JPH0459093A - シリコン微粉含有排水の処理方法 - Google Patents
シリコン微粉含有排水の処理方法Info
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- JPH0459093A JPH0459093A JP16264290A JP16264290A JPH0459093A JP H0459093 A JPH0459093 A JP H0459093A JP 16264290 A JP16264290 A JP 16264290A JP 16264290 A JP16264290 A JP 16264290A JP H0459093 A JPH0459093 A JP H0459093A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はシリコン半導体素子の製造プロセスにおけるシ
リコンインボッＩ・やシリコン微粉ノ＼の切断や研磨の
工程で排出されるシリコン微粉含有排水の処理方法に関
するものである。
リコンインボッＩ・やシリコン微粉ノ＼の切断や研磨の
工程で排出されるシリコン微粉含有排水の処理方法に関
するものである。
［従来の技術］
現在、シリコン半導体集積素子の製造プロセスで排出さ
れるシリコン微粉含有排水の処理は、主に凝沈剤を用い
て凝沈処理したのち、上澄水とスラッジに分け、上澄水
は放流し、スラッジ分は脱水処理後、廃棄されている。
れるシリコン微粉含有排水の処理は、主に凝沈剤を用い
て凝沈処理したのち、上澄水とスラッジに分け、上澄水
は放流し、スラッジ分は脱水処理後、廃棄されている。
しかしながら、半導体素子製造工程で排出されるシリコ
ン微粉はきわめて活性に富み、水と反応して水素を発生
することが最近判明しつつある。水素ガスは危険性が高
いため、シリコン微粉からの水素発生能力をすみやかに
無くしてしまう排水処理方法が望まれる。又、排出され
るシリコン微粉は純度が高いものなので、廃棄してしま
うには惜しくその有効利用も望まれている。
ン微粉はきわめて活性に富み、水と反応して水素を発生
することが最近判明しつつある。水素ガスは危険性が高
いため、シリコン微粉からの水素発生能力をすみやかに
無くしてしまう排水処理方法が望まれる。又、排出され
るシリコン微粉は純度が高いものなので、廃棄してしま
うには惜しくその有効利用も望まれている。
［発明が解決しようとする課題］
本発明は、シリコン微粉含有排水について、その水素発
生の能力を無くし、かつシリコン微粉を有効に利用する
排水処理方法を提供することを課題とする。
生の能力を無くし、かつシリコン微粉を有効に利用する
排水処理方法を提供することを課題とする。
［課題を解決するための手段］
本発明者らは上記の課題を解決するために鋭意研究した
結果、シリコン微粉を含む排水にアルカリを加えて、シ
リコンとアルカリの間で強制的に水素発生反応を起こさ
せることにより、シリコン微粉を消滅させ比較的すみや
かにシリコン微粉を含む排水の水素発生能力を無くする
ことができることを見出し、本発明を完成するに至った
。なお、このときシリコンとアルカリとの間の反応で生
じた水素はエネルギー源や化学合成原料として有効利用
することが可能である。
結果、シリコン微粉を含む排水にアルカリを加えて、シ
リコンとアルカリの間で強制的に水素発生反応を起こさ
せることにより、シリコン微粉を消滅させ比較的すみや
かにシリコン微粉を含む排水の水素発生能力を無くする
ことができることを見出し、本発明を完成するに至った
。なお、このときシリコンとアルカリとの間の反応で生
じた水素はエネルギー源や化学合成原料として有効利用
することが可能である。
アルカリとしてはＮａＯＨ，Ｋ ＯＨｌＣａ（ＯＨ）２
、Ｎａ２ＣＯａなどの水中でアルカリ性を呈する無機塩
類を好適に用いることができる。これらアルカリをシリ
コン微粉含有排水中に加えると、すみやかに水素発生反
応が生じる。この水素発生反応は例えば［化学大辞典、
第３巻、縮刷版、Ｐ３１７ （１９５１、共立出版発行
）」に記載されているように、 Ｓｊ＋２０Ｈ−＋Ｈ２０−＋５ｉ０３２＋２Ｈ２の反応
式に従って起こるものと考えられる。従ってシリコン微
粉の水素発生能力を無くしてしまうためには、排水中に
含まれるシリコン量に対して、例えばＮａ０ＨＳＫＯＨ
，Ｎａ２ＣＯ３ならば２倍のモル量、Ｃａ（ＯＨ）２な
らば等モル量が最低必要になる。しかし、実際にはなる
べく短時間ですみやかに水素発生反応を終了させること
が望ましいので、アルカリの方を過剰に加えて充分に撹
拌しながら処理を行うことが好ましい。
、Ｎａ２ＣＯａなどの水中でアルカリ性を呈する無機塩
類を好適に用いることができる。これらアルカリをシリ
コン微粉含有排水中に加えると、すみやかに水素発生反
応が生じる。この水素発生反応は例えば［化学大辞典、
第３巻、縮刷版、Ｐ３１７ （１９５１、共立出版発行
）」に記載されているように、 Ｓｊ＋２０Ｈ−＋Ｈ２０−＋５ｉ０３２＋２Ｈ２の反応
式に従って起こるものと考えられる。従ってシリコン微
粉の水素発生能力を無くしてしまうためには、排水中に
含まれるシリコン量に対して、例えばＮａ０ＨＳＫＯＨ
，Ｎａ２ＣＯ３ならば２倍のモル量、Ｃａ（ＯＨ）２な
らば等モル量が最低必要になる。しかし、実際にはなる
べく短時間ですみやかに水素発生反応を終了させること
が望ましいので、アルカリの方を過剰に加えて充分に撹
拌しながら処理を行うことが好ましい。
なお、このとき発生してくる水素に対しては、回収して
