JPH0458095A - Deoxidizing equipment - Google Patents
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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- F04C19/004—Details concerning the operating liquid, e.g. nature, separation, cooling, cleaning, control of the supply
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2210/00—Fluid
- F04C2210/60—Condition
- F04C2210/62—Purity
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、電子部品の洗浄装置等への給水ライン中に
適用される脱酸素装置に関するもので、更に詳細には、
処理水の溶存酸素濃度をより低減するための装置の改良
に係るものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a deoxidizing device applied in a water supply line to a cleaning device for electronic parts, etc., and more specifically,
This invention relates to improvements in equipment for further reducing dissolved oxygen concentration in treated water.
従来、電子工業用水の製造においては、脱気塔を用いた
脱気システムが用いられてきたが、このシステムは一般
に加温式のものが多く、省エネルギーの点で問題があり
、又、脱気レベルも５０Ｐ ＰＢが限界であった。近年
、ＬＳＩの集積度の向上に伴い、ＩＯＰ Ｐ Ｂ以下の
脱気レベル（脱酸素レベル）が要求されるようになって
いる。Conventionally, degassing systems using degassing towers have been used in the production of water for the electronics industry, but these systems are generally heating types, which pose problems in terms of energy conservation. The level was also 50PPB. In recent years, with the increase in the degree of integration of LSIs, a degassing level (deoxygenation level) of IOP P B or lower has been required.
常温での処理が可能な腹式脱気装置（腹式脱酸素装置）
の−例としては、第４図に示すようなものがあるが、こ
の脱酸素装置は、給水ライン（３１）中に設けた脱酸素
モジュール（３２）及びフロースイッチ（３３）と、給
水ライン（３１）と水封弐真空ポンプ（３４）との間の
封水供給ライン（３５）中に設けた封水用ＮＨ４弁（３
６）と、脱酸素モジュール（３２）と水封式真空ポンプ
（３４）との間の真空脱気ライン（３７）中に設けた停
止時真空保持用の電磁弁（３８）とを備えている。給水
ライン（３１）に水（純水、水道水、井戸水、その他工
業用水）が供給されると、フロースイッチ（３３）が作
動して前記水封式真空ポンプ（３４）を駆動すると共に
、前記２つの電磁弁（３６）、（３８）を開いて真空脱
気する。そして、給水が止まると水封式真空ポンプ（３
４）が停止し、前記２つの電磁弁（３６）、（３８）が
閉じるようになっている。Abdominal deaerator (abdominal deoxygenator) that can process at room temperature
An example of this is the one shown in Fig. 4, which consists of a deoxidizing module (32) and a flow switch (33) installed in the water supply line (31), and a water supply line (31). NH4 valve for water sealing (3) installed in the water sealing supply line (35) between the water sealing vacuum pump (34)
6) and a solenoid valve (38) for maintaining vacuum during stoppage, which is provided in the vacuum deaeration line (37) between the deoxidation module (32) and the water ring vacuum pump (34). . When water (pure water, tap water, well water, other industrial water) is supplied to the water supply line (31), the flow switch (33) is activated to drive the water ring vacuum pump (34) and to Open the two solenoid valves (36) and (38) to perform vacuum degassing. When the water supply stops, the water ring vacuum pump (3
4) is stopped, and the two electromagnetic valves (36) and (38) are closed.
〔発明が解決しようとする課Ｈ］
しかしながら、上記従来の脱酸素装置によると、次のよ
うな問題点がある。[Problem H to be Solved by the Invention] However, the conventional oxygen removing device described above has the following problems.
即ち、従来の脱酸素装置による処理水の溶存酸素濃度を
、脱酸素モジュール内の中空糸膜の外側気圧を３０ｔｏ
ｒｒ （水蒸気分圧１７．５ｔｏｒｒ）とすると、原水
中の酸素濃度約８ＰＰＭを０．５ＰＰＭまで低減するこ
とができるが（ａｔ２０°Ｃ）、これをｌ０ＰＰＢ以下
の溶存酸素濃度とするには、原水中の約８ＰＰＭの酸素
を１８ｔｏｒｒ （水蒸気分圧を含む）の真空状態で吸
引することが必要であり、そのためには、従来のものの
約１０倍の容量の水封式真空ポンプが必要となる。実際
にはそのような大容量の水封式真空ポンプは一般に製造
されておらず、溶存酸素濃度をＬＯＰ Ｐ Ｂ以下に下
げることは困難であった。In other words, the dissolved oxygen concentration in the water treated by the conventional deoxidizer is set to 30 to
rr (water vapor partial pressure 17.5 torr), the oxygen concentration in the raw water can be reduced from approximately 8 PPM to 0.5 PPM (at 20°C), but in order to reduce the dissolved oxygen concentration to 10 PPB or less, the raw water must be It is necessary to aspirate approximately 8 PPM of oxygen in water in a vacuum state of 18 torr (including water vapor partial pressure), and for this purpose, a water ring vacuum pump with a capacity approximately 10 times that of conventional pumps is required. In reality, such large-capacity water ring vacuum pumps are generally not manufactured, and it has been difficult to lower the dissolved oxygen concentration to below LOP P B.
