが形成され、露光部６
ｂの平面形状は加圧室９の前端部からインク射出口８の
手前に至るインク流路の平面形状と対応する。
次いて、第１図（Ｂ）に示されるようにフォトマスク１
５を介して感光性ガラス板６ａをその上方であって板厚
方向（矢印Ｂ方向）から部分的（こ露光して斜面６Ｃを
有する露光部６ｄを形成する。
５を介して感光性ガラス板６ａをその上方であって板厚
方向（矢印Ｂ方向）から部分的（こ露光して斜面６Ｃを
有する露光部６ｄを形成する。
フォトマスク１５には、第３図に示されるよう（こ加圧
室９の後端部の平面形状に対応した開口１５ａが形成さ
れ、露光部６ｄの平面形状は加圧室９の後端部からイン
ク射出口８の手前に至るインク流路の平面形状と対応す
る。なお、斜面６Ｃの傾斜角度は露光部６ｂの露光方向
（矢印入方向）と一致する。
室９の後端部の平面形状に対応した開口１５ａが形成さ
れ、露光部６ｄの平面形状は加圧室９の後端部からイン
ク射出口８の手前に至るインク流路の平面形状と対応す
る。なお、斜面６Ｃの傾斜角度は露光部６ｂの露光方向
（矢印入方向）と一致する。
露光部６ｄの形成後は、感光性ガラス板６ａを熱処理し
て露光部６ｄを結晶化し、第１図（Ｃ）に示されるよう
に結晶部６ｅを形成する。なお、未露光部は結晶化され
ず、結晶部６ｅと明ら力）ζこ区別される。
て露光部６ｄを結晶化し、第１図（Ｃ）に示されるよう
に結晶部６ｅを形成する。なお、未露光部は結晶化され
ず、結晶部６ｅと明ら力）ζこ区別される。
結晶部６ｅの形成後は、第１図（Ｄ）に示されるように
フォトマスク１６を介して感光性ガラス板６ａの結晶部
６ｅの前方側部分をその下方てあって板厚方向（矢印Ｃ
方向）から露光して結晶部６ｅの前方側に結晶部６ｅに
連続する露光部６ｆを形成する。フォトマスク１６には
、第４図に示されるように加圧室９の前端部からインク
射出口８に至るインク流路の平面形状に対応した開口１
６ａか形成され、露光部６ｆの平面形状は加圧室９の前
端部からインク射出口８に至るインク流路の平面形状と
対応する。なお、開口１６ａは前端部か外部に開口され
ている。
フォトマスク１６を介して感光性ガラス板６ａの結晶部
６ｅの前方側部分をその下方てあって板厚方向（矢印Ｃ
方向）から露光して結晶部６ｅの前方側に結晶部６ｅに
連続する露光部６ｆを形成する。フォトマスク１６には
、第４図に示されるように加圧室９の前端部からインク
射出口８に至るインク流路の平面形状に対応した開口１
６ａか形成され、露光部６ｆの平面形状は加圧室９の前
端部からインク射出口８に至るインク流路の平面形状と
対応する。なお、開口１６ａは前端部か外部に開口され
ている。
露光部６ｆの形成後は、感光性ガラス板６ａをエツチン
グ処理して結晶部６ｄを所定の深さまでエツチングし、
第１図（Ｅ）に示されるようにて感光性ガラス板６ａの
表面に溝６ｇを形成する。
グ処理して結晶部６ｄを所定の深さまでエツチングし、
第１図（Ｅ）に示されるようにて感光性ガラス板６ａの
表面に溝６ｇを形成する。
溝６ｇの形成後は、感光性ガラス板６ａを再び熱処理し
て露光部６ｆを結晶化し、第１図（Ｆ）に示されるよう
に結晶部６ｈを形成する。
て露光部６ｆを結晶化し、第１図（Ｆ）に示されるよう
に結晶部６ｈを形成する。
結晶部６ｈの形成後は、感光性ガラス板６ａを再びエツ
チング処理して結晶部６ｈを所望の深さまでエツチング
し、第１図（Ｇ）に示されるよつに感光性ガラス板６ａ
の表面に段付き溝６１を形成する。段付き溝６１の前壁
は斜面６ノとなり、その傾斜角度は露光部６ｄの斜面６
Ｃの傾斜角度と対応する。すなわち、斜面６ｊの傾斜角
度か露光部６ｂの露光方向（矢印Ａ方向）によって定め
られて斜面６ｊをバラつきなく傾斜させることかでき、
また露光部６ｂの露光方向（矢印Ａ方向）を変えること
により斜面６ｊの傾斜角度を所望の大きさに設定できる
。
チング処理して結晶部６ｈを所望の深さまでエツチング
し、第１図（Ｇ）に示されるよつに感光性ガラス板６ａ
の表面に段付き溝６１を形成する。段付き溝６１の前壁
は斜面６ノとなり、その傾斜角度は露光部６ｄの斜面６