有効利用することが望ましいが、窒素ガスや空気などで
安全上問題のない濃度までうすめてから、系外に放出し
てもよい。
有効利用することが望ましいが、窒素ガスや空気などで
安全上問題のない濃度までうすめてから、系外に放出し
てもよい。
排水の水素発生能力が無くなったかどうかは、排水中の
茶色ないしねずみ色のシリコン微粉が消滅したかどうか
で判断できる。例えばアルカリとしてＮａＯＨやＮ８２
Ｃ０３などのナトリウム塩を用いた場合だと、水素発生
反応完了後の液は、水以外にはＮａ２ＳｉＯ３が主成分
になっていると考えられ、はとんど無色透明である。ア
ルカリとしてＫ ＯＨなどのカリウム塩を用いた場合も
同様で、水以外にはに２ＳｉＯ３が主成分になっている
と考えられ、はとんど無色透明である。
茶色ないしねずみ色のシリコン微粉が消滅したかどうか
で判断できる。例えばアルカリとしてＮａＯＨやＮ８２
Ｃ０３などのナトリウム塩を用いた場合だと、水素発生
反応完了後の液は、水以外にはＮａ２ＳｉＯ３が主成分
になっていると考えられ、はとんど無色透明である。ア
ルカリとしてＫ ＯＨなどのカリウム塩を用いた場合も
同様で、水以外にはに２ＳｉＯ３が主成分になっている
と考えられ、はとんど無色透明である。
方、Ｃａ （ＯＨ） ２などのカルシウム塩を用いた場
合は水以外の主成分はＣａ５１’３になっていると考え
られ、これは水不溶性であるため、液は白濁している。
合は水以外の主成分はＣａ５１’３になっていると考え
られ、これは水不溶性であるため、液は白濁している。
このようにＣａ（０１１）２を用いた場合には、排水中
の水素発生能力を無くすることができると同時に、ケイ
素成分を沈澱として分離できるので、非常に有効である
。
の水素発生能力を無くすることができると同時に、ケイ
素成分を沈澱として分離できるので、非常に有効である
。
［実施例］
以下、実施例により本発明を更に詳細かつ具体的に説明
する。
する。
実施例１
約２ｗｔ％のシリコン微粉を含む排水１．００ ｒｎ
Ｉ中にＮａ叶を１２ｇ加え、室温で撹拌を行ったところ
、激しいガス発生反応が起こった。反応は１時間以内で
終了し、もはや水素を発生しない無色透明の液が得られ
た。
Ｉ中にＮａ叶を１２ｇ加え、室温で撹拌を行ったところ
、激しいガス発生反応が起こった。反応は１時間以内で
終了し、もはや水素を発生しない無色透明の液が得られ
た。
発生したガスをガスクロマトグラフにて分析したところ
、純水素であった。このときの水素の回収量は０．０７
ｍｏｌであった。
、純水素であった。このときの水素の回収量は０．０７
ｍｏｌであった。
実施例２
実施例１で用いたのと同じ約２ｗｔ％のシリコン微粉を
含む排水１００ｍ１中にＣａ （ＯＪＩ） ２を１２ｇ
加え、室温で撹拌を行ったところ、ガス発生反応か起こ
った。反応は約１日以内で終了し、もはや水素を発生し
ない、白濁液が得られた。
含む排水１００ｍ１中にＣａ （ＯＪＩ） ２を１２ｇ
加え、室温で撹拌を行ったところ、ガス発生反応か起こ
った。反応は約１日以内で終了し、もはや水素を発生し
ない、白濁液が得られた。
発生したガスをガスクロマトグラフで分析したところ、
純水素であった。このときの水素の回収量は０．０６ｍ
ｏｌであった。
純水素であった。このときの水素の回収量は０．０６ｍ
ｏｌであった。
参考例１
実施例１で用いたのと同じ約２ｖｔ％のシリコン微粉を
含む排水１．０００ｍ１ （ｐｌ（５，２）をそのまま
室温で撹拌したところ、ガスの発生が認められた。
含む排水１．０００ｍ１ （ｐｌ（５，２）をそのまま
室温で撹拌したところ、ガスの発生が認められた。
発生したガスをガスクロマトグラフで分析したところ、
純水素であった。水素の発生はほぼ０．２０ｍｍｏｌ／
ｈｒ一定速度で起こり、２日終わった後もなお、水素発
生は続いていた。
純水素であった。水素の発生はほぼ０．２０ｍｍｏｌ／
ｈｒ一定速度で起こり、２日終わった後もなお、水素発
生は続いていた。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によってシリコン微粉含有
排水を簡単に処理してその水素発生をなくし、必要なら
ば副生じたけい素化合物も除去して排水を完全に浄化す
ることができる。
排水を簡単に処理してその水素発生をなくし、必要なら
ば副生じたけい素化合物も除去して排水を完全に浄化す
ることができる。
特許出願人 旭化成工業株式会社
代理人 弁理士 小 松 秀 岳
代理人 弁理士 旭 宏
Claims (2)
- （１）シリコン微粉含有排水にアルカリを加えてシリコ
ン微粉末と水素発生反応を行わせ、シリコン微粉末を実
質的に消滅させることによって、上記排水からの水素発
生をなくすことを特徴とするシリコン微粉含有排水の処
理方法。 - （２）アルカリが水酸化カルシウムであることを特徴と
する（１）項記載のシリコン微粉含有排水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16264290A JPH0459093A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | シリコン微粉含有排水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16264290A JPH0459093A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | シリコン微粉含有排水の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459093A true JPH0459093A (ja) | 1992-02-25 |
