JPH07231Y2 - 2-stage deoxidizer - Google Patents

2-stage deoxidizer

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JPH07231Y2
JPH07231Y2 JP5478490U JP5478490U JPH07231Y2 JP H07231 Y2 JPH07231 Y2 JP H07231Y2 JP 5478490 U JP5478490 U JP 5478490U JP 5478490 U JP5478490 U JP 5478490U JP H07231 Y2 JPH07231 Y2 JP H07231Y2
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JP
Japan
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stage
water
vacuum pump
module
sealed
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JP5478490U
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Inventor
泰利 妹尾
仁士 白石
範雄 安
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株式会社三浦研究所
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この考案は、冷熱機器装置等への給水ライン中に適用さ
れる脱酸素装置に関するもので、さらに詳細には、処理
水の溶存酸素濃度をより低減するための装置の改良に係
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] The present invention relates to a deoxygenation device applied in a water supply line to a cooling / heating device, etc., and more specifically, to a dissolved oxygen concentration of treated water. The present invention relates to improvement of the device for further reduction.

[従来の技術] 周知のように、ボイラー,温水器あるいは冷却機等の冷
熱機器類への給水は、これら機器類の腐食防止を目的と
する脱酸素装置を組み込んでおく必要がある。この脱酸
素装置は、使用機器への給水ライン中に脱酸素モジュー
ルを接続しておき、この脱酸素モジュール内に原水(水
道水,井戸水,その他工業用水等)を通水し、この通水
過程において、脱酸素モジュール内を真空引きし、原水
中の溶存気体を脱気除去する構成のものである。
[Prior Art] As is well known, in supplying water to cold heat equipment such as a boiler, a water heater or a cooler, it is necessary to incorporate a deoxidizer for the purpose of preventing corrosion of these equipment. In this deoxidizer, a deoxidizer module is connected in the water supply line to the equipment used, and raw water (tap water, well water, other industrial water, etc.) is passed through the deoxidizer module, and this water passing process is performed. In the above, the inside of the deoxidizing module is evacuated to remove the dissolved gas in the raw water by degassing.

従来、このような脱酸素装置において、真空引き処理の
ための手段として、構造が簡単で、安価な水封式真空ポ
ンプが多用されている。この水封式真空ポンプは、たと
えばほぼ円形をしたポンプ室を備えたケーシング内に適
量の封水を入れ、ケーシングの中心と若干偏心したイン
ペラの回転により、遠心力の作用で、封水をケーシング
の内壁に沿わせて流し、ケーシング中心部にほぼ円形の
空間を生ぜしめ、インペラの回転に伴う空間の変位によ
って、吸込みと吐出の作用を行う装置である。
Conventionally, in such a deoxidizing apparatus, a water-sealed vacuum pump, which has a simple structure and is inexpensive, is often used as a means for vacuuming. This water-sealed vacuum pump, for example, puts an appropriate amount of sealing water in a casing equipped with a substantially circular pump chamber, and rotates the impeller slightly eccentric from the center of the casing to apply centrifugal force to the casing. Is a device that flows along the inner wall of the casing, creates a substantially circular space in the central portion of the casing, and performs suction and discharge by displacement of the space due to rotation of the impeller.

ところで、従来の脱酸素装置は、第2図に示すように、
原水供給源31と処理水給配部32との間の給水ライン33中
に接続した脱酸素モジュール34およびフロースイッチ35
と、給水ライン33と水封式真空ポンプ36との間の封水供
給ライン37中に設けた封水用電磁弁38と、脱酸素モジュ
ール34と水封式真空ポンプ36との間の真空脱気ライン39
中に設けた停止時における真空保持用電磁弁40とを備え
ている。したがって、原水供給源31から給水ライン33に
原水が供給されると、フロースイッチ35が作動して水封
式真空ポンプ36を駆動するとともに、前記両電磁弁38,4
0を開いて、脱酸素モジュール34内を真空脱気する。そ
して、原水の給水が止まると、水封式真空ポンプ36が停
止し、前記両電磁弁38,40が閉じるようになっている。
By the way, as shown in FIG.
Deoxygenation module 34 and flow switch 35 connected in a water supply line 33 between a raw water source 31 and a treated water distributor 32.
And a solenoid valve 38 for sealing water provided in the sealing water supply line 37 between the water supply line 33 and the water sealing vacuum pump 36, and the vacuum degassing between the deoxidizing module 34 and the water sealing vacuum pump 36. Qi line 39
An electromagnetic valve 40 is provided therein for holding vacuum at the time of stop. Therefore, when raw water is supplied from the raw water supply source 31 to the water supply line 33, the flow switch 35 operates to drive the water-sealed vacuum pump 36, and at the same time, the solenoid valves 38, 4 are connected.
Open 0 to evacuate the inside of the deoxidizing module 34 by vacuum. When the supply of raw water is stopped, the water-sealed vacuum pump 36 is stopped and both the solenoid valves 38, 40 are closed.