そこで、この発明は、市販の水封式真空ポンプを使用し
て、原水の溶存酸素濃度をｌ０ＰＰＢ以下にする脱酸素
装置を提案することを目的とするものである。Therefore, an object of the present invention is to propose a deoxidizing device that uses a commercially available water ring vacuum pump to reduce the dissolved oxygen concentration of raw water to 10 PPB or less.
この発明は、上述の課題に鑑み、原水中の溶存酸素を脱
酸素モジュールを通して、水封式真空ポンプで真空吸引
して除去するようにした構成において、前記水封式真空
ポンプのための封水を冷却する冷却装置を設けたこと、
又は、前記水封式真空ポンプのための封水として脱酸素
水を用いることができるように、該水封式真空ポンプと
前記脱酸素モジュールの下流位置とを封水供給ラインで
接続したこと、又は、前記脱酸素モジュールの上流位置
に原水を加温するだめの加温装置を設けたことを特徴と
する脱酸素装置を提供するものである。In view of the above-mentioned problems, this invention has a configuration in which dissolved oxygen in raw water is removed by vacuum suction with a water ring vacuum pump through a deoxidizing module, and a water seal for the water ring vacuum pump. A cooling device was installed to cool the
Alternatively, the water ring vacuum pump and a downstream position of the deoxidation module are connected by a water seal supply line so that deoxygenated water can be used as water seal for the water ring vacuum pump; Alternatively, the present invention provides a deoxidizing device characterized in that a heating device for heating raw water is provided upstream of the deoxidizing module.
上述の構成によれば、水封式真空ポンプのための封水を
冷却することにより、水封式真空ポンプ内の水蒸気の分
圧を低下させて、より低い圧力まで真空引きすることが
できるので、原水中の溶存酸素濃度が一層低下する。又
、水封式真空ポンプのための封水として脱酸素水を用い
ることにより、水封式真空ポンプ内において封水中から
の溶存酸素の拡散を減少させて、原水中の溶存酸素の濃
度をより一層低下させることができる。さらに、原水を
脱酸素モジュールの上流位置で加温することにより、脱
酸素モジュール内での溶存気体の溶解度が減少し、脱酸
素量を増大させることができる。According to the above configuration, by cooling the water seal for the water ring vacuum pump, the partial pressure of water vapor in the water ring vacuum pump can be lowered, and the vacuum can be drawn to a lower pressure. , the dissolved oxygen concentration in the raw water will further decrease. In addition, by using deoxygenated water as the seal water for a water ring vacuum pump, the diffusion of dissolved oxygen from the seal water in the water ring vacuum pump can be reduced, and the concentration of dissolved oxygen in the raw water can be further reduced. It can be further reduced. Furthermore, by heating the raw water at a position upstream of the deoxidizing module, the solubility of dissolved gas within the deoxidizing module is reduced, and the amount of oxygen removed can be increased.
以下、この発明の好ましい実施例を図面に基づいて説明
する。Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図中（１）、 （２）は脱酸素モジュールで、例えば中
空糸状気体透過膜を用い、その外周を水封式真空ポンプ
（３）、 （４）で真空状態にして、膜中を流れる原水
中の溶存酸素を核層を通して除去するようになっている
。（５）は減圧弁、（６）は定流量弁、（７）はフロー
スイッチである。In the figure, (1) and (2) are deoxidation modules that use, for example, a hollow fiber gas-permeable membrane, whose outer periphery is evacuated with water ring vacuum pumps (3) and (4), and the gas flowing through the membrane is Dissolved oxygen in the water is removed through the core layer. (5) is a pressure reducing valve, (6) is a constant flow valve, and (7) is a flow switch.