Ｃの傾斜角度と対応する。すなわち、斜面６ｊの傾斜角
度か露光部６ｂの露光方向（矢印Ａ方向）によって定め
られて斜面６ｊをバラつきなく傾斜させることかでき、
また露光部６ｂの露光方向（矢印Ａ方向）を変えること
により斜面６ｊの傾斜角度を所望の大きさに設定できる
。
このようにして形成される段付き溝６１は加圧室９から
インク射出口８に至るインク流路を構成し、その斜面６
ｊは加圧室９の前壁を構成する。
インク射出口８に至るインク流路を構成し、その斜面６
ｊは加圧室９の前壁を構成する。
したがって、加圧室９の前壁をバラつきなく傾斜させて
インクの流路抵抗をバラつきなく均一にすることができ
る。また、加圧室９の前壁の傾斜角度を小さく設定して
インクの流路抵抗を低減できる。
インクの流路抵抗をバラつきなく均一にすることができ
る。また、加圧室９の前壁の傾斜角度を小さく設定して
インクの流路抵抗を低減できる。
第７図には、他の実施例が示されており、この実施例で
は第７図（Ａ）に示されるようにして露光部６ｂを形成
した後は、第７図（Ｂ）に示されるようにフォトマスク
１５を介して感光性ガラス板６ａをその１一方てあって
仮埋方向に対して傾斜する方向（矢印り方向）から部分
的に露光して斜面６ｃ、６ｋを有する露光部６ｄを形成
する。そして、露光部６ｄの形成後は、感光性ガラス板
６ａを熱処理して露光部６ｄを結晶化し、第７図（Ｃ）
に示されるように結晶部６ｅを形成する。
は第７図（Ａ）に示されるようにして露光部６ｂを形成
した後は、第７図（Ｂ）に示されるようにフォトマスク
１５を介して感光性ガラス板６ａをその１一方てあって
仮埋方向に対して傾斜する方向（矢印り方向）から部分
的に露光して斜面６ｃ、６ｋを有する露光部６ｄを形成
する。そして、露光部６ｄの形成後は、感光性ガラス板
６ａを熱処理して露光部６ｄを結晶化し、第７図（Ｃ）
に示されるように結晶部６ｅを形成する。
結晶部６ｅの形成後は、感光性ガラス板６ａをエンチン
グ処理して結晶部６ｅを所定の深さまでエツチングし、
第７図（Ｄ）に示されるように感光性ガラス板６ａの表
面に溝６ｇを形成する。
グ処理して結晶部６ｅを所定の深さまでエツチングし、
第７図（Ｄ）に示されるように感光性ガラス板６ａの表
面に溝６ｇを形成する。
溝６ｇの形成後は、第７図（Ｅ）に示されるようにフォ
トマスク１６を介して感光性ガラス板６ａの結晶部６ｅ
の前方側部分をその下方であって板厚方向に対して傾斜
する方向（矢印Ｅ方向）から露光して結晶部６ｅの前方
側に結晶部６ｅに連続する露光部６ｆを形成する。
トマスク１６を介して感光性ガラス板６ａの結晶部６ｅ
の前方側部分をその下方であって板厚方向に対して傾斜
する方向（矢印Ｅ方向）から露光して結晶部６ｅの前方
側に結晶部６ｅに連続する露光部６ｆを形成する。
露光部６ｆの形成後は、感光性ガラス板６ａを再び熱処
理して露光部６ｆを結晶化し、第７図（Ｆ）に示される
ように結晶部６ｈを形成する。
理して露光部６ｆを結晶化し、第７図（Ｆ）に示される
ように結晶部６ｈを形成する。
結晶部６ｈの形成後は、感光性ガラス板６ａを再びエツ
チング処理して結晶部６ｈを所望の深さまでエツチング
し、第７図（Ｇ）に示されるようこ感光性ガラス板６ａ
の表面に段付き満６１を形成する。段付き溝６１の前壁
は斜面６ノとなり、後壁は斜面６１となり、斜面６ｊ、
６１の傾斜角度はそれぞれ露光部６ｄの斜面６ｃ、６に
の傾斜角度と対応される。
チング処理して結晶部６ｈを所望の深さまでエツチング
し、第７図（Ｇ）に示されるようこ感光性ガラス板６ａ
の表面に段付き満６１を形成する。段付き溝６１の前壁
は斜面６ノとなり、後壁は斜面６１となり、斜面６ｊ、
６１の傾斜角度はそれぞれ露光部６ｄの斜面６ｃ、６に
の傾斜角度と対応される。
したがって、この実施例では、加圧室９の前壁たけてな
く、加圧室９の後壁も傾斜させてインクの流路抵抗をよ
り一層低減できる。
く、加圧室９の後壁も傾斜させてインクの流路抵抗をよ
り一層低減できる。
なお、上記実施例では第１図（Ａ）、（Ｂ）及び第７図
（Ａ）、（Ｂ）に示される加工工程において感光性ガラ