[考案が解決しようとする課題] しかしながら、前記従来の脱酸素装置によると、つぎの
ような問題点がある。すなわち、従来の脱酸素装置によ
る処理水の溶存酸素濃度を、脱酸素モジュール34内の中
空糸膜の外側気圧を10torrとし、原水中の酸素濃度約8p
pm(大気温下における通常の濃度)を0.5ppmまで低減す
ることができるが、これを0.1ppm以下の溶存酸素濃度と
するには、原水中の約8ppmの溶存酸素を1torrの真空状
態で吸引することが必要であり、そのためには、従来の
脱酸素装置における水封式真空ポンプの容量は、約10倍
の容量のものが必要となる。したがって、実際には、そ
のような大容量の水封式真空ポンプは望ましくないの
で、溶存酸素濃度を0.1ppm以下に下げることはほとんど
できなかった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the conventional deoxidizer has the following problems. That is, the dissolved oxygen concentration of the treated water by the conventional deoxygenation apparatus, the outer pressure of the hollow fiber membrane in the deoxygenation module 34 is 10torr, the oxygen concentration in the raw water is about 8p
It is possible to reduce pm (normal concentration at atmospheric temperature) to 0.5 ppm, but in order to reduce this to a dissolved oxygen concentration of 0.1 ppm or less, about 8 ppm of dissolved oxygen in raw water is sucked in under a vacuum of 1 torr. Therefore, the capacity of the water-sealed vacuum pump in the conventional deoxidizer is required to be about 10 times larger. Therefore, in reality, such a large-capacity water-sealed vacuum pump is not desirable, and it was almost impossible to reduce the dissolved oxygen concentration to 0.1 ppm or less.

[課題を解決するための手段] この考案は、前記課題を解決するためになされたもの
で、原水供給源と処理水給配部との間の給水ライン中
に、1段側脱酸素モジュールと2段側脱酸素モジュール
とを直列に接続し、前記1段側脱酸素モジュールに1段
側真空脱気ラインを介して1段側水封式真空ポンプを接
続し、前記2段側脱酸素モジュールに2段側真空脱気ラ
インを介して2段側水封式真空ポンプを接続し、さらに
前記2段側水封式真空ポンプの排出路を前記1段側真空
脱気ラインに接続したことを特徴としている。
[Means for Solving the Problems] The present invention has been made to solve the above problems, and includes a first-stage deoxidizing module in a water supply line between a raw water supply source and a treated water distribution unit. A two-stage deoxidizing module is connected in series, and a one-stage water-sealed vacuum pump is connected to the one-stage deoxidizing module via a one-stage vacuum degassing line. A second-stage water-sealed vacuum pump was connected to the second-stage water-sealed vacuum pump through a second-stage vacuum degassing line, and the discharge passage of the second-stage water-sealed vacuum pump was connected to the first-stage side vacuum degassing line. It has a feature.

