JPH0456776A - 無電解めっきの前処理液 - Google Patents

無電解めっきの前処理液

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JPH0456776A
JPH0456776A JP16630290A JP16630290A JPH0456776A JP H0456776 A JPH0456776 A JP H0456776A JP 16630290 A JP16630290 A JP 16630290A JP 16630290 A JP16630290 A JP 16630290A JP H0456776 A JPH0456776 A JP H0456776A
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JP
Japan
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electroless plating
soln
pretreatment
degreasing
salt
Prior art date
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Pending
Application number
JP16630290A
Other languages
English (en)
Inventor
Kimie Hirakawa
平川 君江
Satoshi Akazawa
赤沢 諭
Kazuyuki Ayuba
阿由葉 一行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Boden Co Ltd
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Hitachi Boden Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0456776A publication Critical patent/JPH0456776A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/181Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal

Landscapes

  • Chemically Coating (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、無電解めっきの前処理液に関するものであり
、特に印刷配線板の無電解銅めっきの前処理液に関する
ものである。
〔従来の技術〕
印刷配線板は、銅張り又は銅のない積層板を穴明は後、
無電解めっきを行うことによって製造される。従来、無
電解銅めっきの前処理としては、脱脂・コンディショニ
ング工程、表面銅箔のソフトエツチング工程、酸洗い工
程、増感工程(触媒付与)m密着促進工程等がある。
無電解めっき前処理としての脱脂・コンディショニング
の働きは、被めっき物表面にある加工油、手あぶら、そ
の他の有機物等の汚れを洗浄し、また親油性である被め
っき物の表面を界面活性剤等により親水性にして、ぬれ
易くし、後に行われる増感工程での触媒の吸着効果を促
進させることにある。
この脱脂とコンディショニングの二つの働きを−液で行
う前処理液として、−ンランカソプリング剤、非イオン
界面活性剤、エチレンジアミンテトラ酢酸又はその塩、
又はその誘導体を含む水溶液よりなる無電解めっきの前
処理液がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
この前処理液は、脱脂、コンディショニングの効果に優
れている。しかし、液の安定性が悪(沈澱が生し、寿命
が短い。本発明は、脱脂、コンディショニング効果に優
れ、かつ液の寿命の長い無電解めっき前処理液を提供す
るものである。
C問題点を解決するための手段〕 本発明は、シランカップリング剤、非イオン界面活性剤
エチレンジアミンテトラ酢酸又は、その塩又はその誘導
体及び第4級アンモニウム塩を含む水溶液より成る無電
解めっきの前処理液である。
シランカップリングとしては、一般式X、・5i((C
Hz)t  ’Y)m  (但し、X ;OC−Htn
1+−0COCHi+−o(cHz)IIOCHzl(
1!。
Br、I、YiH9−NH,、−NH(CH,)mNH
,、k=1〜3、#=1〜7、m=l 〜3)で示され
るものが好ましく、具体的には、次のものが挙げられる
。N H2(CH2)3 S i  (OCz Hs)
m 、NHz(CHz)z NH(CHi)i S i
  (OCH3)3 、NHz C0NH(CHz>z
 S i  (OCHz)s 、NH2(CHz)z 
NH(CHI)3 S i  (CH3COCH3)m
 z。
非イオン界面活性剤としては、H,L、  B (Hy
drophile Lipophile Ba1anc
e)が11〜16のものが良く、このものは、親水性の
度合が脱脂を行う上で適し、また、被めっき物の水ぬれ
性を良くすると考えられる。これらは、一般式RO(C
H、cHt o)mH(但し、R; −C,H,,1,
、。
CIIH2−、I)で示されるものが好ましく、具体的
には、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキ
シエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイ
ルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、
ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオ
キシエチレンノニルフェニルエーテルが使用される。
エチレンジアミンテトラ酢酸、又はその塩(ナトリウム
塩)又は、その誘導体は、被めっき物が銅等の金属であ
る場合、その金属に作用し、錯塩を作り、金属の酸化物
除去を行うと考えられる。
具体的には、エチレンジアミンテトラ酢酸、エチレンジ
アミンテトラ酢酸2ナトリウム塩、エチレンジアミンテ