Family
ID=15758503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16264290A Pending JPH0459093A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | シリコン微粉含有排水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0459093A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2800367A1 (fr) * | 1999-11-03 | 2001-05-04 | Air Liquide Electronics Sys | Procede pour eliminer les particules solides notamment de silice et/ou d'alumine d'effluents aqueux |
| WO2002014213A3 (en) * | 2000-08-14 | 2002-04-11 | Univ British Columbia | Hydrogen generation from water split reaction |
| JP2005349346A (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Ael:Kk | 珪素含有廃水の処理方法、並びにその生成物を用いた難燃性断熱材および難燃性積層物 |
| WO2007054290A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-05-18 | Rev Renewable Energy Ventures Inc. | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von wasserstoff |
| JP2012050948A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Nippon Rensui Co Ltd | 排水処理装置および排水処理方法 |
-
1990
- 1990-06-22 JP JP16264290A patent/JPH0459093A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2800367A1 (fr) * | 1999-11-03 | 2001-05-04 | Air Liquide Electronics Sys | Procede pour eliminer les particules solides notamment de silice et/ou d'alumine d'effluents aqueux |
| EP1097906A1 (fr) * | 1999-11-03 | 2001-05-09 | Air Liquide Electronics Systems | Procédé pour éliminer les particles solides, notamment de silice et/ou d'alumine, d'effuents aqueux |
| WO2002014213A3 (en) * | 2000-08-14 | 2002-04-11 | Univ British Columbia | Hydrogen generation from water split reaction |
| JP2005349346A (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Ael:Kk | 珪素含有廃水の処理方法、並びにその生成物を用いた難燃性断熱材および難燃性積層物 |
| JP4605754B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2011-01-05 | 株式会社 エー・イー・エル | 珪素含有廃水の処理方法、並びにその生成物を用いた難燃性断熱材および難燃性積層物 |
| WO2007054290A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-05-18 | Rev Renewable Energy Ventures Inc. | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von wasserstoff |
| US8012444B2 (en) | 2005-11-09 | 2011-09-06 | Spawnt Private S.A.R.L. | Process and apparatus for generating hydrogen |
| JP2012050948A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Nippon Rensui Co Ltd | 排水処理装置および排水処理方法 |
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