[作用] この考案によれば、原水は、給水ラインにおいて、1段
側脱酸素モジュールと2段側脱酸素モジュールを順次通
過して処理水給配部に至る。1段側水封式真空ポンプ
は、1段側脱酸素モジュール内を真空引きして、1段側
脱酸素モジュールを通過する原水中の溶存酸素の大部分
を脱気除去する。そして、2段側水封式真空ポンプも同
様に、2段側脱酸素モジュール内を真空引きして、2段
側脱酸素モジュールを通過する原水中の溶存酸素をさら
に脱気除去する。2段側水封式真空ポンプで脱気除去さ
れた排気は、2段側水封式真空ポンプの排出路から1段
側真空脱気ラインに流入し、1段側水封式真空ポンプに
よりもう一度真空ポンプ作用を受け、1段側水封式真空
ポンプの1段側排出路から大気中へ排出される。
[Operation] According to the present invention, the raw water passes through the first-stage deoxidizing module and the second-stage deoxidizing module in the water supply line in order to reach the treated water supply unit. The first-stage water-sealed vacuum pump evacuates the first-stage deoxidizing module to degas most of the dissolved oxygen in the raw water passing through the first-stage deoxidizing module. Similarly, the second-stage water-sealed vacuum pump also evacuates the interior of the second-stage deoxygenation module to further degas the dissolved oxygen in the raw water passing through the second-stage deoxidation module. The exhaust gas that has been deaerated and removed by the second-stage water-sealed vacuum pump flows into the first-stage vacuum degassing line from the discharge passage of the second-stage water-sealed vacuum pump, and again by the first-stage water-sealed vacuum pump. Under the action of the vacuum pump, it is discharged into the atmosphere from the first-stage side discharge passage of the first-stage side water-sealed vacuum pump.

[実施例] 以下、この考案の好ましい実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
[Embodiment] Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

この考案の一実施例を示す第1図は、この考案に係る2
段式脱酸素装置の各機器の配置を示す説明図である。
FIG. 1 showing an embodiment of this invention is shown in FIG.
It is explanatory drawing which shows arrangement | positioning of each apparatus of a step type deoxidizer.

第1図に示す2段式脱酸素装置は、原水供給源1と処理
水給配部2との間の給水ライン3中に、上流側より減圧
弁9,1段側脱酸素モジュール4,フロースイッチ10および
2段側脱酸素モジュール6を順次直列に接続してある。
The two-stage deoxidizer shown in FIG. 1 has a pressure reducing valve 9, a first-stage deoxidizer module 4, a flow from the upstream side in a water supply line 3 between a raw water supply source 1 and a treated water distribution unit 2. The switch 10 and the two-stage deoxidizing module 6 are sequentially connected in series.

この構成における減圧弁9は、1段側脱酸素モジュール
4と2段側脱酸素モジュール6に一定以上の供給水圧が
加わらないようにするためのもので、両脱酸素モジュー
ル4,6の破損防止を図っている。
The pressure reducing valve 9 in this configuration prevents the supply water pressure above a certain level from being applied to the first-stage deoxidizing module 4 and the second-stage deoxidizing module 6, and prevents damage to both deoxidizing modules 4 and 6. I am trying to

前記両脱酸素モジュール4,6は、たとえば多数の中空糸
膜を備え、この中空糸膜の内側に原水を通し、その外側
を真空に引いて、中空糸膜内を原水が通過する過程にお
いて、原水中の溶存酸素を除去するように構成されてい
る中空糸膜酸素モジュールである。
The both deoxygenation modules 4 and 6 include, for example, a large number of hollow fiber membranes, the raw water is passed through the inside of the hollow fiber membranes, the outside is evacuated to a vacuum, and the raw water passes through the hollow fiber membranes. A hollow fiber membrane oxygen module configured to remove dissolved oxygen in raw water.

そして、前記フロースイッチ10は、前記給水ライン3中
において、前記1段側脱酸素モジュール4の出口側に接
続されており、前記給水ライン3から前記1段側脱酸素
モジュール4内を通過した水が流通したことを検知して
電気信号を出力するようになっている。
The flow switch 10 is connected to the outlet side of the first-stage deoxidizing module 4 in the water supply line 3, and the water that has passed through the first-stage deoxidizing module 4 from the water supply line 3 is discharged. Is detected and an electric signal is output.

さて、この考案において、前記両脱酸素モジュール4,6
を真空脱気する手段として、水封式真空ポンプを適用し
ている。
Now, in the present invention, the both deoxidizing modules 4, 6
A water-sealed vacuum pump is used as a means for vacuum degassing.