第１図に示す実施例では、第１脱酸素モジユール（１）
と第２脱酸素モジユール（２）を直列に接続して１ユニ
ツトとし、これを３ユニット並列に′、給水ライン（８
）中に設けた構成としている。第１脱酸素モジユール（
１）、 （１）、 （１）には、真空脱気ライン（９）
を介して水封式真空ポンプ（３）を連結し、第２脱酸素
モジユール（２）、 （２）、 （２）には、真空脱気
ライン０■を会して水封式真空ポンプ（４）を連結し、
真空脱気ライン（９）に電磁弁００を、真空脱気ライン
００）に電磁弁０２）をそれぞれ挿入している。水封式
真空ポンプ（４）の排出ラインＱ０は、前記真空脱気ラ
イン（９）に接続している。In the embodiment shown in FIG. 1, the first deoxygenation module (1)
and the second deoxidation module (2) are connected in series to form one unit, three units are connected in parallel, and the water supply line (8) is connected in series.
). 1st deoxygenation module (
1), (1), (1) has a vacuum degassing line (9)
A water ring vacuum pump (3) is connected to the second deoxygenation module (2), (2), (2) via a vacuum deaeration line 0■, and a water ring vacuum pump ( 4),
A solenoid valve 00 is inserted into the vacuum deaeration line (9), and a solenoid valve 02) is inserted into the vacuum deaeration line 00). The discharge line Q0 of the water ring vacuum pump (4) is connected to the vacuum deaeration line (9).
ＯＪは前記水封式真空ポンプのための封水を冷却する冷
却装置で、図示した例では、冷水槽０４）、冷水葬０５
）及び熱交換器０６）により構成し、この冷却装置と前
記水封式真空ポンプ＜３）、 （４）とを、封水供給ラ
イン（＋７＋及び、水封式真空ポンプ（３）の排出ライ
ンとしての戻りライン０８）で連結し、循環ラインを形
成している。θ９）は、封水供給ライン面に挿入し、前
記水封式真空ポンプへの封水の供給を制御する電磁弁で
ある。OJ is a cooling device that cools the seal water for the water ring type vacuum pump, and in the illustrated example, cold water tank 04), cold water tank 05)
) and a heat exchanger 06), and this cooling device and the water ring vacuum pump <3), (4) are connected to the water seal supply line (+7+ and the discharge line of the water ring vacuum pump (3)). They are connected by a return line 08) to form a circulation line. θ9) is a solenoid valve that is inserted into the water seal supply line surface and controls the supply of seal water to the water ring vacuum pump.
上述の構成により、給水ライン（８）に水が流れると、
フロースイッチ（７）が作動し、その出力信号を受けて
水封式真空ポンプ（３）、 （４）が稼動するとともに
、電磁弁０１）、０り、０９）が開き、真空脱気ライン
（９）。With the above configuration, when water flows into the water supply line (8),
The flow switch (7) is activated, and in response to its output signal, the water ring vacuum pumps (3) and (4) are activated, and the solenoid valves 01), 0, and 09) are opened, and the vacuum degassing line ( 9).
００）を通して原水中の溶存酸素を真空脱気する。そし
て、給水が止まると、水封式真空ポンプ（３）、 （４
）が停止し、電磁弁０１）、 ０２）、 ０９）が閉じ
るようになっている。00) to vacuum degas the dissolved oxygen in the raw water. Then, when the water supply stops, water ring vacuum pumps (3), (4
) stops, and solenoid valves 01), 02), and 09) close.
これらの動作において、封水として冷却装置（１３）に
より約５°Ｃに冷却された水が、封水供給ライン０７）
を介して水封式真空ポンプ（３）、 （４）に流入する
が、これにより水封式真空ポンプ（３）、 （４）内の
水蒸気分圧が低下する。従って、膜の外部圧力が低下し
、より高い真空度を得ることができる。又、第１脱酸素
モジユール（１）と第２脱酸素モジユール（２）とを直
列に接続し、水封式真空ポンプ（４）の排出ラインＱΦ
を水封式真空ポンプ（３）に接続した構成と相俟って、
真空度をより高くすることが可能で、数ＰＰＢ程度まで
原水中の溶存酸素を低減することできる（超低Ｄｏ）。In these operations, water cooled to approximately 5°C by the cooling device (13) as sealing water is supplied to the sealing water supply line 07).