ス板６ａを表面側から露光したか、筈先性ガラス板６ａ
を裏面側から露光するようにしてもよく、また露光は２
方向に限らす３方向以−Ｆの方向からするようにしても
よい。
（Ａ）、（Ｂ）に示される加工工程において感光性ガラ
ス板６ａを表面側から露光したか、筈先性ガラス板６ａ
を裏面側から露光するようにしてもよく、また露光は２
方向に限らす３方向以−Ｆの方向からするようにしても
よい。
また、上記実施例では感光性ガラス板６ａの熱処理及び
エツチング処理を２回行って段付き溝６１を形成したか
、基板７の下面にインク射出口８を構成する溝を形成す
る等、使用の態様によっては感光性ガラス板６ａの熱処
理及びエツチング処理を１回にして溝６ｆて加圧室９を
構成するようにしてもよい。
エツチング処理を２回行って段付き溝６１を形成したか
、基板７の下面にインク射出口８を構成する溝を形成す
る等、使用の態様によっては感光性ガラス板６ａの熱処
理及びエツチング処理を１回にして溝６ｆて加圧室９を
構成するようにしてもよい。
また、上記実施例では印字ヘッド５の基板６を加工した
例を説明したか、種々のガラス板の加工に適用可能であ
る。
例を説明したか、種々のガラス板の加工に適用可能であ
る。
また、上記実施例では印字ヘッド５の基板６に溝１３を
形成する場合について説明したが、本発明は溝を形成す
る場合たけに限らず、孔を形成する場合にも勿論適用可
能である。
形成する場合について説明したが、本発明は溝を形成す
る場合たけに限らず、孔を形成する場合にも勿論適用可
能である。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明に係るガラス板の加工方法
では、感光性ガラス板をその板厚方向に対して傾斜する
方向及びこの方向と交差する方向の少なくとも２方向か
ら部分的に露光して当該感光性ガラス板にその板厚方向
に対して傾斜する斜面をＨする露光部を形成して熱処理
・エツチング処理をするようにしたので、溝又は孔の内
壁の一部をバラつきなく傾斜させることができ、しかも
その傾斜角度を所望の大きさに設定できるという優れた
効果を有する。
では、感光性ガラス板をその板厚方向に対して傾斜する
方向及びこの方向と交差する方向の少なくとも２方向か
ら部分的に露光して当該感光性ガラス板にその板厚方向
に対して傾斜する斜面をＨする露光部を形成して熱処理
・エツチング処理をするようにしたので、溝又は孔の内
壁の一部をバラつきなく傾斜させることができ、しかも
その傾斜角度を所望の大きさに設定できるという優れた
効果を有する。
第１図（Ａ）乃至（Ｇ）は本発明に係るガラス板の加工
方法の加工工程を示す断面図、第２図乃至第４図は本発
明に係るガラス板の加工方法に用いられるフォトマスク
の平面図、第５図は本発明に係るガラス板の加工方法か
適用された印字ヘットの平面図、第６図は第５図のＶｌ
−Ｖｌ線に沿う断面図、第７図（Ａ）乃至（Ｇ）は他の
実施例を示す断面図、第８図（Ａ）乃至（Ｃ）は従来の
ガラス板の加工方法に係る加工工程を示す断面図である
。 ６ａ・ ６Ｃ・ ６ｄ・ ６ｅ・ ｆ ６ｇ・ ６ｈ・ ・感光性ガラス板、 ・斜面、 ・露光部、 ・結晶部、 ・露光部、 ・溝、 ・結晶部、 ・段付き溝。 第１図 ６ｈ−一一社、ｒ８計 ６ｉ−−４ン督さ７Ｌ を順Ｖ暫１−一 第５図 第６図 第０図
方法の加工工程を示す断面図、第２図乃至第４図は本発
明に係るガラス板の加工方法に用いられるフォトマスク
の平面図、第５図は本発明に係るガラス板の加工方法か
適用された印字ヘットの平面図、第６図は第５図のＶｌ
−Ｖｌ線に沿う断面図、第７図（Ａ）乃至（Ｇ）は他の
実施例を示す断面図、第８図（Ａ）乃至（Ｃ）は従来の
ガラス板の加工方法に係る加工工程を示す断面図である
。 ６ａ・ ６Ｃ・ ６ｄ・ ６ｅ・ ｆ ６ｇ・ ６ｈ・ ・感光性ガラス板、 ・斜面、 ・露光部、 ・結晶部、 ・露光部、 ・溝、 ・結晶部、 ・段付き溝。 第１図 ６ｈ−一一社、ｒ８計 ６ｉ−−４ン督さ７Ｌ を順Ｖ暫１−一 第５図 第６図 第０図
Claims (3)