まず、前記1段側脱酸素モジュール4について説明する
と、この1段側脱酸素モジュール4には、1段側真空脱
気ライン12を介して1段側水封式真空ポンプ5が流路接
続されている。この1段側水封式真空ポンプ5は、その
封水を導入するために、前記給水ライン3に対して、1
段側封水供給ライン11を介して流路接続されている。ま
た、この1段側水封式真空ポンプ5は、前記フロースイ
ッチ10と電気的に接続されており、前記フロースイッチ
10の出力信号に応答して作動するようになっている。
First, the first-stage deoxidizing module 4 will be described. The first-stage deoxidizing module 4 is connected to a first-stage water-sealing vacuum pump 5 through a first-stage vacuum deaeration line 12 in a flow path. ing. The first-stage water-sealed vacuum pump 5 has a capacity of 1 for the water supply line 3 in order to introduce the sealed water.
Flow paths are connected via a stage side sealed water supply line 11. The first-stage water-sealed vacuum pump 5 is electrically connected to the flow switch 10,
It is designed to operate in response to 10 output signals.

そして、前記1段側封水供給ライン11には、1段側定流
量弁13と第一電磁弁14とが設けられている。また、前記
1段側真空脱気ライン12には、第二電磁弁15が設けられ
ており、前記第一電磁弁14とともに、前記フロースイッ
チ10に対して電気的に接続している。したがって、前記
フロースイッチ10が水の流通を検知した際、その検知信
号に応答して開弁作動を行う構成となっている。
The first-stage sealed water supply line 11 is provided with a first-stage constant flow valve 13 and a first electromagnetic valve 14. A second solenoid valve 15 is provided in the first-stage vacuum deaeration line 12 and is electrically connected to the flow switch 10 together with the first solenoid valve 14. Therefore, when the flow switch 10 detects the flow of water, the valve opening operation is performed in response to the detection signal.

つぎに、前記2段側脱酸素モジュール6について説明す
ると、この2段側脱酸素モジュール6には、2段側真空
脱気ライン17を介して2段側水封式真空ポンプ7が流路
接続されている。この2段側水封式真空ポンプ7は、そ
の封水を導入するために、前記1段側封水供給ライン11
から分岐した2段側封水供給ライン16を介して流路接続
されている。また、この2段側水封式真空ポンプ7は、
前記フロースイッチ10と電気的に接続されており、前記
フロースイッチ10の出力信号に応答して作動するように
なっている。
Next, the second-stage deoxygenation module 6 will be described. The second-stage deoxygenation module 6 is connected to a second-stage water-sealed vacuum pump 7 via a second-stage vacuum deaeration line 17 in a flow path. Has been done. The second-stage side water-sealed vacuum pump 7 has the first-stage side water-sealed supply line 11 for introducing the sealed water.
A flow path is connected via a two-stage side sealed water supply line 16 branched from. In addition, this second-stage water-sealed vacuum pump 7
It is electrically connected to the flow switch 10 and operates in response to an output signal of the flow switch 10.

そして、前記2段側封水供給ライン16には、2段側定流
量弁18と第三電磁弁19とが設けられている。また、前記
2段側真空脱気ライン17には、第四電磁弁20が設けられ
ており、前記第三電磁弁19とともに、前記フロースイッ
チ10に対して電気的に接続している。したがって、前記
フロースイッチ10が水の流通を検知した際、その検知信
号に応答して開弁作動を行う構成となっている。
A second-stage constant flow valve 18 and a third solenoid valve 19 are provided on the second-stage sealing water supply line 16. Further, the second-stage vacuum deaeration line 17 is provided with a fourth solenoid valve 20 and is electrically connected to the flow switch 10 together with the third solenoid valve 19. Therefore, when the flow switch 10 detects the flow of water, the valve opening operation is performed in response to the detection signal.