The water vapor flows into the water ring vacuum pumps (3), (4) through the water ring vacuum pumps (3), (4), which reduces the partial pressure of water vapor in the water ring vacuum pumps (3), (4). Therefore, the external pressure of the membrane is reduced and a higher degree of vacuum can be obtained. In addition, the first deoxidizing module (1) and the second deoxidizing module (2) are connected in series, and the discharge line QΦ of the water ring vacuum pump (4) is connected in series.
Combined with the configuration in which it is connected to a water ring vacuum pump (3),
It is possible to increase the degree of vacuum, and it is possible to reduce dissolved oxygen in raw water to about several ppb (ultra-low Do).
即ち、第１脱酸素モジユール（１）により、原水中の溶
存酸素は８ＰＰＭから０．５ＰＰＭまで低下し、この水
が第２脱酸素モジユール（２）を通過することにより、
又、水封式真空ライン（４）の排出側が大気圧より低い
圧力（約１０ｔｏｒｒ）となるため、市販の比較的小容
量の水封式真空ポンプでも非常に高い真空度（約１ ｔ
ｏｒｒ）を実現することができる。That is, the dissolved oxygen in the raw water is reduced from 8 PPM to 0.5 PPM by the first deoxidizing module (1), and when this water passes through the second deoxidizing module (2),
In addition, since the pressure on the discharge side of the water ring vacuum line (4) is lower than atmospheric pressure (approximately 10 torr), even commercially available relatively small capacity water ring vacuum pumps can achieve a very high degree of vacuum (approximately 1 ton).
orr) can be realized.
水封式真空ポンプ（３）からの排水（冷水）は、循環さ
せずにそのまま捨てるようにしてもよいが、循環使用す
ることにより熱を有効に利用することができ、冷水機い
の容量が小さくて済む（約１７６）という利点がある。The waste water (chilled water) from the water ring vacuum pump (3) may be disposed of without being circulated, but by circulating it, the heat can be used effectively and the capacity of the water cooler can be increased. It has the advantage of being small (approximately 176).
さらに、水封式真空ポンプの吐出力を利用して循環させ
るので、循環ポンプ等の別の駆動源が不要となる。Furthermore, since the discharge force of the water ring vacuum pump is used for circulation, a separate drive source such as a circulation pump is not required.
第２図に示す実施例は、水封式真空ポンプの封水として
脱酸素水を用いるようにしたもので、水封式真空ポンプ
（４）と第１脱酸素モジユール（１）の下流位置とを封
水供給ライン（２１）で接続している。The embodiment shown in Fig. 2 uses deoxygenated water as the water seal for the water ring vacuum pump, and the position downstream of the water ring vacuum pump (4) and the first deoxygenation module (1) is are connected by a seal water supply line (21).
この封水供給ライン（２１）は、第２脱酸素モジユール
（２）の下流位置に接続することもできるし、図示した
実施例では水封式真空ポンプ（４）のみ封水として脱酸
素水を用いることができるようにしているが、水封式真
空ポンプ（３）の封水供給ライン（２２）を、第１脱酸
素モジユール（１）の下流位置、又は第２脱酸素モジユ
ール（２）の下流位置に接続して、水封式真空ポンプ（
３）でも封水として脱酸素水を利用できるようにするこ
とも可能である。This sealing water supply line (21) can be connected to a downstream position of the second deoxidizing module (2), or in the illustrated embodiment, only the water ring vacuum pump (4) supplies deoxygenated water as sealing water. However, the water seal supply line (22) of the water ring vacuum pump (3) is connected to a position downstream of the first deoxidizing module (1) or to a position downstream of the second deoxidizing module (2). Connect the downstream position to a water ring vacuum pump (
3) It is also possible to use deoxygenated water as a water seal.