- （１）感光性ガラス板に溝又は孔を形成するガラス板の
加工方法であって、 上記感光性ガラス板をその板厚方向に対して傾斜する方
向及びこの方向と交差する方向の少なくとも２方向から
部分的に露光して上記感光性ガラス板にその板厚方向に
対して傾斜する斜面を有する露光部を形成し、 上記露光部の形成後に上記露光部を熱処理して結晶化し
結晶部とし、 その後に上記結晶部を所望の深さまでエッチングして溝
又は孔を形成する ことを特徴とするガラス板の加工方法。 - （２）請求項１において、上記露光部の結晶化後に上記
露光部の上記斜面と隣接する部分を露光し、この露光後
に上記結晶部を所定の深さまでエッチングし、このエッ
チング後に上記露光部の上記斜面と隣接する部分を熱処
理して結晶化しその後に上記結晶部と共に所望の深さま
でエッチングして段付きの溝又は孔を形成することを特
徴とするガラス板の加工方法。 - （３）請求項１において、上記結晶部のエッチング後に
上記露光部の上記斜面と隣接する部分を露光し、この露
光後に当該部分を熱現像して結晶化しその後に上記結晶
部と共に所望の深さまでエッチングして段付きの溝又は
孔を形成することを特徴とするガラス板の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17163790A JPH0459628A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | ガラス板の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17163790A JPH0459628A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | ガラス板の加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459628A true JPH0459628A (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=15926892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17163790A Pending JPH0459628A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | ガラス板の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0459628A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57200042A (en) * | 1981-06-02 | 1982-12-08 | Hoya Corp | Exposure method for chemically machinable photosensitive glass |
| JPS582240A (ja) * | 1981-06-26 | 1983-01-07 | Hoya Corp | 化学切削性感光ガラスの露光方法 |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP17163790A patent/JPH0459628A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57200042A (en) * | 1981-06-02 | 1982-12-08 | Hoya Corp | Exposure method for chemically machinable photosensitive glass |
| JPS582240A (ja) * | 1981-06-26 | 1983-01-07 | Hoya Corp | 化学切削性感光ガラスの露光方法 |
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