さらに、この考案において、前記2段側水封式真空ポン
プ7の排出路8は、前記1段側水封式真空ポンプ5にお
ける前記1段側真空脱気ライン12と連通接続しており、
前記1段側水封式真空ポンプ5の排気とともに、その1
段側排出路21を介して大気中へ排出される。すなわち、
前記排出路8を前記1段側水封式真空ポンプ5の吸引経
路に接続したものであるから、前記2段側水封式真空ポ
ンプ7において真空脱気された排気は、もう一度前記1
段側水封式真空ポンプ5の真空ポンプ作用を受けた後、
大気中へ排出される。
Further, in the present invention, the discharge passage 8 of the second-stage water-sealed vacuum pump 7 is connected to the first-stage vacuum deaeration line 12 of the first-stage water-sealed vacuum pump 5 in communication.
Along with the exhaust of the first-stage water-sealed vacuum pump 5,
It is discharged into the atmosphere through the step-side discharge passage 21. That is,
Since the discharge passage 8 is connected to the suction passage of the first-stage side water-sealed vacuum pump 5, the exhaust gas that has been degassed in vacuum in the second-stage side water-sealed vacuum pump 7 is once again discharged to the above-mentioned 1
After receiving the vacuum pump action of the stage side water seal type vacuum pump 5,
Emitted into the atmosphere.

なお、前記の構成において、前記2段側水封式真空ポン
プ7の容量は、前記1段側水封式真空ポンプ5の容量と
同容量のものとしている。
In the above structure, the capacity of the second-stage water-sealed vacuum pump 7 is the same as the capacity of the first-stage water-sealed vacuum pump 5.

以上のように、前記の構成においては、前記1段側脱酸
素モジュール4の出口では、原水の溶存酸素濃度を約8p
pmから約0.5ppmまで脱気することになり、前記2段側脱
酸素モジュール6内の中空糸膜の外側気圧を、前記1段
側脱酸素モジュール4の10分の1である1torr以下とし
ても、前記2段側水封式真空ポンプ7が吸引する体積
は、前記1段側水封式真空ポンプ5が吸引する体積と同
程度となる。この結果、前記2段側水封式真空ポンプ7
は、特別に大きな容量の水封式真空ポンプは必要ではな
く、前記1段側水封式真空ポンプ5の容量と同じ容量の
ものでよいことになる。また、前記2段側水封式真空ポ
ンプ7の排気を直接大気中に排出すると、その圧力比が
過大(約1000倍)となるため、前記1段側水封式真空ポ
ンプ5における前記1段側真空脱気ライン12に排出する
方が有利である。そのために、前記1段側水封式真空ポ
ンプ5の処理量は約5%程増加するが、処理可能範囲内
で、とくに問題ではない。
As described above, in the above configuration, the dissolved oxygen concentration of the raw water is about 8 p
Even if the outer side atmospheric pressure of the hollow fiber membrane in the second-stage deoxygenation module 6 is set to 1 torr or less, which is one-tenth of that in the first-stage deoxidation module 4, it will be degassed from pm to about 0.5 ppm. The volume sucked by the second-stage water-sealed vacuum pump 7 is approximately the same as the volume sucked by the first-stage water-sealed vacuum pump 5. As a result, the second-stage water-sealed vacuum pump 7
Does not require an extra large capacity water-sealed vacuum pump, but may have the same capacity as that of the first-stage side water-sealed vacuum pump 5. Further, if the exhaust of the second-stage water-sealed vacuum pump 7 is directly discharged into the atmosphere, the pressure ratio becomes excessive (about 1000 times), so that the first-stage water-sealed vacuum pump 5 in the first-stage It is more advantageous to discharge to the side vacuum degassing line 12. Therefore, the treatment amount of the first-stage water-sealed vacuum pump 5 increases by about 5%, but it is not a problem because it is within the treatable range.

つぎに、前記実施例に係る2段式脱酸素装置の作動およ
び作用について説明する。
Next, the operation and action of the two-stage deoxidizer according to the above embodiment will be described.