第１図に示す実施例と同符号のものについては説明を省
略するが、第２図に示す実施例の動作としては、給水ラ
イン（８）に水が流れると、フロースイッチ（７）が作
動し、その出力信号を受けて水封式真空ポンプ（３）、
（４）が稼動するとともに、電磁弁（１１３゜Ｑ７Ｊ
、 （１９）、 ０９）カ開キ真空Ｗｌ気ライフ （９
）、 ００）ヲＡ シＴ原水中の溶存酸素を真空脱気す
る。そして、給水が止まると、水封式真空ポンプ（３）
、 （４）が停止し、電磁弁Ｑｌ）、 Ｑ’ｌＪ、 ０
９）、 ０９）が閉じるようになっている。Components with the same reference numerals as those in the embodiment shown in FIG. 1 will not be described, but the operation of the embodiment shown in FIG. Then, in response to the output signal, a water ring vacuum pump (3),
(4) operates, and the solenoid valve (113°Q7J
, (19), 09) Opening Vacuum Wlki Life (9
), 00) Dissolved oxygen in the raw water is vacuum degassed. When the water supply stops, the water ring vacuum pump (3)
, (4) stops and the solenoid valve Ql), Q'lJ, 0
9) and 09) are closed.
これらの動作において、封水として脱酸素水を用いるよ
うにしているので、水封式真空ポンプ内において封水中
からの溶存酸素の拡散を減少させ、脱酸素モジュール内
のガス分圧をより一層低くすることができ、原水中の溶
存酸素濃度を数ＰＰＢ程度まで低下させることができる
。In these operations, deoxygenated water is used as the seal water, which reduces the diffusion of dissolved oxygen from the seal water in the water ring vacuum pump, further lowering the gas partial pressure inside the deoxygenation module. It is possible to reduce the dissolved oxygen concentration in raw water to about several ppb.
第３図に示す実施例では、脱酸素モジュールの上流位置
に加温装置（２３）を設けることにより、原水を加温し
て脱酸素モジュール内での溶存気体の溶解度を減少させ
、脱酸素量を増大させるようにしている（前述した実施
例と同符号のものについては説明を省略する）。In the embodiment shown in FIG. 3, by providing a heating device (23) upstream of the deoxidizing module, the raw water is heated to reduce the solubility of dissolved gas in the deoxidizing module, and the amount of deoxidized gas is reduced. (Explanation will be omitted for those having the same reference numerals as those in the above-mentioned embodiment).
原水の温度を温度センサー（２４）で検出し、加温装？
ｌ！ （２３）への加熱媒体の供給を開閉弁（２５）の
操作により制御して、給水温度を所定の範囲（約２０〜
３０℃）に保持するようにすれば、常に安定した溶存酸
素濃度の水を供給することができる。特に、冬季におい
ては、給水温度の低下に伴い脱酸素量も低下していたが
、加温装置を設けることにより、給水温度が変化しても
一定の溶存酸素濃度に保つことができる。加温装置は、
熱交換方式のものでも良いし、蒸気吹き込み方式のもの
でも良い。The temperature of the raw water is detected by the temperature sensor (24) and the heating device is installed.
l! The supply of heating medium to (23) is controlled by operating the on-off valve (25) to maintain the feed water temperature within a predetermined range (approx.
30° C.), water with a stable dissolved oxygen concentration can be supplied at all times. Particularly in winter, the amount of oxygen removed decreases as the feed water temperature decreases, but by providing a heating device, it is possible to maintain a constant dissolved oxygen concentration even if the feed water temperature changes. The heating device is
It may be a heat exchange type or a steam blowing type.
又、上記加温装置（２３）と前述した封水供給ライン０
７）中の冷却装置０■とを組み合わせて用いることもで
き、そうすることにより、脱酸素量をより一層増大させ
ることができる。脱酸素モジュール側の温度を高くし、
水封式真空ポンプ側の温度を低くすることにより、いわ
ゆる蒸気拡散ポンプの作用がなされることになる。Moreover, the above-mentioned heating device (23) and the above-mentioned water sealing supply line 0
It can also be used in combination with the cooling device 0 in 7), thereby further increasing the amount of oxygen removed. Increase the temperature on the oxygen removal module side,
By lowering the temperature on the water-ring vacuum pump side, a so-called vapor diffusion pump effect is achieved.
この発明は、以上のような構成であるので、特別の高真
空性能を有するものを用いずに、市販の比較的小容量の
水封式真空ポンプを用いて、非常に低レベルまで溶存酸
素濃度を低減（超低Ｄｏ）することができる。又、腹式
脱酸素装置とすることにより、常温での処理が可能で、
省エネルギーの点でも優れた装置とすることができ、全
体的にコンパクトな装置とすることがきる。Since the present invention has the above-described configuration, it is possible to reduce the dissolved oxygen concentration to a very low level by using a commercially available relatively small-capacity water ring vacuum pump without using a device with special high vacuum performance. can be reduced (ultra-low Do). In addition, by using an abdominal oxygen deoxidation device, treatment can be performed at room temperature.