トラ酢酸4ナトリウム塩、ヒドロキシエチルエチレンジ
アミントリ酢酸3ナトリウム塩が使用される。
第4級アンモニウムは、液の安定化に役立ち、寿命を長
くする。具体的には、ステアリルトリメチルアンモニウ
ムブロマイド、アラウリルジメチルヘンシルアンモニウ
ムクロライド、セシアルキルジメチルベンジルアンモニ
ウムクロライド、ラウリルジメチルベンジルアルキルア
ンモニウムクロライド、ドデシルジメチルヘンシルアン
モニウムクロライド、テトラデシルジメチルアンモニラ
ムク、ロライド、ステアリルジメチルベンジルアンモニ
ウムクロライドが挙げられる。
シランカップリング剤は0.1〜10g/j!、非イオ
ン界面活性剤は0.1〜50g/It、エチレンジアミ
ンテトラ酢flI類は、0.2〜10g/l、第4級ア
ンモニウム塩は0,1〜10g/Jの水溶液として使用
する。
基板を無電解めっき処理液に浸漬(温度40〜70℃、
時間1〜10分)後水洗を行う。
〔実施例〕
実施例1、A−1100(r−アミノプロピルトリエト
キシシラン、日本ユニカー社製) 2g/11ノニオン
H3−210(ポリオキシエチレンオクチルフェニルエ
ーテル、日本油脂製)20g/l、フレワットOH#3
00  (ヒドロキシエチレンジアミン三酢酸塩、帝国
化学産業製)4g/11カテナール0TC−60 (ス
テアリルトリメチルアンモニウムクロライド、東邦化学
製)3g/lを含む前処理液について、作成当日と、3
0日間放置した場合について、液の外観観察と、両面銅
張りガラスエポキシ積層板に直径1.0m+sのドリル
にて穴明けし、パフ研磨(ウルトラファイン9600使
用)mホーニング(トサエメリー#280使用)処理し
たものをサンプルとし、次のような検討を行った。
サンプルを上記の前処理液で60℃、4分処理し、水洗
後、200g/j!過硫酸アンモニウム(ソフトエソチ
ンダ液)m10%HzSOa(酸洗い液) 、270g
/IPD−20]、(ブリデイ、7プ、日立化成工業製
) 、MS−201B、(増怒剤、日立化成工業製)の
無電解めっき前処理を行い、CUST−201(無電解
銅めっき液、日立化成工業製)で20分めっき後、ビロ
リン酸銅めっきを3 A/d rrr、64分を行い、
スルーホルポイドを有無を検討した。
実施例2、A−ttoo  Ig/j!、ノニオンH3
−220(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル
、日本油脂製)5g/l、クレワノトOH#300 5
g/l、カチナールHTB−70(アルキルトリメチル
アンモニウムクロライド、東邦化学製)3g/j!を含
む前処理液について、実施例1と同様に前処理液作成当
日と、30日間放置後について、液の外観観察を行い、
また、実施例1と同じサンプルを用い、この前処理液で
60℃、4分処理し、水洗後、実施例1と同し無電解め
っき前処理及び無電解めっき及びピロリン鍍銅めっきを
行い、スルーホールボイドの有無を検討した。
比較例1、A−11002g/lノニオンH5−210
20g/j!、クレワノトOH#300 4g/7!を
含む前処理液について、実施例1と同様に、前処理液作
成当日と、30日間放置後について、液の外観観察を行
い、また、実施例1と同しサンプルを用い、この前処理
液で60℃、4分処理し、水洗後、実施例1と同じ無電
解めっき前処理及び無電解めつき及びピロリン鍍銅めっ
きを行い、スルーホールボイドのを無を検討した。
実施例3、両面銅張りガラスエポキシ積層板をメチルエ
チルケトンで希釈したオイルに浸漬し乾燥して、これを
汚れた基板とする。汚れた基板を実施例1の前処理液で
60℃、4分処理(脱脂を行う)し、水洗後〜エツチン
グ液(150g/7!過硫酸アンモニウム液)に一定時
間浸漬して、銅の溶解量を測定し、溶解量の多いものほ
ど、脱脂力が良いと判断した。そして、前処理液作成当
日と30日間放置後について検討を行った。
実施例4、実施例3と同し汚れた基板を実施例2の前処
理液で60℃、4分処理し、水洗後、実施例3と同様に
銅の熔解量を求め、脱脂力の検討を行った。
比較例2、実施例3と同し汚れた基板を、比較例1の前
処理液で60℃、4分処理し、水洗後、実施例3と同様
に銅の溶解量を求め、脱脂力の検討を行った。
実施例1〜4と比較例1〜2の結果を表1に示す。
表1 脱脂、コンディショニング効果と液の安定性表1
に示すように、比較例1の前処理液は、作成当日では、
外観、脱脂液、コンディショニング効果ともよいが、3
0日後(比較例2では、沈澱が生しる。しかし、実施例
1.2の前処理液については、比較例1と同等の脱脂力
、コンディショニング効果をもち、また、外観について
も、30日後(実施例3.4)でも変化がなく、安定性
が良いことがわかる。
〔発明の効果〕
本発明により、無電解めっき前処理における脱脂と、コ
ンディショニングを1液で処理することかでき、また寿
命の長い無電解めっき前処理を得ることができた。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.シランカップリング剤、非イオン界面活性剤、エチ
    レンジアミンテトラ酢酸又は、その塩、又はその誘導体
    及び第4級アンモニウム塩を含む水溶液より成る無電解
    めっきの前処理液。
  2. 2.シランカップリング剤が一般式X_k・Si((C
    H_2)_l・Y)_m(但し、X;−OC_nH_2
    _n_+_1,−OCOCH,−O(CH_2)_mO
    CH_3,Cl,Br,I、Y:−NH_2,−NH(
    CH_2)_2NH_2、k=1〜3、l=1〜7、m
    =1〜3)で示され、非イオン界面活性剤が一般式RO
    (CH_2CH_2O)_nH(但し、R;−C_nH
    _2_n_+_1,C_nH_2_n_+_1)で示さ
    れ、また第4級アンモニウム塩がRR′R″R″NX(
    但し、R,R′,R″,R″,−C_nH_2_n_+
    _1,C_nH_2_n、X;Cl,Br,I)で示さ
    れる特許請求項の範囲第1項記載の無電解めっきの前処
    理液。
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