原水供給源1から減圧弁9,給水ライン3および1段側脱
酸素モジュール4を通過した原水がフロースイッチ10を
流通すると、フロースイッチ10がこれを検知して、流水
検知信号を出力する。この検知信号に応答して、前記第
一電磁弁〜第四電磁弁14,15,19,20がそれぞれ開弁作動
を行うとともに、1段側水封式真空ポンプ5と2段側水
封式真空ポンプ7がそれぞれ駆動する。
When the raw water that has passed through the pressure reducing valve 9, the water supply line 3 and the first-stage deoxidizing module 4 from the raw water supply source 1 flows through the flow switch 10, the flow switch 10 detects this and outputs a running water detection signal. In response to the detection signal, the first solenoid valve to the fourth solenoid valve 14, 15, 19, 20 each perform a valve opening operation, and the first-stage side water-sealed vacuum pump 5 and the second-stage side water-sealed type. The vacuum pumps 7 are driven respectively.

前記1段側脱酸素モジュール4は、1段側真空脱気ライ
ン12を介して前記1段側水封式真空ポンプ5により真空
引きされる。この真空引きされた排気と、ポンプ内から
の封水の排水は、1段側排出路21から排出される。
The first-stage deoxygenation module 4 is evacuated by the first-stage water-sealed vacuum pump 5 through the first-stage vacuum deaeration line 12. The exhausted air that has been evacuated and the drainage of the sealing water from the pump are discharged from the first-stage discharge path 21.

そして、前記2段側脱酸素モジュール6は、前記1段側
脱酸素モジュール4と給水ライン3を介して直列に接続
されているので、前記1段側脱酸素モジュール4で脱気
され、溶存酸素濃度が約0.5ppmに処理された水の給水を
受け、この水をさらに高真空中(1torr以下)で脱気
し、溶存酸素濃度が約0.1ppm以下の処理水とし、これを
処理水給配部2へ供給する。この2段側脱酸素モジュー
ル6は、2段側真空脱気ライン17を介して前記2段側水
封式真空ポンプ7により、前記のように真空引きされ
る。この真空引きされた排気と、ポンプ内からの封水の
排水は、排出路8を介して前記1段側真空脱気ライン12
から前記1段側水封式真空ポンプ5内へ流入し、ここで
もう一度真空ポンプ作用を受け、前記1段側排出路21か
ら排出される。
Since the second-stage deoxygenation module 6 is connected in series with the first-stage deoxidation module 4 via the water supply line 3, the second-stage deoxidation module 6 is degassed by the first-stage deoxidation module 4 to dissolve dissolved oxygen. Receiving water that has been treated to a concentration of approximately 0.5 ppm, degassing this water in a further high vacuum (1 torr or less) to make treated water with a dissolved oxygen concentration of approximately 0.1 ppm or less. Supply to part 2. The second-stage deoxygenation module 6 is evacuated as described above by the second-stage water-sealed vacuum pump 7 through the second-stage vacuum deaeration line 17. The exhausted air that has been evacuated and the drainage of the sealing water from the inside of the pump are discharged through the discharge passage 8 to the first-stage vacuum deaeration line 12
From the above into the first-stage side water-sealed vacuum pump 5, where it is once again subjected to the vacuum pump action and discharged from the first-stage side discharge passage 21.

[考案の効果] 以上のように、この考案によれば、1段側脱酸素モジュ
ールと2段側脱酸素モジュールとを直列に接続し、両脱
酸素モジュールを真空引きする水封式真空ポンプをそれ
ぞれ接続し、2段側水封式真空ポンプの排出路を、1段
側水封式真空ポンプの吸引経路に接続したものであるか
ら、原水の溶存酸素濃度を大気温下における通常の濃度
である当初の8ppmより1段側脱酸素モジュールで0.5ppm
とし、ついで2段側脱酸素モジュールでさらに脱気し、
溶存酸素濃度を0.1ppm以下とすることができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a water-sealed vacuum pump that connects the first-stage deoxidizing module and the second-stage deoxidizing module in series and evacuates both deoxidizing modules is provided. Since they are connected to each other and the discharge passage of the second-stage water-sealed vacuum pump is connected to the suction passage of the first-stage water-sealed vacuum pump, the dissolved oxygen concentration of the raw water can be adjusted to the normal concentration at atmospheric temperature. 0.5ppm in the first stage deoxidizing module from a certain initial 8ppm
Then, further deaeration with the second stage deoxidation module,
The dissolved oxygen concentration can be set to 0.1 ppm or less.