The device can be excellent in terms of energy saving, and the device can be made compact overall.
第１図はこの発明における第１の実施例を示す系統図、
第２図はこの発明における第２の実施例を示す系統図、
第３図はこの発明における第３の実施例を示す系統図、
第４図は従来の実施例を示す系統図である。
（１）、 （２）・・・脱酸素モジュール（３）、 （
４）・・・水封式真空ポンプ■・・・冷却装置
（２１）・・・封水供給ライン
（２３）・・・加温装置FIG. 1 is a system diagram showing a first embodiment of this invention;
FIG. 2 is a system diagram showing a second embodiment of the present invention;
FIG. 3 is a system diagram showing a third embodiment of this invention;
FIG. 4 is a system diagram showing a conventional embodiment. (1), (2)...Oxygen removal module (3), (
4)...Water ring vacuum pump■...Cooling device (21)...Water seal supply line (23)...Warming device
Claims (3)
水封式真空ポンプで真空吸引して除去するようにした構
成において、前記水封式真空ポンプのための封水を冷却
する冷却装置（１３）を設けたことを特徴とする脱酸素
装置。(1) Dissolved oxygen in raw water is passed through a deoxidizing module,
1. A deoxidizing device configured to perform vacuum suction and removal using a water ring vacuum pump, and further comprising a cooling device (13) for cooling seal water for the water ring vacuum pump.
水封式真空ポンプで真空吸引して除去するようにした構
成において、前記水封式真空ポンプのための封水として
脱酸素水を用いることができるように、該水封式真空ポ
ンプと前記脱酸素モジュールの下流位置とを封水供給ラ
イン（２１）で接続したことを特徴とする脱酸素装置。(2) Dissolved oxygen in raw water is passed through a deoxygenation module,
In a configuration in which deoxygenated water is removed by vacuum suction using a water ring vacuum pump, the water ring vacuum pump and the deoxygenated water can be used as seal water for the water ring vacuum pump. A deoxidizer characterized in that a downstream position of an oxygen module is connected to a water sealing supply line (21).
水封式真空ポンプで真空吸引して除去するようにした構
成において、前記脱酸素モジュールの上流位置に原水を
加温するための加温装置（２３）を設けたこと特徴とす
る脱酸素装置。(3) Dissolved oxygen in raw water is passed through a deoxidizing module,
A deoxidizing device configured to remove oxygen by vacuum suction using a water ring vacuum pump, characterized in that a heating device (23) for heating raw water is provided upstream of the deoxidizing module.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2169448A JP2781931B2 (en) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Deoxidizer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2169448A JP2781931B2 (en) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Deoxidizer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0458095A true JPH0458095A (en) | 1992-02-25 |
| JP2781931B2 JP2781931B2 (en) | 1998-07-30 |
Family
ID=15886792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2169448A Expired - Lifetime JP2781931B2 (en) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Deoxidizer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2781931B2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04313308A (en) * | 1991-04-11 | 1992-11-05 | Miura Kenkyusho:Kk | Degassing method utilizing molecular diffusion |
| JPH10507800A (en) * | 1994-10-24 | 1998-07-28 | ゲッティンゲ アーベー | Equipment in autoclaving systems |
| WO2002002839A1 (en) * | 2000-06-30 | 2002-01-10 | Caterpillar Inc. | Method of surface treating ferrous-based substrates |
| WO2005038998A1 (en) * | 2003-10-17 | 2005-04-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Solid-state laser oscillator and solid-state laser beam apparatus |
| CN105043730A (en) * | 2015-06-26 | 2015-11-11 | 中国核动力研究设计院 | Deoxidizing structure suitable for thermal hydraulic closed test loop and dynamic deoxidizing method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01119893U (en) * | 1988-02-09 | 1989-08-14 |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP2169448A patent/JP2781931B2/en not_active Expired - Lifetime
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| JPH01119893U (en) * | 1988-02-09 | 1989-08-14 |
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| CN105043730A (en) * | 2015-06-26 | 2015-11-11 | 中国核动力研究设计院 | Deoxidizing structure suitable for thermal hydraulic closed test loop and dynamic deoxidizing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2781931B2 (en) | 1998-07-30 |
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