また、両水封式真空ポンプの容量も、従来の水封式真空
ポンプの容量と同程度のものが2台あればよく、特別に
大容量の水封式真空ポンプを必要とすることがない。
Further, the capacity of the both water-sealed vacuum pumps may be the same as the capacity of the conventional water-sealed vacuum pump, so that only two water-sealed vacuum pumps are required, and there is no need for a special large-capacity water-sealed vacuum pump. .

そして、溶存酸素濃度を0.1ppm以下とした処理水を得る
ことができるので、水を使用する冷熱機器類の腐食防止
効果を高めることができ、さらには大気汚染で問題とさ
れているフロンの代替として、超精密品(たとえば、半
導体)の洗浄水としても利用することができる。
And, because it is possible to obtain treated water with a dissolved oxygen concentration of 0.1 ppm or less, it is possible to enhance the corrosion prevention effect of cooling and heating equipment that uses water, and to replace CFC, which is a problem with air pollution. As a result, it can also be used as cleaning water for ultra-precision products (for example, semiconductors).

さらに、簡単な構成で溶存酸素濃度を下げることができ
るので、この種の脱酸素装置としては頗る効果的であ
る。
Furthermore, since the dissolved oxygen concentration can be lowered with a simple structure, it is very effective as a deoxidizer of this kind.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、この考案の一実施例を示す2段式脱酸素装置
の各機器の配置を示す説明図、第2図は従来の脱酸素装
置の各機器の配置を示す説明図である。 1…原水供給源 2…処理水給配部 3…給水ライン 4…1段側脱酸素モジュール 5…1段側水封式真空ポンプ 6…2段側脱酸素モジュール 7…2段側水封式真空ポンプ 8…排出路 9…減圧弁 10…フロースイッチ 11…1段側封水供給ライン 12…1段側真空脱気ライン 13…1段側定流量弁 14…第一電磁弁 15…第二電磁弁 16…2段側封水供給ライン 17…2段側真空脱気ライン 18…2段側定流量弁 19…第三電磁弁 20…第四電磁弁 21…1段側排出路
FIG. 1 is an explanatory view showing the arrangement of each device of a two-stage deoxidizing device showing one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory view showing the arrangement of each device of a conventional deoxidizing device. 1 ... Raw water supply source 2 ... Treated water supply / distributor 3 ... Water supply line 4 ... First stage deoxidizing module 5 ... First stage water-sealed vacuum pump 6 ... Second stage deoxidizing module 7 ... Second stage water sealing Vacuum pump 8 ... Discharge passage 9 ... Pressure reducing valve 10 ... Flow switch 11 ... First stage side sealed water supply line 12 ... First stage side vacuum deaeration line 13 ... First stage constant flow valve 14 ... First solenoid valve 15 ... Second Solenoid valve 16 ... Second-stage side sealed water supply line 17 ... Second-stage side vacuum deaeration line 18 ... Second-stage side constant flow valve 19 ... Third solenoid valve 20 ... Fourth solenoid valve 21 ... First-stage side discharge passage

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】原水供給源1と処理水給配部2との間の給
水ライン3中に、1段側脱酸素モジュール4と2段側脱
酸素モジュール6とを直列に接続し、前記1段側脱酸素
モジュール4に1段側真空脱気ライン12を介して1段側
水封式真空ポンプ5を接続し、前記2段側脱酸素モジュ
ール6に2段側真空脱気ライン17を介して2段側水封式
真空ポンプ7を接続し、さらに前記2段側水封式真空ポ
ンプ7の排出路8を前記1段側真空脱気ライン12に接続
したことを特徴とする2段式脱酸素装置。
1. A first-stage deoxidizing module 4 and a second-stage deoxidizing module 6 are connected in series in a water supply line 3 between a raw water supply source 1 and a treated water distributor 2. The first-stage water-sealed vacuum pump 5 is connected to the stage-side deoxidation module 4 via the first-stage vacuum deaeration line 12, and the second-stage deoxidation module 6 is connected to the second-stage vacuum deaeration line 17. Two-stage side water-sealing vacuum pump 7 is connected, and the discharge passage 8 of the second-stage side water-sealing vacuum pump 7 is connected to the first-stage side vacuum degassing line 12. Deoxidizer.
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